专利名称：液滴喷出装置、液晶显示装置的制造方法及液晶显示装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及液滴喷出装置、液晶显示装置的制造方法及液晶显示装置。
背景技术：
在现有技术的液晶显示装置的制造过程中要进行密封工序，该密封工序中，向透明基板的喷出区域喷出作为液态体的液晶后，再用相对基板密封该喷出区域。在该密封工序中，存在着当向喷出区域喷出的液晶的容量变动时，所述透明基板与所述相对基板之间的距离(单元间隔)就要变动，从而使液晶显示装置的显示画面质量劣化的问题。因此，作为抑制喷出的液晶的容量变动的方法，提出将所述液晶作为微小的液滴而喷出的所谓“喷墨法”(例如专利文献1)。
可是，在上述的喷墨法中，一般利用压电元件的伸缩等，强制性地使在喷嘴中形成的液态体的界面(弯月面)振动，在该振动过程中，将所述弯月面的液态体作为所述液滴喷出。因此，例如在粘度为50cp～100cp的液晶中，难以利用所述振动喷出所述弯月面的液晶，存在使所述液滴的容量变动或者不能形成所述液滴的问题。
于是，在这种喷墨法中，已经有人提出了可以将高粘度的液态体作为均匀的容量的液滴喷出的方案(例如专利文献2)。在专利文献2中，利用管加热器等加热装置，将具有喷嘴的液滴喷出头及向所述液滴喷出头供给液晶的供给管线加热后，使弯月面附近的液晶的粘度下降。这样，就可以将高粘度的液态体(液晶)作为均匀的容量的液滴喷出。
专利文献1日本国特开平5-281562号公报专利文献2日本国特开2004-358352号公报 可是，在上述的喷墨法中，为了确保喷出的液滴射中位置的精度，使所述喷嘴的开口侧(液滴喷出头的喷嘴板一侧)，靠近所述透明基板的喷出区域。因此，所述喷嘴内的液晶，在与大气之间进行热交换的同时，还与所述透明基板之间进行热交换，从而使其温度变动。
其结果，所述喷嘴内的液晶的温度、即所述液晶的粘度，就随着透明基板的温度分布及在该透明基板上的滞在时间(热交换的时间)而变，存在着使向喷出区域喷出的液晶的容量变动的问题。
发明内容
本发明就是为了解决上述问题而研制的，其目的在于提供一种将高粘度的液态体作为液滴，喷出到在基板上形成的多个喷出区域上时，能提高向各喷出区域喷出的液态体的容量的均匀性的液滴喷出装置、液晶显示装置的制造方法及液晶显示装置。
本发明的液滴喷出装置，在具有可以在基板上形成的多个喷出区域上相对移动地设置、向所述喷出区域喷出液态体的液滴的液滴喷出单元，和加热所述液滴喷出单元的所述液态体的液态体加热单元的液滴喷出装置中，具备基板温度控制单元，该单元使传递给所述基板的外缘附近的热量的绝对值，大于传递给所述基板的中心位置附近的热量的绝对值。
采用本实施方式的液滴喷出装置后，能够将绝对值大于中心位置附近的热量，传递给容易与大气进行热交换的外缘附近。因此，在大气的温度比基板的温度低时，能够抑制对于中心位置附近而言的外缘附近的温度的下降。反之，在大气的温度比基板的温度高时，能够抑制对于中心位置附近而言的外缘附近的温度的上升。其结果，能够抑制液滴喷出单元在各喷出区域上相对移动的期间，从基板一侧接收的热量的变动。这样，就能够提高向各喷出区域喷出的液态体的粘度的均匀性，能够提高向各喷出区域喷出的液态体的容量的均匀性。
在该液滴喷出装置中，所述基板温度控制单元，可以将所述基板加热，使所述基板的外缘附近的温度高于所述基板的中心位置附近的温度。
采用该液滴喷出装置后，当液滴喷出单元位于基板的中心位置附近时，能够从基板的广大范围，向液滴喷出单元供给较小的正的热量。反之，当液滴喷出单元位于基板的外缘附近时，能够从基板的广大范围，向液滴喷出单元供给较大的正的热量。就是说，在液滴喷出单元在各喷出区域上相对移动的期间，能够抑制被液滴喷出单元传递的、来自基板侧的正的热量的变动。而且，加热基板后，可以减少液滴喷出单元和基板之间的热交换。
这样，由于在基板的中心位置附近和外缘附近之间，赋予温度梯度，所以在液滴喷出单元位于各喷出区域之上时，能够抑制液滴喷出单元的液态体的粘度的变动。其结果，能够更切实地提高向各喷出区域喷出的液态体的容量的均匀性。
在该液滴喷出装置中，所述基板温度控制单元，可以预先赋予所述基板沿着所述液滴喷出单元的相对移动方向的方向的温度梯度，以便在与所述液滴喷出单元对峙的所述喷出区域，抵消被所述基板传递的、来自所述液滴喷出单元一侧的热量。
采用该液滴喷出装置后，能够在来自加热单元及液滴喷出单元的热量在基板上积蓄时，利用沿着液滴喷出单元的相对移动方向的方向的温度梯度，抵消与液滴喷出单元对峙的喷出区域的升温。这样，可以与加热单元及液滴喷出单元在基板上的相对移动路径及滞在时间无关，能够抑制被液滴喷出单元传递的、来自基板一侧的热量的变动。其结果，能够向在基板形成的所有的喷出区域，喷出更加均匀的容量的液态体。
本发明的液滴喷出装置，在具有可以在基板上形成的多个喷出区域上相对移动地设置、向所述喷出区域喷出液态体的液滴的液滴喷出单元，和加热所述液滴喷出单元的所述液态体的液态体加热单元的液滴喷出装置中，具备基板温度控制单元，该单元预先给予所述基板沿着所述液滴喷出单元的相对移动方向的方向的温度梯度，以便在与所述液滴喷出单元对峙的所述喷出区域，抵消被所述基板传递的、来自所述液滴喷出单元一侧的热量。
采用本发明的液滴喷出装置后，能够在来自加热单元及液滴喷出单元的热量在基板上积蓄时，利用沿着液滴喷出单元的相对移动方向的方向的温度梯度，抵消与液滴喷出单元对峙的喷出区域的升温。这样，可以与加热单元及液滴喷出单元在基板上的相对移动路径及滞在时间无关，能够抑制被液滴喷出单元传递的、来自基板一侧的热量的变动。其结果，能够向在基板形成的所有的喷出区域，喷出更加均匀的容量的液态体。
该液滴喷出装置的所述基板温度控制单元，还可以具备加热所述基板的加热器。
