专利名称：印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法
技术领域：
本发明涉及液晶显示(LCD)装置，更具体地说，涉及一种用于作为LCD装置的构图方法之一的印刷方法的抗蚀剂。
背景技术：
在包括厚度为几个厘米(cm)的显示屏在内的各种超薄平面型显示装置之中，LCD装置以其功耗低且便于携带的有利性质而广泛用于笔记本计算机、监视器和航空器。
LCD装置由下基板和上基板以及形成在该下基板和该上基板之间的液晶层构成。
下基板包括相互交叉以限定单位像素区的选通线和数据线；作为形成在选通线与数据线的交叉附近的开关元件的薄膜晶体管；以及与该薄膜晶体管电连接的像素电极。
上基板包括用于防止选通线、数据线和薄膜晶体管中漏光的黑底层；形成在该黑底层上的滤色器层；以及形成在该滤色器层上的公共电极。
LCD装置由通过重复执行处理而形成的各种元件构成。特别的是，为了构图出LCD装置的形状不同的各种元件，必须使用光刻法。
图1A至图1D是概略地例示现有光刻技术的剖面图。
首先，如图1A所示，在第一基板10上依次形成图案材料层20和光刻胶层30。
然后，在光刻胶层30上方放置具有预定图案的掩模，并通过光辐射向该掩模施加光，如图1B所示。
其后，如图1C所示，通过显影和刻蚀对图案材料层20和光刻胶层30进行构图。
如图1D所示，通过光刻胶剥离器去除光刻胶层30，由此完成图案。
该光刻法使用具有预定图案的掩模，因而增加了制造成本。并且，由于显影而增加了制造时间并使工艺复杂化。
为了解决光刻法的这些问题，提出了一种新的使用印刷辊的构图方法。
图2A至图2D是概略地例示根据现有技术的使用印刷辊的构图方法的剖面图。
首先，如图2A所示，通过印刷喷嘴50向具有覆盖层(blanket)65的印刷辊60提供光刻胶30，其中，覆盖层65粘附于印刷辊60的表面。即，用光刻胶30涂覆印刷辊60。
覆盖层65由具有弹性的树脂形成。当将印刷辊60的光刻胶30转印在印刷板70上时，由于覆盖层65具有弹性，因而减小了印刷辊60与印刷板70之间的摩擦力。
其后，如图2B所示，在设置有多个突起的印刷板70上滚动印刷辊60。因此，一些光刻胶30被转印在印刷板70的突起上，而剩余的光刻胶30在印刷辊60上形成预定图案。
如图2C所示，在包括有图案材料层20的基板10上滚动印刷辊60。因此，光刻胶30被转印在包括有图案材料层20的基板10上。
其后，如图2D所示，在使用光刻胶30作为掩模的状态下对图案材料层20进行刻蚀。然后，使用光刻胶剥离器去除光刻胶层30，由此完成图案。
光刻胶30不仅可用于光刻，而且可在使用印刷辊60的构图方法中用作对图案材料20进行刻蚀的掩模。
光刻胶由于其性质会通过光而改变，因而适于光刻。如果在使用印刷辊而不进行曝光的构图方法中使用光刻胶，则可能出现缺陷图案，使得不可能获得期望图案。
因此，需要一种新的可以在使用印刷辊的构图方法中替代光刻胶的抗蚀剂。
发明内容
因此，本发明旨在提供一种印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法，其基本上消除了由于现有技术的局限和缺点而导致的一个或更多个问题。
本发明的一个目的是提供一种印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法，其中，所述抗蚀剂被精确地转印到印刷板和基板上，由此实现了精确的抗蚀剂图案。
本发明的其他优点、目的以及特征的一部分将在随后的说明中得以阐述，而一部分在由本领域普通技术人员研究了下面的内容后会变得清楚，或者可以通过实施本发明而获知。本发明的上述目的和其他优点可以由在说明书及其权利要求书以及附图中具体指出的结构而实现并获得。
