滤色器及其制造方法以及液晶显示装置的制作方法

专利名称：：滤色器及其制造方法以及液晶显示装置的制作方法
技术领域：
：本发明涉及滤色器及其制造方法以及液晶显示装置。
背景技术：
：滤色器是液晶显示器和固体摄像元件中不可欠缺的构成部件。例如，对于液晶显示器(LCD)用滤色器，液晶显示器逐渐被用作TV用途，与以往的笔记本电脑、监视器用途相比，要求更高品味的画质。此外，为了生产大型TV，基板尺寸不断扩大，成品率的提高和成本的降低的要求不断增大。关于上述画质的提高，在制造滤色器时，在黑色矩阵与着色像素的边界部分处发生着色图案隆起，出现因滤色器变得不平坦而发生画质变差的问题(例如，参照日本特开平9-113721号公报)。上述边界部分的隆起有时引发对比度降低和颜色不均勻等问题。因此，以往，在像素制成后，通过对滤色器的表面进行研磨或者在像素上形成外覆(overcoat)层(下面也称为“0C层”)来应对。但是，如果进行研磨或形成0C层，则滤色器的制造工序增加，成本增高。而且，在进行研磨时，有时也会产生滤色器受损等的弊病，从而正在寻求能省略研磨工序和0C层的形成工序的方法。对此，尝试了通过将黑色矩阵的锥角减小来解决上述边界部分的隆起的问题(例如，参照日本特开平9-113721号公报以及日本特开2003-161826号公报)。日本特开2003-161826号公报中，进一步公开了通过喷墨法仅在黑色矩阵框内赋予着色组合物。但是，根据日本特开平9-113721号公报所记载的方法，为了使黑色矩阵得到上述锥角的工序多，将黑色矩阵形成用的感光性浓色组合物涂布到基板上并干燥后，再涂布正型抗蚀剂，并对该感光性浓色组合物与正型抗蚀剂的显影速度比进行调整，是费事的方法。此外，仅通过锥角的调整，着色图案的隆起的抑制效果不充分。而且，该技术不是对应于lmXlm以上的大型基板的技术。另一方面，根据日本特开2003-161826号公报，由于通过喷墨法向基板赋予着色组合物而形成着色图案，因此，不适合用于抑制在通过着色组合物的涂布、转印等来形成着色图案时产生的黑色矩阵与着色图案重合的重叠部处的着色图案的隆起。也可以说，在黑色矩阵与着色像素的边界部分，黑色矩阵变得高于着色像素，产生落差，滤色器变得不平坦，有时产生同样的画质的劣化的问题。
发明内容本发明鉴于上述情况，目的在于提供无需追加研磨或0C层设置等的工序、能通过低成本且简便的方法来抑制在黑色矩阵与着色像素的边界部分的着色图案的隆起而得到高品质的像素的滤色器及其制造方法、以及液晶显示装置。用于实现上述课题的具体的手段如下所述。<1>一种滤色器的制造方法，其具有黑色矩阵形成工序和着色图案形成工序；所述黑色矩阵形成工序是通过使用感光性浓色组合物在基板上形成感光性浓色组合物层，将所述感光性浓色组合物层曝光，将曝光后的所述感光性浓色组合物层显影，形成下凹长度为3.08.0ym的黑色矩阵图案，对黑色矩阵图案进行烘烤，从而形成黑色矩阵；所述着色图案形成工序是下述工序在形成有黑色矩阵的所述基板上使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层，将所述感光性着色组合物层曝光，将曝光后的所述感光性着色组合物层显影，对显影后的所述感光性着色组合物层进行烘烤，从而形成着色图案；其中，以得到下述重叠部的方式形成着色图案；所述重叠部为由所述黑色矩阵与所述着色图案重合而成的重叠部，且重叠部的在黑色矩阵宽度方向上的距离(长度)为1.012ym。<2>一种滤色器，其是通过上述<1>所述的滤色器的制造方法制造的滤色器，具有由黑色矩阵与着色图案重合而成的重叠部，所述重叠部的在黑色矩阵宽度方向上的距离为1.012iim。<3>一种液晶显示装置，其具备上述<2>所述的滤色器。根据本发明，可提供无需追加研磨或0C层设置等工序、能通过低成本且简易的方法来抑制黑色矩阵与着色像素的边界部分的隆起而得到高品质的图像的滤色器及其制造方法以及液晶显示装置。图1是设置有下凹的黑色矩阵基板的部分截面图。图2是设置有下凹的黑色矩阵基板的部分截面图。图3是形成有重叠部的滤色器的部分截面图。图4是在重叠部具有角的滤色器的部分截面图。图5是用于求算角的高度的测定方法的概念图。图6是由实施例32得到的滤色器的截面图。图7是由实施例33得到的滤色器的截面图。图8是由实施例34得到的滤色器的截面图。符号说明2基板4黑色矩阵(感光性浓色组合物层)6着色图案(感光性着色组合物层)8重叠部具体实施例方式下面，对本发明的滤色器及其制造方法、以及液晶显示装置进行详细说明。<滤色器的制造方法>本发明的滤色器的制造方法具有黑色矩阵形成工序和着色图案形成工序，根据需要还可以设置其他工序来构成。下面对黑色矩阵形成工序和着色图案形成工序分别进行说明。[黑色矩阵形成工序]在本发明中，在黑色矩阵形成工序中，至少通过如下工序来形成黑色矩阵使用感光性浓色组合物在基板上形成感光性浓色组合物层(感光性浓色组合物层形成工序)；将上述感光性浓色组合物层曝光(曝光工序)；将上述曝光后的上述感光性浓色组合物层显影(显影工序)；形成下凹长度为3.O8.Oμm的黑色矩阵图案，对形成的黑色矩阵图案进行烘烤(烘烤工序)。黑色矩阵形成工序除了上述各工序之外，根据需要，也可以设置其他工序。-黑色矩阵-在本发明中，优选将黑色矩阵的光密度(0D值)设为2.0以上且8.0以下，更优选为3.0以上，进一步优选为4.06.0。如果光密度为2.0以上，则能抑制对比度降低抑制等显示装置的显示品位的降低。另外，这里所说的光密度是指ISOVisual(视感)透射光密度。作为能在ISOVisual透射光密度的测定使用的测定器，可以举出例如SAKATAINXENG.株式会社的X-Rite36IT(V)此外，从利用高开口率化来确保亮度的观点出发，优选黑色矩阵的线宽(被夹持于着色图案间的、与黑色矩阵的长度方向正交的方向的长度)为530μπι。从黑色矩阵与着色图案重合的重叠部的隆起小(优选为0.5μπι以下)的观点出发，黑色矩阵的厚度(黑色矩阵的基板法线方向的长度)优选为0.22.0μm，更优选为0.21.5μm，进一步优选为0.51.2μm。在该厚度的范围内，可对设置有黑色矩阵的基板的凹凸、即黑色矩阵的形成区域、非形成区域的落差进行适当地维持，在形成黑色矩阵后将RGB等着色图案(着色像素)形成于其上时也能高精度地形成。-感光性浓色组合物层形成工序_在本工序中，使用感光性浓色组合物在基板上形成感光性浓色组合物层。作为可在本工序中使用的基板，可以举出例如用于液晶显示元件等中的无碱玻璃、钠玻璃、派拉克斯(PYREX)(注册商标)玻璃、石英玻璃、及在它们上贴附了透明导电膜的玻璃，以及在固体摄像元件等中使用的光电转换元件基板，例如，硅基板等。进而还可以使用塑料基板。其中，从耐化学试剂和耐热性的观点出发，优选为无碱玻璃。这些基板首先以隔离各像素的方式将黑色矩阵形成为格子状等，在格子的空出的部分中形成着色像素。此外，在这些基板上，根据需要还可以设置用于改进与上部的层的密合性、防止物质扩散、或使基板表面平坦化的下涂层。从更好地发挥本发明的效果的观点出发，优选基板是大型(1边为约Im以上)的基板。作为在基板上形成感光性浓色组合物层的方法，有例如通过在基板上涂布感光性浓色组合物等而赋予的方法。作为在基板上赋予感光性浓色组合物的方法，可以使用狭缝涂布、喷墨法、旋涂、流延涂布、辊涂、丝网印刷法等各种赋予方法。其中，从精度和速度的观点出发，优选为狭缝涂布。在进行上述各种涂布时，从提高涂布性的观点出发，优选在进行这些涂布之前用紫外线或各种洗涤液对基板进行洗涤。此外，还可以使用下述方法，即通过上述赋予方法预先赋予在临时的支持体上而形成涂膜，将所形成的涂膜转印到基板上。关于转印方法，在日本特开2006-23696号公报的段落号W023]、、或日本特开2006-47592号公报的段落号W096]W108]中记载的制作方法可以在本发明中适宜地使用。作为在转印中使用的层压装置，可以适当使用W02006-4225公报的Fig.24中记载的大型双片贴层压装置或国际申请号JP2007/069132号公报中记载的层压装置。通过使用这些层压装置，能得到高的生产率。在将感光性浓色组合物赋予在基板上时的厚度(例如涂布厚度)可以通过形成的黑色矩阵的厚度的设计值来适当调整，但一般优选为0.2μm2.2μm，更优选为0.2μm1.6μm,MVti&^J0.5μm~1.3μm。-曝光工序_在曝光工序中，对在上述感光性浓色组合物层形成工序中形成的感光性浓色组合物层介由规定的掩模图案进行曝光而图案化(patterning)(在负型的情况下，仅使被光照射的涂布膜的部分发生固化)。作为可以在曝光中使用的放射线，特别优选使用g线、h线、i线等的紫外线。照射量优选为5500mJ/cm2，更优选为10300mJ/cm2，最优选为10200mJ/cm2。曝光机可以使用接近方式的曝光机，也可以使用镜像投影方式或步进方式的曝光机。-显影工序_接着通过进行碱显影处理，例如在感光性浓色组合物是负型的情况下，可以使上述曝光中的光未照射的部分溶解在碱水溶液中，而仅将被光固化的部分残留。作为显影液，可以使用有机碱显影液或无机碱显影液、或它们的混合液。作为显影液中使用的碱剂，可以列举出例如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、硅酸钠、偏硅酸钠、氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、胆碱、吡咯、哌啶、1，8_二氮双环-[5，4，0]-7_十一碳烯等有机碱性化合物。优选使用将这些碱剂用纯水稀释成浓度为0.00110质量％、优选为0.011质量％的碱性水溶液作为显影液。另外，在使用由这些碱性水溶液形成的显影液的情况下，一般在显影后用纯水洗涤(淋洗)。在本发明中，在本显影工序之后，在下述的烘烤工序前，以下凹的长度为3.08.0μm的方式形成黑色矩阵图案。黑色矩阵图案的形状、特别是下凹的形状可以通过曝光、显影、和下述的预烘烤的各条件来控制。这里，首先对下凹进行详细说明。在黑色矩阵的形成工序中，在对曝光后的感光性浓色组合物层进行显影时，与感光性浓色组合物层的表面(是指与基板不接触的面；下面，对黑色矩阵也同样称呼)和该表面附近的层内部(以下称作“感光性浓色组合物层上部”，对于黑色矩阵，也称作“黑色矩阵上部”)相比，感光性浓色组合物层的背面(是指与基板接触的面；下面，对黑色矩阵也同样称呼)和该背面附近的层内部(下面也称作“感光性浓色组合物层下部”，对于黑色矩阵，也称作“黑色矩阵下部”)的显影进行的程度更高。此时，感光性浓色组合物层下部成为被挖去了的状态，在将形成有感光性浓色组合物层(黑色矩阵)的基板沿着黑色矩阵的宽度方向切断的情况下，感光性浓色组合物层的形状例如如图1和图2所示的那样，呈倒锥体。将这种状态称作具有下凹的状态。通过在感光性浓色组合物层(黑色矩阵)中设置下凹，在后续工序中，在形成有黑色矩阵的基板(下面，也称作“黑色矩阵基板”)上通过涂布感光性着色组合物等来设置着色像素时，能够使黑色矩阵与着色像素的边界部分难以隆起。由此，在制作滤色器并进行图像显示时，能够抑制液晶的取向混乱和光漏，能够得到高品质的图像。下面，使用图来更详细地说明下凹。图1和图2是表示在黑色矩阵中(感光性浓色组合物层)中具有下凹的状态下的黑色矩阵基板的截面图。如图1所示，下凹长度a是作为下述距离而求出的，所述距离是感光性浓色组合物层4的宽度方向的一端P与部分Q之间的距离，所述部分Q是在感光性浓色组合物层4的下部中感光性浓色组合物层4被挖去而没有感光性浓色组合物的部分的、在上述宽度方向上距上述一端P最远的部分。在上述宽度方向上距上述一端P最远的部分并不限于如图1所示的感光性浓色组合物层4的表面与基板2的切点。例如，如图2所示，在感光性浓色组合物层4的厚度方向的上端(表面)与下端(底面)之间的中间部分被挖去的情况下，下凹长度a是从上述一端P至在感光性浓色组合物层4中的被挖去的部分的、在上述宽度方向上距离上述一端P最远的部分R之间的距离。下凹长度为3.08.0μm。从使由黑色矩阵与着色像素重合而成的重叠部的隆起变小(优选为0.50μm以下)的观点出发，优选为3.58.0μm，更优选为4.08.0μm，进一步优选为4.07.0μm，最优选为4.06.0μm。如果下凹长度不足3.0μm，则在黑色矩阵基板上形成着色像素时，无法抑制重叠部的隆起，如果下凹长度超过8.0μm，则虽然能够抑制重叠部的隆起，但是在下述的烘烤工序等感光性浓色组合物层的显影后的操作中，有时发生感光性浓色组合物层欠缺，或感光性浓色组合物层剥离。此外，从将黑色矩阵的线宽及下凹的显影液温度依赖性减小的观点(以良好的精度形成黑色矩阵的观点)出发，下凹长度优选为3.05.0μm的范围。为了在感光性浓色组合物层中设置下凹，重要的是适当调整显影条件，通过改变显影条件，可以调整下凹长度。从概念上讲，越是使用比通常所用的显影条件稍强的条件进行显影，越能增大下凹量。所谓更强的条件，可以列举出更高的温度、更长的时间、更多的流量、更高的喷淋压等，但其中温度和时间的调整是特别重要的。具体地讲，从精度良好地调整下凹的观点出发，显影温度优选为2035°C，更优选为2530°C。从容易设置下凹的观点出发，显影时间优选为30120秒，更优选为4090秒。其中，显影温度和显影时间的优选组合可以列举出例如，温度25°C下50100秒，温度30°C下4080秒。此外，从可防止黑色矩阵(BM)的欠缺的观点出发，喷淋压优选为0.010.5MPa,更优选为0.050.3MPa，进而优选为0.10.3MPa。此外，为了更加细致地调整下凹长度，优选在黑色矩阵形成工序中追加下述的预烘烤工序。详细情况如下所述，对于下凹长度，预烘烤条件越弱，下凹量越大。-烘烤工序-接着，对黑色矩阵图案实施称为烘烤处理(后烘烤)的加热处理。烘烤是用于使感光性浓色组合物固化完全的显影后的加热处理，通常进行150260°C的热固化处理。烘烤温度优选为150260°C，更优选为180260°C，最优选为200240°C。烘烤时间优选为10150分钟，更优选为20120分钟，最优选为3090分钟。通过在上述条件范围中对感光性浓色组合物层进行烘烤，在形成有黑色矩阵的基板上形成着色像素时，能抑制黑色矩阵和着色图案的重叠部的隆起。烘烤处理是以成为上述条件的方式对显影后的感光性浓色组合物层使用加热板、对流烘箱(热风循环式干燥机)、或高频加热机等的加热手段，以连续式或间歇式来进行的。-其它工序_在本发明的黑色矩阵形成工序中，可以进一步在上述感光性浓色组合物层形成工序之后、且在上述曝光工序之前加入预烘烤工序，在上述显影工序之后且在上述烘烤(后烘烤)工序之前，根据需要，也可以包含通过曝光使所形成的黑色矩阵固化的工序。(预烘烤工序)如上所述，为了调整下凹长度，除了调整黑色矩阵形成工序中的曝光和显影的条件以外，还优选适当调整预烘烤条件。本发明的黑色矩阵形成工序中，优选在比通常所用的预烘烤条件更低的温度下进行。具体的讲，在使用加热板进行预烘烤的情况下，预烘烤温度优选为65120°C。通过设为65°C以上，可以防止显影工序中感光性浓色组合物层剥离，通过设为120°C以下，可以使感光性浓色组合物层下部成为容易被挖去的状态。更优选为70100°C，最优选为7090°C。此外，预烘烤时间优选为50300秒，更优选为90200秒，最优选为100180秒。通过在上述条件范围内进行预烘烤，容易在感光性浓色组合物层中设置下凹。另外，预烘烤可以在烘箱中进行，在该情况下，通过适当地设定与上述同等的预烘烤条件，可以调整下凹长度。[着色图案形成工序]在本发明中，在着色图案形成工序中，至少通过在形成有烘烤后的感光性浓色组合物层(黑色矩阵)的基板上使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层(感光性着色组合物层形成工序)、将上述感光性着色组合物层曝光(着色层曝光工序)、将曝光后的上述感光性着色组合物层显影(着色层显影工序)、对显影后的上述感光性着色组合物层进行烘烤(着色层烘烤工序)，以该烘烤后的与上述黑色矩阵重合的重叠部的在黑色矩阵宽度方向上的距离为1.042μm的方式形成着色图案。着色图案形成工序除了上述各工序之外，根据需要，还可以设置预烘烤工序等其他工序。首先，对上述“重叠”进行说明。-重叠-在形成有黑色矩阵的基板上涂布感光性着色组合物等而形成着色图案(着色像素)时，一般是以在黑色矩阵与着色像素之间不产生间隙、感光性着色组合物与黑色矩阵重合的方式使若干感光性着色组合物被覆(重叠)在黑色矩阵上而形成着色像素。在本发明中，除了上述的下凹之外，通过将重叠部的距离调整为1.012μm，能得到高品质的滤色器和液晶显示装置。所谓的上述“重叠部的距离”，是指使用感光性着色组合物层形成的着色图案与黑色矩阵重合的重叠部在黑色矩阵宽度方向上的距离。用图对其作更详细地说明。图3是表示在形成有黑色矩阵4的基板2上通过涂布感光性着色组合物等而形成感光性着色组合物层6、并形成由黑色矩阵4与感光性着色组合物层6重合而成的重叠部8的状态的滤色器的部分截面图。