采用该液滴喷出装置后，能够利用来自加热器的加热量的分布，提高向各喷出区域喷出的液态体的容量的均匀性。
该液滴喷出装置的所述基板温度控制单元，还可以具备基板平台，在该平台上置放所述基板，并且能够使所述基板对所述液滴喷出单元而言进行移动。
采用该液滴喷出装置后，能够对移动的基板(各喷出区域)，更加圆滑地进行温度控制。其结果，能够不损坏液滴喷出处理的处理性地提高向各喷出区域喷出的液态体的容量的均匀性。
在该液滴喷出装置中，所述液态体是液晶。
采用该液滴喷出装置后，能够提高向各喷出区域喷出的液晶的容量的均匀性。
本发明的液晶显示装置的制造方法，在向元件基板和相对基板中的某一个喷出液晶，再将喷出的所述液晶封入所述元件基板和所述相对基板之间的液晶显示装置的制造方法中，利用上述液滴喷出装置喷出所述液晶。
采用本发明的液晶显示装置的制造方法后，能够制造提高了封入的液晶容量的均匀性的液晶显示装置。
本发明的液晶显示装置，采用上述液晶显示装置的制造方法制造。
采用本发明的液晶显示装置后，能够提高封入的液晶容量的均匀性。
图1本实施方式的液晶显示装置的简要立体图。
图2本实施方式的液晶显示装置的简要剖面图。
图3讲述本实施方式的液晶显示装置的制造方法的简要立体图。
图4讲述本实施方式的液晶显示装置的制造方法的平面图。
图5本实施方式的液晶显示装置的简要立体图。
图6本实施方式的液晶显示装置的简要剖面图。
图7为了讲述第1实施方式的基板加热器的平面图。
图8为了讲述第1实施方式的液滴喷出头的简要立体图。
图9为了讲述第1实施方式的液滴喷出头的要部剖面图。
图10为了讲述第1实施方式的液滴喷出头和喷出基板的简要立体图。
图11为了讲述第1实施方式的液滴喷出装置的电气性的结构的方框图。
图12为了讲述第2实施方式的基板加热器的平面图。
图13为了讲述第2实施方式的液滴喷出头的相对移动路径的说明图。
具体实施例方式(第1实施方式)
下面，参照图1～图11，讲述将本发明具体化的第1实施方式。首先，讲述本发明的液晶显示装置。图1是液晶显示装置的立体图，图2是图1的A-A线剖面图。
在图1中，液晶显示装置1，具备液晶屏2和向所述液晶屏2照射平面状的光(平面光L)的面状照明装置3。液晶屏2，具有安装在所述平面光L的照射一侧的相对基板4，和与所述相对基板4相对的元件基板5。
相对基板4是呈四边形的板状无碱玻璃基板，在其元件基板5一侧(上侧)的面(相对电极形成面4a)上，如图2所示，层叠由ITO等透明导电层构成的相对电极6，被供给来自未图示的电源电路的给定的共同电位。在该相对电极6的上侧，层叠经过取向处理(采用摩擦处理等)的取向膜7a；在所述相对电极6的附近，将后述的液晶15的取向设定成给定的取向。
如图1所示，元件基板5和所述相对基板4大致相同，是呈四边形的板状无碱玻璃基板，在其相对基板4一侧(下侧)的面(元件形成面5a)上，隔着给定的间隔，形成向X箭头方向延伸的多个扫描线8。各扫描线8，与未图示的扫描线驱动电路电连接，在给定的时刻被选择驱动后，在给定的时刻输出对应的扫描信号。另外，在元件形成面5a中，隔着给定的间隔，形成向与所述扫描线8正交的Y箭头方向延伸的多个数据线9。各数据线9，与未图示的数据线驱动电路电连接，在给定的时刻向对应的数据线9输入根据显示数据的数据信号。
在所述扫描线8和所述数据线9的交叉的位置，与对应的扫描线8及数据线9连接，形成矩阵状排列的多个象素区域10。在各象素区域10内，分别形成由TFT等构成的未图示的控制元件和由ITO等透明导电膜构成的象素电极11(参照图2)。
如图2所示，在所述数据线9(扫描线8)及象素电极11的下侧(相对基板4一侧)层叠着经过取向处理(采用摩擦处理等)的取向膜7b；在所述象素电极附近，将后述的液晶15的取向设定成给定的取向。
在上述元件基板5(取向膜7a)和相对基板4(取向膜7b)之间的间隙，配置具有略呈球状的导电性粒子12a、形成四边框状的密封部件12。
密封部件12，是通过分配器或网版印刷等，将分散了导电性粒子12a的紫外线硬化树脂等，以四边框状喷到所述相对基板4的外缘后，再用紫外线等照射后硬化而形成的。而且，通过将该密封部件(导电性粒子12a)设置在各基板4、5的外缘，使所述元件基板5(元件形成面5a)与所述相对基板4(相对电极形成面4a)的外缘，离开给定的距离(约等于导电性粒子12a的外径)。
另外，在上述元件基板5(取向膜7a)与相对基板4(取向膜7b)之间的间隙，还形成由作为被所述密封部件12密封的液态体的液晶15构成的液晶层15L。
然后，当扫描线8被根据线依次扫描而一根根地依次选择时，象素区域10的控制元件，就依次仅在被选择期间成为接通状态，通过对应的数据线9及控制元件做媒介，向对应的所述象素电极11输出数据信号。于是，按照元件基板5的象素电极11与相对电极6的电位差，所述液晶15的取向状态，被维持成调制平面光L。根据被调制的光通过或不通过未图示的偏振光板，就能够在液晶屏2上显示所需的图象。
在上述液晶屏2中，使液晶15的容量在各液晶屏2之间相等后，能够使元件基板5(取向膜7a)和相对基板4(取向膜7b)之间的间隙(单元间隔)均匀，能够维持各液晶屏2的显示画面的质量。此外，本实施方式的液晶显示装置1，是在象素区域10具备控制元件——TFT的所谓有源矩阵方式的液晶显示装置。但是，例如也可以是无源方式的液晶显示装置。另外，在本实施方式的液晶显示装置1中，采用在照射一侧配置相对基板4的结构。但不局限于此，也可以采用在照射一侧配置元件基板5的结构。
上述液晶屏2，采用以下制造方法制造。图3是讲述液晶屏2的制造方法的说明图。
