专利名称：液滴喷出装置以及电气光学装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及液滴喷出装置以及电气光学装置。
背景技术：
一般，液晶显示器为了规定液晶分子的取向，所以具有由取向性聚酰 胺等取向性高分子构成的取向膜。取向膜的制造工序中，为了提高生产性， 降低生产成本，采用利用液滴喷头的喷射法(例如专利文献l)。
液滴喷头具有存储液状体的多个腔体、与该腔体连通而在一个方向 排列的多个喷咀；对各腔体内的液状体加压的多个促动器(例如压电元件、
电阻加热元件等)。液滴喷头输入根据绘图数据选择的各促动器共用的驱 动波形信号，从与各促动器对应的喷咀喷出液状体的液滴。喷射法将取向 膜材料供给液滴喷头，将含有取向性高分子的液滴朝基板喷出，通过干燥 喷落在基板上的液滴来形成取向膜。
专利文献l: JP2004—347694 (日本专利特开2004—347694号公报) 上述喷射法使喷出对象的基板和液滴喷头在规定的扫描方向上相对 移动，以规定的喷出频率对各促动器输入上述驱动波形信号。由此，排列 的喷咀量的液滴以规定的喷出频率顺次喷出，液状体的图案沿对象基板的 扫描方向顺次绘图。
但是，上述液滴喷头从共用的1个罐向全部的喷咀导出液状体。因此， 会带来以下的问题。液滴喷头当多个喷咀同时喷出液滴时，每个喷咀的流 路抵抗对液状体的供给压力有很大的影响(例如相邻的喷咀间窜扰(cross talk),每个喷咀的喷出重量都带来大的偏差。结果，尺寸相对大的液滴或 者尺寸相对小的液滴沿扫描方向连续，沿液滴喷头的扫描方向形成膜厚阶 梯，液晶显示器的显示画质明显下降。
发明内容
本发明是鉴于上述问题而研发的，其目的在于提供一种能够提高喷出 液滴形成的膜图案的膜厚的均匀性的液滴喷出装置以及电气光学装置。
一种液滴喷出装置，其特征在于，具有液滴喷头，该液滴喷头具有 在规定方向上排列的喷出液滴的多个喷咀；扫描机构，该扫描机构使所述 液滴喷头和基板在扫描方向上相对移动；存储机构，该存储机构将所述基 板的绘图区域沿所述基板的扫描方向按照所述液滴的每个喷出频率划分 为多个喷出区域，存储使所述多个喷出区域的各个区域对应从所述多个喷 咀中选择的驱动喷咀的图案数据；传送机构，该传送机构将所述存储机构 存储的所述图案数据分割为多个分割数据，并顺次传送给所述液滴喷头； 以及输出机构，该输出机构对由所述分割数据选择的所述驱动喷咀输出用 于喷出液滴的驱动波形信号，其中，所述图案数据是，将所述多个喷咀分 割为多个块，使所述多个喷出区域的各个区域对应所述多个块的任一个的 数据。
本发明的液滴喷出装置，各块对分别对沿扫描方向划分的不同的喷出 区域喷出液滴。因此，能够以块的数量，减少喷出时期的重复，能够抑制 因同时喷出而导致的喷出重量的偏差。结果，能够使每个喷咀的喷出重量 均匀化，进而能够使喷出液滴形成的膜图案的膜厚均匀性提高。
该液滴喷出装置中，所述图案数据是，将相邻喷咀的各个喷咀分割为 不同的所述块，使所述多个喷出区域的各个区域对应所述多个块的任一个 的数据。
根据该液滴喷出装置，相邻喷咀的各个以不同的喷出时期喷出液滴。 因此，能够可靠地回避喷咀间的窜扰。进而，能够使喷出液滴形成的膜图 案的膜厚均匀性提高。
该液滴喷出装置中，接收机构，该接收机构从外部计算机接收绘图数 据；以及展开机构，该展开机构将所述接收机构接收的所述绘图数据展开 为所述图案数据。
根据该液滴喷出装置，展开机构将绘图数据展开为图案数据。因此， 相比于使用其他外部装置生成图案数据的情况，能够提高液滴喷出装置的 使用方便性。
本发明的种电气光学装置，其具有使对基板喷出的液滴干燥而形成的 薄膜，其特征在于，所述薄膜由上述的液滴喷出装置形成。
根据本发明的电气光学装置，能够提高各种薄膜的膜厚均匀性。两耳 能够提高电气光学装置的光学特性。
图1是说明液晶显示装置的立体图。
图2是说明该液晶显示装置的取向膜的立体图。
图3是说明该液晶显示装置的立体图。
图4是说明该液晶显示装置的液滴喷头的立体图。