其中，重叠部8是距离b的区域，重叠部8的距离b可以作为如下距离来求出，所述距离是在黑色矩阵4的宽度方向上的、同感光性着色组合物层6相对置的一侧的最外端S与以重合在黑色矩阵4上的方式设置的感光性着色组合物层6的位于黑色矩阵4上的最外端T之间的、黑色矩阵4的宽度方向的距离。实际上，在求算重叠部8的距离b时，可以通过将滤色器在与黑色矩阵4的图案的长度方向垂直的方向上切断，由该截面进行测定而求出。从使重叠部的隆起减小(优选为0.50μπι以下)的观点出发，该距离b必须为1.012μm，优选为1.010μm，更优选为1.08.0μm，最优选为2.06.0μm。此外，通过将上述重叠部的距离设为12μm以下，在大型基板(1边为Im以上)中，能够稳定地制造滤色器和显示装置。重叠的距离可以通过使感光性着色组合物层的曝光图案位置或显影条件变化来进行调整。具体而言，越是减少曝光图案与黑色矩阵的重合量，越能减少重叠量，越是减弱显影条件，例如，越是降低显影温度或者缩短显影时间，越能增大重叠量。更具体而言，为了将上述重叠部的距离设为1.012μm，优选将曝光图案与黑色矩阵重合的距离设为1.012μπι。此外，优选将显影温度设为2035°C，更优选设为2535°C。进而，优选将显影时间设为20120秒，更优选设为2570秒。作为上述各条件的优选的组合，优选为将曝光图案与黑色矩阵重合的距离设为2.012μm、将显影温度设为2035°C、并且将显影时间设为20120秒的组合。更优选的组合为将曝光图案与黑色矩阵重合的距离设为3.09.0μm、将显影温度设为2530°C、并且将显影时间设为3070秒的组合。如上所述，在黑色矩阵与感光性着色组合物层的重叠部，以黑色矩阵与感光性着色组合物层部分重合的方式将感光性着色组合物覆盖在黑色矩阵上，从而该部分成为隆起的状态。通过减小该重叠部的隆起的程度，能够抑制液晶的取向混乱和光漏，能够得到高品质的图像。对于重叠部的隆起，用图进行说明。图4是表示在形成有黑色矩阵4的基板2上通过涂布感光性着色组合物等而形成感光性着色组合物层、通过曝光和显影等形成着色图案6、并在由黑色矩阵4与着色图案6重合而成的重叠部8处形成隆起的状态的滤色器的部分截面图。所谓的上述“重叠部的隆起的程度”，更详细而言，是指在着色图案6的表面中，上述重叠部8的距离基板2的表面(基板2的与黑色矩阵4或着色图案6接触的面)最远的部分、与除上述重叠部8以外的平坦的表面部分之间的在基板的法线上的距离。换而言之，上述“重叠部的隆起的程度”是指由距离c减去距离d而得到的距离e，所述距离c是基板2的表面与在着色图案6的表面中的重叠部8的距离基板2的表面最远的部分之间的在基板的法线上的距离，所述距离d是基板2的表面与在着色图案6的表面中的除重叠部8以外的部分之间的在基板的法线上的距离。下面，为了方便，将上述重叠部的隆起称为“角”，将上述距离e称为“角的高度”。从得到高品质的图像方面考虑，角的高度优选为0.5μm以下，更优选为0.4μm以下，最优选为0.25μπι以下。角的高度可以通过适当设定上述的下凹长度、重叠部的距离、及黑色矩阵的厚度来进行调整。作为上述下凹长度、重叠部的距离、黑色矩阵的厚度的优选的组合，优选将下凹长度设为3.57.5μm、将重叠部的距离设为1.59.5μm、进而将黑色矩阵的厚度设为0.21.5μm。作为更优选的组合，将下凹长度设为4.06.0μm、将重叠部的距离设为2.58.5μm、进而将黑色矩阵的厚度设为0.51.2μm。然后，对本发明中的在着色图案形成工序中进行的各种工序进行说明。-感光性着色组合物层形成工序_在感光性着色组合物层形成工序中，在形成有烘烤后的感光性浓色组合物层(黑色矩阵)的基板上使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层。作为在形成有黑色矩阵的基板上形成感光性着色组合物层的方法，可以使用与在基板上形成感光性浓色组合物层的方法同样的方法、即涂布方法或转印方法。其中，从可有效发挥本发明的效果的观点出发，优选为用狭缝涂布机等在形成有黑色矩阵的基板前面涂布感光性着色组合物的方法。为了得到充分的颜色再现区域，且得到充分的面板亮度，感光性着色组合物层的层厚优选为0.53.0μm，更优选为1.02.5μm的范围。-着色层曝光工序_在着色层曝光工序中，使上述感光性着色组合物层曝光。感光性着色组合物层的曝光处理可以与感光性浓色组合物层的曝光工序同样地进行。在形成多色的着色图案时，可以介由各种颜色的规定的掩模图案按各种颜色进行曝光，使光照射后的各种颜色的感光性着色组合物层图案化(在负型的情况下是固化)。-着色层显影工序-在着色层显影工序中，对曝光后的上述感光性着色组合物层进行显影。曝光后的感光性着色组合物层的显影处理可以进行与在感光性浓色组合物层的显影工序的说明中记载的操作同样的操作，可以优选使用在上述显影工序中说明的显影液。作为显影条件，为了调整在黑色矩阵与着色像素的重叠部产生的重叠部的距离与角的高度，优选为在上述重叠的说明中记载的显影条件下对感光性着色组合物层进行显影。-着色层烘烤工序_在着色层烘烤工序中，对已显影的上述感光性着色组合物层进行烘烤。对显影后的感光性着色组合物层进行烘烤的方法，可以使用与上述的对感光性浓色组合物层进行烘烤的烘烤工序同样的方法。另外，在形成RGB的3色相等多色相的着色图案时，可以将感光性着色组合物层的形成、曝光、显影、和烘烤的循环重复所期望的色相数，也可以对每个色相进行感光性着色组合物层的形成、曝光、和显影，最后将所有色相成分合在一起进行烘烤。由此可以制作具有黑色矩阵和由所期望的色相形成的着色像素的滤色器。-其他工序_在着色图案形成工序中，在感光性着色组合物层形成工序之后且在着色层曝光工序之前，为了使感光性着色组合物干燥，也可以设置对感光性着色组合物层进行预烘烤的工序(着色层预烘烤工序)。感光性着色组合物层的预烘烤温度优选为60140°C，更优选为80120°C。预烘烤时间优选为30300秒，更优选为80200秒。然后，对在本发明的滤色器的制造方法中使用的感光性着色组合物、及感光性浓色组合物作详细说明。〈感光性着色组合物〉在本发明的滤色器的着色图案形成用途中所使用的感光性着色组合物为感放射线性组合物(例如在负型的情况下，是通过光而固化的感放射线性组合物)，优选含有(A-I)着色剂、(B)粘合剂聚合物、(C-I)聚合性化合物、(D)光聚合引发剂、和(E)溶剂，根据需要还可以含有高分子分散剂或表面活性剂等其它的添加物。-(A-I)着色剂-着色剂可以从染料和颜料系中适当选择，作为着色剂使用的颜料可以是无机颜料，也可以是有机颜料，但考虑到优选高透射率，优选尽量使用粒径小的颜料。平均粒径优选为10lOOnm，更优选为1050nm的范围。在本发明中使用的感光性着色组合物中，通过使用后述的高分子分散剂，即使在着色剂的尺寸小的情况下，颜料分散性、分散稳定性也良好，所以即使膜厚薄，也可以形成颜色纯度优异的着色像素。可以作为着色图案(着色像素)形成用的着色剂而使用的无机颜料，可以列举出以金属氧化物、金属络盐等表示的金属化合物，具体而言，可以列举出铁、钴、铝、镉、铅、铜、钛、镁、铬、锌、锑等的金属氧化物、及上述金属的复合氧化物等。此外，作为有机颜料，可以列举出例如C.I.颜料黄11、24、31、53、83、93、99、108、109、110、138、139、147、150、151、154、155、167、180、185、199；C.I.颜料橙36、38、43、71；C.I.颜料红81、105、122、149、150、155、171、175、176、177、209、220、224、242、254、255、264、270;C.I.颜料紫19、23、32、37、39；C.I.颜料蓝1、2、15、15:1、15:3、15:6、16、22、60、66；C.I.颜料绿7、36、37；C.I.颜料褐25、28；C.I.颜料黑1等。虽然在本发明中不特别限定，但更优选为下述颜料。C.I.颜料黄11、24、108、109、110、138、139、150、151、154、167、180、185；C.I.颜料橙36、71；C.I.颜料红122、150、171、175、177、209、224、242、254、255、264；C.I.颜料紫19、23、37；C.I.颜料蓝15:1、15:3、15:6、16、22、60、66；C.I.颜料绿7、36、37。这些有机颜料可以单独使用，或为了提高颜色纯度而进行各种组合来使用。下面示出了组合的具体例。例如，作为红色相(R)用的颜料，可以将蒽醌类颜料、茈类颜料、二酮吡咯并吡咯类颜料单独使用，或使用它们中的至少一种与双偶氮类黄色颜料、异吲哚啉类黄色颜料、喹酞酮类黄色颜料或茈类红色颜料的混合物等。例如，作为蒽醌类颜料，可以列举出C.I.颜料红177，作为茈类颜料，可以列举出C.I.颜料红155、C.I.颜料红224，作为二酮吡咯并吡咯类颜料，可以列举出C.I.颜料红254;从颜色再现性的观点出发，优选使用与C.I.颜料黄139的混合物。此外，从得到充分的颜色纯度、和抑制从NTSC目标色相偏离的观点出发，红色颜料与黄色颜料的质量比优选为100510050。特别是，作为上述质量比，最合适的是在1001010030的范围。另外，在将红色颜料彼此组合的情况下，可以对照色度进行调整。此外，作为绿色相(G)用的颜料，可以单独使用卤化酞菁类颜料，或将其与双偶氮类黄色颜料、喹酞酮类黄色颜料、偶氮甲碱类黄色颜料、或异吲哚啉类黄色颜料混合使用。例如，作为这样的例子，优选为C.I.颜料绿7、36、37与C.I.颜料黄83、C.I.颜料黄138、C.I.颜料黄139、C.I.颜料黄150、C.I.颜料黄180、或C.I.颜料黄185的混合物。从得到充分的颜色纯度、和抑制从NTSC目标色相偏离的观点出发，绿色颜料与黄色颜料的质量比优选为1005100150。作为质量比，特别优选为10030100120的范围。作为蓝色相(B)用的颜料，可以单独使用酞菁类颜料，或可以将其与二噁嗪类紫色颜料混合使用。优选为例如C.I.颜料蓝15:6和C.I.颜料紫23的混合物。蓝色颜料与紫色颜料的质量比优选为100010050，更优选为100510030。作为本发明中使用的感光性着色组合物层中的(A-I)着色剂(颜料)的含量，相对于该组合物的总固体成分(质量)，优选为2575质量％，更优选为3270质量％。(A-I)着色剂(颜料)的含量在上述范围内时，颜色浓度充分，可有效确保优异的颜色特性。-(B)粘合剂聚合物_本发明的上述感光性着色组合物，为了提高皮膜特性，赋予显影特性等目的，优选含有粘合剂聚合物。作为粘合剂聚合物，可以使用下述的碱溶性树脂。作为本发明中使用的碱溶性树脂，是线状有机高分子聚合物，可以从分子(优选为以丙烯酸类共聚物、苯乙烯类共聚物为主链的分子)中具有至少一个可促进碱溶性的基团(例如，羧基、磷酸基、磺酸基、羟基等)的碱溶性树脂中适当选择。作为上述碱溶性树脂的更优选例子，是侧链具有羧酸的聚合物，可以列举出例如在日本特开昭59-44615号公报、日本特公昭54-34327号公报、日本特公昭58-12577号公报、日本特公昭54-25957号公报、日本特开昭59-53836号公报、日本特开昭59-71048号公报的各公报中记载的甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸共聚物、衣康酸共聚物、巴豆酸共聚物、马来酸共聚物、部分酯化的马来酸共聚物等，以及侧链上具有羧酸的酸性纤维素衍生物、具有羟基的聚合物与酸酐加成而成的聚合物等丙烯酸类共聚物。作为酸值，优选为10200mgK0H/g，更优选为30180mgK0H/g，进一步优选为50150mgK0H/g的范围。碱溶性树脂的具体构成单元特别优选为(甲基)丙烯酸与可与其共聚的其它单体的共聚物。作为上述可与(甲基)丙烯酸共聚的其它单体，可以列举出(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、乙烯基化合物等。其中，烷基和芳基的氢原子也可以被取代基取代。作为上述(甲基)丙烯酸烷基酯和(甲基)丙烯酸芳基酯，可以列举出CH2=C(Rj)(C00R3)[其中，R1表示氢原子或碳原子数为15的烷基，R3表示碳原子数为18的烷基或碳原子数612的芳烷基]。作为具体例，可以列举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸甲苯基酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸羟基烷基酯(烷基是碳原子数为18的烷基)、甲基丙烯酸羟基缩水甘油酯、甲基丙烯酸四氢糠基酯等。此外，在分子侧链具有聚环氧烷链的树脂也是优选的。作为上述聚环氧烷链，可以是聚环氧乙烷链、聚环氧丙烷链、聚1，4_丁二醇链，或将它们并用，末端是氢原子或是直链或支链的烷基。聚环氧乙烷链、或聚环氧丙烷链的重复单元优选是120，更优选是212。作为这些在侧链上具有聚环氧烷链的丙烯酸类共聚物的例子，可以列举出例如聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚(乙二醇_丙二醇)单(甲基)丙烯酸酯等；以及它们的末端OH基被烷基封闭的化合物，例如以甲氧基聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、乙氧基聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、甲氧基聚(乙二醇_丙二醇)单(甲基)丙烯酸酯等为共聚成分的丙烯酸类共聚物。作为上述乙烯基化合物，可以列举出CH2=CR1R2[其中，R1表示氢原子或碳原子数为15的烷基，R2表示碳原子数为610的芳香族烃环]。作为具体例，可以列举出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、丙烯腈、乙酸乙烯基酯、N-乙烯基吡咯烷酮、聚苯乙烯大分子单体、聚甲基丙烯酸甲酯大分子单体等。可共聚的其它单体可以单独使用1种，或将2种以上组合使用。其中，特别优选为(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物或由(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸/其它单体形成的多元共聚物。如上所述，丙烯酸类树脂具有20200mgK0H/g的范围的酸值。如果酸值为200以下，则丙烯酸类树脂对碱的溶解性不会过大，可防止显影合适范围(显影宽容度(latitude))变窄。另一方面，如果为20以上，则由于难以使对碱的溶解性变小，所以可以防止显影时间的长时间化。此外，为了实现在涂布感光性着色组合物等的工序中容易使用的粘度范围，并且为了确保膜强度，丙烯酸类树脂的重均分子量Mw(用GPC法测定的聚苯乙烯换算值)优选为2，000100，000，更优选为3，00050，000。此外，为了提高本发明的感光性着色组合物的交联效率，可以单独使用在碱溶性树脂中具有聚合性基团的树脂，或者也可以将其与不具有聚合性基团的碱溶性树脂并用，在侧链含有芳基、(甲基)丙烯酰基、芳氧基烷基等的聚合物等是有用的。具有聚合性双键的碱溶性树脂可以用碱显影液进行显影，而且具有光固化性和热固化性。下面示出了含有这些聚合性基团的聚合物的例子，但只要是在1分子中含有COOH基、OH基等碱溶性基团和碳碳不饱和键的化合物，就不受下述的限定。(1)通过将预先使异氰酸酯基与OH基反应并留下一个未反应的异氰酸酯基且还含有至少1个(甲基)丙烯酰基的化合物与含有羧基的丙烯酸树脂反应而得到的氨基甲酸酯改性的含有聚合性双键的丙烯酸树脂；(2)通过将含有羧基的丙烯酸树脂与分子内同时具有环氧基和聚合性双键的化合物反应而得到的含有不饱和基团的丙烯酸树脂；(3)酸侧链(pendant)型环氧丙烯酸酯树脂；(4)使含有OH基的丙烯酸树脂与具有聚合性双键的2元酸酐反应而得到的含有聚合性双键的丙烯酸树脂。在上述中，特别优选⑴和⑵的树脂。作为具体例可以使用将由具有OH基的例如丙烯酸2-羟乙酯、含有COOH基的例如甲基丙烯酸、以及可与它们共聚的丙烯酸类或乙烯基类化合物等的单体形成的共聚物与具有对OH基有反应性的环氧环和碳碳不饱和键的化合物(例如丙烯酸缩水甘油酯等化合物)反应而得到的化合物等。在与OH基的反应中，除了具有环氧环的化合物之外，还可以使用具有酸酐、异氰酸酯基、丙烯酰基的化合物。此外，还可以使用将下述化合物与饱和或不饱和多元酸酐反应而得的反应物，所述化合物为将在日本特开平6-102669号公报、日本特开平6-1938号公报记载的具有环氧环的化合物与丙烯酸之类的不饱和羧酸反应而得的的化合物。作为兼具COOH基那样的碱可溶基团和碳碳不饱和基团的化合物，可以列举出例如，DIANALNR系列(MitsubishiRayon株式会社制)；Photomer6173(含有COOH基的聚氨酯丙烯酸低聚物，DiamondShamrockCo.Ltd.