专利名称：一种薄膜晶体管液晶显示器像素结构及其制造方法
技术领域：
本发明涉及薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD， Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display)的制造技术，尤其是指一种二次掩模版TFT-LCD像素结构及 其制造方法。
背景技术：
目前，以TFT-LCD为代表的液晶显示是一种非常重要的平板显示方式，近 年来得到了人们的广泛关注。在TFT-LCD的制造中，如何釆用更先进的制造技 术，简化生产工艺，降低生产成本则更是人们关注的话题。其中，TFT-LCD中 每个器件的工艺简化和制造成本的降低，将直接导致TFT-LCD制造工艺的简化 和制造成本的降低。
液晶显示装置通常包括两个具有电极的上下基板，以封合材料接合在一起。 液晶材料被填入两个基板之间，为了保持两个基板之间固定的距离，会散布具 有一定粒径的颗粒于两基板之间。通常，下基板表面形成有用来当作开关元件 的薄膜晶体管(TFT),此TFT具有连接于扫描线的栅电极，连接于信号线的源 极电极，以及连接于像素电极的漏极。用于TFT-LCD的TFT—般包括栅电 极，作为栅极线的一部分；半导体层(包括半导体层和掺杂半导体层)，形成沟
道；源极，作为数据线的一部分；漏极，面对半导体层上的源极，并与像素电
极电气连接。TFT—般用作开关元件，其作用是使得通过栅极线传递到栅极的 电气信号能够控制经由数据线传递来的数据信号向像素电极的传送。
目前，在常规TFT-LCD的制造方法中，普遍釆用的是阵列工艺，即在玻璃 基板上进行多次光刻掩模版形成TFT阵列回路，由于掩模版的价格很昂贵，所 以减少掩模版次数，是降低成本很有效的方法。但是，掩模版次数的减少可能会导致制造TFT-LCD的其他流程的复杂化，甚至无法实现。
现在普遍采用的四次光刻掩模版来制作TFT-LCD的方法，曝光次数是四 次，必须制作四个掩模版，另外，沉积、刻蚀、去胶等工艺步骤也是必须的。 其中，四次光刻掩模版主要采用灰色调(GrayTone)掩模版技术对薄膜晶体管 的沟道部分的源漏金属电极和半导体层部分进行刻蚀。但由于此部分的形成是 TFT-LCD的核心部分，这就要求在实际的工艺中，对刻蚀的选择比，还有对于 光刻工艺本身要求很苛刻，复杂度比较高。
由此可见，寻找一种掩模版次数少，且流程简单、易实现的方法将显得很 重要。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种二次掩模版TFT-LCD像素结构 及其制造方法，可以实现二次掩模版制作TFT-LCD像素结构，因此节约阵列工 艺的成本和占机时间，提高产能。
为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的
一种薄膜晶体管液晶显示器像素结构，该结构包括形成于一透明基板上 的一栅线和一栅电极；
依次形成于栅线和栅电极上方的一第一绝缘层、 一半导体层和一掺杂半导 体层；
其中，栅线上有一隔断槽，该隔断槽隔断栅线上的半导体层； 覆盖在所述隔断槽及没有形成栅线和栅电极的基板上的一第二绝缘层； 形成于所述第二绝缘层上的一像素电极，该像素电极与漏极呈一体，且在 形成漏极的位置与栅电极上的掺杂半导体层搭接； 形成于掺杂半导体层上方的一数据线兼源极； 形成于所述源极和漏极之间的沟道。
进一步地，该结构还包括覆盖在没有形成像素电极的基板上的一钝化层。 进一步地，所述第二绝缘层的表面与掺杂半导体层的表面平齐。较佳地，所述数据线兼源极下方保留有形成像素电极的一像素电极层。
进一步地，所述栅线和栅电极为Al/Nd、 Al、 Cu、 Mo、 Mo/W或Cr的单 层膜，或为Al/Nd、 Al、 Cu、 Mo、 Mo/W或Cr之一或任意组合所构成的复合 膜。
进一步地，所述第一绝缘层或第二绝缘层为SiNx、 SiOx或SiOxNy的单 层膜，或为SiNx、 SiOx或SiOxNy之一或任意组合所构成的复合膜。