如图3所示，上述液晶屏2，在可以切出所述相对基板4的8英寸的母基板(以下简称“喷出基板4M”)的一个面(喷出面4Ma)，涂敷形成与相对基板4对应的四边框状的多个密封部件12。这样，就在喷出基板4M的喷出面4Ma上，如图4所示，形成被矩阵状排列的所述密封部件12包围的区域(喷出区域S)。此外，在与各喷出区域S对应的所述喷出面4Ma上，分别形成所述相对电极6及所述取向膜7a。另外，在喷出基板4M的反Y箭头方向一侧的端部，形成打印喷出基板4M的制造编号等的标记MK。
在本实施方式中，将在喷出基板4M上形成的各喷出区域S，从Y箭头方向一侧(标记MK的相反侧)起，依次定为第1行的喷出区域S、第2行的喷出区域S、…、第8行的喷出区域S；从X箭头方向一侧起，依次称作第1列的喷出区域S、第2列的喷出区域S、…、第8列的喷出区域S。另外，将第1列及第2列的喷出区域，定为“第1喷出区域S1”；将各喷出区域S的X箭头方向的宽度，称作“喷出宽度Ws”。
在喷出基板4M上形成各喷出区域S后，如图3所示，向各喷出区域S内只喷出给定容量的液晶15的液滴D。接着，将可以切出所述元件基板5的8英寸的母基板(以下简称“粘接基板5M”)与喷出基板4M的喷出面4Ma粘接，使所述密封部件硬化。此外，在粘接基板5M的喷出面4Ma一侧的面，形成与各喷出区域S对应的所述扫描线8、数据线9、象素区域10及象素电极11等。
然后，将通过密封部件12硬化后粘接的所述喷出基板4M及所述粘接基板5M切割后，在所述元件基板5及所述相对基板4的间隙中，形成被所述密封部件12密封的液晶层15L，形成所述液晶屏2。此外，在本实施方式中，采用在所述喷出基板4M上形成所述密封部件12(喷出区域S)，向该喷出基板4M喷出液晶15的液滴D的结构。但并不局限于此，还可以采用在所述粘接基板5M上形成各喷出区域S，向该粘接基板5M喷出液晶15的液滴D的结构。
接着，讲述为了向所述喷出基板4M的各喷出区域S喷出所述液晶15的液滴喷出装置20。图5是表示液滴喷出装置20的结构的立体图。图6是沿着图5的Y箭头方向的剖面图。
在图5中，液滴喷出装置20具备形成长方体形状的基台21。基台21以将所述喷出基板4M放置到后述的基板平台23上的状态，其长度方向沿着所述Y箭头方向地形成。在该基台21的上面，遍及Y箭头方向全宽地形成一对向Y方向延伸的导向凹槽22。在该导向凹槽22中，安装着基板平台23，该基板平台23与Y轴电动机MY(参照图11)连接驱动，构成可以向Y箭头方向及反Y箭头方向直线运动的基板温度控制单元。
然后，向所述Y轴电动机MY输入给定驱动的信号后，Y轴电动机MY就正转或反转，使基板平台23沿着Y箭头方向以给定的速度往动或复动(向Y箭头方向移动)。
在基板平台23的上面，将所述喷出面4Ma(喷出区域S)作为上侧，形成可以放置所述喷出基板4M的放置面23a，使被放置的喷出基板4M对基板平台23而言，在给定的放置位置上定位。此外，本实施方式的喷出基板4M，还将第1行的各喷出区域S，配置在基板平台23的Y箭头方向的最远一侧地定位。
如图6所示，在基板平台23的内部，具备构成基板温度控制单元的基板加热器24，可以将放置在放置面23a上的喷出基板4M加热。
基板加热器24，如图7所示，具备内侧加热器24a和外侧加热器24b，前者与放置在放置面23a上的喷出基板4M的中心位置附近相对，略呈圆形；后者在前者的外侧，与所述喷出基板4M的外缘附近相对，呈旋涡状。在这些内侧加热器24a和外侧加热器24b之间，配置着未图示的隔热部件。
而且，内侧加热器24a，接收为了使喷出基板4M的中心位置附近的温度成为预定的温度(内侧目标温度)的内侧加热器驱动信号HCa(参照图11)后，将与喷出基板4M的中心位置附近相对的放置面23a加热。另外，外侧加热器24b，接收为了使喷出基板4M的外缘附近的温度成为预定的温度(外侧目标温度)的外侧加热器驱动信号HCb(参照图11)后，将与喷出基板4M的外缘附近相对的放置面23a加热。
而且，内侧加热器24a和外侧加热器24b，被分别供给内侧加热器驱动信号HCa及外侧加热器驱动信号HCb后，在放置面23a上放置的喷出基板4M的中心位置附近的温度，在来自介有放置面23a的内侧加热器24a的热量的传递的作用下，升温到内侧目标温度为止。另外，喷出基板4M的外缘附近的温度，在来自介有放置面23a的外侧加热器24b的热量的传递的作用下，升温到外侧目标温度为止。
就是说，本实施方式的基板平台23，将喷出基板4M分割成中心位置附近和外缘附近，分别升温维持成内侧目标温度和外侧目标温度。
这时，喷出基板4M的外缘附近，与中心位置附近相比，与大气接触的区域大。而且，喷出基板4M的外缘附近由于与大气接触的区域大，所以与大气的热交换加快，容易散热。
因此，由外侧加热器24b传递的单位面积的热量，小于或者等于由内侧加热器24a传递的单位面积的热量后，喷出基板4M的外缘附近的温度就低于中心位置附近的温度。而且，喷出基板4M的外缘附近的温度低于中心位置附近的温度后，被外缘附近的各喷出区域S的上侧(后述的喷嘴N内的液晶15)传递的热量，就小于被中心位置附近的各喷出区域S的上侧(后述的喷嘴N内的液晶15)传递的热量。换言之，被喷出面4Ma的上侧传递的热量，按照各喷出区域S的形成位置变动。
因此，在本实施方式的液滴喷出装置20中，使来自外侧加热器24b的单位面积的热量，大于来自内侧加热器24a的单位面积的热量后，能够抑制传递给各喷出区域S的形成位置的上侧的热量的变动。
如图6所示，在基板平台23的内部，在与喷出基板4M的中心位置附近及外缘附近相对的位置上，分别配置着内侧温度传感器25a及外侧温度传感器25b。内侧温度传感器25a及外侧温度传感器25b，是分别检出来自喷出基板4M的中心位置附近和外缘附近的红外线等的温度传感器。而且，内侧温度传感器25a及外侧温度传感器25b，分别输出与检出的喷出基板4M的中心位置附近的温度相对的信号(内侧温度检出信号TAa参照图11)及与外缘附近的温度相对的信号(外侧温度检出信号TAb参照图11)。