制)；VISCOTER-264、KSresist106(均为大阪有机化学工业株式会社制)；CYCL0MERP系列、PLACCELCF200系列(均为DAICELChemicalIndustries株式会社制)；Ebecryl3800(DAICEL-UCB株式会社制)等。在感光性着色组合物层的总固体成分中，碱溶性树脂的添加量优选为330质量％的范围，更优选为520质量％。作为在感光性着色组合物的调制时使用的粘合剂聚合物，除了上述碱溶性树脂以夕卜，优选进一步添加下述的环氧树脂。作为环氧树脂，可以列举出双酚A型、甲酚酚醛清漆型、联苯型、脂环式环氧化合物等在分子中具有2个以上的环氧环的化合物。例如，作为双酚A型，可以列举出ΕΡ0Τ0ΗΤ0YD-115、YD-118T、YD-127、YD-128、YD-134、YD-8125、YD-7011R、ZX-1059、YDF-8170、YDF-170等(以上为东都化成株式会社制)，DENACOLEX-1101、EX-1102、EX-1103等(以上为NagaseChemtex株式会社制)、PLACCELGL-61、GL-62、G101、G102(以上为DAICELChemicalIndustries株式会社制)等。此外，作为可使用的树脂，可以列举出与它们类似的双酚F型环氧树脂、和双酚S型环氧树脂。此外，还可以使用Ebecryl3700、3701、600(以上为DAICELUCB株式会社制)等的环氧丙烯酸酯。作为甲酚酚醛清漆型，可以列举出ΕΡ0Τ0ΗΤ0YDPN-638、YDPN-701、YDPN-702、YDPN-703、YDPN-704等(以上为东都化成株式会社制)、DENACOLEM-125等(以上为NagaseChemtex株式会社制)；作为联苯型，可以列举出3，5，3，，5，-四甲基-4，4’_二缩水甘油基联苯等；作为脂环式环氧化合物，可以列举出CELLOXIDE2021,2081,2083、2085、EPOLEADGT-301、GT-302、GT-401、GT-403、EHPE_3150(以上为DAICELChemicalIndustries株式会社制)、SANT0HT0ST-3000、ST-4000、ST-5080、ST-5100等(以上为东都化成株式会社制)、Epiclon430、Epiclon673、Epiclon695、Epiclon850S、Epiclon4032(以上为大日本油墨化学工业株式会社制)等。此外，还可以使用1，1，2，2_四(对缩水甘油基氧基苯基)乙烷、三(对缩水甘油基氧基苯基)甲烷、三缩水甘油基三(羟基乙基)异氰脲酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯、对苯二甲酸二缩水甘油酯、以及在作为胺型环氧树脂的ΕΡ0Τ0ΗΤ0YH-434、YH-434L、双酚A型环氧树脂的骨架中进行了二聚酸改性的缩水甘油酯等。其中，优选是“分子量/环氧环的个数”是100以上、更优选为130500的树脂。如果“分子量/环氧环的个数”小，则固化性高，固化时的收缩大；此外如果过大，则固化性不充分，缺乏可靠性，平坦性变差。作为具体的优选的化合物的例子，可以列举出ΕΡ0Τ0ΗΤ0YD-115、118T、127、YDF-170、YDPN-638、YDPN-701、PLACCELGL-61、GL_62、3，5，3，，5，-四甲基-4，4，_二缩水甘油基联苯、CELL0XIDE2021、2081、EPOLEADGT-302、GT-403、EHPE-3150等。-(C-I)聚合性化合物-在本发明中使用的感光性着色组合物优选含有(C-I)聚合性化合物。可在本发明中使用的聚合性化合物是至少具有一个烯键式不饱和双键的加聚性化合物，选自具有至少1个、优选2个以上的末端烯键式不饱和键的化合物。此类化合物组是在该
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中广为人知的，在本发明中可以没有特殊限定的使用这些化合物。它们包括例如单体、预聚物(即2聚体或3聚体)和低聚物、或它们的混合物、以及它们的共聚物等化学形态。作为单体和其共聚物的例子，可以列举出不饱和羧酸(例如、丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、巴豆酸、异巴豆酸、马来酸等)、以及其酯类和酰胺类。优选使用不饱和羧酸与脂肪族多元醇化合物的酯、不饱和羧酸与脂肪族多元胺化合物的酰胺类。此外，还优选使用具有羟基、氨基、或巯基等亲核性取代基的不饱和羧酸酯类或酰胺类与单官能或多官能异氰酸酯类或单官能或环氧类的加成反应生成物；以及，上述不饱和羧酸酯类或酰胺类与单官能或多官能的羧酸的脱水缩合反应生成物等。此外，还优选具有异氰酸酯基或环氧基等亲电性取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类与单官能或多官能的醇类、胺类、硫醇类的加成反应物；以及，具有卤素基或甲苯磺酰氧基等离去性取代基的不饱和羧酸酯或酰胺类与单官能或多官能的醇类、胺类、硫醇类的取代反应物。此外，作为其它的例子，还可以使用将上述的不饱和羧酸用不饱和膦酸、苯乙烯、乙烯基醚等取代而得到的化合物组。作为脂肪族多元醇化合物与不饱和羧酸的酯的单体的具体例子，作为丙烯酸酯，可以列举出乙二醇二丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、1，3_丁二醇二丙烯酸酯、四亚甲基二醇二丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三羟甲基乙烷三丙烯酸酯、己二醇二丙烯酸酯、1，4_环己二醇二丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、山梨糖醇四丙烯酸酯、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、聚酯丙烯酸酯低聚物、异氰脲酸EO改性三丙烯酸酯等。作为甲基丙烯酸酯，可以列举出四亚甲基二醇二(甲基丙烯酸)酯、三甘醇二(甲基丙烯酸)酯、新戊二醇二(甲基丙烯酸)酯、三羟甲基丙烷三(甲基丙烯酸)酯、三羟甲基乙烷三(甲基丙烯酸)酯、乙二醇二(甲基丙烯酸)酯、1，3_丁二醇二(甲基丙烯酸)酯、己二醇二(甲基丙烯酸)酯、季戊四醇二(甲基丙烯酸)酯、季戊四醇三(甲基丙烯酸)酯、季戊四醇四(甲基丙烯酸)酯、二季戊四醇二(甲基丙烯酸)酯、二季戊四醇六(甲基丙烯酸)酯、山梨糖醇三(甲基丙烯酸)酯、山梨糖醇四(甲基丙烯酸)酯、二[对-(3-甲基丙烯酰氧基-2-羟基丙氧基)苯基]二甲基甲烷、二[对_(甲基丙烯酰氧基乙氧基)苯基]二甲基甲烷等。作为衣康酸酯，可以列举出乙二醇二衣康酸酯、丙二醇二衣康酸酯、1，3-丁二醇二衣康酸酯、1，4-丁二醇二衣康酸酯、四亚甲基二醇二衣康酸酯、季戊四醇二衣康酸酯、山梨糖醇四衣康酸酯等。作为巴豆酸酯，可以列举出乙二醇二巴豆酸酯、四亚甲基二醇二巴豆酸酯、季戊四醇二巴豆酸酯、山梨糖醇四巴豆酸酯等。作为异巴豆酸酯，可以列举出乙二醇二异巴豆酸酯、季戊四醇二异巴豆酸酯、山梨糖醇四异巴豆酸酯等。作为马来酸酯，可以列举出乙二醇二马来酸酯、三甘醇二马来酸酯、季戊四醇二马来酸酯、山梨糖醇四马来酸酯等。作为其它酯的例子，优选使用例如在日本特公昭51-47334号公报、日本特开昭57-196231号公报中记载的脂肪族醇系酯类，在日本特开昭59-5240号公报、日本特开昭59-5241号公报、日本特开平2-226149号公报中记载的具有芳香族系骨架的酯，在日本特开平1-165613号公报中记载的含有氨基的酯等。进而，上述酯单体还可以作为混合物使用。此外，作为脂肪族多元胺化合物与不饱和羧酸的酰胺的单体的具体例子，可以列举出亚甲基二丙烯酰胺、亚甲基二(甲基丙烯酰胺)、1，6_亚己基二丙烯酰胺、1，6_亚己基二(甲基丙烯酰胺)、二亚乙基三胺三丙烯酰胺、苯二甲撑二丙烯酰胺、苯二甲撑二(甲基丙烯酰胺)等。作为其它的优选酰胺类单体的例子，可以列举出日本特公昭54-21726号公报中记载的具有亚环己基结构的酰胺。此外，还优选使用通过异氰酸酯与羟基的加成反应而制备的氨基甲酸酯类加聚性化合物，作为这样的具体例，可以列举出例如，在日本特公昭48-41708号公报中记载的在1分子中具有2个以上的异氰酸酯基的聚异氰酸酯化合物与下述通式(V)所示的含有羟基的乙烯基单体加成而得到的在1分子中含有2个以上的聚合性乙烯基的乙烯基氨基甲酸酯化合物等。CH2=C(R4)C00CH2CH(R5)0H(V)(其中，R4和R5各自独立地表示H或CH3。)此外，在日本特开昭51-37193号公报、日本特公平2_32293号公报、日本特公平2-16765号公报中记载那样的氨基甲酸酯丙烯酸酯类，在日本特公昭58-49860号公报、日本特公昭56-17654号公报、日本特公昭62-39417号公报、日本特公昭62-39418号公报中记载的具有环氧乙烷类骨架的氨基甲酸酯化合物类也是优选的。进而，通过使用在日本特开昭63-277653号公报、日本特开昭63-260909号公报、日本特开平1-105238号公报中记载的分子内具有氨基结构或硫醚结构的加聚性化合物类，也可以得到感光速度非常优异的光聚合性组合物。作为其它例子，可以列举出在日本特开昭48-64183号公报、日本特公昭49-43191号公报、日本特公昭52-30490号公报的各公报中记载的聚酯丙烯酸酯类、环氧树脂与(甲基)丙烯酸反应而成的环氧丙烯酸酯类等多官能的丙烯酸酯和甲基丙烯酸酯。此外，还可以列举出在日本特公昭46-43946号公报、日本特公平1-40337号公报、日本特公平1-40336号公报中记载的特定的不饱和化合物，在日本特开平2-25493号公报中记载的乙烯基膦酸类化合物等。此外，在某些情况下，优选使用在日本特开昭61-22048号公报中记载的含有全氟烷基的结构。进而，还可以使用在日本接着协会志Vol.20、No.7、第300308页(1984年)中作为光固化性单体和低聚物介绍的化合物。关于这些聚合性聚合物，其结构、单独使用还是并用、添加量等详细的使用方法，可以根据最终感材的性能设计来任意设定。例如，可以根据以下那样的观点来选择。在感度方面，优选为每1分子的不饱和基含量多的结构，在多数情况下，优选为2官能以上。此外，为了提高着色图像部即感光性着色组合物层的强度，也可以是3官能以上的化合物。进而，通过并用不同官能数和/或不同聚合性基团(例如丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、苯乙烯类化合物、乙烯基醚类化合物)的化合物来调节感度和强度这两方面的方法也是有效的。从固化感度的观点来看，优选使用含有2个以上的(甲基)丙烯酸酯结构的化合物，更优选使用含有3个以上(甲基)丙烯酸酯结构的化合物，最优选使用含有4个以上(甲基)丙烯酸酯结构的化合物。另外，从固化感度和未曝光部分的显影性的观点来看，优选含有EO改性体。此外，从固化感度和曝光部强度的观点来看，优选含有氨基甲酸酯键。此外，对于与感光性着色组合物层中的其它成分(例如粘合剂聚合物、引发剂、着色剂(颜料、染料等))的相容性、分散性，加聚化合物的选择、使用方法也是重要因素，例如，有时通过使用低纯度化合物或并用2种以上来提高相容性。此外，出于提高与基板等的密合性的目的，可以选择特定结构。出于以上观点，作为优选例子，可以列举出双酚A二丙烯酸酯、双酚A二丙烯酸酯EO改性体、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三羟甲基乙烷三丙烯酸酯、四甘醇二丙烯酸酯、季戊四醇二丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、山梨糖醇三丙烯酸酯、山梨糖醇四丙烯酸酯、山梨糖醇五丙烯酸酯、山梨糖醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯EO改性体、二季戊四醇六丙烯酸酯EO改性体等。此外，作为市售品，优选为氨基甲酸酯低聚物UAS-10、UAB-140(山陽国策”^7°公司制)、DPHA(日本化药公司制)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(共荣公司制)。其中，更优选为双酚A二丙烯酸酯EO改性体、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯EO改性体、二季戊四醇六丙烯酸酯EO改性体等，作为市售品，更优选为DPHA(日本化药公司制)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(共荣公司制)。(C-I)聚合性化合物的含量在本发明的感光性着色性组合物层中的总固体成分中优选为555质量％，更优选为1050质量％，进一步优选为1545质量％。-(D)光聚合引发剂_本发明的感光性着色性组合物优选含有(D)光聚合引发剂。上述光聚合引发剂是受光照会分解、引发和促进上述(C-I)聚合性化合物的聚合的化合物，优选在波长为300500nm的区域具有吸收的化合物。此外，上述光聚合引发剂可以单独使用，或2种以上并用。作为上述光聚合引发剂，可以列举出例如，有机卤化物、噁二唑化合物、羰基化合物、缩酮化合物、苯偶姻化合物、吖啶化合物、有机过氧化物、偶氮化合物、香豆素化合物、叠氮化合物、金属茂化合物、六芳基联咪唑化合物、有机硼酸化合物、二磺酸化合物、肟酯化合物、鐺盐化合物、酰基膦(氧化物)化合物。作为有机卤化物，具体可以列举出下述文献中记载的化合物，所述文献为若林等“BullChemSocJapan”42，2924(1969)、美国专利第3，905，815号说明书、日本特公昭46-4605号公报、日本特开昭48-36281号公报、日本特开昭55-32070号公报、日本特开昭60-239736号公报、日本特开昭61-169835号公报、日本特开昭61-169837号公报、日本特开昭62-58241号公报、日本特开昭62-212401号公报、日本特开昭63-70243号公报、日本特开昭63-298339号公报、M.P.Hurt"JournalofHeterocyclicChemistry”l(No3)，(1970)；特别可以列举出三卤甲基取代的噁唑化合物、均三嗪化合物。作为均三嗪化合物，更优选为在均三嗪环上结合了至少1个单、二、或三卤取代的甲基而成的均三嗪衍生物，作为具体例子，可以列举出2，4，6_三(单氯甲基)均三嗪、2，4，6_三(二氯甲基)均三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)均三嗪、2-甲基-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-正丙基-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2_(α，α，β-三氯乙基)_4，6_二(三氯甲基)-均三嗪、2-苯基-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-(对甲氧基苯基)-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-(3，4-环氧苯基)-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-(对氯苯基)-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-[1-(对甲氧基苯基)-2，4_丁二烯基]-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-苯乙烯基-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-(对甲氧基苯乙烯基)-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-(对异丙氧基苯乙烯基)-4，6_二(三氯甲基)均三嗪、2-(对甲苯基)-4，6_二(三氯甲基)均三嗪、2-(4-甲氧基萘基)_4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-苯硫基-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、2-苄硫基-4，6-二(三氯甲基)均三嗪、4-(邻溴-对-N，N-(二乙氧基羰基氨基)_苯基)-2，6-二(三氯甲基)均三嗪、2，4，6_三(二溴甲基)均三嗪、2，4，6-三(三溴甲基)均三嗪、2_甲基_4，6_二(三溴甲基)均三嗪、2_甲氧基_4，6_二(三溴甲基)均三嗪等。