较佳地，所述源极或漏极为Mo、 Mo/W或Cr的单层膜，或为Mo、 Mo/W 或Cr之一或任意组合所构成的复合膜。
一种二次掩模版薄膜晶体管液晶显示器像素结构的制造方法，该方法包括 以下步骤
步骤一，于洁净的透明基板上依次沉积栅金属层，第一绝缘层，半导体层， 掺杂半导体层，涂敷光刻胶，采用第一块半色调或灰色调掩模版，经过曝光、 显影后得到无光刻胶区域，光刻胶部分保留区域和光刻胶完全保留区域；刻蚀 无光刻胶区域形成栅线和栅小岛图形；完成刻蚀后，对光刻胶进行灰化工艺， 将光刻胶部分保留区域的光刻胶全部去除，去除一部分厚度的光刻胶全部保留 区域的光刻胶，露出栅线上的掺杂半导体层，接着对掺杂半导体层和半导体层
进行刻蚀，得到栅线上的隔断槽；接着沉积第二绝缘层，采用光刻胶离地剥离 工艺，离地剥离掉栅线和栅小岛上方的第二绝缘层；
步骤二，于完成步骤一的透明基板上依次沉积像素电极层和源漏金属层， 采用第二块半色调或灰色调掩模版，经过曝光显影后得到无光刻胶区域、光刻 胶部分保留区域和光刻胶完全保留区域；刻蚀无光刻胶区域形成薄膜晶体管沟 道，并得到像素电极和与其一体的漏极图形、及数据线和与其一体的源极图形； 完成刻蚀后，对光刻胶进行灰化工艺，全部去除光刻胶部分保留区域的光刻胶， 去除一部分厚度的光刻胶完全保留区域的光刻胶，露出源极和与其一体的数据 线；沉积钝化层，采用光刻胶离地剥离工艺，离地剥离掉像素电极上方的钝化 层及光刻胶，并对像素电极和漏极区域的源漏金属层进行刻蚀，得到像素电极,进一步地，所述步骤一中第一块掩膜版经过曝光显影后无光刻胶的区域为 形成栅线和栅小岛以外的区域；光刻胶部分保留区域为形成栅线上的隔断槽区域。
较佳地，所述步骤一中刻蚀无光刻胶区域包括刻蚀掺杂半导体层、半导体 层、第一绝缘层和栅金属层。
进一步地，所述步骤二中第二块掩膜版经过曝光显影后光刻胶完全保留区 域为形成像素电极和与其一体的漏极区域；光刻胶部分保留区域为形成数据线
和与其一体的源极；其他部分为无光刻胶区域。
较佳地，所述步骤二中刻蚀无光刻胶区域形成薄膜晶体管沟道包括刻蚀源 漏金属层、像素电极层、掺杂半导体层及部分半导体层。
本发明二次掩模版TFT-LCD像素结构及其制造方法，有以下的优点和特
点
1) 本发明中，由于在第一块掩模版工艺中釆用第二绝缘层，实现了工艺的 平坦化，为后面的工艺增大了工艺容差；同时，采用透明金属电极做为薄膜晶 体管的漏极，避免了接触电阻的问题。
2) 本发明相对于现有技术，实现了二次光刻掩模版制造TFT-LCD像素结
构，掩模版次数的减少，节约了阵列工艺的成本和占机时间，提高了产能；另
外，由于掩模版次数的减少，曝光的次数减少，降低了实现工艺的复杂度，提 高了工艺容差，同时提高了产量和成品率。
3 )本发明可以很容易的利用常规液晶制造工艺实现薄膜晶体管的结构，整 个流程实现简单方便。
图l为本发明釆用第一块半色调或灰色调掩模版进行光刻后得到的图案； 图1A为本发明第一块掩模版工艺中，进行曝光后图l中的截面图； 图1A'为本发明第一块掩模版工艺中，进行曝光后图1中的B-B'截面图； 图1B为本发明第一块掩模版工艺中，对无光刻胶区域进行刻蚀后A-A'截面图1C为本发明第一块掩模版工艺中，对光刻胶进行灰化工艺后A-A'截面
图1B'为本发明第一块掩模版工艺中，对光刻胶进行灰化工艺后B-B'截面
图1C'为本发明第一块掩模版工艺中，对半导体层进行刻蚀后B-B'截面图； 图1D为本发明第一块掩模版工艺中，沉积了第二绝缘层后A-A'截面图； 图IE为本发明第一块掩模版工艺中，采用离地剥离(Lift-Off)工艺后 A-A'截面图1D'为本发明第一块掩模版工艺中，沉积了第二绝缘层后B-B'截面图； 图1E'为本发明第一块掩模版工艺中，采用Lift-Off工艺后B-B'截面图； 图l'为在第一块掩模版整个工艺完成后的像素平面图； 图2为本发明采用第二块半色调或灰色调掩模版工艺进行光刻后得到的图
案；
图2A为本发明第二块掩模版进行曝光后图2的A-A'截面图； 图2B为本发明第二块掩模版工艺中，对无光刻胶区域进行刻蚀后A-A'截 面图2C为本发明第二块掩模版工艺中，对光刻胶进行灰化工艺后A-A'截面