为了实现这些目的和其他优点，并且根据本文中所具体体现和广泛描述的发明宗旨，提供了一种印刷用抗蚀剂，该抗蚀剂被涂覆在印刷辊上并随后被依次转印到印刷板和基板上，其中，所述抗蚀剂与所述印刷板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的覆盖层之间的内聚能，并且所述抗蚀剂与所述基板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的内聚能。
所述内聚能是指在将形成在分界面处的两种材料分离时单位面积所需的能量。两种材料之间具有大的内聚能意味着这两种材料之间的粘合强度良好。
根据所述印刷板与所述抗蚀剂之间的内聚能以及所述基板与所述抗蚀剂之间的内聚能都大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的内聚能，因而所述印刷板与所述抗蚀剂之间的粘合强度以及所述基板与所述抗蚀剂之间的粘合强度都高于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的粘合强度。因此，易于将所述抗蚀剂与所述覆盖层分离，然后将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板和所述基板上。
除了通过控制上述内聚能之外，还存在通过控制抗蚀剂的断裂能、抗蚀剂的表面能以及与所述抗蚀剂混合的溶剂的溶解参数和偶极矩而将抗蚀剂从覆盖层转印到印刷板和基板上的方法。将如下说明这些方法。
所述断裂能是指在使材料断裂时单位面积所需的能量。材料层具有的断裂能大意味着难以将其断裂。
将覆盖层的抗蚀剂精确地转印在印刷板上取决于抗蚀剂在被转印在印刷板上的相应部分上被断裂得如何。本发明提供了一种精确地断裂抗蚀剂的被转印在印刷板上的预定部分的方法。
优选的是，用于所述印刷板和所述覆盖层的抗蚀剂的总内聚能大于对涂覆在所述覆盖层上的所述抗蚀剂进行断裂所需的总断裂能。因此，将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板上。
接下来，将如下说明通过使用抗蚀剂的表面能将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板和所述基板上的方法。
所述表面能是指要形成固体与气体或液体与气体之间的分界面单位面积所需的能量。如果预定材料具有小的表面能，则意味着该预定材料和空气形成分界面，使得该预定材料不粘附于其他材料。同时，如果预定材料具有大的表面能，则该预定材料粘附于其他材料。
优选的是，所述抗蚀剂的表面能大于所述覆盖层的表面能，而小于所述印刷板和所述基板的表面能。因此，易于将所述抗蚀剂与表面能小于所述抗蚀剂的表面能的所述覆盖层相分离，并将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板上。
接下来，将如下说明通过使用溶剂的溶解参数和偶极矩将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板和所述基板上的方法。
当将所述抗蚀剂涂覆在所述覆盖层上时，所述抗蚀剂与所述溶剂混合。为了防止所述覆盖层由于所述溶剂而导致变形，所述溶剂的溶解参数与所述覆盖层的溶解参数不同。
如果两种材料具有相似的溶解参数，则它们认为它们本身是相同的材料。即，这两种材料很好地混合。为了防止所述覆盖层由于所述溶剂的渗透而导致变形，所述溶剂的溶解参数与所述覆盖层的溶解参数不同。