作为噁二唑化合物，可以列举出例如2-三氯甲基-5-苯乙烯基-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(氰基苯乙烯基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(萘-1-基)-1，3，4-噁二唑、2-三氯甲基-5-(4-苯乙烯基)苯乙烯基-1，3，4-噁二唑等。作为羰基化合物，可以列举出例如二苯甲酮、米蚩酮、2-甲基二苯甲酮、3-甲基二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、4-溴二苯甲酮、2-羧基二苯甲酮等二苯甲酮衍生物；2，2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、1-羟基环己基苯基酮、α-羟基-2-甲基苯基丙酮、1-羟基-1-甲基乙基(对异丙基苯基)酮、1-羟基-1-(对十二烷基苯基)酮、2-甲基_1-(4’-(甲硫基)苯基)-2_吗啉基-1-丙酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)丁酮-1、2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基-氧化膦、1，1，1_三氯甲基_(对丁基苯基)酮、2-苄基-2-二甲氨基-4-吗啉基苯丁酮等苯乙酮衍生物；噻吨酮、2-乙基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2，4_二甲基噻吨酮、2，4_二乙基噻吨酮、2，4_二异丙基噻吨酮等噻吨酮衍生物；以及对二甲氨基苯甲酸乙酯、对二乙氨基苯甲酸乙酯等苯甲酸酯衍生物等。作为缩酮化合物，可以列举出例如苄基二甲基缩酮、苄基甲氧基乙基乙基缩醛等。作为苯偶姻化合物，可以列举出例如间苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚、苯偶姻甲醚、邻苯甲酰基苯甲酸甲酯等。作为吖啶化合物，可以列举出例如9-苯基吖啶、9-吡啶基吖啶、9-吡嗪基吖啶、1，2_二(9-吖啶基)乙烷、1，3-二(9-吖啶基)丙烷、1，4-二(9-吖啶基)丁烷、1，5-二(9-吖啶基)戊烷、1，6-二(9-吖啶基)己烷、1，7-二(9-吖啶基)庚烷、1，8-二(9-吖啶基)辛烷、1，9-二(9-吖啶基)壬烷、1，10-二(9-吖啶基)癸烷、1，11-二(9-吖啶基)十一烷、1，12-二(9-吖啶基)十二烷等的二(9-吖啶基)烷烃等。作为有机过氧化物，可以列举出例如过氧化三甲基环己酮、过氧化乙酰丙酮、1，1-二(叔丁基过氧化)-3，3，5-三甲基环己烷、1，1_二(叔丁基过氧化)环己烷、2，2-二(叔丁基过氧化)丁烷、叔丁基过氧化氢、氢过氧化枯烯、二异丙基苯过氧化氢、2，5_二甲基己烷-2，5-二过氧化氢、1，1，3，3-四甲基丁基过氧化氢、过氧化叔丁基异丙苯、过氧化二(异丙苯)、2，5_二甲基-2，5-二(叔丁基过氧化)己烷、2，5_草酰过氧化物、过氧化琥珀酸、过氧化苯甲酰、过氧化2，4_二氯苯甲酰、二异丙基过氧化二碳酸酯、二-2-乙基己基过氧化二碳酸酯、二-2-乙氧基乙基过氧化二碳酸酯、二甲氧基异丙基过氧化碳酸酯、二(3-甲基-3-甲氧基丁基)过氧化二碳酸酯、叔丁基过氧化乙酸酯、叔丁基过氧化新戊酸酯、叔丁基过氧化新癸酸酯、叔丁基过氧化辛酸酯、叔丁基过氧化月桂酸酯、叔碳酸酯(夕——4力一#才、一卜，tertialcarbonate)、3，3，，4，4，-四_(叔丁基过氧化羰基)二苯甲酮、3，3，，4，4’-四_(叔己基过氧化羰基)二苯甲酮、3，3’，4，4’-四_(对异丙基枯基过氧化羰基)二苯甲酮、羰基二(叔丁基过氧化二氢二邻苯二甲酸酯)、羰基二(叔己基过氧化二氢二邻苯二甲酸酯)等。作为偶氮化合物，可以列举出例如在日本特开平8-108621号公报中记载的偶氮化合物等。作为香豆素化合物，可以列举出例如3-甲基-5-氨基-((均三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素、3-氯-5-二乙氨基-((均三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素、3-丁基-5-二甲基氨基-((均三嗪-2-基)氨基)-3-苯基香豆素等。作为叠氮化合物，可以列举出在美国专利第2848328号说明书、美国专利第2852379号说明书、以及美国专利第2940853号说明书中记载的有机叠氮化合物、2，6-二(4-叠氮苄叉基)-4-乙基环己酮(BAC-E)等。作为金属茂化合物，可以列举出例如在日本特开昭59-152396号公报、日本特开昭61-151197号公报、日本特开昭63-41484号公报、日本特开平2-249号公报、日本特开平2-4705号公报、日本特开平5-83588号公报中记载的各种二茂钛化合物，例如，二环戊二烯基双苯基钛、二环戊二烯基双(2，6_二氟苯-1-基)钛、二环戊二烯基双(2，4_二氟苯-1-基)钛、二环戊二烯基双(2，4，6-三氟苯-1-基)钛、二环戊二烯基双(2，3，5，6-四氟苯-1-基)钛、二环戊二烯基双(2，3，4，5，6-五氟苯-1-基)钛、二(甲基环戊二烯基)双(2，6-二氟苯-1-基)钛、二(甲基环戊二烯基)双(2，4，6-三氟苯-1-基)钛、二(甲基环戊二烯基)双(2，3，5，6-四氟苯-1-基)钛、二(甲基环戊二烯基)双(2，3，4，5，6-五氟苯-1-基)钛，以及在日本特开平1-304453号公报、日本特开平1-152109号公报中记载的铁-芳烃(arene)络合物等。作为六芳基联咪唑化合物，可以列举出例如在日本特公平6-29285号公报、美国专利第3，479，185号、美国专利第4，311，783号、美国专利第4，622，286号等各说明书中记载的各种化合物，具体可以列举出2，2’-二(邻氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基联咪唑、2，2’-二(邻溴苯基)-4，4’，5，5’-四苯基联咪唑、2，2’-二(邻，对-二氯苯基)_4，4’，5，5’-四苯基联咪唑、2，2，-二(邻氯苯基)-4，4’，5，5’-四(间甲氧基苯基)联咪唑、2，2，-二(邻，邻’-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基联咪唑、2，2’-二(邻硝基苯基)-4，4’，5，5’-四苯基联咪唑、2，2，-二(邻甲基苯基)-4，4’，5，5’-四苯基联咪唑、2，2，-二(邻三氟苯基)-4，4，，5，5，-四苯基联咪唑等。作为有机硼酸盐化合物，可以列举出例如在日本特开昭62-143044号、日本特开昭62-150242号、日本特开平9-188685号、日本特开平9-188686号、日本特开平9-188710号、日本特开2000-131837号、日本特开2002-107916号、日本专利第2764769号、日本特愿2000-310808号公报等各公报、以及Kunz，Martin在“RadTech，98.ProceedingApril19-22,1998,Chicago”等中记载的有机硼酸盐，在日本特开平6-157623号公报、日本特开平6-175564号公报、日本特开平6-175561号公报中记载的有机硼锍络合物或有机硼氧锍(boronoxosulfonium)络合物，在日本特开平6-175554号公报、日本特开平6-175553号公报中记载的有机硼碘鐺络合物，在日本特开平9-188710号公报中记载的有机硼鳞络合物，在日本特开平6-348011号公报、日本特开平7-128785号公报、日本特开平7-140589号公报、日本特开平7-306527号公报、日本特开平7-292014号公报等中的有机硼过渡金属配位络合物等。作为二砜化合物，可以列举出例如在日本特开昭61-166544号公报、日本特愿2001-132318号说明书等中记载的化合物等。作为月亏酯化合物，可以列举出例如在J.C.S.PerkinII(1979)1653-1660)、J.C.S.Perkin11(1979)156-162、JournalofPhotopolymerScienceandTechnology(1995)202-232、日本特开2000-66385号公报中记载的化合物，在日本特开2000-80068号公报、日本特表2004-534797号公报中记载的化合物等。作为具体例，优选的有CibaSpecialtyChemicals公司制的IRGACURE0XE-01和0XE-02等。作为鐺盐化合物，可以列举出例如在S.I.Schlesinger，Photogr.Sci.Eng.，18，387(1974)、和T.S.Bal等人在Polymer，21，423(1980)中记载的重氮鐺(diazonium)盐，在美国专利第4，069，055号说明书、日本特开平4-365049号公报等中记载的铵盐，在美国专利第4，069，055号说明书、美国专利第4，069，056号说明书的各说明书中记载的鳞盐，在欧洲专利第104，143号说明书、美国专利第339，049号说明书、美国专利第410，201号说明书的各说明书、日本特开平2-150848号公报、日本特开平2-296514号公报的各公报中记载的碘鐺盐等。可在本发明中优选使用的碘鐺盐是二芳基碘鐺盐，从稳定性的观点来看，优选被2个以上的烷基、烷氧基、芳氧基等给电子性基团取代。此外，作为其它的优选锍盐的形态，可以列举出三芳基锍盐的一个取代基具有香豆素、蒽醌结构、且在300nm以上具有吸收的碘金等o作为在本发明中可优选使用的锍盐，可以列举出欧洲专利第370，693号、欧洲专利第390，214号、欧洲专利第233，567号、欧洲专利第297，443号、欧洲专利第297，442号、美国专利第4，933，377号、美国专利第161，811号、美国专利第410，201号、美国专利第339，049号、美国专利第4，760，013号、美国专利第4，734，444号、美国专利第2，833，827号、德国专利第2，904，626号、德国专利第3，604，580号、德国专利第3，604，581号的各说明书中记载的锍盐，从稳定性和感度的观点来看，这些锍盐优选被吸电子性基团取代。优选吸电子性基团的哈米特(Hammett)值比0大。作为优选的吸电子性基团，可以列举出卤原子、羧酸等。此外，作为其它的优选的锍盐，可以列举出三芳基锍盐中的一个取代基具有香豆素、蒽醌结构、且在300nm以上具有吸收的锍盐。作为其它的优选锍盐，可以列举出三芳基锍盐具有芳氧基、芳硫基作为取代基且在300nm以上具有吸收的锍盐。此外，作为鐺盐化合物，可以列举出J.V.Crivello等人在Macromolecules，10(6)，1307(1977)、J.V.Crivello等人在J.PolymerSci.,PolymerChem.Ed.,17,1047(1979)中记载的硒鐵盐、C.S.Wen等人在The,Proc.Conf.Rad.CuringASIA,478页，Tokyo,Oct(1988)中记载的紳盐等鐺盐等。作为酰基膦(氧化物)化合物，可以列举出CibaSpecialtyChemicals公司制的IRGACURE819、Darocure4265、DarocureTP0等。作为光聚合引发剂(D)，从曝光感度的观点来看，优选选自由三卤甲基三嗪类化合物、苄基二甲基缩酮化合物、a-羟基酮化合物、a-氨基酮化合物、酰基膦类化合物、氧化膦类化合物、金属茂化合物、肟类化合物、三烯丙基咪唑二聚物、鐺类化合物、苯并噻唑类化合物、二苯甲酮类化合物、苯乙酮类化合物及其衍生物、环戊二烯-苯-铁络合物及其盐、卤甲基噁二唑化合物、3-芳基取代香豆素化合物组成的组中的化合物。更优选为三商甲基三嗪类化合物、a-氨基酮化合物、酰基膦类化合物、氧化膦类化合物、肟类化合物、三烯丙基咪唑二聚物、鐺类化合物、二苯甲酮类化合物、苯乙酮类化合物，最优选为选自由三卤甲基三嗪类化合物、a_氨基酮化合物、肟类化合物、三烯丙基咪唑二聚物、二苯甲酮类化合物中的至少一种化合物。(D)光聚合引发剂的含量相对于感光性着色组合物层中的总固体成分优选为0.120质量％，更优选为0.515质量％，特别优选为110质量％。在该范围内时，可以得到良好的感度和图案形成性。-(E)溶剂-本发明中使用的感光性着色组合物一般可以使用溶剂来调制。作为溶剂，可以列举出酯类，例如乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、乙酸异丁酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、烷基酯类、乳酸甲酯、乳酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、以及3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯等3-羟基丙酸烷基酯类(例如，3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等)、2_羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基丙酸丙酯等2-羟基丙酸烷基酯类(例如2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等)、以及丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-氧代丁酸甲酯、2-氧代丁酸乙酯、1，3-丁二醇二乙酸酯等；作为醚类，例如二甘醇二甲醚、四氢呋喃、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、二甘醇单甲醚、二甘醇单乙醚、二甘醇单丁醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯、二甘醇二乙醚、二甘醇单乙醚乙酸酯、二甘醇单丁醚、二甘醇单丁醚乙酸酯、丙二醇正丙醚乙酸酯、丙二醇二乙酸酯、丙二醇正丁醚乙酸酯、丙二醇苯醚、丙二醇苯醚乙酸酯、一缩二丙二醇单甲醚乙酸酯、一缩二丙二醇正丙醚乙酸酯、一缩二丙二醇正丁醚乙酸酯、二缩三丙二醇单正丁醚、二缩三丙二醇甲醚乙酸酯等；作为酮类，例如丙酮、甲乙酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等；作为醇类，可以列举出例如乙醇、异丙醇、丙二醇甲醚、丙二醇单正丙醚、丙二醇单正丁醚；作为芳香族烃类，可以列举出例如甲苯、二甲苯等。这些化合物中，3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乳酸乙酯、二甘醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、环己酮、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯等是优选的。溶剂除了可以单独使用以外，还可以组合2种以上来使用。-其它添加物_此外，在本发明所使用的感光性着色组合物中，除了上述成分以外，根据目的，还可以使用各种公知的添加剂。下面，对此类添加剂予以叙述。(分散剂)本发明中的感光性着色组合物优选含有高分子分散剂。该高分子分散剂是重均分子量在3，000100，000的范围的树脂。进而优选酸值是20300mg/g。下面，有时将这种特定的高分子分散剂简称为“分散树脂”。本发明中的分散树脂是作为上述(A-1)着色剂所列举的颜料的分散剂、或是在用于形成后述的黑色矩阵的感光性浓色组合物中可作为遮光剂(黑色矩阵形成用颜料)的分散剂而发挥功能的化合物。分散树脂由于需要具有特定的酸值，所以优选为具有酸性基团的高分子化合物。作为该高分子化合物的高分子骨架，优选为选自由乙烯基单体的聚合物或共聚物、酯类聚合物、醚类聚合物、氨基甲酸酯类聚合物、酰胺类聚合物、环氧类聚合物、硅氧烷类聚合物、以及它们的改性物或共聚物[包含例如聚醚/聚氨酯共聚物、聚醚/乙烯基单体的聚合物的共聚物等(可以是无规共聚物、嵌段共聚物、接枝共聚物中的任一种)]组成的组中的至少一种。更优选为选自由乙烯基单体的聚合物或共聚物、酯类聚合物、醚类聚合物、氨基甲酸酯类聚合物、以及它们的改性物或共聚物组成的组中的至少一种，特别优选为乙烯基单体的聚合物或共聚物。此外，作为向上述那样的高分子骨架导入酸性基团的方法，可以列举出例如在将上述高分子骨架聚合时使含有酸性基团的单体共聚的方法；或将上述高分子骨架在聚合后通过高分子反应来进行导入的方法。作为含有酸性基团的单体，可以列举出例如(甲基)丙烯酸、巴豆酸、衣康酸、马来酸、富马酸、肉桂酸、丙烯酸二聚物、乙烯基苯甲酸、苯乙烯磺酸、2-丙烯酰胺-2-甲基丙磺酸、磷酸单(甲基)丙烯酰基乙基酯、或通过甲基丙烯酸2-羟乙酯等含有醇性羟基的单体与马来酸酐、苯二甲酸酐等环状酸酐等反应而得到的单体等。进而，具有酸性基团的高分子化合物也可以是进一步将乙烯基单体成分共聚而成的高分子化合物。