图5是说明该液晶显示装置的液滴喷头的要部剖面图。
图6是说明该液滴喷出装置的电气结构的电气方框回路图。
图7是说明该液滴喷出装置的点图案数据的图。
图8是说明该液滴喷出装置的点图案数据的图。
图9是说明该液滴喷出装置的头驱动电路的电气结构的电气方框回路图。
图IO是说明变更例的点图案数据的图。 图11是说明变更例的点图案数据的图。 符号说明
COM:驱动波形信号 D:液滴
N:喷咀
Ip:绘案
10:液滴喷出装置
13:作为扫描装置的基板工作台
18:液滴喷头
31:作为接收装置的外部I/F 32:构成展开装置的控制部
33:作为存储装置的RAM
36:构成输出装置的驱动波形生成电路
38:作为传送装置的内部I/F
具体实施例方式
以下，参照附图1 9说明本发明具体化的一实施方式。首先，说明 作为电气光学装置的液晶显示装置1。图1是液晶显示装置整体的立体图， 图2是液晶显示装置所具有的滤色器基板的立体图。
图1中，液晶显示装置1具有背光(back light) 2和液晶面板3。液 晶面板3具有元件基板5和滤色器基板6,该元件基板5和滤色器基板6 通过四边形框状的密封材料7粘合，它们之间的间隙内封入液晶LC。液 晶LC通过调制来自背光2的光而将所需图像显示在滤色器基板6上。
图2中，滤色器基板6的上面(图1的下面与元件基板5相对的侧 面)形成格栅状的遮光层8和通过该遮光层8包围的多个空间(像素9)。 遮光层8由含有铬或碳黑等遮光性材料的树脂形成，遮敝液晶LC透过的 光。各像素9内形成特定波长的光透过的滤色器CF。滤色器CF例如具有 红色的光透过的红色滤色器CFR、绿色的光透过的绿色滤色器CFG、蓝色 的光透过的蓝色滤色器CFB。
在滤色器CF的上侧形成覆盖滤色器基板6的整个面而与液晶LC接 触的取向膜OF。取向膜OF是取向性聚酰胺等取向性高分子构成的薄膜。 取向膜OF实施研磨处理等取向处理，规定与其接触的液晶分子的取向状 态。取向膜OF利用本发明的液滴喷出装置形成。g卩，取向膜OF通过朝 向滤色器基板6的表面喷出取向性高分子分散的取向膜材料(取向膜墨Ik)
的液滴，使喷落的液滴干燥而形成。
在此，形成取向膜OF的喷出面6a的区域作为绘图区域。 接着，说明用于形成上述取向膜OF的液滴喷出装置。图3是液滴喷 出装置的整体立体图。
图3中，液滴喷出装置10具有形成长方形形状的基台11。基台11的 上面形成沿其长度方向(Y方向)延伸的一对的引导槽12，该一对的引导 槽12上安装作为扫描装置的基板工作台13。基板工作台13与设于基台 11上的工作台电机的输出轴连结。基板工作台13以使喷出面6a为上侧的 状态载置滤色器基板6，将该滤色器基板6定位并固定。基板工作台13
当工作台电机正转或逆转时沿引导槽12以规定的扫描速度扫描，使滤色 器基板6沿Y方向扫描。
在基台11的上侧沿与Y方向垂直的X方向架设形成门型的引导部件 14。引导部件14的上侧配设墨罐15。墨罐15储存含有过滤材料的液状体 (取向膜用墨Ik)，以规定的压力导出取向膜用墨Ik。
引导部件14上形成沿X方向延伸的上下一对的引导轨16，上下一对 的引导轨16上安装与设于引导部件14上的滑架电机的输出轴驱动连结的 滑架17。滑架17的下侧搭载在X方向排列的多个液滴喷头18 (以下单称 为喷头18)。滑架17当滑架电机正转或逆转时沿引导轨16扫描，使各喷 头18沿X方向扫描。
图4是从下侧(基板工作台13)观察喷头18的图。图5是图4的A-A 线剖面图。
图4中，在啧头18的上侧(图3的下侧)具有喷咀板19。喷咀板19 的上面(图3的下面)形成与滤色器基板6平行的喷咀形成面19a，该喷 咀形成面19a上沿X方向等间隔排列贯通喷咀形成面19a的法线方向的 180个贯通孔(喷咀N)。喷头18的下侧(图3的上侧)设置头基板20， 该头基板20的一侧端设有输入端子20a。对输入端子20a输入用于驱动喷 头18的各种信号。