考虑到用于所述覆盖层的PDMS的溶解参数为7.3[cal1/2cm-3/2]，当所述溶剂的溶解参数小于6[cal1/2cm-3/2]或大于11[cal1/2cm-3/2]时，所述覆盖层的变形最小。
为了防止所述覆盖层由于所述溶剂的渗透而导致变形，优选的是，所述溶剂的偶极矩与所述覆盖层的偶极矩不同。此时，通过将偶极子的距离与偶极子的强度乘在一起来测量偶极矩。如果预定材料具有大的偶极矩，则意味着该预定材料具有很大的极性。
用于所述覆盖层的PDMS具有极性项。如果使用偶极矩大于2[D]的溶剂，则可以防止所述溶剂渗透到所述覆盖层中，由此防止覆盖层发生变形。
另一方面，提供了一种构图方法，该构图方法包括以下步骤在基板上形成图案材料层；在粘附有覆盖层的印刷辊上涂覆印刷用抗蚀剂；通过在印刷板上滚动所述印刷辊，将所述抗蚀剂中的一些转印在所述印刷板上；通过在包括有所述图案材料层的所述基板上滚动所述印刷辊，将所述印刷辊的剩余的抗蚀剂转印在所述基板上；对所述图案材料层进行刻蚀；并且从所述基板去除所述印刷用抗蚀剂。
应当理解，上文对本发明的概述与下文对本发明的详述都是示例性和解释性的，旨在提供对如权利要求所述发明的进一步解释。
附图被包括进来以提供对本发明的进一步理解，并且被并入且构成本申请的一部分，附图例示了本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理。附图中图1A至图1D是概略地例示根据现有技术的光刻法的剖面图；图2A至图2D是概略地例示根据现有技术的使用印刷辊的构图方法的剖面图；图3是例示根据本发明优选实施例的将抗蚀剂转印在印刷板上的处理的剖面图；图4是例示图3中的“A”部分的放大图；图5是概略地例示断裂能关于聚合物的分子量的曲线图；以及图6是概略地例示覆盖层的变形强度关于各种溶剂的溶解参数的曲线图。
具体实施例方式
下面将详细说明本发明的优选实施例，在附图中示出了其示例。只要可能，就在全部附图中使用相同的标号表示相同或相似的部分。
下文中，将参照
根据本发明的印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法。
图3是例示根据本发明优选实施例的将抗蚀剂转印在印刷板上的处理的剖面图。图4是例示图3中的“A”部分的放大图。
在该情况下，基板(未示出)由与印刷板700相同的材料形成，故基板和印刷用抗蚀剂之间的关系与印刷用抗蚀剂和印刷板700之间的关系相同，因此不再另加说明。
如下式1所示，在本发明的优选实施例中，印刷用抗蚀剂300的表面能(γR)大于形成在印刷辊600的表面上的覆盖层650的表面能(γB)，并小于印刷板700的表面能(γC)。
γB＜γR＜γC覆盖层650由Si基弹性体(例如，PDMS(聚二甲硅氧烷))形成，覆盖层650的表面能(γB)约为20[mJ/m2]。并且，印刷板700由玻璃或树脂形成，印刷板700的表面能(γC)约为50[mJ/m2]以上。例如，如果使用玻璃的印刷板700，则印刷板700的表面能(γC)约为100[mJ/m2]。
因此，抗蚀剂300的表面能(γR)大于覆盖层650的表面能(γB)，并且抗蚀剂300的表面能(γR)小于印刷板700的表面能(γC)，50[mJ/m2]。优选的是，当抗蚀剂300的表面能(γR)为25[mJ/m2]至40[mJ/m2]时，易于将抗蚀剂300与覆盖层650相分离，然后将抗蚀剂300精确地转印在印刷板700上。
当将抗蚀剂300涂覆在覆盖层650上时，抗蚀剂300与溶剂混合。在该情况下，由于抗蚀剂300与溶剂的混合物的表面能类似于或略小于20[mJ/m2](对应于覆盖层650的表面能)，因此易于将抗蚀剂300与溶剂的混合物涂覆在表面能相对大的覆盖层650上。
