专利名称：一种改进型光阻瓶装置的制作方法
技术领域：
一种改进型光阻瓶装置技术领城本实用新型涉及一种容器，更具体的说，涉及一种存放光阻的光阻瓶装置。
技术背景光阻是集成电路行业，特别是芯片制造行业不可缺少的原料，它主要以液 态形式存放在光阻瓶中。目前典型的光阻瓶装置如图1所示，它主要包括光阻瓶l，；盖在光阻瓶瓶口的密封盖2，；以及穿过密封盖2，进入光阻瓶1，的气体输 入管道3'及光阻输出管道4，，该光阻输出管道4'深入瓶底。当生产中需要光阻时，通常以氮气作为压力源，通过气体输入管道3'向光阻瓶r内充气，在氮气的压力下，光阻将通过光阻输出管道4，从光阻瓶r中流 出，流向下一道工序。通过调整压力的大小，就可以控制光阻的流量和流速。由于目前所有的同类型的光阻瓶r都采用平底设计，尽管人们已经通过向 瓶中加压的方法使光阻能够流出瓶中，但是光阻本身比较粘稠，且光阻输出管道4，的管口 41，形状为平口，管口 41，和光阻的接触面积不大，以至于最后瓶底剩余的一层光阻由于无法克服自身的重力作用而平铺在瓶底，无法流出瓶中， 也就无法得到利用。每瓶中总有剩余的光阻无法利用，浪费巨大。目前光阻的 采购成本又;f艮高，这就给工厂造成了原料浪费，增加了生产成本。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种改进型光阻瓶装置，用于改变目前光阻在 光阻瓶中剩余过多，无法利用的浪费问题，使光阻尽可能被利用，减少浪费， 也就降低了生产成本。本实用新型的目的是这样实现的 一种改进型光阻瓶装置，它包括光阻 瓶，设置于光阻瓶口的密封盖，以及穿过密封盖进入光阻瓶的气体输入管道及 光阻输出管道，所迷光阻输出管道的一端深入光阻，fe的底部，其改进点在于
所述的光阻lf瓦的底部向外突出。在上述的改进型光阻瓶装置中，所述光阻瓶的底部为半球型。在上迷的改进型光阻瓶装置中，所述光阻输出管道深入光阻瓶底部的一端 的管口形状为楔型。在上述的改进型光阻瓶装置中，所述的光阻瓶装置还具有一个与光阻瓶相 配合的底座。在上述的改进型光阻瓶装置中，所述底座的底面为平面。本实用新型的改进型光阻瓶装置由于采用了上述的技术方案，使之与现有技术相比，具有以下的优点和积极效果1. 将原来的光阻lf瓦的平底改为向外突出的半球型底部，以减小光阻并瓦底部 的截面积，从而大量减少光阻瓶中的残留光阻；2. 将光阻输出管的管口形状由平口改为楔型，管口和光阻的接触面积变大， 利于光阻的排出；3. 增加了一个和光阻瓶半球型底部的形状相吻合的底座，底座的底面为平 底，便于光阻瓶的直立存放和运输。
本实用新型的改进型光阻瓶装置的结构由以下的实施例及附图给出。 图1为目前的光阻瓶装置的结构示意图；图2为本实用新型一具体实施例的改进型光阻瓶装置的结构示意图； 图3为本实用新型另一具体实施例的改进型光阻瓶装置的结构示意图。
具体实施方式
以下将结合附图对本实用新型的改进型光阻瓶装置作进一步的详细描述。 图2为本实用新型一具体实施例的改进型光阻瓶装置的结构示意图，它主 要包括光阻瓶l,盖在光阻瓶瓶口的密封盖2,以及穿过密封盖2进入光阻瓶1 内部的气体输入管道3及光阻输出管道4，其中，光阻输出管道4的一端深入瓶 底。相比图1所示的光阻瓶装置，本实用新型将光阻瓶l的底部改为向外突出 的半球型底部，以减小光阻瓶底部的截面积，从而避免在光阻瓶1中留有大量 的光阻残余。同时，将光阻输出管4的管口 41形状改为楔型，以增大管口 41 和光阻的接触面积，利于光阻的排出。图3为本实用新型另一具体实施例的改进型光阻i统装置的结构示意图，如 图3所示，当生产需要光阻时，用穿过密封盖2进入光阻瓶1的气体输入管道3 向光阻瓶1内部充入氮气，在瓶中产生压力；而另一根穿过密封盖2进入光阻 瓶1的光阻输出管道4深入半球型瓶底，在氮气的压力下，光阻将通过光阻输 出管道4的楔型管口 41从光阻瓶l中流出，流向下一道工序；通过调整压力的 大小，就可以控制光阻的流量和流速。为了工作及存放的稳定性，还配有一个 和光阻瓶l半球型底部的形状相吻合的底座5，底座5的底面为平面，便于光阻瓶1的直立存放和运输。于本实用新型的其它实施例中，光阻瓶1半球型底部的弧度可根据光阻瓶的实际大小自由调整，并不局限于正半球弧度。相应地，底座5也可根据半球 型底部的孤度自由调整，只要两者相吻合就好。此外，以上所述的光阻输出管道4的楔型管口 41的楔型角度也可在0-90 度之间调整。本实用新型的改进型光阻瓶装置能在相同工况条件下，有效降低光阻在瓶 中的残留量，使光阻尽可能被利用，减少浪费，也就降低了生产成本。
权利要求1.一种改进型光阻瓶装置，它包括光阻瓶，设置于光阻瓶口的密封盖，以及穿过密封盖进入光阻瓶内部的气体输入管道及光阻输出管道，所述光阻输出管道的一端深入光阻瓶的底部，其特征是所述光阻瓶的底部向外突出。
2. 如权利要求1所述的改进型光阻瓶装置，其特征是所述光阻瓶的底 部为半球型。
3. 如权利要求1所述的改进型光阻瓶装置，其特征是所述光阻输出管 道深入光阻瓶底部的一端的管口形状为楔型。
4. 如权利要求1所述的改进型光阻瓶装置，其特征是所述的光阻瓶装 置还具有一个与光阻瓶相配合的底座。
5. 如权利要求4所述的改进型光阻瓶装置，其特征是所述底座的底面 为平面。
专利摘要本实用新型提供了一种改进型光阻瓶装置，涉及一种容器。目前所有的同类型的光阻瓶都采用平底设计，以至于最后瓶底剩余的一层光阻由于无法克服自身的重力作用平铺于瓶底无法流出瓶中，造成浪费。本实用新型的光阻瓶装置包括光阻瓶，设置于光阻瓶口的密封盖，以及穿过密封盖进入光阻瓶内部的气体输入管道及光阻输出管道，所述光阻输出管道的一端为楔型，且深入光阻瓶的底部，所述光阻瓶的底部为向外突出的半球型底部。较佳地，所述的光阻瓶装置还有一个和光阻瓶相配合的底座，其底面为平面。使用本实用新型的光阻瓶装置，可以有效降低光阻在瓶中的残留量，使光阻尽可能被利用，减少浪费，也就降低了生产成本。
文档编号G03F7/00GK201035317SQ20072006918
公开日2008年3月12日 申请日期2007年4月20日 优先权日2007年4月20日
发明者伟 洪, 郝斌荣 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司