图2D为本发明第二块掩模版工艺中，沉积了钝化层后A-A'截面图； 图2E为本发明第二块掩模版工艺中，采用离地剥离工艺后A-A'截面图； 图2F为本发明第二块掩模版工艺中，对源漏金属层进行刻蚀后A-A'截面图。
具体实施例方式
下面结合附图对本发明的具体实施作进一步详细的说明。
图1是采用第一块半色调或灰色调掩模版工艺进行光刻后形成的图案，图1A是本发明第一块掩模版工艺中，进行曝光后图1中的截面图，图1A'为本发
明第一块掩模版工艺中，进行曝光后图1中的B-B'截面图；如图1、 1A、 1A' 所示，在基板100上依次沉积栅金属层11、第一绝缘层12、半导体层13及掺 杂半导体层14后，进行光刻胶涂敷、采用第一块半色调或灰色调掩模版进行掩 模曝光后得到栅小岛图形，如图1所示，由图l、 1A、 1A'可知，栅线101及栅 电极102外的其他区域没有光刻胶，栅线上的隔断槽103部位为第一次光刻的 光刻胶部分保留区域的光刻胶15,栅线上除隔断槽103以外的其他区域为第一 次光刻的光刻胶完全保留区域的光刻胶15'。然后进行刻蚀，将无光刻胶保护的 区域刻蚀掉，即将无光刻胶区域下方的掺杂半导体层14、半导体层13、第一绝 缘层12及栅金属层11刻蚀掉，对无光刻胶区域进行刻蚀后，图1中A-A'截面 如图1B所示。然后进行光刻胶灰化工艺，灰化工艺后，图1中A-A'截面如图 1C所示，图1中B-B'截面如图1B'所示，由图1B'可见栅线上隔断槽103位置 上的掺杂半导体层14露出，完全保留区域的光刻胶15'变薄，接着对该掺杂半 导体层14和掺杂半导体层下方的半导体层13进行刻蚀得到栅线上的隔断槽 103，如图1C'所示。然后沉积第二绝缘层16对栅电极进行保护，沉积第二绝缘 层16后A-A'截面如图1D所示，采用离地剥离工艺，除去完全保留区域的光刻 胶15'的同时，剥离掉其上方的第二绝缘层后，A-A'截面如图1E所示；沉积第 二绝缘层16后B-B'截面如图1D'所示，隔断槽103部位的半导体层13被第二 绝缘层16所覆盖。
其中，基板100为玻璃基板或橡胶基板，栅金属层11的材料为铝钕合金 (Al/Nd)、销(Al)、铜(Cu)、钼(Mo)、钼锡合金(Mo/W)或铬(Cr)的 单层膜，或为Al/Nd、 Al、 Cu、 Mo、 Mo/W或Cr之一或任意组合所构成的复 合膜；第一绝缘层12和第二绝缘层16的材料为氮化硅(SiNx)，氧化硅(SiOx) 或氮氧化硅的单层膜，或为SiNx、 SiOx或SiOxNy之一或任意组合所构成的复 合膜，且均为透明，可以使光线通过；半导体层13的材料为非晶硅(a-Si)、 多晶硅(p-Si)等，掺杂半导体层14为硼(B),磷(P)的掺杂物。
以上就是第一块半色调或灰色调掩模版的全部工艺，在全部工艺完成后，像素结构的顶视图如图1'所示。从上述第一层半色调或灰色调掩模版的工艺可 以看出，本发明由于在第一块掩模版工艺中釆用第二绝缘层，实现了工艺的平 坦化，为后面的工艺增大了工艺容差，且利用了常规液晶制造薄膜晶体管的半 色调或灰色调掩模版和离地剥离(Lift-Off)工艺，简单方便。
然后，在第一层掩模版的全部工艺完成后的像素结构上方，依次沉积透明 像素电极层21及源漏金属电极层22，进行光刻胶涂敷，釆用第二块灰色调或
半色调进行掩模、并进行曝光和显影后形成数据线形状201的光刻胶和像素电 极形状202的光刻胶，如图2所示。数据线形状的光刻胶为比较薄的光刻胶， 即第二次光刻光刻胶部分保留区域的光刻胶23,像素电极形状的光刻胶为比较 厚的光刻胶，即第二次光刻光刻胶完全保留区域的光刻胶23',其余部分为无光 刻胶区域，具体如图2A所示。接着对无光刻胶保留区域进行刻蚀，将图2A中 未被光刻胶保护区域的源漏金属电极层22、透明像素电极层21、掺杂半导层及 半导层刻蚀掉，这样就形成了与源极兼数据线203和同时作为像素电极的漏极 204，同时形成了源极203与漏极204之间的沟道。接着进行灰化工艺，如图 2C所示，将在源极兼数据线203下层的源漏金属电极层22暴露出来，将在像 素电极兼漏极204位置比较厚的光刻胶变薄；再进行钝化层24的沉积，如图 2D所示；接着将光刻胶23'上方的钝化层连同光刻胶23'—同进行离地剥离，离 地剥离后图2中的A-A'截面图参见图2E;由于源极兼数据线203区域得到了钝 化层的保护，所以最后进行像素电极区域的刻蚀，将像素电极区域的源漏金属 电极层22刻蚀掉，使得透明像素电极层21暴露出来，具体参见图2F。这样， 就完成了 TFTLCD的整个像素结构的制造过程。