该混合物一被涂覆在覆盖层650上，该混合物的溶剂就被汽化。在将抗蚀剂300转印在印刷板700上时，在印刷板700上不会留下任何溶剂。结果，易于将抗蚀剂300与覆盖层650分离。
如下式2所示，优选的是，抗蚀剂300与印刷板700之间的内聚能(WRC)大于该抗蚀剂与形成在印刷辊600的表面上的覆盖层650之间的内X聚能(WRB)。
WRB＜WRC可以将“WRB”和“WRC”表示为下式3。
WRB＝γR+γB-γRBWRC＝γR+γC-γRC在上式中，“γR”表示抗蚀剂300的表面能，“γB”表示覆盖层650的表面能，“γC”表示印刷板700的表面能。并且，“γRB”表示抗蚀剂300与覆盖层650之间的分界面的表面能，“γRC”表示覆盖层650与印刷板700之间的分界面的表面能。
为了测量对形成在分界面处的两种材料进行分离所需的内聚能，将第一材料的表面能加到第二材料的表面能上，然后从通过将第一材料的表面能与第二材料的表面能进行相加所获得的加法结果中减去这两种材料之间的分界面的表面能。
然而，难以测量两种材料之间的分界面的表面能(γRB、γRC)。因此，内聚能是通过使用抗蚀剂300、覆盖层650和印刷板700的表面能(γR、γB、γC)的极性项和色散项来测量的。
下式4表示在第一材料具有低的表面能而第二材料具有高的表面能时，第一材料与第二材料之间的分界面的内聚能。下式5表示在第一材料和第二材料都具有低的表面能时，第一材料与第二材料之间的分界面的内聚能。
WRB＝2(γRdγBd)1/2+2(γRpγBp)1/2WRC＝2(γRdγCd)1/2+2(γRpγCp)1/2[式5]WRB＝[4(γRdγBd)/(γRd+γBd)]+[4(γRpγBp)/(γRp+γBp)]WRC＝[4(γRdγCd)/(γRd+γCd)]+[4(γRpγCp)/(γRp+γCp)]在上式4和5中，“d”表示色散项，“p”表示极性项。
下表1示出了覆盖层650、抗蚀剂300和印刷板700的实际测量结果γd和γp，以便根据上式4和5测量内聚能。
在上表1中，覆盖层650使用PDMS，印刷板700由玻璃形成。并且，本发明的抗蚀剂300由可溶酚醛清漆树脂形成。
通过将上述数据应用到式4和5，可以测量抗蚀剂300与覆盖层650之间的内聚能以及抗蚀剂300与印刷板700之间的内聚能。抗蚀剂300与覆盖层650之间的内聚能(WRB)(即，可溶酚醛清漆树脂与PDMS之间的内聚能)通过式5测量，这是由于可溶酚醛清漆树脂和PDMS具有低的表面能。将表1中所示的覆盖层650和抗蚀剂300的γd和γp的值应用于式5，得到WRB55.6[mJ/m2]。
同时，由于玻璃具有高的表面能，因此抗蚀剂300与印刷板700之间的内聚能(WRC)(即，可溶酚醛清漆树脂与玻璃之间的内聚能)通过式4测量。将表1中所示的抗蚀剂300和印刷板700的γd、γp的值应用于式4，得到WRC113.1[mJ/m2]。
如果在WRB和WRC之间进行比较，则得到WRB＜WRC。抗蚀剂300与印刷板700之间的内聚能(WRC)大于抗蚀剂300与覆盖层650之间的内聚能(WRB)。因此，易于将抗蚀剂300与覆盖层650相分离，并将抗蚀剂300精确地转印在印刷板700上。
并且，从抗蚀剂300与印刷板700之间的内聚能中减去抗蚀剂300与覆盖层650之间的内聚能，然后乘以形成在印刷板700上的突起的距离(d)，由此获得第一值。然后，将抗蚀剂300的断裂能(G)乘以涂覆在覆盖层650上的抗蚀剂300的厚度(h)，由此获得第二值。此时，第一值大于第二值。
