压电装置、液体喷出头以及液体喷出装置的制作方法

文档序号:12560394阅读:来源:国知局
技术总结
本发明提供一种能够缓和能动部的端部处的应力的压电装置、液体喷出头以及液体喷出装置。通过对作为空室的压力室(22)进行划分的压力室形成基板(20)、和被接合于该压力室形成基板上的连通基板(14)而构成了空室部件。以在压力室形成基板的一个面上在与压力室之间夹着可挠面(21)的方式而设置有压电元件(26)。通过利用连通基板(14)来封堵压力室形成基板的凹部(34)从而划分形成空部(35)。该空部(35)被形成于,在俯视观察时与压电元件的能动部的两端(E)重叠的位置处。

技术研发人员:高部本规;矢崎士郎;福泽祐马;平井荣树
受保护的技术使用者:精工爱普生株式会社
文档号码:201610494817
技术研发日:2016.06.28
技术公布日:2017.01.11

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