这里，透明像素电极层21为铟锡氧化物(ITO, Indium Tin Oxides )， ITO 具有很好的导电性和透明性，可以切断对人体有害的电子辐射，紫外线及远红 外线，因此，喷涂在像素结构的上方，在增强导电性和透明性的同时切断对人 体有害的电子辐射、紫外线及红外线；源漏金属电极层22为Mo、 Mo/W或Cr 的单层膜，或为Mo、 Mo/W或Cr之一或任意组合所构成的复合膜。
另外，在所有的图中，用不同的图案表示不同的材料，但是，因为玻璃基板100、栅绝缘层22、第二绝缘层16、及透明像素电极层21均为透明，所以 在图中用纯色表示，具体的区分见对各个附图的说明。
同时，本发明的第二块半色调或灰色调掩模版中，釆用透明金属电极作为 薄膜晶体管的漏极，避免了接触电阻的问题。
由此可见，本发明只釆用了二次掩模版，实现了二次光刻掩模版制造薄膜 晶体管，掩模版次数的减少，节约了阵列工艺的成本和占机时间，提高了产能； 另外，由于掩模版次数的减少，曝光的次数减少，提高了工艺容差，同时提高
了产量和成品率；且利用了传统的半色调或灰色调掩模版工艺和Lift-Off工
艺，整个流程实现简单方便。
釆用以上方法制造的二次掩模版薄膜晶体管包括 一透明基板100、 一栅 线101、 一栅电极102、 一第一绝缘层12、 一半导体层13、 一掺杂半导体层14、 一第二绝缘层16、 一源极兼数据线203、 一漏极兼像素电极204，及钝化层24, 这些部分是与现有技术相同的部分，本发明与现有技术中的像素结构相区别的 部分在于栅电极102和栅线101上方依次为第一绝缘层12、半导体层13和 掺杂半导体层14;栅线上有隔断槽103，该隔断槽隔断栅线上的半导体层；第 二绝缘层16覆盖在隔断槽103及栅线101和栅电极102外的玻璃基板上；源极 和数据线203呈一体，其下方保留有透明像素电极层21;像素电极与漏极204 呈一体位于第二绝缘层16上方，且在形成漏极204的位置与栅电极102上的掺 杂半导体层14搭接；钝化层24覆盖在像素电极204之外的部分。
其中，第二绝缘层16与掺杂半导体层14成同一水平面。所述源极兼数据 线203下方保留有形成漏极兼像素电极204的透明像素电极层21。
上述说明只描述了薄膜晶体管中 一个TFT的结构及其形成工艺，实际上， 在一个玻璃基板上有多个TFT，而且每次进行掩模版工艺的时候，可以同时制 造多个TFT,因此，每个隔断槽可以很好的防止各个数据线之间的短路。
以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。
权利要求
1、一种薄膜晶体管液晶显示器像素结构，其特征在于，该结构包括形成于一透明基板上的一栅线和一栅电极；依次形成于栅线和栅电极上方的一第一绝缘层、一半导体层和一掺杂半导体层；其中，栅线上有一隔断槽，该隔断槽隔断栅线上的半导体层；覆盖在所述隔断槽及没有形成栅线和栅电极的基板上的一第二绝缘层；形成于所述第二绝缘层上的一像素电极，该像素电极与漏极呈一体，且在形成漏极的位置与栅电极上的掺杂半导体层搭接；形成于掺杂半导体层上方的一数据线兼源极；形成于所述源极和漏极之间的沟道。
2、 根据权利要求i所述的像素结构，其特征在于，该结构还包括覆盖在 没有形成像素电极的基板上的一钝化层。
3、 根据权利要求l所述的像素结构，其特征在于，所述第二绝缘层的表 面与掺杂半导体层的表面平齐。
4、 根据权利要求i所述的像素结构，其特征在于，所述数据线兼源极下 方保留有形成像素电极的一像素电极层。
5、 根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述栅线和栅电极为Al/Nd、 Al、 Cu、 Mo、 Mo/W或Cr的单层膜，或为Al/Nd、 Al、 Cu、 Mo、 Mo/W或Cr之一或任意组合所构成的复合膜。