在此，最位于X箭头方向的喷咀N作为第1喷咀N (1)，其喷咀序 号为1号。另外，从第l喷咀N(l)向反X箭头方向顺次为第2喷咀N (2)、。。。。。。、第179喷咀N (179)、第180喷咀N (180)，其喷咀序号 分别为2号、。。。。。。、179号、180号。
图5中，各喷咀N的上侧形成分别与墨罐15连通的腔体21。各腔体 21上分别从共用的墨罐15供给取向膜用墨Ik。各腔体21分别储存取向膜 用墨Ik而供给对应的喷咀N。各腔体21的上侧粘贴能够在上下方向振动 的振动板22，使对应的腔体21的容积能够扩大和缩小。振动板22的上侧 分别配设作为促动器的压电元件PZ。各压电元件PZ当分别输入用于驱动 压电元件PZ的信号(驱动波形信号COM)时，在上下方向收縮和伸张而 使对应的振动板22振动。
各腔体21当分别对应的振动板22振动时，使对应的喷咀N的弯月板
在上下方向振动，将具有与驱动波形信号COM对应的重量的取向膜用墨 Ik从对应的喷咀N作为液滴D喷出。喷出的液滴D沿滤色器基板6的大 致法线飞行，喷落在喷出面6a上与喷咀N相对的位置。
接着，参照图6 图9说明上述液滴喷出装置10的电气结构。图6 是表示液滴喷出装置10的电气结构的方框回路图。
图6中，控制装置30是对液滴喷出装置10实行液滴喷出动作的装置。 控制装置30具有作为接收装置的外部I/F31; CPU等构成的作为展开装 置的控制部32; DRAM和SRAM构成的、收纳各种数据的作为存储装置 的RAM33;存储各种控制程序的ROM34。另外，控制装置30具有生 成时钟信号的起振电路35、生成驱动波形信号COM构成输出装置的驱动 波形生成电路36、用于扫描基板工作台13和滑架17的电机驱动电路37、 作为输送各种信号的传送装置的内部I/F38。控制装置30经由外部I/F31 与输入输出装置40连接。另外，控制装置30经由内部I/F38与基板工作 台13和滑架17连接。另外，控制装置30经由内部I/F38与对应于各个喷 头18的多个头驱动电路41连接。
输入输出装置40例如是具有CPU、 RAM、 ROM、硬盘、液晶显示器 等的外部计算机。输入输出装置40根据ROM或硬盘中存储的控制程序而 将用于驱动液滴喷出装置10的各种控制信号或各种数据输出给外部 I/F31 。输入输出装置40例如将用于实行液滴喷出处理的绘图数据Ip输出 给外部I/F31。外部I/F31接收从输入输出装置40输入的各种信号和各种 数据(例如绘图数据Ip)。
绘图数据Ip是指与取向膜OF的形成位置、膜厚相关的信息、与基板 工作台13的扫描速度相关的信息等用于将液滴D喷出到喷出面6a上的各 位置上的各种数据。
图6中，RAM33作为接收缓冲器33a、中间缓冲器33b、输出缓冲器 33c利用。ROM34存储控制部32实行的各种控制程序和用于实行该控制 程序的各种数据。
起振电路35产生使各种数据和各种驱动信号同步的时钟信号。起振 电路35例如生成各种数据串行传送时利用的传送时钟SCLK。起振电路 35生成串行传送的各种数据的并行转换时利用的锁存(，、乂f)信号(图
案数据用锁存信号LAT)。
在此，作为图案数据用锁存信号LAT的每个脉冲规定的状态，即与图 案数据用锁存信号LAT的脉冲数对应的值，称为"状态(7亍一卜)"。
驱动波形生成电路36具有波形存储器36a、锁存电路36b、 D/A转换 器36c、放大器36d。波形存储器36a将用于生成各驱动波形信号COM的 波形数据与规定的地址对应存储。锁存电路36b将控制部32从波形存储 器读取的波形数据以规定的时钟信号锁存。D/A转换器36c将锁存电路36b 锁存的波形数据转换为模拟信号，放大器36d将D/A转换器36c转换的模 拟信号放大而生成驱动波形信号COM。控制部32当输入输出装置40输 入绘图数据Ip时，经由驱动波形生成电路36而读取与绘图数据Ip对应的 波形存储器36a的波形数据。并且，控制部32经由驱动波形生成电路36 按照每个状态生成驱动波形信号COM。