为了将抗蚀剂300精确地转印在印刷板700上，需要考虑抗蚀剂300被断裂得如何并还要考虑内聚能。
抗蚀剂300的总内聚能由抗蚀剂300与印刷板700之间的内聚能(WRC)、抗蚀剂300与覆盖层650之间的内聚能(WRB)以及印刷板700的突起与抗蚀剂300之间的接触面积(S1)来确定。此时，由于“WRC”与“WRB”相反，因此抗蚀剂300的总内聚能对应于(WRC-WRB)S1。
并且，抗蚀剂300的总断裂能是根据抗蚀剂300的断裂能(G)和抗蚀剂300的横截面积(S2)而确定的。抗蚀剂300的断裂能(G)表示在断裂相同材料时单位面积所需的能量，其中，抗蚀剂300的总断裂能对应于GS2。
如下式6所示，当抗蚀剂300的总内聚能大于抗蚀剂300的总断裂能时，抗蚀剂300被精确地转印在印刷板700上。
GS2＜(WRC-WRB)S1在该情况下，“S1”对应于印刷板700的突起与抗蚀剂300之间的接触面积，其中，“S1”通过将印刷板700的突起的距离(d)与印刷板700的宽度(1)乘在一起来测量。并且，“S2”对应于被转印在印刷板700的突起上的抗蚀剂300的横截面积，其中，“S2”通过将印刷板700的宽度(l)与抗蚀剂300的厚度(h)乘在一起来测量。即，“S1”表示为“dl”，“S2”表示为“hl”。
如果约去公因子，即印刷板700的宽度(l)，则式6变换成下式7。
Gh＜(WRC-WRB)d
如果使用PDMS的覆盖层650、可溶酚醛清漆树脂的抗蚀剂300和玻璃的印刷板700，则满足WRC-WRB＝113.1-55.6＝57.5[mJ/m2]。假设印刷板700上突起的距离为10μm且抗蚀剂300的厚度为1μm，优选的是，抗蚀剂300的断裂能(G)小于575[mJ/m2]。
并且，式7对于确定抗蚀剂300的厚度是有用的。在上述条件下，如果满足WRC-WRB＝57.5[mJ/m2]且G＝575，则抗蚀剂300的厚度小于1μm，由此易于将抗蚀剂300转印在印刷板700上。
随着抗蚀剂300的断裂能变小，抗蚀剂300的断裂能与抗蚀剂300的内聚能之差变大。因此，易于将抗蚀剂300转印在印刷板700上。
如从下式8所获知的，断裂能与抗蚀剂300的分子量密切相关。
G∝M]]>图5是概略地例示根据式8的断裂能关于聚合物的分子量的曲线图。如图5所示，断裂能(G)在临界分子量(Mc)处急剧地改变。通常，如果断裂能(G)小于1[J/m2]，则是脆性的。同时，如果断裂能(G)大于1[J/m2]，则是粘性的。如果由临界分子量(Mc)来定义断裂能(G)为1[J/m2]时的分子量，则其值约为33000。为了容易地将抗蚀剂300转印在印刷板700上，优选的是，断裂能(G)小于1[J/m2]。为了获得小于1[J/m2]的断裂能(G)，抗蚀剂300的分子量小于33000。
并且，当抗蚀剂300被涂覆在覆盖层650上时，与抗蚀剂300混合的溶剂的溶解参数(δS)小于6[cal1/2cm-3/2]或大于11[cal1/2cm-3/2]。当抗蚀剂300被涂覆在覆盖层650上时，与抗蚀剂300混合的溶剂渗透到形成在印刷辊600的表面上的覆盖层650中，由此覆盖层650可能发生变形。覆盖层650的这种变形在覆盖层650的溶解参数与溶剂的溶解参数相似时变得严重。
理论上，按照使得由以下基于Flory-Huggins的式9定义的互作用参数(χ)最大的方式来选择溶剂，由此使覆盖层650的变形最小。
χ＝(δB-δS)2
在上式9中，如果覆盖层650的溶解参数(δB)与溶剂的溶解参数(δS)相似，则互作用参数(χ)极为接近“0”。使互作用参数(χ)接近“0”意味着溶剂和覆盖层650认为它们本身是相同的材料。即，如果互作用参数极为接近“0”，则溶剂和覆盖层650混合良好。如果溶剂与覆盖层650混合，则覆盖层650变形的可能性很高。为了防止覆盖层650变形，优选的是，选择使互作用参数(χ)最大的溶剂。
