专利名称：模压工具的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种用于修复光罩盒的底部衬垫的 模压工具。
背景技术：
在集成电路制造领域，是利用光刻机将辐射光照射到光罩上，来自光罩上的辐射 光将形成图案的图像转移到光阻上，并进行蚀刻以形成半导体器件。因此，光罩的质量对于 半导体器件的合格率是至关重要的。为了避免环境中的微小颗粒或其它污染物破坏光罩， 业界通常会采用符合半导体工业用的机械标准接口系统的光罩盒来存储和输送光罩。具体请参考图1，现有的光罩盒通常包括顶盖110以及可与顶盖110接合的底座 120，所述顶盖110内部具有容置空间，所述容置空间内可设置有基座130，基座130上设置 有用于支撑光罩的支撑部140，此外，所述光罩盒还包括密封用的顶部衬垫150以及底部衬 垫160，其中底部衬垫160包括矩形盖体161以及沿该矩形盖体161的边缘向外水平延伸的 边缘部162，所述矩形盖体161上开设有与所述支撑部140匹配的开口，所述底部衬垫162 可罩盖在所述支撑部140上，以提高所述光罩盒的密封效果。在实际使用过程中，光罩需要定期进行清洗，因此必须经常打开光罩盒，在打开过 程中，需要经常碰触底部衬垫160，然而，由于底部衬垫160是由较软的聚氯乙烯制成，且其 边缘部162非常薄，因此，边缘部162经常会出现弯曲现象，若不及时修复或更换已经破损 的底部衬垫，将无法保证光罩盒的密封效果，进而导致存储在光罩盒内的光罩沾附上微小 颗粒或其它肉眼难以辨视的污染物，这些污染物将导致后续制作的晶圆全部报废。但是，由于底部衬垫非常昂贵，若经常更换新的底部衬垫，势必增加了晶圆厂家的 生产成本。因此，提供一种可以修复边缘弯曲的底部衬垫的模压工具，以使修复后的底部衬 垫可以继续使用，是十分必要。
实用新型内容本实用新型的目的在于，提供一种使用方便的模压工具，以修复边缘部已经弯曲 的底部衬垫，避免更换新的底部衬垫，节约了生产成本。为解决上述问题，本实用新型提供一种模压工具，用于修复光罩盒的底部衬垫，所 述模压工具包括与所述底部衬垫匹配的第一模板；与所述第一模板匹配的第二模板，其 与所述第二模板相互压合；与所述第一模板连接的加热装置，其用以加热所述第一模板。可选的，所述底部衬垫包括矩形盖体以及沿该矩形盖体的边缘向外水平延伸的边 缘部，所述第一模板包括第一平板以及设置在该第一平板上的凹槽，所述凹槽与所述边缘 部相匹配，所述第二模板包括第二平板以及设置在该第二平板上的凸起，所述凸起所述凹 槽相匹配，所述第二模板还包括设置在所述第二平板上的手把。可选的，所述加热装置包括设置于所述第一平板内的加热元件以及与该加热元件 连接的控制器，所述加热元件是电加热管，所述加热装置还包括与所述控制器连接的热电偶，所述热电偶设置于所述第一平板内。可选的，所述第一平板的材质是铝合金，所述第二平板的材质是铝合金。与现有技术相比，本实用新型所提供的模压工具具有以下优点1、所述模压工具包括与底部衬垫匹配的第一模板以及与第一模板匹配的第二模板，当需要修复边缘部已经弯曲的底部衬垫时，可将待修复的底部衬垫放在所述第一模板 与第二模板之间，并利用加热装置加热所述第一模板，使得底部衬垫变得较软，再利用压在 第一模板上的第二模板的重力，就可以将底部衬垫的边缘部压平，修复好的底部衬垫可继 续用于密封光罩盒，无需更换新的底部衬垫，节约了生产成本。2、所述模压工具使用方便，仅利用几分钟的时间就可以修复光罩盒的底部衬垫， 提高了底部衬垫的使用年限。
图1为光罩盒的结构示意图；图2为本实用新型实施例所提供的模压工具的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的模压工具作进一步详细说明。根 据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非 常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的 目的。在背景技术中已经提及，光罩盒的底部衬垫是由较软的聚氯乙烯制成，所述底部 衬垫包括矩形盖体以及沿该矩形盖体的边缘向外水平延伸的边缘部，所述边缘部非常薄， 而在光罩盒的实际使用过程中，需要经常碰触底部衬垫，因此，底部衬垫的边缘部经常会出 现弯曲现象，若不及时修复或更换新的底部衬垫，将无法保证光罩盒的密封效果，势必导致 装载在光罩盒内的光罩沾附上微小颗粒或其它污染物，这些污染物将导致后续制作的晶圆 全部报废，给工艺生产带来巨大的损失，然而，更换新的底部衬垫的成本又是非常高的。本实用新型的目的在于，提供一种模压工具，以修复边缘部弯曲的底部衬垫，避免 经常更换新的底部衬垫，节约了生产成本。请继续参考图2，其为本实用新型实施例所提供的模压工具的结构示意图。如图所 示，所述模压工具200用于修复边缘部已经弯曲的底部衬垫，其包括与底部衬垫匹配的第 一模板210、与第一模板210匹配的第二模板220以及与第一模板210连接的加热装置，其 中，第一模板210可与第二模板220相互压合，所述加热装置可用以加热第一模板210。当 利用所述加热装置加热第一模板210后，可将待修复的底部衬垫放在第一模板210与第二 模板220之间，并将所述第一模板210与第二模板220压合在一起，以将底部衬垫已经弯曲 的边缘部压平，使得修复后的底部衬垫可以继续用来密封光罩盒。