印刷用掩膜以及使用该掩膜的印刷方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种在被印刷物印刷图案的掩膜以及使用该掩膜的印刷方法，详细而言，涉及一种通过形成掩膜基材与保持部件的层叠构造，来抑制图案的错位、变形的印刷用掩膜以及使用该掩膜的印刷方法。
【背景技术】
[0002]以往的印刷用丝网掩模成为例如在铺丝于网板版框的网板筛网上形成抗蚀剂图案的结构。网板筛网的材料能够使用丝、尼龙、聚酯等树脂纤维、不锈钢筛网等。抗蚀剂图案在网板筛网涂覆感光乳剂并使之干燥而形成感光膜后，使光掩模密接于该感光膜，并进行曝光、显影而形成。
[0003]在印刷时，使拉伸设置于网板版框的丝网掩模在印刷面上分离微小的距离来设置，向该丝网掩模上供给墨水(或是浆)。然后，边通过刮板的压力将丝网掩模按压于印刷面，边从丝网掩模的开口部将墨水推出到印刷面上，从而将图案转印到印刷面上(例如，参照专利文献1)。
[0004]专利文献1:日本特开平9-216330号公报
[0005]然而，在上述以往的印刷用掩膜以及印刷方法中，存在因通过刮板延展墨水时所施加的压力，使抗蚀剂图案偏移、变形而影响图案精度的问题。特别是，细长的直线状的配线以窄间距配置的图案等中，抗蚀剂图案容易在与配线的延设方向正交的横向偏移、变形，从而图案精度的降低变得显著。
【发明内容】
[0006]因此，为应对这样的问题点，本发明所要解决的课题在于提供一种通过形成掩膜基材与保持部件的层叠构造，来抑制图案的错位、变形的印刷用掩膜以及使用该掩膜的印刷方法。
[0007]为了解决上述课题，本发明的印刷用掩膜的特征在于，具备:掩膜基材，其具有形成于印刷面侧并与待印刷的图案相对应的印刷槽图案、与贯通于该印刷槽图案的底面且内径小于其底面宽度的贯通孔；以及保持部件，其层叠于上述掩膜基材并具有经由上述掩膜基材的贯通孔而与上述印刷槽图案内连通以填充转印材料的开口图案，上述印刷槽图案在上述贯通孔以外的周边区域连接。
[0008]另外，上述贯通孔也可以在上述印刷槽图案的底面设置有多个。
[0009]另外，上述掩膜基材也可以由树脂膜构成，上述保持部件由片状且上述开口图案在长边方向以及短边方向的至少一方以规定间距形成的磁性金属材料构成。
[0010]再者，也可以还具备制版框，其包围上述掩膜基材与上述保持部件的周围而拉伸设置上述掩膜基材与上述保持部件。
[0011]为了解决上述课题，本发明的印刷方法使用印刷用掩膜来进行印刷，上述印刷用掩膜具备:掩膜基材，其具有形成于印刷面侧并与待印刷的图案相对应的印刷槽图案、与贯通于该印刷槽图案的底面且内径小于其底面宽度的贯通孔；以及保持部件，其层叠于上述掩膜基材并具有经由上述掩膜基材的贯通孔而与上述印刷槽图案内连通以填充转印材料的开口图案，上述印刷槽图案在上述贯通孔以外的周边区域连接，上述印刷方法包括:在被印刷物的印刷面上配置并固定上述印刷用掩膜的印刷面的工序、在上述保持部件涂覆转印材料并从上述保持部件的开口图案经由上述掩膜基材的贯通孔向上述印刷槽图案内填充转印材料的工序、使上述掩膜基材的印刷槽图案内的转印材料覆盖于上述被印刷物而转印图案的工序、以及将上述印刷用掩膜从上述被印刷物剥离的工序。
[0012]另外，上述保持部件也可以由片状的磁性金属材料构成，配置并固定上述印刷用掩膜的印刷面的工序从与上述被印刷物的印刷面相反的一侧由磁力吸引并固定。
[0013]另外，上述转印材料也可以包括光致抗蚀剂，在上述被印刷物印刷形成光致抗蚀剂的图案。
[0014]根据本发明的印刷用掩膜，形成具有印刷槽图案以及贯通孔的掩膜基材与具有开口图案的保持部件的层叠构造，上述印刷槽图案在贯通孔以外的周边区域连接，从而能够抑制形成于掩膜基材的印刷槽图案的错位、变形。