6、 根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述第一绝缘层或第二绝 缘层为SiNx、 SiOx或SiOxNy的单层膜，或为SiNx、 SiOx或SiOxNy之一或 任意组合所构成的复合膜。
7、 根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述源极或漏极为Mo、 Mo/W或Cr的单层膜，或为Mo、Mo/W或Cr之一或任意组合所构成的复合膜。
8、 一种二次掩模版薄膜晶体管液晶显示器像素结构的制造方法，其特征在于，该方法包括以下步骤步骤一，于洁净的透明基板上依次沉积栅金属层，第一绝缘层，半导体层, 掺杂半导体层，涂敷光刻胶，釆用第一块半色调或灰色调掩模版，经过曝光、 显影后得到无光刻胶区域，光刻胶部分保留区域和光刻胶完全保留区域；刻蚀 无光刻胶区域形成栅线和栅小岛图形；完成刻蚀后，对光刻胶进行灰化工艺， 将光刻胶部分保留区域的光刻胶全部去除，去除一部分厚度的光刻胶全部保留 区域的光刻胶，露出栅线上的掺杂半导体层，接着对掺杂半导体层和半导体层 进行刻蚀，得到栅线上的隔断槽；接着沉积第二绝缘层，采用光刻胶离地剥离 工艺，离地剥离掉栅线和栅小岛上方的第二绝缘层；步骤二，于完成步骤一的透明基板上依次沉积像素电极层和源漏金属层， 采用第二块半色调或灰色调掩模版，经过曝光显影后得到无光刻胶区域、光刻 胶部分保留区域和光刻胶完全保留区域；刻蚀无光刻胶区域形成薄膜晶体管沟 道，并得到像素电极和与其一体的漏极图形、及数据线和与其一体的源极图形； 完成刻蚀后，对光刻胶进行灰化工艺，全部去除光刻胶部分保留区域的光刻胶， 去除一部分厚度的光刻胶完全保留区域的光刻胶，露出源极和与其一体的数据 线；沉积钝化层，采用光刻胶离地剥离工艺，离地剥离掉像素电极上方的钝化 层及光刻胶，并对像素电极和漏极区域的源漏金属层进行刻蚀，得到像素电极, 露出像素电极部分图形。
9、 根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述步骤一中第一块掩膜版 经过曝光显影后无光刻胶的区域为形成栅线和栅小岛以外的区域；光刻胶部分 保留区域为形成栅线上的隔断槽区域。
10、 根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述步骤一中刻蚀无 光刻胶区域包括刻蚀掺杂半导体层、半导体层、第一绝缘层和栅金属层。
11、 根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述步骤二中第二块掩膜 版经过曝光显影后光刻胶完全保留区域为形成像素电极和与其一体的漏极区 域；光刻胶部分保留区域为形成数据线和与其一体的源极；其他部分为无光刻 胶区域。
12、根据权利要求8或ll所述的方法，其特征在于，所述步骤二中刻蚀无光刻胶区域形成薄膜晶体管沟道包括刻蚀源漏金属层、像素电极层、掺杂半导 体层及部分半导体层。
全文摘要
本发明公开了一种二次掩模版薄膜晶体管液晶显示器像素结构的方法，该像素结构包括依次位于透明基板上的栅电极、栅线、第一绝缘层、半导体层、掺杂半导体层，其中，栅线上有一隔断槽，其隔断栅线上的半导体层；还包括覆盖在隔断槽及栅线和栅电极外的玻璃基板上的第二绝缘层；位于第二绝缘层上方，且在形成漏电极的位置与栅电极上的掺杂半导体层搭接的像素电极或漏电极；位于所保留的像素电极层上方的源极或数据线，及覆盖在像素电极之外部分的钝化层。本发明同时还公开该像素结构的制造方法，采用二次掩模版形成上述像素结构。利用本发明，可以实现二次掩模版制作薄膜晶体管液晶显示器像素结构，因此节约阵列工艺的成本和占机时间，提高产能。
文档编号G02F1/136GK101539697SQ200810102479
公开日2009年9月23日 申请日期2008年3月21日 优先权日2008年3月21日
发明者王章涛, 邱海军, 闵泰烨 申请人:北京京东方光电科技有限公司