作为上述乙烯基单体，没有特殊限定，但可以列举出例如(甲基)丙烯酸酯类、巴豆酸酯类、乙烯基酯类、马来酸二酯类、富马酸二酯类、衣康酸二酯类、(甲基)丙烯酰胺类、乙烯基醚类、乙烯基醇的酯类、苯乙烯类、(甲基)丙烯腈等。作为上述“酸性基团”，可以列举出例如羧酸基、磺酸基、单硫酸酯基、磷酸基、单磷酸酯基、硼酸基来作为优选的例子，更优选为羧酸基、磺酸基、单硫酸酯基、磷酸基、单磷酸酯基，特别优选为羧酸基、磺酸基、磷酸基。此外，为了提高分散性，高分子分散剂优选还含有具有碱性氮原子的基团。作为上述“具有碱性氮原子的基团”，作为优选例可以列举出例如氨基(-NH2)、取代亚氨基(-NHR8、或-NR9R1(I，这里，R8、R9和R1(l各自独立地表示碳原子数为120的烷基、碳原子数为6以上的芳基、或碳原子数为7以上的芳烷基)、下述化学式(al)表示的胍基、或下述化学式(a2)表示的脒基等。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage23</formula>在上述化学式(al)中，R11和R12各自独立地表示碳原子数为120的烷基、碳原子数为6以上的芳基、或碳原子数为7以上的芳烷基。在上述化学式(a2)中，R13和R14各自独立地表示碳原子数为120的烷基、碳原子数为6以上的芳基、或碳原子数为7以上的芳烷基。其中，在氨基(_NH2)、取代亚氨基(-NHR8、或-NR9R1(I，其中R8、R9和R1(l各自独立地表示碳原子数为110的烷基、苯基或苄基)、上述化学式(al)表示的胍基(化学式(al)中，R11和R12各自独立地表示碳原子数为110的烷基、苯基、或苄基)、上述化学式(a2)表示的脒基(化学式(a2)中，R13和R14各自独立地表示碳原子数为110的烷基、苯基、或苄基)等中，还可以含有由1200个氢原子和020个的硫原子组成的基团，它们可以是无取代的，也可以进一步具有取代基。(其它分散剂)除了分散树脂以外，本发明中使用的感光性着色组合物还可以并用以往公知的分散剂(颜料分散剂)。作为公知的分散剂(颜料分散剂)，可以列举出高分子分散剂[例如聚酰胺胺和其盐、高分子量不饱和酸酯、改性聚氨酯、改性聚酯、改性聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸类共聚物]、以及聚氧乙烯烷基磷酸酯、聚氧乙烯烷基胺、烷醇胺、颜料衍生物等。高分子分散剂从其结构来看，可进一步分类成直链状高分子、末端改性型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。高分子分散剂吸附在颜料的表面上，起到了防止再凝聚那样的作用。因此，作为优选的结构，可以列举出具有向颜料表面上锚固的部位的末端改性型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。另一方面，通过对颜料表面的改质，颜料衍生物具有促进高分子分散剂的吸附的效果。作为本发明中可使用的公知的分散剂(颜料分散剂)的具体例子，可以列举出BYKChemie公司制“Disperbyk-107(羧酸酯)、130(聚酰胺)、161、162、163、164、165、166、170(高分子共聚物)”、EFKA公司制“EFKA4047、4050、4010、4165(聚氨酯类)、EFKA4330、4340(嵌段共聚物),4400,4402(改性聚丙烯酸酯)>5010(聚酯酰胺),6220(脂肪酸聚酯)、6745(酞菁衍生物)、6750(偶氮颜料衍生物)”、AjinomotoFine-Techno.公司制"AjisperPB821、PB822”、共荣社化学公司制“FLOWLENTG-710(氨基甲酸酯低聚物)”、"POLYFLOffNo.50E、No.300(丙烯酸类共聚物)”、楠本化成公司制"DISPER0N#7004(聚醚酯)、DA-703-50、DA-705、DA-725”、花王公司制"EMULGEN920、930、935、985(聚氧乙烯壬基苯基醚)”、“ACETAMIN86(硬脂胺乙酸酯)，，、日本Lubizol公司制的S0LSPERSE5000(酞菁衍生物)、22000(偶氮颜料衍生物)、13240(聚酯胺),3000,17000,27000(末端具有官能部位的高分子)、24000、28000、32000、38500(接枝型高分子)”、NikkoChemicals公司制的NIKK0LT106(聚氧乙烯失水山梨糖醇单油酸酯)、MYS-IEX(聚氧乙烯单硬脂酸酯)”等。上述那样的公知分散剂，根据需要，可以在相对于分散树脂为10100质量％、即分散剂/分散树脂为1/101/1(等量)的范围内使用。(表面活性剂)如果颜料浓度大，则涂布液的触变性一般变大，所以在将感光性着色组合物涂布或转印到基板上而形成感光性着色组合物层(着色层涂膜)后，容易出现膜厚不均勻。此外，特别是在利用狭缝涂布法形成感光性着色组合物层(着色层涂膜)中，重要的是使感光性着色组合物层形成用的涂布液在干燥之前流平以形成均勻厚度的涂膜。因此，上述感光性着色组合物中优选含有适当的表面活性剂。作为上述表面活性剂，可以列举出在日本特开2003-337424号公报、日本特开平11-133600号公报中所公开的表面活性剂来作为优选的例子。作为用于提高涂布性的表面活性剂，可以添加非离子系表面活性剂、氟系表面活性剂、硅氧烷系表面活性剂等。作为非离子系表面活性剂，可以列举出例如聚氧乙烯二醇(polyoxyethyleneglycol)类、聚氧丙烯二醇(polyoxypropyleneglycol)类、聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基芳基醚类、聚氧乙烯烷基酯类、聚氧丙烯烷基醚类、聚氧丙烯烷基芳基醚类、聚氧丙烯烷基酯类、失水山梨糖醇烷基酯类、单甘油烷基酯类等非离子系表面活性剂。具体而言，有聚氧乙烯二醇、聚氧丙烯二醇等聚氧化烯二醇(polyoxyalkyleneglycol)类；聚氧乙烯月桂基醚、聚氧丙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧化烯烷基醚类；聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯聚苯乙烯基化醚、聚氧乙烯三苄基苯基醚、聚氧乙烯_丙烯聚苯乙烯基化醚、聚氧乙烯壬基苯基醚等聚氧乙烯芳基醚类；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等聚氧化烯二烷基酯；失水山梨糖醇脂肪酸酯；聚氧化烯失水山梨糖醇脂肪酸酯类等非离子系表面活性剂。作为它们的具体例，可以是例如AdekaPluronic系列、ADEKAN0L系列、TETR0NIC系列(以上为ADEKA株式会社制)、EMULGEN系列、RHE0D0L系列(以上为花王株式会社制)、ELEMIN0L系列、N0NIP0L系列、0CTAP0L系列、D0DECAP0L系列、NEWP0L系列(以上为三洋化成株式会社制)、PI0NIN系列(以上为竹本油脂株式会社制)、NISSAN非离子系列(以上为日本油脂株式会社制)等。可以适宜地使用这些市售品。优选为的HLB值为820，更优选为1017。作为氟系表面活性剂，可以适当使用在末端、主链和侧链中的至少任一个部位上具有氟烷基或氟亚烷基的化合物。作为具体的市售品，为MEGAFACF142D、MEGAFACF172、MEGAFACF173、MEGAFACF176,MEGAFACF177、MEGAFACF183、MEGAFAC780、MEGAFAC781、MEGAFACR30、MEGAFACR08(大日本油墨株式会社制)、FLUORADFC-135、FLUORADFC-170C、FLU0RADFC-430、FLUORADFC-431(住友3M株式会社制)、SURFLONS-112、SURFLONS-113、SURFLONS-131、SURFLONS-141、SURFLONS-145、SURFLONS-382、SURFLONSC-10USURFLONSC-102、SURFL0NSC-103、SURFLONSC_104、SURFLONSC-105,SURFLONSC-106(旭硝子株式会社制)、EFT0PEF35UEFT0PEF352、EFT0PEF801、EFT0PEF802(JEMC0株式会社制)等。作为硅氧烷系表面活性剂，可以列举出例如ToraySiliconeDC3PA、ToraySiliconeDC7PA、ToraySiliconeSH11PA、ToraySiliconeSH21PA、ToraySiliconeSH28PA,ToraySiliconeSH29PA,ToraySiliconeSH30PA,ToraySiliconeSH-190,ToraySiliconeSH—193、ToraySiliconeSZ—6032、ToraySiliconeSF—8428、ToraySiliconeDC-57、ToraySiliconeDC-190(以上为DowCorningToraySilicone株式会社制)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(以上为GE东芝Silicone株式会社制)等。这些表面活性剂的量相对于用于形成感光性着色组合物层的涂布液100质量份优选为5质量份以下，更优选为2质量份以下。在表面活性剂的量超过5质量份的情况下，容易出现因涂布干燥而产生的表面粗糙，平滑性容易恶化。此外，在谋求促进未固化部分的碱溶性、进一步提高光固化性组合物的显影性的情况下，可以添加有机羧酸、优选添加分子量为1000以下的低分子量有机羧酸。作为具体例，可以列举出例如甲酸、乙酸、丙酸、丁酸、戊酸、新戊酸、己酸、二乙基乙酸、庚酸、辛酸等脂肪族一元羧酸；草酸、丙二酸、琥珀酸、戊二酸、己二酸、庚二酸、辛二酸、壬二酸、癸二酸、十三烷二酸、甲基丙二酸、乙基丙二酸、二甲基丙二酸、甲基琥珀酸、四甲基琥珀酸、柠康酸等脂肪族二羧酸；丙三羧酸、乌头酸、樟脑三酸等脂肪族三羧酸；苯甲酸、甲基苯甲酸、异丙基苯甲酸、2，3_二甲基苯甲酸、3，5_二甲基苯甲酸等芳香族一元羧酸；邻苯二甲酸、间苯二甲酸、对苯二甲酸、偏苯三酸、均苯三酸、苯偏四甲酸、均苯四酸等芳香族多元羧酸；苯基乙酸、苯氧基乙酸、甲氧基苯氧基乙酸、氢化阿托酸、氢化肉桂酸、苦杏仁酸、苯基琥珀酸、阿托酸、肉桂酸、肉桂酸甲酯、肉桂酸苄酯、肉桂叉基乙酸、香豆酸、伞形酸等其他羧酸。(烷氧基硅烷化合物)在本发明中使用的感光性着色组合物中，从提高与基板的密合性等观点出发，可以使用烷氧基硅烷化合物、尤其是硅烷偶联剂。硅烷偶联剂中，作为可与无机材料进行化学键合的水解性基团，优选具有烷氧基甲硅烷基，优选为与有机树脂之间相互作用或形成键而显示出亲和性的(甲基)丙烯酰基、苯基、巯基、环氧硅烷，其中，更优选为(甲基)丙烯酰基丙基三甲氧基硅烷。使用硅烷偶联剂时，硅烷偶联剂的添加量在本发明所使用的感光性着色组合物层的总固体成分中优选为0.25.0质量％的范围，更优选为0.53.0质量％。(共增感剂)本发明中使用的感光性着色组合物优选根据需要含有共增感剂。本发明中的共增感剂具有下述作用，即进一步提高增感色素或引发剂对活性放射线的感度，或抑制氧对聚合性化合物的聚合阻碍等。作为这样的共增感剂的例子，可以列举出胺类，例如在M.R.Sander等人发表的25"JournalofPolymerSociety”第10卷3173页(1972)、日本特公昭44-20189号公报、日本特开昭51-82102号公报、日本特开昭52-134692号公报、日本特开昭59-138205号公报、日本特开昭60-84305号公报、日本特开昭62-18537号公报、日本特开昭64-33104号公报、ResearchDisclosure33825号中记载的化合物等，具体地可以列举出三乙醇胺、对二甲氨基苯甲酸乙酯、对甲酰基二甲基苯胺、对甲硫基二甲基苯胺等。作为共增感剂的其它的例子，有硫醇和硫醚类，可以列举出例如在日本特开昭53-702号公报、日本特公昭55-500806号公报、日本特开平5-142772号公报中记载的硫醇化合物，在日本特开昭56-75643号公报中的二硫化物等，具体可以列举出2-巯基苯并噻唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并咪唑、2-巯基-4(3H)-喹唑啉、0-巯基萘等。此外，作为共增感剂的其它例子，可以列举出氨基酸化合物(例如，N-苯基甘氨酸等)、在日本特公昭48-42965号公报中记载的有机金属化合物(例如，三丁基锡乙酸酯等)、在日本特公昭55-34414号公报中记载的氢供体、在日本特开平6-308727号公报中记载的硫化合物(例如三噻烷等)等。从通过聚合生长速度和链转移之间的平衡来提高固化速度的观点来看，这些共增感剂的含量相对于固化性组合物的总固体成分的质量优选为0.130质量％的范围，更优选为125质量％的范围，进一步优选为0.520质量％的范围。(阻聚剂)在本发明中，为了在感光性着色组合物的制造中或保存中阻止具有可能聚合的烯键式不饱和双键的化合物的不必要的热聚合，优选添加少量的热阻聚剂。作为可在本发明中使用的热阻聚剂，可以列举出对苯二酚、对甲氧基苯酚、二叔丁基对甲酚、连苯三酚、叔丁基连苯二酚、苯醌、4，4’-硫代二(3-甲基-6-叔丁基苯酚)、2，2’-亚甲基二(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、N-亚硝基苯基羟基胺亚铈盐等。热阻聚剂的添加量相对于感光性着色组合物层中的质量优选为约0.01质量％约5质量％。此外，根据需要，为了防止氧阻碍聚合，可以添加山嵛酸或山嵛酸酰胺等高级脂肪酸衍生物等，并使它们在涂布后的干燥过程中不均勻地存在于感光层的表面。高级脂肪酸衍生物的添加量优选为全部组合物的约0.5质量％约10质量％。(增塑剂)进而在本发明中，为了改进感光性着色组合物层的物性，还可以添加无机充填剂或增塑剂、或可使感光层表面的油墨附着性提高的感脂化剂等。作为增塑剂，可以列举出例如邻苯二甲酸二辛酯、邻苯二甲酸二(十二烷基)酯、三甘醇二癸酸酯、邻苯二甲酸二甲基乙二醇酯、磷酸三甲苯酯、己二酸二辛酯、癸二酸二丁酯、三乙酰甘油等。在使用结合剂的情况下，相对于具有烯键式不饱和双键的化合物和结合剂的总质量，可以添加10质量％以下的增塑剂。通过使用上述成分，本发明中的感光性着色组合物可以以高感度固化，并且保存稳定性也良好。此外，显示出对基板的高密合性。因此含有上述各种成分的感光性着色组合物可以在滤色器中适宜地使用。<感光性浓色组合物>在本发明中使用的感光性浓色组合物优选含有(A-2)遮光剂、(B)粘合剂聚合物、(C-2)聚合性化合物、(D)光聚合引发剂和(E)溶剂，根据需要还可以含有分散剂或表面活性剂等其它的添加剂。-(A-2)遮光剂-作为(A-2)遮光剂的例子，除了上述(A-1)着色剂以外，还可以列举出炭黑、钛黑、金属微粒、金属氧化物、硫化物的微粒等。其中特别优选遮光性和成本之间的平衡优异的炭黑。根据需要，它们可以单独或多种组合使用。例如，单独使用炭黑、混合使用有机颜料、并用炭黑和有机颜料等。作为遮光用的材料，作为以往一直使用的黑色着色剂，至少并用2种以上的颜料以遮蔽可见光区域。作为这些颜料，可以列举出在日本特开2005-17716号公报W038],日本特开2005-17521号公报W080]W088]中记载的颜料，在日本特开平7-271020等中公开了使用这些颜料来形成遮光层。为了进一步增大遮光效果，在日本特开2000-147240、日本特开2000-143985、日本特开2005-338328、日本特开2006-154849等中，作为优选的遮光材料开发了炭黑、钛黑或石墨等。在本发明中，从遮光性和成本的观点出发，炭黑是作为遮光材料之一的优选例。作为炭黑的例子，优选为颜料黑7(炭黑)。作为炭黑，可以列举出例如，三菱化学公司制的炭黑#2400、#2350、#2300、#2200、#1000、#980、#970、#960、#950、#900、#850、MCF88、#650、MA600、MA7、MA8、MA11、MA100、MA220、IL30B、IL31B、IL7B、IL11B、IL52B、#4000、#4010、#55、#52、#50、#47、#45、#44、#40、#33、#32、#30、#20、#10、#5、CF9、#3050、#3150、#3250、#3750、#3950、DIABLACKA、DIABLACKN220M、DIABLACKN234、DIABLACKI、DIABLACKLI、DIABLACKII、DIABLACKN339、DIABLACKSH、DIABLACKSHA、DIABLACKLH、DIABLACKH、DIABLACKHA、DIABLACKSF、DIABLACKN550M、DIABLACKE、DIABLACKG、DIABLACKR、DIABLACKN760M、DIABLACKLP；Degussa公司制的炭黑ColorBlackFW200、ColorBlackFW2、ColorBlackFWUColorBlackFW18、ColorBlackS170、ColorBlackS160、SpecialBlack6、SpecialBlack5、SpecialBlack4、SpecialBlack4A、PrintexU、PrintexV,Printex140U、Printex140V、Printex35;Cabot公司制的炭黑REGAL400、REGAL400R、REGALXC72、VULCANXC72R、MOGULL、M0NARCH1400、MONARCH1000、BLACKPEARLS1400；AsahiCarbon公司制的炭黑SUNBLACK900、SUNBLACK910、SUNBLACK930、SUNBLACK960、SUNBLACK970等。