控制部32输出与电机驱动电路37对应的驱动控制信号。电机驱动电 路37应答来自控制部32的驱动控制信号，经由内部I/F38而扫描基板工 作台13、滑架17。
控制部32将外部I/F31接收的绘图数据Ip暂时存储在接收缓冲器33a 中。控制部32将绘图数据Ip转换为中间编码，作为中间编码数据存储在 中间缓冲器33b中。控制部32从中间缓冲器33b读取中间编码数据，展 开为点图案数据，将该点图案数据存储在输出缓冲器33c中。
点图案数据是二维绘图平面(喷出面6a)的各位置(点图案格栅的各 格栅)分别对应是否喷出液滴D (喷出/非喷出)的数据。点图案数据是用 于使点图案格栅的各格栅分别对应1位的值("0"或"1")的数据。点图 案格栅是沿喷出面6a的扫描方向(Y方向)按每个状态划分的格栅。另 外，点图案格栅是沿喷出面6a的X方向以喷咀N的形成节距划分的格栅。 另外，本发明的各喷出区域分别通过在X方向连续的多个格栅形成。
点图案数据根据图7所示的真值表生成。即，状态为3m+1的格栅中， 将与第3n+l号的喷咀N (块)对应的格栅规定"1"，与第3n+2号、第 3n+3号的喷咀N对应的各格栅分别规定"0"。例如，图8所示，状态为 "1"、 "4"、。。。。。。、 "3m+l"的格栅中，仅与第1喷咀N (1)、第4喷咀 N (4)、第3n+l喷咀N (3n+l)对应的各格栅对应液滴D的喷出动作
(图8中的涂黑区域)。
另外，状态为3m+2的格栅中，将与第3n+2号的喷咀N (块)对应 的格栅规定"l"，与第3n+l号、第3n+3号的喷咀N对应的各格栅分别 规定"0"。例如，图8所示，状态为"2"、 "5"、。。。。。。、 "3m+2"的格栅 中，仅与第2喷咀N (2)、第5喷咀N (5)、第3n+2喷咀N (3n+2) 对应的各格栅对应液滴D的喷出动作。
另夕卜，状态为3m+3的格栅中，将与第3n+3号的喷咀N (块)对应 的格栅规定"l"，与第3n+l号、第3n+2号的喷咀N对应的各格栅分别 规定"0"。例如，图8所示，状态为"3"、 "6"、。。。。。。、 "3m+3"的格栅 中，仅与第3喷咀N (3)、第6喷咀N (6)、第3n+3喷咀N (3n+3) 对应的各格栅对应液滴D的喷出动作。
图6中，控制部32展开与基板工作台13的一个扫描量相当的点图案 数据，则利用该点图案数据生成与传送时钟SCLK同步的串行数据，经由 内部I/F38将该串行数据串行传送给头驱动电路41。控制部32将一个扫 描量的点图案数据串行传送，则消去中间缓冲器33b的内容，对接下来的 中间编码数据进行展开处理。
在此，利用点图案数据生成的串行数据被称为作为分割数据的串行图 案数据SI。串行图案数据SI由使180个喷咀N的各个对应1位的值的180 位的数据(一个状态量的数据)构成。
图9中，头驱动电路4具有变换电阻器41A、锁存器41B、电平变换 器41C、模拟开关41D。
变换电阻器41A当串行图案数据SI被串行传送时，通过传送时钟 SCLK顺次变换串行图案数据SI ，存储180位的串行图案数据。锁存器41B 当图案数据用锁存信号LAT被输入时，锁存变换电阻器41A的数据(串 行图案数据SI)并将其串行/并行变换，生成并行图案数据PI。
电平变换器41C读取锁存器41B的数据(并行图案数据PI)，将并行 图案数据PI升压为模拟开关元件的驱动电压电平，输出与180个压电元 件PZ对应的开闭信号。
模拟开关41D具有与各压电元件PZ对应的180个开关元件。各开关 元件分别通过电平变换器41C输出的各开闭信号进行开闭。各开关元件的
输入端分别输入驱动波形信号COM，各开关元件的输出端分别连接对应 的压电元件PZ。各开关元件分别当电平变换器41C输出"H"电平的开闭 信号时，对对应的压电元件PZ输出驱动波形信号COM。
由此，180个各喷咀N (压电元件PZ)当分别通过串行图案数据SI 而选择液滴D的喷出动作时，接收经由模拟开关41D的驱动波形信号COM 而实行液滴D的喷出动作。g卩，各喷咀N对每个状态，按照喷咀序号第 3n+l号的块、喷咀序号第3n+2号的块、喷咀序号第3n+3号的块的顺 序反复进行液滴D的喷出动作。
