专利名称：防止镜片碰撞的装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种防止镜片碰撞的装置，特别涉及一种光刻技术中的防止镜片
碰撞的装置。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光学光刻技术扮演了重要的角色。光学光刻技术 在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的掩模，利用曝光原理， 使光源通过掩模投影至硅晶片上，可曝光显示特定的图案。 光刻设备已经能够在晶片上形成越来越小的图形，而在光刻工艺中，为满足所需 要的工艺条件，需要对照明模式进行设置。而用于设置照明模式的同轴光学镜片之间存在 行程干涉，即不同镜片之间的移动区域有重叠情况。因此，如果不对镜片进行防止碰撞处 理，同轴的可动透镜会发生碰撞而损毁。 实际情况为，在光刻过程中，由于需要得到各种不同的工艺条件(如获得不同的 焦深)，需要设置不同的照明模式。设置照明模式是通过移动照明系统中的几片可动透镜实 现的，通过对可动透镜之间的距离进行不同的设置组合，得到符合各种光刻工艺需要的不 同照明模式。而可动透镜的行程之间有交叠区域，因此可动透镜会发生碰撞导致损毁。 有鉴于此，如何提供一种防止镜片碰撞的装置，来减少上述弊端已成为业界亟待 解决的技术问题。
实用新型内容本实用新型所解决的技术问题在于提供一种防止镜片碰撞的装置，结构简单可 靠，不需要严格的机械安装条件的限制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中 也不会出现误操作导致可动镜片损毁。 本实用新型所解决的技术问题在于提供一种防止镜片碰撞的装置，能够在不影响
光学性能的前提下，提高光刻设备的可靠性并且同时降低维护和修理成本。 为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种防止镜片碰撞的装置，应用于光刻
设备的照明系统中，所述照明系统中至少包括两片相邻设置的可移动镜片，且所述的两片
可移动镜片的行程之间具有交叠区域，所述防止镜片碰撞的装置包括驱动所述可移动镜片
移动的驱动模块，以及安装在所述可移动镜片上的探测模块，所述探测模块探测两片可移
动镜片间的距离，并根据探测结果控制驱动模块。 在一实施例中，所述探测模块是接近式探测设备，具体的，所述接近式开关分别通 过连杆固定于相应的可移动镜片上，且所述连杆的长度之和大于等于两片可移动镜片之间 所允许的最小距离。 在另一实施例中，所述探测模块是非接触式探测设备，具体的，所述非接触式探测 设备包括光电或磁电式感测器，以及被探测物质，分别设置于所述的两片可移动镜片上。 进一步地，所述探测模块设置于所述的两片可移动镜片相邻的表面上。[0012] 此外，所述防止镜片碰撞的装置还包括控制模块，分别连接至所述驱动模块和所
述探测模块，所述控制模块根据探测模块的探测结果控制所述驱动模块。所述可移动镜片
的行程范围的边界处还设有限位开关，以防止可移动镜片移动至行程范围以外。 本实用新型的防止镜片碰撞的装置，是通过安装在所述镜片上的探测模块探测镜
片间的距离，并根据探测结果控制驱动模块，在镜片将要发生碰撞前控制驱动模块，从而阻
止镜片进一步移动，达到防止发生碰撞的效果。所采用的探测模块可以是接近式探测设备，
也可以是非接触式探测设备。另外，还可通过控制模块设置照明模式，判断移动镜片的移动
方向，合理安排镜片的移动顺序。整个装置结构简单可靠，不需要严格的机械安装条件的限
制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中也不会出现误操作导致可动镜片损
毁。同时能够在不影响光学性能的前提下，提高光刻设备的可靠性并且同时降低维护和修
理成本。
图1为本实用新型防止镜片碰撞的装置的一实施例示意图。[0015] 图2为本实用新型防止镜片碰撞的装置的另一实施例示意图。
具体实施方式以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型也可通过其他不同的具体实例加以实施或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本实用新型的精神下进行各种修饰与变更。 本实用新型中所述防止镜片碰撞的装置，可以应用在光刻设备的照明系统中，该照明系统至少包括两片相邻设置的可移动镜片，且两片可移动镜片的行程之间具有交叠区域。 请参阅图l，是本实用新型防止镜片碰撞的装置的一实施例示意图，如图所示，本实用新型的防止镜片碰撞的装置，应用于光刻设备的照明系统中，所述照明系统中至少包括两片相邻设置的可移动镜片，本实施例中为三片3、6、8，且其中两片可移动镜片6、8的行程之间具有交叠区域(a-b之间的阴影区域)，所述装置包括驱动对应所述镜片3、6、8移动的驱动模块2、5、7，以及安装在具有行程交叠区域的两片可移动镜片6、8上的探测模块11、12，其中，探测模块11、12用于探测镜片6、8间的距离，并根据探测结果控制驱动模块5、7。需要说明的是，由于不涉及所有镜片的计算和判断，为了示意，镜片组未在图中详细绘制，且固定方式也同样未详细绘出，例如镜片4 ;镜片3的行程没有与其他镜片交叠，因此镜片3无需防止碰撞；镜片6和镜片8的行程范围有交叠，为防止移动透镜超出行程范围，处于失控状态，可以设置两个限位开关9、 10保证镜片运动不超过可控范围。 在本实施例中，如图所示，所述探测模块11、12是非接触式探测设备，本实施例中，设备12与镜片8固连，可以随镜片8上下移动，设备12可以为光电式、磁电式等感测器，在镜片8上方形成保护探测面。设备11为被探测物质，与镜片6相固连，可以随设备6上下移动。当然，上述设备11与设备12可以互换位置。设备12与两个驱动模块5、7相连，用于传递停止信号，当设备11进入设备12的保护探测面，即镜片6、8距离很近时，设备12向驱动模块5、7发出停止信号，当驱动模块5、7接收到该信号后立即停止镜片6和镜片8的运动，从而达到保护的目的。