另外，为了增大电阻，优选将这些炭黑用高分子化合物覆盖而得到的炭黑。这些炭黑的优选的单粒的大小为10lOOnm，更优选为1050nm。-(C-2)聚合性化合物-作为黑色矩阵形成用的感光性浓色组合物中的(C-2)聚合性化合物，作为优选例子可以列举出在上述感光性着色组合物中使用的(C-1)聚合性化合物，但特别优选以下所示的化合物。作为感光性浓色组合物中的聚合性化合物，优选为具有2个以上的烯键式不饱和双键、经光照射会加成聚合的单体或低聚物。作为此类单体和低聚物，可以列举出在1分子中具有至少1个的可加成聚合的烯键式不饱和基、沸点在常压下为100°c以上的化合物。作为其例子，可以列举出聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、及(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯等单官能的丙烯酸酯和单官能的甲基丙烯酸酯；聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(丙烯酰氧基丙基)醚、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、三(丙烯酰氧基乙基)异氰脲酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯；三羟甲基丙烷或甘油等多官能醇与环氧乙烷或环氧丙烷加成后(甲基)丙烯酸酯化而成的化合物等多官能的丙烯酸酯、或多官能的甲基丙烯酸酯。此外，酸性多官能光固化性化合物也是优选的化合物。作为酸性多官能光固化性化合物，可以使用下述化合物(1)通过将同时具有羟基和3个以上的光固化性官能基的单体或低聚物用二元酸酐改性而导入羧基所得的化合物；(2)通过将同时具有羟基和3个以上的光固化性官能基的单体或低聚物与同时具有缩水甘油基或异氰酸酯基和C00H基的化合物等进行加成而导入羧基所得的化合物；或(3)将具有3个以上的光固化性官能基的芳香族化合物用浓硫酸或发烟硫酸改性而导入磺酸基所得的化合物等。另外，可以将含有酸性多官能光固化性化合物本身的单体作为重复单元的低聚物用作酸性多官能光固化性化合物。作为酸性多官能光固化性化合物的例子，优选下述通式⑴或通式(ii)所示的化合物。另外，在通式⑴和通式(ii)中，在T或G是氧化亚烷基的情况下，碳原子侧的末端与R、X及W结合。CH2-(T)n-RR-(T)n-CH2-e-CH2-(T)n-X(i)CH2-(T)-RCH2-(G)rWCH2-(G)FWW_(G)p—CH2—Cp_CH2—Z-CH2-<p~CH2-(G)p—W(ii)CH2-(G)rWCH2-(G)rW通式(i)中，R表示(甲基)丙烯酰氧基，X表示-C00H基、或-0P03H2基。T表示氧化亚烷基，其中亚烷基的碳原子数是14。n是020。通式(ii)中，W表示通式⑴中的R或X，6个W中，3个以上的W为R。G与通式⑴中的T意义相同。Z表示-0-或-0C=0NH(CH2)qNHC00-。p为020，q为18。一分子内多个存在的R、X、T、G可以彼此相同，也可以不同。作为通式⑴和通式(ii)所示的酸性多官能光固化性化合物的市售品，可以列举出例如东亚合成株式会社制的含羧基的3官能丙烯酸酯T0-756、和含羧基的5官能丙烯酸酯T0-1382等。还可以列举出在日本特公昭48-41708号公报、日本特公昭50-6034号公报和日本特开昭51-37193号公报中记载的氨基甲酸酯丙烯酸酯类；日本特开昭48-64183号公报、日本特公昭49-43191号公报、和日本特公昭52-30490号公报中记载的聚酯丙烯酸酯类；作为环氧树脂与(甲基)丙烯酸的反应生成物的环氧丙烯酸酯类等多官能丙烯酸酯和多官能甲基丙烯酸酯。其中优选为三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、上述含羧基的5官能丙烯酸酯等。另外，除此以外，作为优选例子还可以列举出日本特开平11-133600号公报所记载的“聚合性化合物B”。用于黑色矩阵形成用途中的感光性浓色组合物中的(C-2)聚合性化合物的含量，在感光性浓色组合物层的总固体成分中优选为550质量％，更优选为740质量％，进一步优选为1035质量％。感光性浓色组合物中使用的⑶粘合剂聚合物、⑶聚合引发剂、(E)溶剂、和其它添加剂等，也与上述着色图案形成用的感光性着色组合物中的同样，其优选含量也同样。〈滤色器〉本发明的滤色器是根据本发明的滤色器的制造方法制造的滤色器，具有由黑色矩阵和着色图案重合而成的重叠部，上述重叠部的在黑色矩阵的宽度方向上的距离为1.012μm。使用上述感光性着色组合物及感光性浓色组合物，按本发明的滤色器的制造方法制造的本发明的滤色器可将角的高度抑制地较低，且重叠的距离也合适，可进行高品质的显示。优选上述重叠部的距离为1.012μm，上述角的高度为0.50μm以下。<液晶显示装置>本发明的液晶显示装置为具备本发明的滤色器的液晶显示装置。因此，能显示高品质的图像。显示装置的定义和各显示装置的说明记载在例如“電子7^〒”i^(佐佐木昭夫著、株式会社工业调查会1990年发行)”、“fM；^Xr'VW^(伊吹顺章著、产业图书株式会社1989年出版)”等中。此外，对于液晶显示装置，记载在例如“次世代液晶ΠX技術(内田龙男编辑、株式会社工业调查会1994年发行)”中。本发明可适用的液晶显示装置没有特殊的限制，可以适用于例如在上述“次世代液晶^^技術”中记载的各种方式的液晶显示装置中。本发明特别是对于彩色TFT方式的液晶显示装置有效。对于彩色TFT方式的液晶显示装置，例如记载在“力，一TFT液晶Π^X(共立出版株式会社1996年发行)”中。而且，本发明也能适用于IPS等的横电场驱动方式、MVA等的像素划分方式等的视角扩大了的液晶显示装置、STN、TN、VA、IPS、OCS、FFS、及R-OCB等中。对于这些方式，记载在例如"EL、PDP、LCDrλV^-技術i市場O最新動向-(TorayResearchCenterInc.调查研究部门，2001年出版)”的第43页中。液晶显示装置除了滤色器以外、还由电极基板、偏振膜、相位差膜、背光、间隔物、视角保障膜等各种部件构成。上述间隔物可以通过各种方法制作，但是，优选通过将间隔物涂布或转印在基板上来制作。从工序简单的方面考虑，优选利用涂布的制作方法。从间隔物的高度的均一性的方面考虑，优选利用转印的制作方法。对于利用转印的制作方法，特别优选记载在日本特愿2007-185797号说明书中的方法。本发明的带遮光膜的基板能适用于由这些公知的部件构成的液晶显示装置中。对于这些部件，记载在例如“，94液晶Π7^4周辺材料·》彡力XQ市場(岛健太郎株式会社CMC1994年发行)”、“2003液晶関連市場O現状i将来展望(下卷)(表良吉(株)富士3？>，総研2003年发行)”中。关于背光，记载在SIDmeetingDigest1380(2005)(A.Konno等人)、月刊Π^>^2005年12月号的第1824页(岛康裕)、月刊^l·2005年12月号的第2530页(八木隆明)等中。本发明的滤色器与以往公知的冷阴极管的三波长管组合时能够实现高对比度，但是，进一步通过以红、绿、蓝的LED光源(RGB-LED)作为背光，能提供亮度高且颜色纯度高、颜色再现性好的液晶显示装置。此外，另一方面，液晶显示装置所要求的性能为图像的响应速度的提高。为了提高响应速度，对液晶的取向速度进行了改善。另一方面，从单元的结构方面来看，从降低成本的观点来考虑，要降低液晶层的厚度。用于降低液晶层的厚度的另一必要技术是降低着色像素与黑色矩阵的边界部分的液晶的取向混乱。因此，要求减小着色像素与黑色矩阵的边界部分的隆起(角)。根据本发明的滤色器的制造方法制造的滤色器在黑色矩阵形成用的感光性浓色组合物层中设置了3.08.0μπι的下凹，着色图案(着色像素)形成用的感光性着色组合物层与黑色矩阵的重叠部的距离为1.012μm，能减小角。这样，本发明的滤色器的角小，因此，能够降低在上述重叠部的液晶的取向的混舌L在显示图像时的视觉辨认性也提高。通过在本发明的液晶显示装置中使用本发明的滤色器，能够使各着色像素与黑色矩阵的重合部变得平坦，如果平坦性良好，则没有必要对液晶层进行薄层化，也没有必要在铺设透明电极ITO之前进行研磨或赋予平坦化层，可以有助于工序的合理化，进而有助于降低成本、进行批量生产。日本特愿2007-234501以及日本特愿2007-011637的公开内容全部作为参照引入到本说明书中。在本说明书中记载的全部文献、专利申请、以及技术规定作为参照引入到本说明书中，各个文献、专利申请、以及技术规格作为参照而引入的程度与具体且各自所记载的情况的程度相同。实施例下面列举实施例来更具体地说明本发明。下面的实施例所示的材料、试剂、比例、设备、操作等，只要不超出本发明的范围就可以进行适当改变。因此，本发明的范围并不以下面所示的具体例为限。另外，在下面的实施例中，只要没有特别说明，“%，，和“份”表示“质量％”和“质量份”，分子量表示重均分子量。此外，“wt%”表示“质量％”。(实施例1)<1.感光性浓色组合物的调制〉-炭黑分散液(K-I)的调制_按照下述配方调制了炭黑分散液(K-I)。·炭黑(Degussa公司制COLORBLACKFW2)26.7份·分散剂(楠本化成制DISPERONDA7500,酸值26，氨值40)3.3份·甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(=72/28[摩尔比])共聚物(分子量30，000，丙二醇单甲醚乙酸酯的50质量％溶液)10份丙二醇单甲醚乙酸酯60份使用均质机在3000rpm的条件下将上述各成分搅拌1小时。借助使用了0.3mm氧化锆珠的珠粒分散机(商品名DESPERMAT，GETZMANN公司制)将得到的混合溶液微分散处理8小时，得到炭黑分散液(K-I)。使用所得的炭黑分散液(K-I)，按照下述表1的配方调制感光性浓色组合物涂布液CK-1。表1中的数值表示质量比。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>表1中的各成分的详细情况如下所述。·树脂溶液C-2:甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸(=85/15摩尔比)共聚物、(MwlOOOO、丙二醇单甲醚乙酸酯的501%溶液)·UV固化性树脂C-3商品名CYCL0MERPACA-250，DAICELChemicalIndustries株式会社制[侧链具有脂环、COOH基、和丙烯酰基的丙烯酸类共聚物，丙二醇单甲醚乙酸酯溶液(固体成分50质量％)]·聚合性化合物C-5商品名T0-1382(东亚合成株式会社制)(主成分是二季戊四醇五丙烯酸酯的末端OH基的一部分被COOH基取代而得到的5官能的具有丙烯酰基的单体)·引发剂C-7商品名“0XE-02”(CibaSpecialtyChemicals公司制)·表面活性剂C-8商品名“MEGAFACR30”(大日本油墨化学工业株式会社制)溶剂PGMEA=丙二醇单甲醚乙酸酯EEP=3-乙氧基丙酸乙酯<2.利用涂布的黑色矩阵的形成>-感光性浓色组合物层形成工序_使用狭缝涂布机(型号HC8000、平田机工株式会社制)，将所得的感光性浓色组合物CK-I涂布在洗净的玻璃基板(Corning公司制的MILLENIUM，厚度为0.7mm)上，以使后烘烤后的膜厚为1.2μπι的方式调节狭缝与玻璃基板间的间隔、喷出量，以120mm/秒的涂布速度进行涂布。-预烘烤工序、曝光工序_接着使用加热板在90°C下加热120秒(预烘烤处理)，然后使用镜像投影方式曝光机(型号MPA-8800、Canon株式会社制)以100mJ/cm2进行曝光。-显影工序_然后，使用倾斜运送型的显影装置(型号SK-2200G，大日本7々彡一>制造株式会社制，倾斜角5°)进行显影。S卩，用氢氧化钾类显影液CDK-I(FUJIFILMElectronicMaterials株式会社制)的1.0%显影液(1质量份⑶K-I和99质量份纯水的稀释液，25°C)，设定喷淋压为0.20MPa,显影60秒，用纯水洗净，从而得到显影后的黑色矩阵。这里，用SEM拍摄截面照片，测定下凹长度，结果为3.0μm。SEM拍照是在黑色矩阵的格子长边的中央附近，在黑色矩阵的宽度方向上，与基板表面垂直地将黑色矩阵和基板一起切断从而进行的。-烘烤工序-接着，在220°C的清洁烘箱中进行40分钟的后烘烤处理，从而形成着色像素形成区域的开口为90μmX200μm、黑色矩阵的厚度是1.2μm、黑色矩阵的线宽约是25μm的格子状黑色矩阵基板。使用X-Rite36IT(V)(SAKATAINXENG.株式会社制)，测定制得的黑色矩阵的光密度(OD)，结果为4.2。<3.感光性着色组合物的调制>3-1.红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-I的调制按照下述配方调制红色(R)用分散液(R-I)。·颜料红254(SEM观察下的平均粒径43nm)11份·颜料红177(SEM观察下的平均粒径58nm)4份·下述分散树脂A-3的溶液5份·分散剂(商品名:Disperbyk-16UBYKChemie公司制)(丙二醇单甲醚乙酸酯的30%溶液)3份·碱溶性树脂甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(=75/25[摩尔比]共聚物、分子量30000、丙二醇单甲醚乙酸酯溶液(固体成分50质量％))9份·溶剂B丙二醇单甲醚乙酸酯68份使用均质机在3000rpm的条件下将上述各成分搅拌1小时。使用0.3mm氧化锆珠通过珠粒分散机(商品名DESPERMAT，GETZMANN公司制)对得到的混合溶液实施4小时微分散处理而得到红色(R)用分散液(R-I)。对得到的红色(R)用分散液(R-I)中的分散粒子用SEM进行观察，结果平均粒径为36nm。使用得到的红色(R)用分散液(R-I)，按照下述配方调制红色(R)用感光性着色组红色(R)用分散液(R-1)100份环氧树脂(商品名EHPE3150DAICELChemicalIndustries株式会社制聚合性化合物二季戊四醇五六丙烯酸酯8份聚合弓丨发剂4_(邻溴-对-N，N-二(乙氧基羰基甲基)氨基-苯基)-2，6-二聚合引发剂-.2-苄基-2-二甲基氨基-l-(4-吗啉基苯基)丁酮-11份聚合引发剂二乙基噻吨酮0.5份阻聚剂对甲氧基苯酚0.001份氟系表面活性剂(商品名MegafacR30大日本油墨化学工业公司制)0.01份非离子系表面活性剂(商品名:TETR0NICR150ADEKA公司制)0.2份30份100份溶剂丙二醇正丁醚乙酸酯溶剂丙二醇单甲醚乙酸酯将上述成分混合搅拌，得到红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-1。3-2.绿色(G)用感光性着色组合物涂布液CG-1的调制按照下述配方调制绿色(G)用分散液(G-1)。颜料绿36(SEM观察下的平均粒径47nm)11份颜料黄150(SEM观察下的平均粒径39nm)7份下述分散树脂A-3的溶液5份分散剂(商品名:Disperbyk-16UBYKChemie公司制30%溶液)3份碱溶性树脂甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(=85/15[摩尔比]共聚物、分子量30000、丙二醇单甲醚乙酸酯溶液(固体成分50质量％))11份溶剂丙二醇单甲醚乙酸酯70份使用均质机在3000rpm的条件下将上述各成分搅拌1小时。借助使用了0.3mm氧化锆珠的珠粒分散机(商品名DESPERMAT，GETZMANN公司制)将得到的混合溶液微分散处理8小时，得到绿色(G)用分散液(G-1)。对得到的绿色(G)用分散液(G-1)中的分散粒子用SEM进行观察，结果平均粒径为32nm。使用得到的绿色(G)用分散液(G-1)，按照下述配方调制绿色(G)用感光性着色组合物涂布液CG-1。