如图5所示，在基台21的Y箭头方向的两侧，直立设置着一对支持台26a、26b，在该一对支持台26a、26b上，架设着向Y箭头方向延伸的导向部件27。在该导向部件27的上侧，配置着收容槽28。在该收容槽28内，收容着作为液态体的液晶15，可以被后述的液滴喷出头31导出。此外，本实施方式中的液晶15的粘度为50cp～100cp。但并不局限于此。
在导向部件27的下侧，大约遍及X箭头方向的全宽地形成一对向X箭头方向延伸的导向导轨27a，在该导向导轨27a内，安装着被X轴电动机MX(参照图11)连接驱动后、作为向X箭头方向及反X箭头方向直线运动的移动单元的托架29。然后，向所述X轴电动机MX输入给定驱动的信号后，X轴电动机就正转或反转，使托架29沿着X箭头方向往动或复动(向X箭头反方向移动)。
在托架29的下侧，配置着作为液滴喷出单元的液滴喷出头(以下简称“喷出头31”)。图8是从下侧(基板平台23的一侧)观看所述喷出头31的立体图，图9是图8的B-B线剖面图。
在图8中，喷出头31成为向X箭头方向延伸的近似长方体形状，在其下侧(基板平台23的一侧)，分别具有喷嘴板32。在喷嘴板32的下面(喷嘴形成面32a)上，作为沿着喷出基板4M的法线方向(Z箭头方向)贯通形成的多个喷出口的喷出嘴(以下简称“喷嘴N”)，沿着X箭头方向排成一列，形成1列的喷嘴列NL。该喷嘴列NL的X箭头方向的宽度(喷嘴宽度Wn)，以与所述喷出区域S的喷出宽度Ws(参照图4)的大约2倍相对的尺寸形成。
然后，在所述喷嘴列NL与第1喷出区域S1对峙的状态下，沿着Y箭头方向移动所述基板平台23后，喷嘴列NL就遍及第1喷出区域S1(第1列及第2列的各喷出区域S)的X箭头方向的全宽，沿着反Y箭头方向(喷出区域S的列方向)相对移动。
接着，使托架向反X箭头方向移动，在所述喷嘴列NL与第3列及第4列的喷出区域S对峙的状态下，沿着反Y箭头方向移动所述基板平台23后，喷嘴列NL就遍及第3列及第4列的各喷出区域S的X箭头方向的全宽，沿着Y箭头方向(喷出区域S的列方向)相对移动。
就是说，本实施方式的各喷嘴N，在基板平台23及托架29的移动的作用下，按照第1列及第2列的喷出区域S、第3列及第4列的喷出区域S、…、第7列及第8列的喷出区域S的顺序，在各喷出区域S的上侧移动。
如图9所示，在各喷嘴N的Z箭头方向，分别形成空腔33。空腔33，通过各喷嘴N共同的供给线路34做媒介，与所述收容槽28内连通，被导入由收容槽28导出的所述液晶15。然后，空腔33将被导入的液晶15分别供给对应的喷嘴N。在空腔33的Z箭头方向，具有可以向Z箭头方向及反Z箭头方向振动地粘接的振动板35，可以扩大·缩小空腔33内的容积。在振动板35的Z箭头方向，配置着与各喷嘴N对应的压电元件36。压电元件36接收驱动控制该压电元件36的信号(压电元件驱动信号COM参照图11)后，进行收缩·扩张，使所述振动板35向Z箭头方向及反Z箭头方向振动，从而使空腔33内加压·减压。
如图6及图9所示，在所述喷出头31的外周，配置着作为液态体加热单元的头加热器31H。头加热器31H，将空腔33内的液晶15加热到给定的温度区域(在本实施方式中约60℃)为止。而且，头加热器31H将各空腔33内的液晶15加热后，可以使液晶15的粘度，在对应的喷嘴N的附近下降，可以作为的液滴D喷出。此外，在本实施方式中，采用只在喷出头31的外周配置所述头加热器31H的结构。但也可以采用在从所述收容槽28起，到所述喷出头31为止的液晶15的供给管道等的外周，另行配置加热器的结构。
然后，向Y箭头方向输送的第1喷出区域S1侵入所述喷出头31的正下方后，对应的喷嘴N的压电元件36收缩·扩张。于是，对应的空腔33的压力被减压·加压，对应的喷嘴N内的液晶15的界面(弯月面M)朝Z箭头方向及反Z箭头方向振动。液晶15的弯月面振动后，液晶15被所述头加热器31H加热后，其粘度下降，从而可以作为液滴D被圆滑的喷出。喷出的液滴D，沿着对应的喷嘴N的反Z箭头方向飞行，射中第1喷出区域S1对应的喷出区域S。
这时，如图10的实线所示，喷出头31与喷出面4Ma的外缘附近(例如第1喷出区域S1的第1行的喷出区域S)相对后，热量只由喷出面4Ma的中心位置附近一侧传递的该喷出头31(液晶15)。另一方面，如图10的双点划线所示，喷出头31位于喷出面4Ma的中心位置附近(例如第3列及第4列的第4行的喷出区域S)之上后，热量几乎由整个喷出面4Ma传递该喷出头31(液晶15)。
就是说，与各喷出区域S相对的喷嘴N的液晶15，随着其配置位置靠近喷出面4Ma的中心位置附近后，来自喷出基板4M一侧的热量的供给区域扩大；随着其配置位置靠近喷出面4Ma的外缘附近后，来自喷出基板4M一侧的热量的供给区域则缩小。
因此，喷出基板4M的外侧的实际温度，低于或者等于内侧的实际温度时，传递给与外缘附近相对的各喷嘴N内的液晶15的正的热量，就小于与中心位置附近相对的各喷嘴N内的液晶15的正的热量。
就是说，各喷嘴N内的液晶15的温度，按照喷出头31的配置位置变动；各喷嘴N的液晶15的黏度，按照喷出区域S的形成位置变动；喷出的液晶15的容量也变动。
因此，本实施方式的液滴喷出装置20，使来自外侧加热器24b的单位面积的热量，大于由内侧加热器24a传递的单位面积的热量，而且使外侧的目标温度高于内侧的目标温度。换言之本实施方式的液滴喷出装置20，使外侧的实际温度高于内侧的实际温度，以便补偿传递给喷出头31的热量的供给区域的变动。
这样，与各喷出区域S对峙的各喷嘴N的液晶15，由于使外侧的实际温度高于内侧的实际温度，所以能够使大致相等的热量从对峙的各喷出区域S一侧传递，从而抑制喷向各喷出区域S的液晶15的容量的变动。