采用上述非接触式探测设备最大优点在于，不会出现镜片支撑由于接触等原因被偏离原始位置而影响照明精度的问题。 所述防止镜片碰撞的装置还可包括一控制模块1，分别连接至驱动模块5、7和探测模块11、12，所述控制模块1可以根据探测模块11、12探测到的可移动镜片6、8间的距离信息来控制驱动模块5、7的运转方式，从而避免镜片碰撞，具体的控制方式留待后一实施例详述。此外，所述控制模块1还能够设置照明模式，保证在设置照明模式后所述可移动镜片6、8移动后停止的位置不会交叠，且所述可移动镜片6或8不会同时移动。在设置完照明模式后，控制模块1判断可移动镜片的移动方向，若其运动方向是背向相邻镜片的，则控制该镜片对应的驱动模块先驱动该镜片移动；若其运动方向是朝向相邻镜片的，则控制相邻镜片的驱动模块先移动相邻镜片。如图所示，由于设置照明模式后所述镜片6、8移动后停止的位置不会交叠，且不同时运动，所以例如镜片8要进行移动，这时，判断镜片8的移动方向，若其是向镜片6移动，则控制模块1便控制驱动模块5去驱动镜片6先进行移动，由于所述镜片6、8移动后停止的位置不会交叠，所以待镜片6停止移动后，再移动镜片8便不会发生碰撞。 请参阅图2，是本实用新型防止镜片碰撞的装置的另一实施例示意图，如图所示，所述探测模块11、12是接近式探测设备，例如接近式开关。如图所示，接近式行程开关11通过一连杆固定于镜片6上，可以随镜片6上下移动；接近式开关12通过另一连杆固定于镜片8上，可以随镜片8上下移动。两根连杆的长度之和大于等于两镜片6、8间允许的最小距离。当接近式开关11和12相接触时，接近式开关触发，该触发信号被传送至控制器1，此时控制器1会停止驱动模块5、7转动，相应的镜片6、8也会停止运动，从而达到防止碰撞的效果。当然，控制器1在停止驱动模块5、7转动后，还可进一步控制驱动模块5、7使镜片6 、 8作反向移动，从而使镜片6 、 8回到正常的位置。 综上所述，本实用新型的防止镜片碰撞的装置，通过安装在所述镜片上的探测模块探测镜片间的距离，并根据探测结果控制驱动模块，在镜片将要发生碰撞前控制驱动模块，从而阻止镜片进一步移动，达到防止发生碰撞的效果。所采用的探测模块可以是接近式探测设备，也可以是非接触式探测设备。另外，还可通过控制模块设置照明模式，判断移动镜片的移动方向，合理安排镜片的移动顺序。整个装置结构简单可靠，不需要严格的机械安装条件的限制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中也不会出现误操作导致可动镜片损毁。同时能够在不影响光学性能的前提下，提高光刻设备的可靠性并且同时降低维护和修理成本。 上述实施例仅为例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新型。任何本领域技术人员均可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰与变化。因此，本实用新型的权利保护范围，应以权利要求书的范围为依据。
权利要求一种防止镜片碰撞的装置，应用于光刻设备的照明系统中，所述照明系统中至少包括两片相邻设置的可移动镜片，且所述的两片可移动镜片的行程之间具有交叠区域，其特征在于包括驱动所述可移动镜片移动的驱动模块，以及安装在所述可移动镜片上的探测模块，所述探测模块探测两片可移动镜片间的距离，并根据探测结果控制驱动模块。
2. 如权利要求1所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述探测模块是接近式探 测设备。
3. 如权利要求2所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述接近式探测设备是一 组分别设置于所述的两片可移动镜片上的接近式开关。
4. 如权利要求3所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述接近式开关分别通过 连杆固定于相应的可移动镜片上，且所述连杆的长度之和大于等于两片可移动镜片之间所 允许的最小距离。
5. 如权利要求1所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述探测模块是非接触式 探测设备。
6. 如权利要求5所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述非接触式探测设备包 括光电或磁电式感测器，以及被探测物质，分别设置于所述的两片可移动镜片上。
7. 如权利要求1至6中任一项所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述探测模块 设置于所述的两片可移动镜片相邻的表面上。
8. 如权利要求1所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，还包括控制模块，分别连接 至所述驱动模块和所述探测模块，所述控制模块根据探测模块的探测结果控制所述驱动模 块。
9. 如权利要求1所述的防止镜片碰撞的装置，其特征在于，所述可移动镜片的行程范 围的边界处设有限位开关，以防止可移动镜片移动至行程范围以外。
专利摘要本实用新型提供了一种防止镜片碰撞的装置，通过安装在可移动镜片上的探测模块探测镜片间的距离，并根据探测结果，在镜片将要发生碰撞前控制驱动模块，从而阻止镜片进一步移动，达到防止发生碰撞的效果。另外，还可通过控制模块设置照明模式，判断移动镜片的移动方向，合理安排镜片的移动顺序。整个装置结构简单可靠，不需要严格的机械安装条件的限制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中也不会出现误操作导致可动镜片损毁。同时能够在不影响光学性能的前提下，提高光刻设备的可靠性并且同时降低维护和修理成本。
文档编号G03F7/20GK201436605SQ200920073090
公开日2010年4月7日 申请日期2009年5月27日 优先权日2009年5月27日
发明者徐文, 江潮, 罗闻 申请人:上海微电子装备有限公司