绿色(G)用分散液(G-1)100份环氧树脂(商品名EHPE3150，DAICELChemicalIndustries公司制)2份聚合性化合物二季戊四醇五六丙烯酸酯8份聚合性化合物季戊四醇的四(乙氧基丙烯酸酯)2份.聚合引发剂l，3一双三卤甲基一5一苯并氧杂环戊烷三嗪2份.聚合引发剂2一苄基一2一二甲基氨基一卜(4一吗啉基苯基)丁酮一11份.聚合引发剂二乙基噻吨酮o．5份.阻聚剂对甲氧基苯酚o．001份.氟系表面活性剂(商品名Megafa(R08日本油墨化学工业公司制)0．02份.非离子系表面活性剂(商品名EMULGENA-60花王公司制)0．5份.溶剂丙二醇单甲醚乙酸酯120份.溶剂丙二醇正丙醚乙酸酯30份阵上述组成混合搅拌，得到绿色(G)用感光性着色组合物涂布液CG-I.3-3．蓝色(B)用感光性着色组合物涂布液cB-1n~iJ司制按下述配方调制蓝色(B)用分散液(B—1)..颜料蓝156(SEM观察下的平均粒径55nm)14份.颜料紫23(SEM观察下的平均粒径61nm)l份.下述分散树脂A-3I~溶液5份.分散剂(商品名Dispcrbyk-161、BYKCh(mie公司制30％溶液)3份.碱溶性树脂甲基丙烯酸苄酯／甲基丙烯酸共聚物(一80．／’20[摩尔比]共聚物、分子量30000、丙二醇单甲醚乙酸酯溶液(固体成分50质Y量％))4份.溶剂丙二醇单甲醚乙酸酯73份使用均质机在30001．pm的条件下将上述各成分搅拌l小时.借助使用了o．3mm氧化锆珠的珠粒分散机(商品名DESP[!RMAT，GETZMANN公司制)将得到的混合溶液微分散处理4小时，得到蓝色(B)用分散液(B—1).对得到的蓝色(B)用分散液(B—1)中的分散粒子用SEMi韭行观察，结果平均粒径为39nm.使用得到的蓝色(B)用分散液(B—1)，按下述配方调制蓝色(B)用感光性着色组合物涂布液CB-1..蓝色(B)用分散液(B—1)100份噸瞄曲啪旨甲昏承韶針硒自／甲昏承韶鈔黝(一8)／0[摩尔比]溯、耀3甽、丙二醇单甲醚ZJ獺綳(固蝴D质量％))7份.环氧树脂(商品名CELLOXINl2080，DAI(ELChemiCa[Industri(S公司制)2份.UV固化性树脂(商品名CYCL.MERPA(2A-250，DAICELChemiCalinetustrieS公司制)(侧链具有脂环、COOH基、及丙烯酰基的丙烯酸类共聚物、丙二醇单甲醚乙酸酯溶液(固体成分50质量％)4份.聚合性化合物二季戊四醇五.六丙烯酸酯12份.聚合引发剂卜(9一乙基一6一(2一甲基苯甲酰基)一9H一咔唑一3一基)一卜(邻乙酰基肟)乙酮3份阻聚剂对甲氧基苯酚0.001份氟系表面活性剂(商品名MegafaCR08大日本油墨化学工业公司制)0.02份非离子系表面活性剂(商品名EMULGENA-60，花王公司制溶剂3-乙氧基丙酸乙酯溶剂丙二醇单甲醚乙酸酯将上述成分混合搅拌，得到蓝色(B)用感光性着色组合物涂布液CB-1。<4.分散树脂A-3的合成>(1.链转移剂A3的合成)将二季戊四醇六(3-巯基丙酸酯)[DPMP；堺化学工业株式会社制](下述化合物(33))7.83份、及具有吸附部位且具有碳碳双键的下述化合物(m-6)4.55份溶解到丙二醇单甲醚28.90份中，在氮气流下，加热到70°C。向其中添加2，2’-偶氮二(2，4_二甲基戊腈)[V-65、和光纯药工业株式会社制]0.04份并加热3小时。再添加0.04份的V-65，在氮气流下，在70°C下反应3小时。冷却到室温，从而得到以下所示的硫醇化合物(链转移剂A3)的30%溶液。00HS-CH2~-CH2-6-O-CH2^CH2-O-6-CH2-ch2-SHhs-ch2-chXo-ch2^ch2VHrxch2^hs-ch2-ch2-g-0-chrxch2-0-g-ch2-ch2-sh(33)o6(1/3.5加成体)(2.分散树脂A-3的合成)将如上所述得到的链转移剂A3的30%溶液4.99份、甲基丙烯酸甲酯19.0份、以及甲基丙烯酸1.0份、丙二醇单甲醚4.66份的混合溶液在氮气流下加热到90°C。边对该混合溶液进行搅拌，边用2.5小时滴加由2，2’_偶氮二异丁酸二甲酯[V-601、和光纯药工业株式会社制]0.139份、丙二醇单甲醚5.36份、丙二醇单甲醚乙酸酯9.40份形成的混合溶液。在滴加结束后，在90°C下反应2.5小时，然后加入2，2’_偶氮二异丁酸二甲酯0.046份、丙二醇单甲醚乙酸酯4.00份的混合溶液，再使其反应2小时。向反应液中加入丙二醇单甲醚1.52份、丙二醇单甲醚乙酸酯21.7份，冷却到室温，从而得到特定分散树脂A-3(聚苯乙烯换算的重均分子量24000)的溶液(特定分散树脂30质量％、丙二醇单甲醚21质量％、丙二醇单甲醚乙酸酯49质量％)。该特定分散树脂A-3的酸值为48mg/g。分散树脂A-3的结构如下所示。<滤色器的制作>-感光性着色组合物层形成工序_将得到的红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-1涂布到上述黑色矩阵基板的黑色矩阵形成面侧。具体而言，与感光性浓色组合物层形成的情况同样，以后烘烤后的感光性着色组合物层的层厚为约2.1ym的方式调节狭缝与黑色矩阵基板之间的间隔、喷出量，以120mm/秒的涂布速度进行涂布。-着色层预烘烤工序、着色层曝光工序_然后，使用加热板，在100°C下加热120秒(预烘烤处理)，然后使用镜像投影方式曝光机(型号MPA-8800、Canon株式会社制)，以90mJ/cm2进行曝光。此外，以曝光图案与黑色矩阵的重合(曝光重合量)为9.0ym的方式设定掩模图案与曝光机。-着色层显影工序、着色层烘烤工序_然后，用倾斜运送型的显影装置(型号SK-2200G、大日本7”彡一>制造株式会社制、倾斜角5°)进行显影。S卩，用氢氧化钾类显影液CDK-1(FUJIFILMElectronicMaterials株式会社制)的1.0%显影液(1质量份⑶K_1和99质量份纯水的稀释液，25°C)，设定喷淋压为0.20MPa,显影45秒，用纯水洗净。然后，在220°C的清洁烘箱中进行30分钟的后烘烤处理，形成热处理后的红色像素然后，在上述感光性着色组合物层形成工序、着色层预烘烤工序、着色层曝光工序、着色层显影工序、以及着色层烘烤工序中，除了将红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-1替换成绿色(G)用感光性着色组合物涂布液CG-1之外，同样地形成绿色像素。然后，除了将红色(R)用感光性着色组合物涂布液CR-1替换成蓝色(B)用感光性着色组合物涂布液CB-1之外，同样地形成蓝色像素，得到滤色器。拍摄随机选择的10个像素的SEM截面照片，测定感光性着色组合物层与黑色矩阵的重叠的距离，结果算术平均值为8.5ym。上述SEM截面照片是在BM的长边的中央附近与长边方向呈直角地将截面切断并进行SEM摄影而得到的。此外，使用接触式表面粗度计P-10(KLA-Tencor株式会社制)，测定随机选择的100个着色图案的“角”的高度，结果算术平均值为0.47um。角的高度测定如图5所示，在黑色矩阵10的格子长边的中央附近，使触针12沿上述黑色矩阵10的宽度方向(A方向)移动而进行。此外，由各色的着色图案与黑色矩阵形成的角的高度是作为如下距离而求出的，所述距离是在着色图案的表面中，重叠部的距离基板表面最远的部分与除重叠部以外的平坦的表面部分之间的在基板的法线上的距离。<液晶显示装置的制作>在由上述得到的滤色器的R像素、G像素、及B像素、以及黑色矩阵上，进一步通过溅射形成ITOandiumTinOxide，氧化铟锡)透明电极。另外，准备作为对置基板的玻璃基板，同样通过溅射形成IT0透明电极。然后，在与上述IT0透明电极上的隔离壁的上方相当的部分处设置柱状光间隔物(下面，将其称为“柱状间隔物形成工序”)，在其上进一步设置由聚酰亚胺形成的取向膜。-液晶取向分割用突起的形成_使用与上述同样的狭缝涂布机将由下述配方A组成的突起用感光性树脂层用涂布液涂布在滤色器上的IT0透明电极上，干燥后形成突起用感光性树脂层。<突起用感光性树脂层用涂布液配方A>正型抗蚀剂液[FUJIFILMElectronicMaterials株式会社制、FH-2413F]53.3份甲乙酮46.7份下述表面活性剂10.04份表面活性剂1下述结构物130%甲乙酮70%结构物1<formula>formulaseeoriginaldocumentpage37</formula>(n=6、x=55、y=5、Mw=33940,Mw/Mn=2.55,P0环氧丙烧、E0环氧乙烧)然后，在突起用感光性树脂层上使用由下述配方PI组成的中间层用涂布液来设置干燥膜厚为l.eym的保护层。<中间层用涂布液配方Pl>PVA205(聚乙烯醇、株式会社Kuraray制、皂化度=88%、聚合度550)32.2份聚乙烯基吡咯烷酮(ISPJapan公司制，K-30)14.9份蒸馏水524份甲醇429份然后，使用镜像投影方式曝光机(型号MPA-8800、Canon株式会社制)以150mJ/cm2进行曝光。然后，边使用倾斜运送型的显影装置(型号SK-2200G，大日本7”彡一>制造株式会社制，倾斜角5°)在33°C下用2.38%的四甲基氢氧化铵水溶液向突起用感光性树脂层喷雾30秒，边进行显影，将突起用感光性树脂层的不需要的部分(曝光部)显影除去。于是，在滤色器的ITO透明电极上的位于R像素、G像素、以及B像素的上方的部分形成了图案化成所希望的形状的突起。接着，将形成有该突起的滤色器基板在240°C下烘烤处理50分钟，从而能在滤色器上形成高度为1.5μπκ纵截面形状(与玻璃基板面的法线方向平行的面的形状)为半圆锥体型的取向分割用突起。然后，在滤色器的相当于以包围着色像素群的周围的方式设置的黑色矩阵外框的位置上，以分散方式涂布紫外线固化树脂的密封剂，滴加MVA模式用液晶，与对置基板贴合，对贴合的基板照射UV，然后热处理，使密封剂固化。这样得到液晶单元。在该液晶单元的两面上贴附株式会社SANRITZ制的偏振板HLC2-2518，然后构成冷阴极管的背光，配置在设置有上述偏振板的液晶单元的背面侧，从而制成液晶显示装置。-液晶显示装置的画质评价_对液晶显示装置通电，目视观察各种显示图像，按照下述评价基准进行评价。结果示于下述表6。<评价基准>a无不均勻，感觉到显示非常鲜艳有气魄。b无不均勻，感觉到显示鲜艳有气魄。c虽无不均勻，但感觉不到显示有气魄。d有不均勻，或看起来发白，不耐观赏。(实施例2实施例10、实施例13实施例24、以及实施例29实施例31)除了将实施例1中的感光性浓色组合物涂布液CK-I替换成表5所示的感光性浓色组合物涂布液、并将黑色矩阵形成工序中的预烘烤条件及显影条件、以及着色图案形成工序中的曝光重合量替换成表5所示的值之外，与实施例1同样地制作滤色器，并使用该滤色器，与实施例1同样地制作液晶显示装置。(实施例11)除了将黑色矩阵的形成由利用涂布的形成替换成如下所示的利用转印的形成、并将显影和曝光条件按表5所示进行替换之外，与实施例1同样地制作滤色器，使用该滤色器制作液晶显示装置。<利用转印的黑色矩阵的形成>-感光性转印材料CKl的制作-在厚度为75μm的聚对苯二甲酸乙二酯膜临时支撑体(PET临时支撑体)上，使用狭缝状喷嘴涂布由下述配方Hl组成的热塑性树脂层用涂布液，使其干燥而形成热塑性树脂层。接着，进一步将由上述配方Pl组成的中间层用涂布液涂布到热塑性树脂层上，使其干燥而形成中间层(氧阻断膜)。在该中间层上，进一步涂布上述感光性浓色组合物涂布液CK-1，用90度的热气流使其干燥而形成感光性树脂层K1。进而，在该感光性树脂层的表面压接保护膜(厚度为12ym的聚丙烯膜)，从而制成由临时支撑体、热塑性树脂层、中间层、感光性树脂层Kl一体构成的感光性转印材料CKl。(热塑性树脂层用涂布液配方Hl)甲醇11.1份丙二醇单甲醚乙酸酯6.36份甲乙酮52.4份·甲基丙烯酸甲酯/丙烯酸2-乙基己酯/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)=55/11.7/4.5/28.8，分子量=10万，Tg^70°C)6.80份·苯乙烯/丙烯酸共聚物(共聚组成比(摩尔比)=63/37、平均分子量=1万、Tg^IOO0C)10.2份·2，2_二[4_(甲基丙烯酰氧聚乙氧基)苯基]丙烷(新中村化学工业株式会社制)9.1份·上述结构物1的30%MEK溶液0.54份如上所述得到的感光性转印材料CKl中，热塑性树脂的干燥膜厚为14.6μπι，中间层的干燥膜厚为1.6μm，感光性树脂层Kl的干燥膜厚为1.3μm。接着，边向无碱玻璃基板(下面也简称为“玻璃基板”)通过喷淋器将调整到了25°C的玻璃洗涤剂液喷吹20秒钟，边用具有尼龙毛的旋转刷子进行洗涤，再用纯水进行喷淋洗涤。然后，通过喷淋器将硅烷偶联剂液(Ν-β(氨基乙基)Y-氨基丙基三甲氧基硅烷0.3质量％水溶液，商品名ΚΒΜ603、信越化学工业株式会社制)喷吹20秒钟，用纯水喷淋洗涤。将该基板通过基板预备加热装置在100°C下加热2分钟。将从由上述得到的感光性转印材料CKl除去保护膜、并在除去后露出的感光性树脂层Ki以其表面与硅烷偶联剂处理玻璃基板的表面接触的方式重合到所得到的硅烷偶联剂处理玻璃基板上，使用W02006-4225的图24中记载的大型双片贴层压装置进行层压。层压的条件(转印条件)如下述表2所示。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage40</column></row><table>接着，将PET临时支撑体在与热塑性树脂层的界面剥离，将临时支撑体除去。在剥离临时支撑体后，通过镜像投影型曝光机(MPA-8800、Canon株式会社制)，以曝光量100mJ/cm2进行图案曝光。接着，将三乙醇胺系显影液(含有30%三乙醇胺，将商品名T_PD2(FUJIFILM株式会社制)用纯水稀释至12倍(按1份的T-PD2与11份的纯水的比例混合)而得到的溶液)在30°C下在20秒间通过扁平喷嘴压力0.04MPa进行喷淋显影，除去热塑性树脂层和中间层。接着，在该玻璃基板的上表面吹送空气进行除液，然后通过喷淋器将纯水喷吹10秒钟，进行纯水喷淋洗涤，喷吹空气，减少基板上的液体残留。然后，使用倾斜运送型的显影装置(型号SK-2200G，大日本7”彡一>制造株式会社制，倾斜角5°)进行显影。用氢氧化钾类显影液CDK-1(FUJIFILMElectronicMaterials株式会社制)的1.0%显影液(1质量份⑶K_1和99质量份纯水的稀释液，28°C)，设定喷淋压为0.20MPa,显影85秒，用纯水洗净。接着，使用将洗涤剂(含有磷酸盐硅酸盐非离子表面活性剂消泡剂稳定剂；商品名T-SD1(FUJIFILM株式会社制))用纯水稀释至10倍而得到的溶液，在33°C下以圆锥形喷嘴压力0.02MPa通过喷淋器喷吹20秒钟，进而通过具有柔软的尼龙毛的旋转刷子对形成的图案像进行擦拭，除去残渣，得到所希望的隔离壁图案。这里，通过SEM拍摄截面照片，测定感光性浓色组合物层的下凹长度，结果为4.5um0上述下凹长度的测定方法与实施例1中的下凹长度的测定同样地进行。接着，在220°C的清洁烘箱中进行40分钟的后烘烤处理，形成着色像素形成区域的开口为90umX200um、黑色矩阵的线宽为约25ym的格子状黑色矩阵。(实施例I2)除了将实施例11中的感光性浓色组合物涂布液CK-1变更成下述感光性浓色组合物涂布液CK-2之外，与实施例11同样地进行，得到滤色器，并使用该滤色器制作液晶显示直o-感光性浓色组合物涂布液CK-2的调制-量取下述表3中记载的量的颜料分散物K-2、以及丙二醇单甲醚乙酸酯，在温度24°C(士2°C)下混合，以150r.p.m.搅拌10分钟，边搅拌，边量取表3中记载的量的甲乙酮、环己酮、粘合剂2、吩噻嗪、DPHA液、2，4_二(三氯甲基)-6-[4，-(N,N-双二乙氧羰基甲基)氨基_3’_溴苯基]-均三嗪、和上述表面活性剂1，在温度25°C(士2°C)下依次添加，在温度40°C(士2°C)下以150r.p.m.搅拌30分钟，从而得到感光性浓色组合物涂布液CK-2。表3<table>tableseeoriginaldocumentpage41</column></row><table>另外，上述表3中记载的量是质量份，各成分的详细如下所述。(颜料分散物K-2)炭黑(Degussa公司制Nipex35)13.1%分散剂(下述化合物1)0.65%聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸=72/28摩尔比的无规共聚物、分子量3.7万)6.72%丙二醇单甲醚乙酸酯79.53%<formula>formulaseeoriginaldocumentpage42</formula>(粘合剂2)聚合物(甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸=78/22摩尔比的无规共聚物，分子量3.8万〕27%丙二醇单甲醚乙酸酯73%(DPHA液)二季戊四醇六丙烯酸酯(含有500ppm阻聚剂MEHQ、日本化药株式会社制、商品名:KAYARADDPHA)76%丙二醇单甲醚乙酸酯24%(实施例邪)在实施例1的黑色矩阵形成中涂布感光性浓色组合物涂布液CK-1时，以烘烤后的黑色矩阵膜厚为1.5ym的方式调整狭缝与玻璃基板间的间隔、喷出量，涂布感光性浓色组合物涂布液CK-1，滤色器的制造工序(黑色矩阵形成工序以及着色图案形成工序)的各条件如表5所示进行变更，除此之外，与实施例1同样地进行，制造滤色器。