此外，本实施方式中的所述内侧目标温度及外侧目标温度，根据预先实施的试验等设定，设定成使来自被喷出头31传递的喷出面4Ma一侧的热量，在各喷出区域S的上侧大致相同，喷向各喷出区域S的液晶15的容量也相同的温度。例如将液滴喷出装置20设置在维持20℃的气氛中，将所述内侧目标温度及所述外侧目标温度分别设定成30℃及35℃。但并不局限于此。
下面，按照图11，讲述采用上述结构的液滴喷出装置20的电结构。
在图11中，控制装置40具备由CPU等构成的、作为加压驱动控制单元单元的控制部41，由DRAM及SRAM构成的、存放各种数据的RAM42，作为存放各种数据及各种控制程序的记忆单元的ROM43。另外，控制装置40还具有生成所述压电元件驱动信号COM的驱动信号生成电路44，生成旨在使各种信号同步的时钟脉冲信号CLK的振荡电路45等。而且，在控制装置40中，这些控制部41、RAM42、ROM43、驱动信号生成电路44及振荡电路45，通过未图示的总线做媒介，连接在一起。
输入装置51与控制装置40连接。输入装置51具有起动开关、停止开关等操作开关，将操作各开关后产生的操作信号向所述控制装置40输出。另外，输入装置51还将液晶15向喷出面4Ma喷出的喷出位置(喷出面4Ma中的喷出区域S的位置)及喷出基板4M的设定温度(内侧目标温度及外侧目标温度)等作为给定的形式的喷出数据Ia，向所述控制装置40输出。控制装置40按照来自输入装置51的喷出数据Ia和ROM43等存放的控制程序(例如液晶喷出程序)，使基板平台23移动，进行喷出面4Ma的输送处理动作，驱动喷出头31的各压电元件36，进行液晶15的液滴喷出处理动作。
更详细地说，控制部41，对来自输入装置51的喷出数据Ia实施给定的展开处理，生成表示在二维描绘平面(喷出面4Ma)中的位置上是否喷出液滴D的位映射数据BMD，将生成的位映射数据BMD存入RAM。该位映射数据BMD，与各比特的值或(0或1)对应，规定所述压电元件36的接通或断开(是否喷出液滴D)。而且，控制部41使所述位映射数据BMD与振荡电路45生成的时钟脉冲信号CLK同步，将每次扫描(基板平台23的往动及复动)的数据，作为喷出控制信号SI传输给后述的喷出头驱动电路57。
另外，控制部41对来自输入装置51的喷出数据Ia实施与所述位映射数据BMD的展开处理不同的展开处理，生成所述压电元件驱动信号COM的波形数据，向驱动信号生成电路44输出。驱动信号生成电路44，将来自控制部41的所述波形数据，存入未图示的波形存储器，对存入的波形数据进行数字/模拟变换，将模拟信号的波形信号放大，生成旨在驱动压电元件36的电元件驱动信号COM。然后，控制部41，将所述电元件驱动信号COM，向后述的喷出头驱动电路57输出。
另外，控制部41对来自输入装置51的喷出数据Ia实施给定的展开处理，生成为了生成与所述内侧目标温度及外侧目标温度对应的所述内侧加热器驱动信号HCa及外侧加热器驱动信号HCb的内侧目标温度信号TPa及外侧目标温度信号TPb。然后，控制部41，将所述内侧目标温度信号TPa及外侧目标温度信号TPb，向后述的基板加热器驱动电路58输出。
如图11所示，控制装置40与X轴电动机旋转检出器52连接，向X轴电动机旋转检出器52输出X轴电动机驱动控制信号。X轴电动机旋转检出器52应答来自控制装置40的X轴电动机驱动控制信号后，使所述托架29进行往复运动的X轴电动机MX就正转或反转。然后，例如X轴电动机MX正转后，托架就向X箭头方向移动；反转后，托架则向反X箭头方向移动。
控制装置40与Y轴电动机旋转检出器53连接，向Y轴电动机旋转检出器53输出Y轴电动机驱动控制信号。Y轴电动机旋转检出器53应答来自控制装置40的Y轴电动机驱动控制信号后，使所述基板平台23(喷出基板4M)进行往复运动的Y轴电动机MY就正转或反转。例如Y轴电动机MY正转后，基板平台23(喷出基板4M)就向Y箭头方向移动；反转后，基板平台23(喷出基板4M)则向反Y箭头方向移动。
控制装置40与基板检出装置54连接。基板检出装置54检出相对基板4的端缘，在控制装置40计算喷出基板4M(喷出区域S)通过托架29正下方的位置之际利用。
控制装置40与X轴电动机旋转检出器55连接，输入来自X轴电动机旋转检出器55的检出信号。控制装置40根据来自X轴电动机旋转检出器55的检出信号，检出X轴电动机MX的旋转方向及转数，计算托架29的X箭头方向的移动量和移动方向。
控制装置40与Y轴电动机旋转检出器56连接，输入来自Y轴电动机旋转检出器56的检出信号。控制装置40根据来自Y轴电动机旋转检出器56的检出信号，检出Y轴电动机MY的旋转方向及转数，计算基板平台23(喷出区域S)的Y箭头方向的移动量和移动方向。
控制装置40与喷出头驱动电路57连接，向该喷出头驱动电路57输出所述喷出控制信号SI、所述时钟脉冲信号CLK及所述压电元件驱动信号COM。喷出头驱动电路57应答来自控制装置40的喷出控制信号SI，控制是否将所述压电元件驱动信号COM供给对应的各压电元件36。
控制装置40与基板加热器驱动电路58连接，向该基板加热器驱动电路58输出所述内侧目标温度信号TPa及所述外侧目标温度信号TPb。该基板加热器驱动电路58与所述内侧温度传感器25a及所述外侧温度传感器25b连接，被输入来自内侧温度传感器25a的内侧温度检出信号TAa及来自外侧温度传感器25b的外侧温度检出信号TAb。
而且，基板加热器驱动电路58，根据来自控制装置40的内侧目标温度信号TPa和来自内侧温度传感器25a的内侧温度检出信号TAa，生成为了将喷出基板4M的中心位置附近的温度作为内侧目标温度的信号(所述内侧加热器驱动信号HCa)，将该内侧加热器驱动信号HCa向内侧加热器24a输出。另外，基板加热器驱动电路58，还根据来自控制装置40的外侧目标温度信号TPb和来自外侧温度传感器25b的外侧温度检出信号TAb，生成为了将喷出基板4M的外缘附近的温度作为外侧目标温度的信号(所述外侧加热器驱动信号HCb)，将该外侧加热器驱动信号HCb向外侧加热器24b输出。而且，喷出基板4M的内侧实际温度及外侧实际温度分别成为内侧目标温度及外侧目标温度后，生成表示喷出基板4M的温度达到目标温度的目标温度到达信号TAc，将该目标温度到达信号TAc向控制装置40输出。