具体的说，所述第一模板210包括第一平板211以及设置在该第一平板211上的 凹槽212，所述凹槽212与底部衬垫的边缘部相匹配，所述底部衬垫可恰好放置在第一平板 211上，所述第二模板220包括第二平板221以及设置在该第二平板221上的凸起222，所 述凸起222与凹槽212相匹配。[0021]优选的，所述第二模板220还包括设置在第二平板221上的手把223，所述手把223可方便操作人员取放第二模板220。其中，加热装置包括嵌设于第一平板211内的加热元件231以及与该加热元件231 连接的控制器232。较佳的，所述加热元件是电加热管，所述电加热管的接线端裸露在第一 平板211的侧边，所述电加热管与控制器232电性连接。进一步的，所述加热装置还包括用 于测量第一平板211温度的热电偶233，所述热电偶233嵌设于第一平板211内部，其与所 述控制器232电性连接，以使控制器232精确控制第一平板211的温度。由于铝合金具有良好的导热效果，在本实用新型一实施例中，第一平板211和第 二平板221均是由铝合金浇铸而成。当然，在本实用新型其它实施例中，第一平板和第二平 板的材质也可为其它具有良好导热效果的金属。详细的，当需要修复边缘部已经弯曲的底部衬垫时，可将待修复的底部衬垫放在 所述第一平板211上，由于凹槽212与底部衬垫的边缘部相匹配，因此，底部衬垫可恰好嵌 合在第一平板211内，并且，所述第二平板221上的凸起222与凹槽221相匹配，因此可恰 好将第二平板221与第一平板211压合在一起，所述凸起222紧密贴合底部衬垫的边缘部。 此时，按下控制器230的开关，开始加热所述第一平板211，根据边缘部的弯曲程度，可以设 定不同的加热温度以及压合时间，例如，可以将所述第一平板加热到85 95°C。优选的，力口 热温度设置为90°C，压合时间设置在5min。由于聚氯乙烯的软化点为80°C左右，其在130°C左右时才开始分解变色，因此，当 加热到90°C时，底部衬垫已经变得较软但却没有发生化学变化，利用压在第一平板211上 的第二平板221的重力，就可以将底部衬垫的边缘部压平整，修复好的底部衬垫可继续用 于密封光罩盒。本实用新型实施例所提供的模压工具使用方便，仅利用几分钟的时间就可以修复 光罩盒的底部衬垫，提高了底部衬垫的使用年限，节约了生产成本。综上所述，本实用新型提供一种用于修复光罩盒的底部衬垫的模压工具，所述模 压工具包括与所述底部衬垫匹配的第一模板，与所述第一模板匹配的第二模板，与所述第 一模板连接的加热装置，所述第一模板可与所述第二模板相互压合，所述加热装置用以加 热所述第一模板。本实用新型使用方便，可以在较短的时间内修复边缘部已经弯曲的底部 衬垫，避免更换新的底部衬垫，节约了生产成本。显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用 新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实用新型权利要求及 其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求一种模压工具，用于修复光罩盒的底部衬垫，其特征在于，包括与所述底部衬垫匹配的第一模板；与所述第一模板匹配的第二模板，其与所述第二模板相互压合；与所述第一模板连接的加热装置，其用以加热所述第一模板。
2.如权利要求1所述的模压工具，其特征在于，所述底部衬垫包括矩形盖体以及沿该 矩形盖体的边缘向外水平延伸的边缘部，所述第一模板包括第一平板以及设置在该第一平 板上的凹槽，所述凹槽与所述边缘部相匹配。
3.如权利要求2所述的模压工具，其特征在于，所述第二模板包括第二平板以及设置 在该第二平板上的凸起，所述凸起与所述凹槽相匹配。
4.如权利要求3所述的模压工具，其特征在于，所述第二模板还包括设置在所述第二 平板上的手把。
5.如权利要求4所述的模压工具，其特征在于，所述加热装置包括设置于所述第一平 板内的加热元件以及与该加热元件连接的控制器。
6.如权利要求5所述的模压工具，其特征在于，所述加热元件是电加热管。
7.如权利要求6所述的模压工具，其特征在于，所述加热装置还包括与所述控制器连 接的热电偶，所述热电偶设置于所述第一平板内。
8.如权利要求7所述的模压工具，其特征在于，所述第一平板的材质是铝合金。
9.如权利要求8所述的模压工具，其特征在于，所述第二平板的材质是铝合金。
专利摘要本实用新型揭露了一种模压工具，其用于修复光罩盒的底部衬垫，所述模压工具包括与所述底部衬垫匹配的第一模板、与所述第一模板匹配的第二模板以及与所述第一模板连接的加热装置，其中，所述第一模板可与所述第二模板相互压合，所述加热装置可用于加热所述第一模板。本实用新型使用方便，可以在较短的时间内修复边缘部已经弯曲的底部衬垫，避免更换新的底部衬垫，节约了生产成本。
文档编号G03F1/00GK201562120SQ20092020771
公开日2010年8月25日 申请日期2009年8月11日 优先权日2009年8月11日
发明者张一平, 李华, 黄志良, 龚伟平 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司