图6是概略地例示在使用PDMS的覆盖层650时覆盖层的变形强度关于各种溶剂的溶解参数的曲线图。如图6所示，PDMS的溶解参数为7.3[cal1/2cm-3/2]，并且覆盖层650的变形强度根据PDMS和各种溶剂的溶解参数而变化。
更详细地说，当溶剂的溶解参数(δS)小于6[cal1/2cm-3/2]或大于11[cal1/2cm-3/2]时，覆盖层650中不发生变形。如果溶剂的溶解参数(δS)小于6[cal1/2cm-3/2]或大于11[cal1/2cm-3/2]，则溶剂的溶解参数与PDMS的溶解参数之间存在很大差异，由此互作用参数(χ)的值变大。如果互作用参数(χ)的值变大，则溶剂和覆盖层650认为它们本身是不同的材料，使得它们不混合。因此，溶剂不渗透到覆盖层650中，使得可以防止覆盖层650发生变形。
即使使用溶解参数相同的溶剂，也可能存在覆盖层650的变形强度不同的情况。如图6所示，示出了二氯甲烷16和丙酮22的示例。二氯甲烷16和丙酮22都具有约10[cal1/2cm-3/2]的相同的溶解参数。如果这两种材料具有相同的溶解参数，则它们具有相同的互作用参数(χ)。因此，假设在这两种材料的情况下覆盖层的变形强度相同。然而，即使二氯甲烷和丙酮具有相同的溶解参数，二氯甲烷使覆盖层650变形的严重程度是丙酮的三倍。这是由覆盖层与溶剂之间的偶极矩(μ)的差异导致的。
此时，用于覆盖层650的PDMS具有极性。因此，随着溶剂具有更小的偶极矩(μ)，对使覆盖层650变形的担忧增加。因此，由于大的偶极矩表示大的极性，因此选择偶极矩(μ)大的溶剂以防止覆盖层发生变形。
此时，二氯甲烷为μm＝1.6[D]，而丙酮为μa＝2.9[D]。与使用丙酮的溶剂的情况相比，使用二氯甲烷的溶剂使得覆盖层650变形得更加严重。因此，当将抗蚀剂300涂覆在印刷辊600上时，优选的是，与抗蚀剂300混合的溶剂的偶极矩(μ)大于2[D]。
为了使用印刷用抗蚀剂300来形成图案，首先在基板上形成图案材料层。然后，将抗蚀剂300涂覆在具有覆盖层650的印刷辊600上，其中，覆盖层650由PDMS形成。此时，抗蚀剂300的溶解参数小于6[cal1/2cm-3/2]或大于11[cal1/2cm-3/2]。并且，抗蚀剂300与偶极矩大于2[D]的溶剂混合。抗蚀剂300一被涂覆在覆盖层650上，该溶剂就被汽化。
然后，在印刷板700上滚动印刷辊600，使得将一些抗蚀剂300转印在印刷板700上。然后，随着在包括有图案材料层的基板上滚动印刷辊600，而将印刷辊600的剩余的抗蚀剂300转印在该基板上。
在对该图案材料层进行刻蚀之后，从该基板去除抗蚀剂300，由此完成该图案。
如上所述，根据本发明的印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法具有以下优点。
在根据本发明的构图方法中，易于将印刷用抗蚀剂与覆盖层相分离，并将印刷用抗蚀剂精确地转印在印刷板和基板上。结果，降低了图案的缺陷率，因此得以形成精确的图案。
与光刻法不同的是，使用抗蚀剂的构图方法不需要显影，因此减少了制造时间。
在将抗蚀剂涂覆在印刷辊上时，覆盖层不因溶剂与该抗蚀剂混合而发生变形，因此降低了部件替换的成本。
本领域技术人员很清楚，在不脱离本发明的精神或范围的情况下，可以对本发明进行各种修改和变型。因而，如果这些修改和变型落入所附权力要求及其等同物的范围内，则本发明亦涵盖这些修改和变型。