下面，讲述使用液滴喷出装置20向喷出基板4M喷出液晶15的方法。
首先，如图5所示，在基板平台23上，将喷出面4Ma作为上侧，配置固定喷出基板4M。从该状态开始向输入装置51输入喷出数据Ia，输入旨在开始液晶喷出程序的操作信号。
于是，控制装置40，根据喷出数据Ia，生成所述内侧目标温度信号TPa及外侧目标温度信号TPb。然后，控制装置40使所述基板加热器驱动电路58根据所述内侧目标温度信号TPa及外侧目标温度信号TPb，生成所述内侧加热器驱动信号HCa及外侧加热器驱动信号HCb，分别向内侧加热器24a和外侧加热器24b输出。而且，控制装置40驱动内侧加热器24a和外侧加热器24b，使被放置面23a放置的喷出基板4M的内侧实际温度及外侧实际温度，分别升温维持成内侧目标温度及外侧目标温度。
控制装置40使内侧实际温度及外侧实际温度分别升温维持成内侧目标温度及外侧目标温度后，接收来自基板加热器驱动电路58的目标温度到达信号TAc，驱动控制X轴电动机MX，使托架29移动。而且，控制装置40在向Y箭头方向移动喷出基板4M时，使托架29固定在第1喷出区域S1(第1行及第2行的各喷出区域)通过喷出头31(喷嘴列NL)的正下方的位置上。另外，控制装置40驱动控制Y轴电动机MY，使基板平台23(喷出基板4M)向Y箭头方向输送。就是说，控制装置40使从第1喷出区域S1的各喷出区域，第1行起依次朝着喷出头31输送。
不久，基板检出装置54检出喷出基板4M(喷出面4Ma)的Y箭头方向的一侧的端缘后，控制装置40根据来自Y轴电动机旋转检出器56的检出信号，计算第1喷出区域S1的第1行的喷出区域S的Y箭头方向的端部是否输送到喷嘴列NL的正下方为止。而且，控制装置40等待向喷出头驱动电路57输出与第1喷出区域S1对应的喷出控制信号SI的时刻。
然后，第1喷出区域S1的第1行的喷出区域S的Y箭头方向的端部输送到喷嘴列NL的正下方为止后，控制装置40响应来自Y轴电动机旋转检出器56的检出信号，向喷出头驱动电路57输出所述喷出控制信号SI。喷出头驱动电路57接收来自控制装置40的喷出控制信号SI后，将所述压电元件驱动信号COM供给对应的各压电元件36。而且，喷出头驱动电路57根据喷出控制信号SI，从第1喷出区域S1的第1行的喷出区域S起，依次喷出液滴D，直到第8行的喷出区域为止。
这时，喷出基板4M的外缘附近的喷出区域S(例如第1列的各喷出区域S)，接收来自外侧加热器24b的热量，被维持成外侧目标温度；中心位置附近的喷出区域S(例如第2列的第4行～第6行的喷出区域S)，接收来自内侧加热器24a热量，被维持成内侧目标温度。
因此，在第1喷出区域S1的各喷出区域中，大致相等的热量就从喷出面4Ma的一侧传递给喷出头31(各喷嘴N内的液晶15)。这样，喷出头31就向第1喷出区域S1的各喷出区域喷出与压电元件驱动信号COM对应的、相等的容量的液晶15。
以后同样，每逢第3列～第8列的各喷出区域S被输送到喷嘴列NL的正下方时，控制装置40就喷出与压电元件驱动信号COM对应的、相等的容量的液晶15。然后，向所有的喷出区域S喷出均匀的容量的液晶15后，控制装置40就移动基板平台23，以便使喷出基板4M从喷出头31的正下方躲避开，并且结束液晶喷出程序。
这样，能够向喷出基板4M的所有的喷出区域S喷出相等的容量的液晶15，能够制造出使所述相对基板4和所述元件基板5之间的间隙的距离(单元间隔)均匀的液晶屏2。
下面，列举采用上述结构的第1实施方式的效果。
(1)采用上述实施方式后，与喷出基板4M的中心位置附近相对，设置了加热中心位置附近的内侧加热器24a，和在内侧加热器24a的外侧，与喷出基板4M的外缘附近相对，设置了加热外缘附近的外侧加热器24b。而且，将内侧加热器驱动信号HCa及外侧加热器驱动信号HCb分别供给内侧加热器24a和外侧加热器24b，使由外侧加热器24b供给喷出基板4M的单位面积的热量，大于由内侧加热器24a供给喷出基板4M的单位面积的热量。
其结果，能够抑制与内侧实际温度相对而言的外侧实际温度的下降，能够提高被喷出头31传递的、来自喷出面4Ma一侧的热量的均匀性。所以，能够提高向各喷出区域S喷出的液晶15的容量的均匀性。
(2)采用上述实施方式后，利用来自内侧加热器24a的热量的传递，将喷出基板4M的内侧实际温度升温到内侧目标温度为止；利用来自外侧加热器24b的热量的传递，将喷出基板4M的位侧实际温度升温到外侧目标温度为止。而且，使外侧目标温度高于内侧目标温度地设定后，外侧实际温度就比内侧实际温度高。
其结果，就能够利用内侧实际温度和外侧实际温度补偿被喷出头31传递的热量的供给区域的变动，能够进一步提高向各喷出区域S喷出的液晶15的容量的均匀性。
(3)采用上述实施方式后，在基板平台23内设置内侧加热器24a和外侧加热器24b，通过将喷出基板4M定位的放置面23a做媒介，将喷出基板4M加热。其结果，能够与喷出基板4M的输送无关，将喷出基板4M的温度分别升温维持成内侧设定温度及外侧设定温度。这样，能够不使液晶15的喷出处理性能劣化地提高向各喷出区域S喷出的液晶15的容量的均匀性。
(第2实施方式)下面，参照图12及图13，讲述将本发明具体化的第2实施方式。此外，在第2实施方式中，采用变更第1实施方式中的基板加热器24和喷出头31对喷出基板4M而言的相对移动路径的结构。因此，下面详细讲述基板加热器24和喷出头31的相对移动路径的变更点。图12是从上侧观看基板平台23的俯视图，图13是讲述喷出头31的相对移动路径的说明图。