[0015]另外，根据本发明的印刷方法，在涂覆、填充转印材料的工序中，印刷槽图案在贯通孔以外的周边区域连接，从而能够抑制因通过刮板延展转印材料时所施加的压力，使形成于掩膜基材的印刷槽图案错位、变形。因此，即使是细微接近的图案，也能够减少印刷后的图案的错位、变形，而进行图案精度较高的印刷。
【附图说明】
[0016]图1是表示本发明的印刷用掩膜的实施方式的简要结构的立体图。
[0017]图2A放大显示图1所示的印刷用掩膜的一部分的区域，是一部分区域的俯视图。
[0018]图2B放大显示图1所示的印刷用掩膜的一部分的区域，是沿着图2A的Χ1-ΧΓ线的剖视图。
[0019]图2C放大显示图1所示的印刷用掩膜的一部分的区域，是沿着图2A的X2-X2’线的剖视图。
[0020]图3A表示使用本发明的印刷用掩膜的印刷方法，是表示墨水的涂覆工序的立体图。
[0021]图3B表示使用本发明的印刷用掩膜的印刷方法，是沿着图3A的Y-Y’线的放大剖视图。
[0022]图4A表示使用本发明的印刷用掩膜的印刷方法，是表示将印刷用掩膜从被印刷物剥离的工序的立体图。
[0023]图4B表示使用本发明的印刷用掩膜的印刷方法，是沿着图4A的Ζ1-ΖΓ线的印刷用掩膜的放大剖视图。
[0024]图4C表示使用本发明的印刷用掩膜的印刷方法，是沿着图4A的Z2-Z2’线的被印刷物的放大剖视图。
[0025]图5是表示保持部件的开口图案的其他构成例的俯视图。
【具体实施方式】
[0026]以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。
[0027]图1是表示本发明的印刷用掩膜的实施方式的图。该印刷用掩膜在印刷面转印并印刷作为转印材料的墨水(或者浆、光致抗蚀剂等)的图案，构成为具备复合掩膜1与金属框(制版框)2。复合掩膜1拉伸设置于方形的金属框2的内侧，以施加张力的状态被保持。
[0028]在图2A、图2B以及图2C中，上述复合掩膜1如放大表示由图1的点划线包围的区域100那样，成为层叠了作为掩膜基材的树脂膜4与保持部件3的复合构造。在树脂膜4的印刷面(下表面)侧形成有与待印刷的图案相对应的印刷槽图案4a。另外，在印刷槽图案4a的底面形成有贯通孔4b。该树脂膜4的厚度例如为12μπι?24μπι左右。另外，在本例子中，多个直线状的印刷槽图案4a邻接配置。
[0029]在上述树脂膜4的印刷面的上表面侧设置有由片状的磁性金属材料构成的保持部件3，其具有在短边方向以恒定间距配置的狭缝状的开口图案3a。该保持部件3在印刷时用于通过磁力保持并固定复合掩膜1，能够通过磁力保持的厚度例如为30μπι左右。保持部件3的开口图案3a经由贯通孔4b与印刷槽图案4a连通。该贯通孔4b的内径小于印刷槽图案4a的底面宽度以及开口图案3a的内径，开口图案3a与印刷槽图案4a之间经由一个或者多个贯通孔4b连通。
[0030]这里，如图2C所示，在本发明中，上述复合掩膜1在与图2B不同的区域中，在印刷槽图案4a的底面的贯通孔4b以外的周边区域(邻接的贯通孔4b之间的区域)4c连接。
[0031]g卩，掩膜基材4的贯通孔4b使开口图案3a与印刷槽图案4a连通，从而供涂覆于保持部件3的墨水从开口图案3a经由贯通孔4b填充于印刷槽图案4a内的方式发挥作用。另外，通过贯通孔4b以外的周边区域4c连接，以抑制邻接的印刷槽图案4a的偏移、变形的方式发挥作用。
[0032]根据上述结构的印刷用掩膜，由于邻接的印刷槽图案4a在印刷槽图案4a的底面的贯通孔4b以外的周边区域4c连接，因此能够抑制印刷槽图案4a的错位、变形。例如，即使是直线状的较长的配线等