本申请要求于2006年4月26日提交的韩国专利申请No.2006-37777的权益，通过引用将其并入于此，如同在此对其进行了充分的阐述。
权利要求
1.一种印刷用抗蚀剂，该抗蚀剂被涂覆在印刷辊上，然后被依次转印在印刷板和基板上，其中，所述抗蚀剂与所述印刷板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的覆盖层之间的内聚能，并且所述抗蚀剂与所述基板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的内聚能。
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂，其中，抗蚀剂针对所述印刷板和所述覆盖层的总内聚能大于使涂覆在所述覆盖层上的所述抗蚀剂发生断裂所需的总断裂能。
3.根据权利要求2所述的抗蚀剂，其中，通过从所述抗蚀剂与所述印刷板之间的内聚能中减去所述抗蚀剂与所述覆盖层之间的内聚能并将该减法结果与形成在所述印刷板上的突起的距离乘在一起所获得的第一值大于通过将所述抗蚀剂的断裂能与涂覆在所述覆盖层上的所述抗蚀剂的厚度乘在一起所获得的第二值。
4.根据权利要求2所述的抗蚀剂，其中，所述断裂能小于1000[mJ/m2]。
5.根据权利要求1所述的抗蚀剂，其中，所述抗蚀剂的分子量小于33000。
6.根据权利要求1所述的抗蚀剂，其中，所述印刷用抗蚀剂的表面能大于所述覆盖层的表面能，并小于所述印刷板和所述基板的表面能。
7.根据权利要求6所述的抗蚀剂，其中，所述印刷用抗蚀剂的表面能大于25[mJ/m2]，并小于40[mJ/m2]。
8.根据权利要求1所述的抗蚀剂，其中，在利用所述印刷用抗蚀剂涂覆所述印刷辊时，所述抗蚀剂和溶解参数与该抗蚀剂的溶解参数不同的溶剂相混合。
9.根据权利要求8所述的抗蚀剂，其中，所述溶剂的溶解参数小于6[cal1/2cm-3/2]或大于11[cal1/2cm-3/2]。
10.根据权利要求8所述的抗蚀剂，其中，所述溶剂的偶极矩值与所述覆盖层的偶极矩值不同。
11.根据权利要求10所述的抗蚀剂，其中，所述溶剂的偶极矩值大于2[D]。
12.一种构图方法，该构图方法包括以下步骤在基板上形成图案材料层；利用印刷用抗蚀剂涂覆粘附有覆盖层的印刷辊；通过在印刷板上滚动所述印刷辊，将所述抗蚀剂中的一些转印在所述印刷板上；通过在包括有所述图案材料层的所述基板上滚动所述印刷辊，将所述印刷辊的剩余的抗蚀剂转印在所述基板上；对所述图案材料层进行刻蚀；以及从所述基板去除所述印刷用抗蚀剂，其中，使用权利要求1至11中的至少任一项所述的印刷用抗蚀剂。
13.根据权利要求12所述的构图方法，其中，设置在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层由聚二甲硅氧烷形成。
全文摘要
本发明公开了一种印刷用抗蚀剂及使用该抗蚀剂的构图方法，其中，所述抗蚀剂被涂覆在印刷辊上，然后被依次转印在印刷板和基板上，其中，所述抗蚀剂与所述印刷板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的覆盖层之间的内聚能，并且所述抗蚀剂与所述基板之间的内聚能大于所述抗蚀剂与形成在所述印刷辊的表面上的所述覆盖层之间的内聚能，使得将所述抗蚀剂精确地转印在所述印刷板和所述基板上，由此实现精确的抗蚀剂图形。
文档编号G03F7/00GK101063817SQ20071010473
公开日2007年10月31日 申请日期2007年4月25日 优先权日2006年4月26日
发明者金珍郁 申请人:Lg.菲利浦Lcd株式会社