如图12所示，在基板平台23内，在将第1实施方式所示的内侧加热器24a的圆周方向上4等分的位置上，具备构成基板温度控制单元的、分别大致形成圆弧状的第1内侧加热器61a、第2内侧加热器61b、第3内侧加热器61c及第4内侧加热器61d。另外，还在基板平台23内，在将第1实施方式所示的外侧加热器24b的圆周方向上4等分的位置上，具备构成基板温度控制单元的、分别大致形成U字形的第1外侧加热器62a、第2外侧加热器62b、第3外侧加热器62c及第4外侧加热器62d。在各内侧加热器61a～61d及各外侧加热器62a～62d之间，设置未图示的隔热部件。
然后，各内侧加热器61a～61d及各外侧加热器62a～62d，分别接收对应的内侧加热器驱动信号及外侧加热器驱动信号，分别加热相对的喷出基板4M的区域。就是说，本实施方式的基板平台23，利用各内侧加热器61a～61d及各外侧加热器62a～62d，将喷出基板4M的温度，8分割成与各内侧加热器61a～61d及各外侧加热器62a～62d相对的区域后，升温维持。
如图13所示，在托架29中，朝X箭头方向并列设置着第1实施方式所示的一对喷出头31，各喷出头31的喷嘴列NL(参照图8)，可以与分别相邻的2个列的喷出区域S对峙地配置。而且，本实施方式的各喷出头31，在基板平台23及托架29的移动的作用下，沿着图13的双点划线所示的近似U字形的相对移动路径，在喷出面4Ma上相对移动。
详细地说，本实施方式的液滴喷出装置20，在移动托架29后，使喷出基板4M向Y箭头方向移动时，在各喷嘴列NL分别与第1列及第2列、第3列及第4列的喷出区域S对峙的位置(图13所示的实线)上配置托架29。然后，沿着Y箭头方向移动所述基板平台23，遍及第1列～第4列的各喷出区域S的X箭头方向的全宽，使喷嘴列NL沿着反Y箭头方向(喷出区域S的列方向)相对移动。
接着，液滴喷出装置20，在将托架29向反X箭头方向移动后，使喷出基板4M向反Y箭头方向移动时，在各喷嘴列NL分别与第5列及第6列、第7列及第8列的喷出区域S对峙的位置上配置。然后，沿着反Y箭头方向移动所述基板平台23，遍及第5列～第8列的各喷出区域S的X箭头方向的全宽，使喷嘴列NL沿着Y箭头方向(喷出区域S的列方向)相对移动。
就是说，各喷嘴列NL(各喷出头31)按照第1内侧加热器61a、第2内侧加热器61b、第3内侧加热器61c及第4内侧加热器61d的顺序，在各内侧加热器61a～61d上相对移动。另外，各喷嘴列NL(各喷出头31)还按照第1外侧加热器62a、第2外侧加热器62b、第3外侧加热器62c及第4外侧加热器62d的顺序，在各外侧加热器62a～62d上相对移动。
这时，伴随着对峙的各喷出头31的相对移动，来自喷出头31及各内侧加热器61a～61d及各外侧加热器62a～62d头加热器31H的热量被传递给喷出基板4M。接受来自喷出头31一侧的热量的喷出基板4M的温度，因其热量的传递速度快，所以不会被各内侧加热器61a～61d及各外侧加热器62a～62d修正，而慢慢升温。而且，喷出基板4M慢慢升温后，传递给各喷嘴列N内的液晶15的热量就慢慢增大，各喷嘴列N内的液晶15的粘度则慢慢下降。就是说，喷出头31随着在各喷出区域S上的相对移动，使喷出的液晶15的容量增大。
因此，本实施方式的液滴喷出装置20，使来自各内侧加热器61a～61d及各外侧加热器62a～62d的单位面积的热量，沿着喷出头31的相对移动的方向变小。而且，使与各内侧加热器61a～61d及各外侧加热器62a～62d对应的喷出基板4M的区域的温度，沿着喷出头31的相对移动的方向变低。
详细地说，各内侧加热器61a～61d，按照第1内侧加热器61a、第2内侧加热器61b、…、第4内侧加热器61d的顺序，使传递给喷出基板4M的单位面积的热量逐渐变小。而且，使与第1内侧加热器61a相对的喷出基板4M的温度最高，使与第4内侧加热器61d相对的喷出基板4M的温度最低。就是说，各内侧加热器61a～61d，对喷出基板4M的中心位置附近而言，赋予沿着喷出头31的相对移动方向的方向温度梯度。
另外，各外侧加热器62a～62d，按照第1外侧加热器62a、第2外侧加热器62b、…、第4外侧加热器62d的顺序，使传递给喷出基板4M的单位面积的热量逐渐变小。而且，使与第1外侧加热器62a相对的喷出基板4M的温度最高，使与第4外侧加热器62d相对的喷出基板4M的温度最低。就是说，各外侧加热器62a～62d，对喷出基板4M的外缘附近而言，赋予沿着喷出头31的相对移动方向的方向温度梯度。
此外，本实施方式的液滴喷出装置20，和第1实施方式一样，使来自各外侧加热器62a～62d的单位面积的热量，比来自各内侧加热器61a～61d的单位面积的热量大，使喷出基板4M外缘附近的温度高于中心位置的附近的温度。
而且，液滴喷出装置20，在沿着所述相对移动路径相对移动喷出头31的期间，利用预先由各内侧加热器61a～61d赋予的温度梯度和由各外侧加热器62a～62d赋予的温度梯度，抵消各喷出区域S的温度上升的部分，从而使来自各喷出区域S的一侧的、传递给喷出头31的热量均匀化。
这样，大致相等的热量就由对峙的各喷出区域S的一侧传递给与各喷出区域S对峙的各喷嘴N的液晶15，使向各喷出区域S喷出的液晶15的容量进一步均匀化。
下面，列举采用以上结构的第2实施方式的效果。
(1)采用上述实施方式后，在基板平台23中，设置各内侧加热器61a～61d及各外侧加热器62a～62d，赋予喷出基板4M沿着喷出头31的相对移动方向的方向的温度梯度。
其结果，能够利用预先赋予的沿着相对移动方向的喷出基板4M的温度梯度，抵消各喷出区域S的温度上升部分。这样，能够与喷出头31的相对移动路径及相对移动时间无关，提高来自被喷出头31传递的、来自喷出面4Ma一侧的热量的均匀性。因此，能够进一步提高向各喷出区域S喷出的液晶15的容量的均匀性。