接着，说明利用液滴喷出装置10的取向膜OF的制造方法。 首先，如图3所示，滤色器基板6使其喷出面6a为上侧而载置在基 板工作台13上。这时，基板工作台13将滤色器基板6配置在滑架17的 反Y箭头方向上。该状态下，输入输出装置40将绘图数据Ip输入到控制 装置30。
控制装置30配置滑架17，使得当经由电机驱动电路37而使滑架17 扫描，滤色器基板6在Y箭头方向被扫描时，各喷头18在滤色器基板6 上通过。控制装置30配置滑架17后则经由电机驱动电路37开始基板工 作台13的扫描。
控制装置30将从输入输出装置40输入的绘图数据Ip展开为点图案数 据。此时，控制装置30根据图7所示的真值表生成点图案数据。g卩，控 制装置30相对于状态为3m+l的各格栅，分别对与第3n+l号的喷咀(块) 对应的格栅规定"1"，对此外的格栅规定"0"。另外，控制装置30相对 于状态为3m+2的各格栅，分别对与第3n+2号的喷咀(块)对应的格栅 规定"1"，对此外的格栅规定"0"。另外，控制装置30相对于状态为3m +3的各格栅，分别对与第3n+3号的喷咀(块)对应的格栅规定"1"， 对此外的格栅规定"0"。
控制装置30当将与基板工作台13的1扫描量相当的点图案数据展开 时，则用点图案数据生成串行图案数据SI，使串行图案数据SI与传送时 钟SCLK同步而顺次串行传送给头驱动电路41。
控制装置30当基板工作台13到达规定的绘图开始位置时，则开始图 案数据用锁存信号LAT的输出，状态从"0"开始按照"1"、 "2"、 "3"、
"4"、。。。。。。的顺序切换。另外，控制装置30经由驱动波形生成电路36 生成与图案数据用锁存信号LAT同步的驱动波形信号COM，按照每个状 态输出驱动波形信号COM。
控制装置30经由头驱动电路41将对每个状态传送的串行图案数据SI 进行串行/并行转换，生成用于开闭各开关元件的开闭信号。并且，控制装 置30经由头驱动电路41，当状态为3m+l时驱动第3n+l号的块而喷出 液滴D，状态替换为3m+2时，则驱动第3n+2号的块而喷出液滴D。另 外，控制装置30经由头驱动电路41当状态为3m+3时，则驱动第3n+3 号的块而喷出液滴D。
接着，下面说明如上所述构成的本实施方式的效果。
(1) 根据上述实施方式，控制部32将输入输出装置40输入的绘图 图案Ip展开为点图案数据。这时，控制部32规定沿喷出面6a的扫描方向 按每个状态划分的点图案格栅，使点图案格栅的各格栅对应喷出/非喷出。 并且，控制部32根据图7所示的真值表，相对于状态为3m+l的各格栅， 对分别与3n+l号的喷咀(块)对应的格栅规定"l"，此外的格栅规定"0"。 另外，控制部32相对于状态为3m+2的各格栅，对分别与3n+2号的喷 咀(块)对应的格栅规定"1"，此外的格栅规定"0"。另外，控制部32 相对于状态为3m+3的各格栅，对分别与3n+3号的喷咀(块)对应的格 栅规定"1"，此外的格栅规定"0"。
因此，各块由分别不同的状态驱动，对沿扫描方向划分的不同的喷出 区域喷出液滴D。结果，能够以与块的数量相应的量，对各喷咀N降低其 喷出时期(timing)的重复。即，能够抑制喷出时期的重复引起的喷出重 量的偏差。由此，能够使每个喷咀N的喷出重量均匀，并且能够提高由液 滴D构成的取向膜OF的膜厚均匀性。
(2) 相邻的3个喷咀N的各个分割为不同的块。因此，能够进一步 可靠地回避喷咀N间的窜扰。
(3) 而且，控制部32将绘图数据Ip展开为点图案数据。因此，相比 于利用其他外部装置形成点图案数据的情况，能够提高液滴喷出装置10 的便利性。
另外，上述实施方式也可以如下变更。
上述实施方式中，相邻的3个喷咀N的各个分割为不同的3个块。 但是不限定于此，例如也可以是相邻两个喷咀N的各个分割为不同的2个 块的结构。即，如图10所示，也可以是相对于状态为2m+l的各格栅， 分别对与第2n+l号的喷咀(块)对应的格栅规定"1"，此外的格栅规定 "0"，相对于状态为2m+2的各格栅，分别对与第2n+2号的喷咀(块) 对应的格栅规定"1"，此外的格栅规定"0"的结构。