此外，使用该滤色器制作液晶显示装置。(实施例沈)在实施例1的黑色矩阵形成中，将感光性浓色组合物涂布液CK-1变更为感光性浓色组合物涂布液CK-3，在涂布感光性浓色组合物涂布液CK-3时，以烘烤后的黑色矩阵的膜厚为1.8ym的方式调整狭缝与玻璃基板间的间隔、喷出量，涂布感光性浓色组合物涂布液CK-3，滤色器的制造工序(黑色矩阵形成工序以及着色图案形成工序)的各条件如表5所示进行变更，除此之外，与实施例1同样地进行，制造滤色器。此外，使用该滤色器制作液晶显示装置。(实施例27)在实施例1的黑色矩阵形成中，在涂布感光性浓色组合物涂布液CK-1时，以烘烤后的黑色矩阵膜厚为1.0ym的方式调整狭缝与玻璃基板间的间隔、喷出量，涂布感光性浓色组合物涂布液CK-1，滤色器的制造工序(黑色矩阵形成工序以及着色图案形成工序)的各条件如表5所示进行变更，除此之外，与实施例1同样地进行，制造滤色器。此外，使用该滤色器制作液晶显示装置。(实施例观)在实施例1的黑色矩阵形成中，将感光性浓色组合物涂布液CK-1变更为感光性浓色组合物涂布液CK-4，在涂布感光性浓色组合物涂布液CK-4时，以烘烤后的黑色矩阵膜厚为0.7ym的方式调整狭缝与玻璃基板间的间隔、喷出量，涂布感光性浓色组合物涂布液CK-4，滤色器的制造工序(黑色矩阵形成工序以及着色图案形成工序)的各条件如表5所示进行变更，除此之外，与实施例1同样地进行，制造滤色器。此外，使用该滤色器制作液晶显示装置。(实施例32)在实施例12的滤色器的制作中，将黑色矩阵的显影条件如表5所示进行变更，而且，在实施例12的液晶显示装置的制作中，将柱状间隔物形成工序如以下间隔物形成工序2那样进行变更来设置间隔物，除此之外，与实施例12同样地进行，制作液晶显示装置。用SEM对在实施例32中得到的滤色器的截面进行摄影。其截面的示意图如图6所示。在图68中，4是黑色矩阵，6是着色图案。-间隔物形成工序2-在上述感光性转印材料CK1中的感光性树脂组合物层K1的制作中，除了将感光性浓色组合物涂布液CK-1变更为下述配方1的感光性树脂组合物层用涂布液之外，与感光性转印材料CK1的制作同样地进行，制作具有干燥层厚为4.lym的感光性树脂组合物层的间隔物形成用感光性转印材料。表4<table>tableseeoriginaldocumentpage43</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage44</column></row><table>单位质量份[下述结构P-1所表示的树脂的合成]上述表4中的树脂(结构P-1)如下所述得到。在反应容器中预先加入1-甲氧基-2-丙醇(DAICELChemicalIndustries株式会社制)8.57份，升温到90°C，将由甲基丙烯酸异丙酯6.27份、甲基丙烯酸5.15份、偶氮系聚合引发剂(和光纯药公司制、V-601)l份、以及1-甲氧基-2-丙醇8.57份组成的混合溶液在氮气气氛下用2小时滴加到90°C的反应容器中。滴加后反应4小时，得到丙烯酸树脂溶液。接着，在上述丙烯酸树脂溶液中添加氢醌单甲醚0.025份、以及四乙基溴化铵0.084份，然后用2小时滴加甲基丙烯酸缩水甘油酯5.41份。滴加后，边吹入空气边在90°C下反应4小时后，以固体成分浓度为45%的方式添加溶剂MMPGAC来进行调制，得到具有不饱和基团的由下述结构P-1表示的树脂溶液。另外，由下述结构P-1表示的树脂的分子量Mw表示重均分子量，上述分子量使用凝胶渗透色谱仪(GPC)来测定。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage44</formula>将得到的间隔物形成用感光性转印材料的覆盖膜剥离，将露出的感光性树脂组合物层的表面与滤色器基板重合，使用W02006-4225的图24中记载的大型双片贴层压装置，在线压为100N/Cm、130°C的加压和加热条件下以运送速度为2m/分进行贴合。然后，将PET临时支撑体在与热塑性树脂层的界面处剥离除去，将感光性树脂组合物层与热塑性树脂层以及中间层一起转印。接着，使用镜像投影方式曝光机(型号MPA-8800、Canon株式会社制)以90mJ/cm2从热塑性树脂层侧开始进行曝光。接着，将三乙醇胺系显影液(将商品名T_PD2用纯水稀释至12倍而得到的溶液)在30°C下在50秒间通过扁平喷嘴压力0.04MPa进行喷淋显影，除去热塑性树脂层和中间层。接着，在该玻璃基板的上表面吹送空气进行除液，然后通过喷淋器将纯水喷吹10秒钟，进行纯水喷淋洗涤，喷吹空气，减少基板上的液体残留。接着，使用碳酸钠系显影液(含有0.38摩尔/升的碳酸氢钠、0.47摩尔/升的碳酸钠、5%的二丁基萘磺酸钠、阴离子表面活性剂、消泡剂、以及稳定剂；将商品名T-⑶1(FUJIFILM株式会社制)用纯水稀释至10倍而得到的溶液)在29°C下以圆锥型喷嘴压力0.15MPa进行喷淋显影50秒钟，得到间隔物的图案像。接着，使用将洗涤剂(含有磷酸盐硅酸盐非离子表面活性剂消泡剂稳定剂；商品名T-SD3(FUJIFILM株式会社制))用纯水稀释至10倍而得到的溶液，在33°C下以圆锥形喷嘴压力0.02MPa通过喷淋器喷吹20秒钟，将所形成的图案像的周边进行残渣除去，得到所希望的间隔物图案。然后，将设置有间隔物图案的滤色器基板在240°C下进行50分钟的加热处理(热处理工序)，制作光间隔物。得到的间隔物图案为直径24ym、平均高度3.6ym的圆柱状。另外，平均高度是对得到的20个间隔物用三维表面结构解析显微镜(制造商jYGOCorporation、型号NewView5022)测定距离IT0的透明电极形成面最高的位置，并通过算术平均而求得。(实施例33、实施例34)在实施例1的滤色器的制作中，将黑色矩阵显影条件如表5所示进行变更，在实施例1的液晶显示装置的制作中，将柱状间隔物形成工序变更成间隔物形成工序2来设置间隔物，除此之外，与实施例1同样地进行，制作液晶显示装置。对实施例33及实施例34中得到的滤色器的截面分别用SEM进行摄影。这些截面的示意图分别示于图7及图8。(实施例邪)在实施例1的滤色器的制作中，以黑色矩阵的线宽为口！！！^曝光重合量为*』!!!!!的方式变更黑色矩阵与像素的掩模图案，将黑色矩阵显影条件如表5所示进行变更，在实施例1的液晶显示装置的制作中，将柱状间隔物形成工序变更为间隔物形成工序2来设置间隔物，除此之外，与实施例1同样地进行，制作液晶显示装置。(实施例加)除了在实施例35的显影工序中将倾斜运送型的显影装置变更为水平运送型的显影装置(大日本7々U—>制造株式会社制)之外，与实施例35同样地进行，制作滤色器以及液晶显示装置。(实施例37)除了在实施例35的显影工序中将倾斜运送型的显影装置变更为垂直运送型的显影装置(大日本7々U—>制造株式会社制)之外，与实施例35同样地进行，制作滤色器以及液晶显示装置。(比较例1比较例7)在实施例1中，将感光性浓色组合物涂布液CK-1替换为表5所示的感光性浓色组合物涂布液，将黑色矩阵形成工序中的预烘烤条件及显影条件、以及着色图案形成工序中的曝光重合量替换成表5所示的值，除此之外，与实施例1同样地进行，制作滤色器，使用该滤色器，与实施例1同样地进行，制作液晶显示装置。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage46</column></row><table>另外，在比较例2比较例4中，黑色矩阵的线宽变细或黑色矩阵欠缺，因而无法在基板上形成着色图案。此外，在比较例6中，由于产生了在黑色矩阵与像素之间局部生成空隙等的白点，因而成为不适合于后续的评价及显示装置的制作的滤色器。因此，在比较例24以及比较例6中，无法求出角的高度，并且无法进行液晶显示装置的评价。表6<table>tableseeoriginaldocumentpage48</column></row><table>表6中，厚度、下凹、重叠以及角的高度的单位均为“μm”。由表6可知，实施例1实施例37的滤色器可抑制角的高度，使用了这些滤色器的液晶显示装置具有高品质的画质。(实施例劝)经过与实施例9中的黑色矩阵形成工序同样的工序，得到下凹长度为4.0μm的黑色矩阵。-黑色矩阵的强度评价_接着，为了试验黑色矩阵的强度，向实施例38的黑色矩阵喷吹2分钟的纯水的高压喷雾。用光学显微镜观察此后的黑色矩阵是否有黑色矩阵的欠缺或剥离。强度评价根据如下基准。结果如表7所示。(评价基准)a完全未发生欠缺或剥离，黑色矩阵的细线图案为直线。b黑色矩阵的细线图案稍微有凹凸(实用没有问题)。C:发生大量欠缺或剥离。上述“纯水的高压喷雾”，是指在滤色器的制造工序中，可在显影后为了除去残渣而进行数十秒左右喷吹的纯水的高压喷雾洗涤的喷雾。另外，在上述实施例137中的黑色矩阵形成中，由于能仅通过显影而充分除去残渣，不进行纯水的高压喷雾处理。(实施例洲)经过与实施例14中的黑色矩阵形成工序同样的工序，得到下凹长度为6.Ομπι的黑色矩阵，进行与实施例38同样的强度试验。结果如表7所示。(实施例40)经过与实施例21中的黑色矩阵形成工序同样的工序，得到下凹长度为6.5μπι的黑色矩阵，进行与实施例38同样的强度试验。结果如表7所示。(实施例41)经过与实施例22中的黑色矩阵形成工序同样的工序，得到下凹长度为7.Ομπι的黑色矩阵，进行与实施例38同样的强度试验。结果如表7所示。(实施例4幻经过与实施例23中的黑色矩阵形成工序同样的工序，得到下凹长度为7.5μπι的黑色矩阵，进行与实施例38同样的强度试验。结果如表7所示。(实施例4幻经过与实施例24中的黑色矩阵形成工序同样的工序，得到下凹长度为8.Ομπι的黑色矩阵，进行与实施例38同样的强度试验。结果如表7所示。(比较例8)经过与比较例4中的黑色矩阵形成工序同样的工序，得到下凹长度为8.5μm的黑色矩阵(有欠缺)，进行与实施例38同样的强度试验。表7<table>tableseeoriginaldocumentpage50</column></row><table>本发明的黑色矩阵在通过纯水的高压喷雾的强度试验中，为没有黑色矩阵的欠缺或剥落、或至少实用上没有问题的良好的结果，在制造工序中具有充分的牢固性。下面记载了本发明的实施方式，但是，本发明并不限定于下述的实施方式。<1>一种滤色器的制造方法，其具有黑色矩阵形成工序和着色图案形成工序，所述黑色矩阵形成工序是通过使用感光性浓色组合物在基板上形成感光性浓色组合物层，将所述感光性浓色组合物层曝光，将曝光后的所述感光性浓色组合物层显影，形成下凹长度为3.08.0μm的黑色矩阵图案，对黑色矩阵图案进行烘烤，从而形成黑色矩阵；所述着色图案形成工序是下述工序在形成有黑色矩阵的所述基板上使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层，将所述感光性着色组合物层曝光，将曝光后的所述感光性着色组合物层显影，对显影后的所述感光性着色组合物层进行烘烤，从而形成着色图案；其中，以得到下述重叠部的方式形成着色图案；所述重叠部为由所述黑色矩阵与所述着色图案重合而成的重叠部，且重叠部的在黑色矩阵宽度方向上的长度为1.012μπι。<2>根据<1>所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述黑色矩阵的光密度即OD值为2.0以上且8.0以下。<3>根据<1>或<2>所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述黑色矩阵的厚度为0.22.0μm。<4>根据<1><3>中任一项所述的滤色器的制造方法，其特征在于，在所述黑色矩阵形成工序中还包含在所述曝光工序之前在65120°C下预烘烤50300秒的工序。<5>根据<1><4>中任一项所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述黑色矩阵形成工序的显影条件是温度为2535°C、显影时间为30120秒。<6>根据<1><5>中任一项所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述重叠部的隆起为0.5μπι以下。<7>根据<1><6>中任一项所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述感光性着色组合物层的层厚为0.53.0μm。<8>一种滤色器，其是通过<1><7>中任一项所述的滤色器的制造方法制造的滤色器，具有由黑色矩阵与着色图案重合而成的重叠部，所述重叠部的在黑色矩阵宽度方向上的长度为1.012μm。<9>根据<8>所述的滤色器，其特征在于，在所述着色图案的表面中，所述重叠部的距离基板表面最远的部分与除所述重叠部以外的部分之间的在基板的法线上的长度为0.50ym以下。<10>一种液晶显示装置，其具备<8>或<9>所述的滤色器。权利要求一种滤色器的制造方法，其具有黑色矩阵形成工序和着色图案形成工序，所述黑色矩阵形成工序是通过使用感光性浓色组合物在基板上形成感光性浓色组合物层，将所述感光性浓色组合物层曝光，将曝光后的所述感光性浓色组合物层显影，形成下凹长度为3.0～8.0μm的黑色矩阵图案，对黑色矩阵图案进行烘烤，从而形成黑色矩阵；所述着色图案形成工序是下述工序在形成有黑色矩阵的所述基板上使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层，将所述感光性着色组合物层曝光，将曝光后的所述感光性着色组合物层显影，对显影后的所述感光性着色组合物层进行烘烤，从而形成着色图案；其中，以得到下述重叠部的方式形成着色图案；所述重叠部为由所述黑色矩阵与所述着色图案重合而成的重叠部，且重叠部的在黑色矩阵宽度方向上的长度为1.0～12μm。2.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述黑色矩阵的光密度即0D值为2.0以上且8.0以下。3.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述黑色矩阵的厚度为0.22.Oilm。4.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其特征在于，在所述黑色矩阵形成工序中还包含在所述曝光工序之前在65120°C下预烘烤50300秒的工序。15.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述黑色矩阵形成工序的显影条件是温度为2535°C、显影时间为30120秒。6.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述重叠部的隆起为(0.5um以下。7.根据权利要求1所述的滤色器的制造方法，其特征在于，所述感光性着色组合物层的层厚为0.53.Oilm。8.一种滤色器，其是通过权利要求1所述的滤色器的制造方法制造的滤色器，具有由黑色矩阵与着色图案重合而成的重叠部，所述重叠部的在黑色矩阵宽度方向上的长度为(1.012iim。9.根据权利要求8所述的滤色器，其特征在于，在所述着色图案的表面中，所述重叠部的距离基板表面最远的部分与除所述重叠部以外的部分之间的在基板的法线上的长度为0.50um以下。10.一种液晶显示装置，其具备权利要求8或9所述的滤色器。全文摘要本发明涉及滤色器的制造方法，其具有黑色矩阵形成工序和着色图案形成工序；所述黑色矩阵形成工序是通过使用感光性浓色组合物在基板上形成感光性浓色组合物层，将所述感光性浓色组合物层曝光，将曝光后的所述感光性浓色组合物层显影，形成下凹长度为3.0～8.0μm的黑色矩阵图案，对黑色矩阵图案进行烘烤，从而形成黑色矩阵；所述着色图案形成工序是下述工序在形成有黑色矩阵的所述基板上使用感光性着色组合物形成感光性着色组合物层，将所述感光性着色组合物层曝光，将曝光后的所述感光性着色组合物层显影，对显影后的所述感光性着色组合物层进行烘烤，从而形成着色图案；其中，以得到下述重叠部的方式形成着色图案；所述重叠部为由所述黑色矩阵与所述着色图案重合而成的重叠部，且重叠部的在黑色矩阵宽度方向上的长度为1.0～12μm。文档编号G02F1/1335GK101802659SQ200880106318公开日2010年8月11日申请日期2008年7月18日优先权日2007年9月10日发明者伊藤维成,安藤豪,金子若彦申请人:富士胶片株式会社