此外，上述实施方式还可以作如下变更。
○在上述实施方式中，采用了加热喷出基板4M的结构。但并不局限于此，也可以采用冷却喷出基板4M的结构。这时，由于喷出基板4M的外缘附近比中心位置附近容易吸热，所以最好向喷出基板4M供给负的热量，以便使传递给外缘附近的热量的绝对值大于传递给中心位置附近的热量的绝对值。
○在上述实施方式中，采用了在基板平台23中设置内侧加热器24a(第1～第4内侧加热器61a～61d)和外侧加热器24b(第1～第4外侧加热器62a～62d)的结构。但并不局限于此，例如也可以采用只在基板平台23中设置外侧加热器24b(第1～第4外侧加热器62a～62d)的结构。
○在上述实施方式中，将基板温度控制单元作为在基板平台23中设置的基板加热器24(第1～第4内侧加热器61a～61d及第1～第4外侧加热器62a～62d)后具体化。但并不局限于此，例如也可以将基板温度控制单元作为从喷出基板4M的喷出面4Ma一侧照射红外线等的光的光源后具体化，利用所述光的照射量，控制喷出基板4M的温度。
或者，将基板温度控制单元作为在放置面23a上形成的多个凹部后具体化，加热或者冷却基板平台23后调整成给定的温度。而且，还可以利用喷出基板4M和放置面23a的接触面积的差异，控制喷出基板4M的温度。
就是说，只要是能够控制传递给喷出基板4M的外缘附近的热量和传递给喷出基板4M的中心位置附近的热量的单元就行。
○在上述实施方式中，将液态体加热单元作为头加热器31H后具体化。但并不局限于此，例如既可以是加热收容槽28内的液晶15的加热器，也可以是加热收容槽28和喷出头31之间的管道内的液晶15的加热器。
○在上述实施方式中，将液滴喷出单元作为喷出头31后具体化。但并不局限于此，例如也可以采用空气分配器。
○在上述实施方式中，将液态体作为液晶15具体化。但并不局限于此，例如也可以是包含金属微粒的金属墨水。就是说，只要是利用加热使其低粘度化，可以作为液滴喷出的液态体就行。
○在上述实施方式中，采用了喷出作为液态体的液晶，制造液晶显示装置1的结构。但并不局限于此，例如也可以采用将液态体作为金属墨水具体化，制造具备液晶显示装置1的各种金属布线及平面状的电子发射元件，具备利用由该元件发出的电子导致荧光物质发光的电场效应型装置(FED及SED等)的显示装置的金属布线的结构。
权利要求
1.一种液滴喷出装置，具有液滴喷出单元和液态体加热单元，所述液滴喷出单元，在基板上形成的多个喷出区域上方被设置成可相对移动，并向所述喷出区域喷出液态体的液滴，所述液态体加热单元，加热所述液滴喷出单元的所述液态体，其特征在于具备基板温度控制单元，该单元使传递给所述基板的外缘附近的热量的绝对值，大于传递给所述基板的中心位置附近的热量的绝对值。
2.如权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于所述基板温度控制单元，将所述基板加热，使所述基板的外缘附近的温度高于所述基板的中心位置附近的温度。
3.如权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于所述基板温度控制单元，预先对所述基板赋予沿着所述液滴喷出单元的相对移动方向的方向的温度梯度，使得在与所述液滴喷出单元对峙的所述喷出区域，抵消由所述液滴喷出单元一侧传递到所述基板的热量。
4.一种液滴喷出装置，具有液滴喷出单元和液态体加热单元，所述液滴喷出单元，在基板上形成的多个喷出区域上方被设置成可相对移动，并向所述喷出区域喷出液态体的液滴，所述液态体加热单元，加热所述液滴喷出单元的所述液态体，其特征在于具备基板温度控制单元，该单元预先对所述基板赋予沿着所述液滴喷出单元的相对移动方向的方向的温度梯度，使得在与所述液滴喷出单元对峙的所述喷出区域，抵消由所述液滴喷出单元一侧传递到所述基板的热量。
5.如权利要求1～4任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于所述基板温度控制单元，具备加热所述基板的加热器。
6.如权利要求1～5任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于所述基板温度控制单元，具备基板平台，在该基板平台上置放所述基板，并且使所述基板相对所述液滴喷出单元可移动。
7.如权利要求1～6任一项所述的液滴喷出装置，其特征在于所述液态体是液晶。
8.一种液晶显示装置的制造方法，在向元件基板和相对基板中的某一个喷出液晶，再将喷出的所述液晶封入所述元件基板与所述相对基板之间的液晶显示装置的制造方法中，其特征在于利用权利要求7所述的液滴喷出装置喷出所述液晶。
9.一种液晶显示装置，其特征在于采用权利要求8所述的液晶显示装置的制造方法制造。
全文摘要
设置与喷出基板(4M)的中心位置附近相对、加热中心位置附近的内侧加热器(24a)，和在内侧加热器(24a)的外侧、与喷出基板(4M)的外缘附近相对、加热外缘附近的外侧加热器(24b)。而且，内侧加热器(24a)和外侧加热器(24b)，被分别供给内侧加热器驱动信号及外侧加热器驱动信号，使由外侧加热器(24b)供给喷出基板(4M)的单位面积的热量，大于由内侧加热器24a)供给喷出基板(4M)的单位面积的热量。从而提供将高粘度的液态体作为液滴，向在基板上形成的多个喷出区域喷出，提高向各喷出区域喷出的液态体的容量的均匀性的液滴喷出装置、液晶显示装置的制造方法及液晶显示装置。
文档编号B41J2/04GK1872548SQ200610089998
公开日2006年12月6日 申请日期2006年5月31日 优先权日2005年5月31日
发明者春日治 申请人:精工爱普生株式会社