或者，也可以是相邻的4个喷咀N的各个分割为不同的4个块。艮P， 如图11所示，也可以是相对于状态为4m+l的各格栅，分别对与第4n十 1号的喷咀(块)对应的格栅规定"1"，此外的格栅规定"0",另外，相 对于状态为4m+2的各格栅，分别对与第4n+2号的喷咀(块)对应的格 栅规定"1"，此外的格栅规定"O"，另外，相对于状态为4m+3的各格栅， 分别对与第4n+3号的喷咀(块)对应的格栅规定"1"，此外的格栅规定 "0"，另外，相对于状态为4m+4的各格栅，分别对与第4n+4号的喷咀 (块)对应的格栅规定"1"，此外的格栅规定"0"的结构。
，上述实施方式中，将促动器具体化为压电元件PZ。但是不限定于 此，例如也可以将促动器具体化为电阻加热元件，只要是能够接收规定的 驱动波形信号COM而喷出液滴D即可。
上述实施方式中，形成各喷头18仅具有一排的180个喷咀N的结 构。但是不限定于此，例如，也可以是形成各喷头18仅具有两排以上的 180个喷咀N的结构，进而，排内的喷咀数也可以是比180个多的数量。
*上述实施方式中，将电气光学装置具体化为液晶显示装置1，形成 通过液滴D制造取向膜OF的结构。但是不限定于此，例如也可以是通过 液滴d制造液晶显示装置1的滤色器CF的结构。或者，电气光学装置也 可以具体化为电致发光显示装置，喷出包含发光元件形成材料的液滴D而 制造发光元件的结构。
权利要求
1.一种液滴喷出装置，其特征在于，具有液滴喷头，该液滴喷头具有在规定方向上排列的喷出液滴的多个喷咀；扫描机构，该扫描机构使所述液滴喷头和基板在扫描方向上相对移动；存储机构，该存储机构将所述基板的绘图区域沿所述基板的扫描方向按照所述液滴的每个喷出频率划分为多个喷出区域，存储使所述多个喷出区域的各个区域对应从所述多个喷咀中选择的驱动喷咀的图案数据；传送机构，该传送机构将所述存储机构存储的所述图案数据分割为多个分割数据，并顺次传送给所述液滴喷头；以及输出机构，该输出机构对由所述分割数据选择的所述驱动喷咀输出用于喷出液滴的驱动波形信号，其中，所述图案数据是，将所述多个喷咀分割为多个块，使所述多个喷出区域的各个区域对应所述多个块的任一个的数据。
2、 如权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于， 所述图案数据是，将相邻喷咀的各个喷咀分割为不同的所述块，使所述多个喷出区域的各个区域对应所述多个块的任一个的数据。
3、 如权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于，具有 接收机构，该接收机构从外部计算机接收绘图数据；以及 展开机构，该展开机构将所述接收机构接收的所述绘图数据展开为所述图案数据。
4、 一种电气光学装置，其具有使对基板喷出的液滴干燥而形成的薄 膜，其特征在于，所述薄膜由权利要求1 3任一项所述的液滴喷出装置形成。
全文摘要
本发明提供一种提高喷出液滴形成的膜图案的膜厚均匀性的液滴喷出装置以及电气光学装置。控制部规定沿喷出面的扫描方向按每个工作台划分的点图案格栅，使点图案格栅的各格栅对应喷出/非喷出。并且，控制部，相对于状态为3m+1的各格栅，分别对与第3n+1号的喷咀(块)对应的格栅规定“1”，对此外的格栅规定“0”。另外，控制装置30相对于状态为3m+2的各格栅，分别对与第3n+2号的喷咀(块)对应的格栅规定“1”，对此外的格栅规定“0”。另外，控制装置30相对于状态为3m+3的各格栅，分别对与第3n+3号的喷咀(块)对应的格栅规定“1”，对此外的格栅规定“0”。
文档编号B41J2/04GK101190601SQ20071019
公开日2008年6月4日 申请日期2007年11月30日 优先权日2006年12月1日
发明者石田纮平 申请人:精工爱普生株式会社