专利名称：感光性组成物、成形物的制造方法、成形物及半导体装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种感光性组成物、使用该感光性组成物的成形物的制造方法、由该成形物的制造方法而所得的成形物、及包含该成形物的半导体装置。
背景技术：
于感光性组成物中添加抗氧化剂可有效地对由感光性组成物所得的成形物赋予耐热性。然而，具有受阻酚结构的抗氧化剂的自由基捕获能力高，因此存在感光性组成物·的UV硬化性降低的问题。为了提高UV硬化性，已知有添加硬化性高的自由基引发剂的方法，但硬化性高的自由基引发剂具有直至可见光区域的吸收，因此存在保存稳定性低的问题。而且，所硬化的成形物存在由于加热而黄变等问题，因此并不适于透明膜或相机透镜模块等透明材料用途。另一方面，于使用含有硫的抗氧化剂的情况时，虽然阻碍UV硬化的作用小，但存在相对于(甲基)丙烯酸酯化合物的溶解性的问题。因此，为了提高相对于(甲基)丙烯酸酯化合物的溶解性，例如提出了于末端具有硫代(甲基)丙烯酸酯末端的聚合物(专利文献I)。而且，提出了含有该聚合物、(甲基)丙烯酸酯化合物、及自由基聚合引发剂的硬化性树脂组成物(专利文献I)。现有技术文献专利文献专利文献I日本专利特开2010-209279号公报
发明内容
本发明的目的在于提供一种保存稳定性及UV硬化性优异、且可形成具有耐热性的成形物的感光性组成物，使用该感光性组成物的成形物的制造方法，由该成形物的制造方法而所得的成形物，以及包含该成形物的半导体装置。本发明者为了解决上述课题而进行了锐意研究，结果发现利用感光性组成物(所述感光性组成物包含特定的硫醚化合物、特定的光聚合引发剂、及特定的具有(甲基)丙烯酰基的化合物)、使用该感光性组成物的成形物的制造方法，可达成本发明的目的，从而完成本发明。亦即，本发明提供以下的[I] [13]。[I] 一种成形物的制造方法，其包含如下步骤于第I板及第2板的至少任一方上涂布感光性组成物，形成感光性组成物涂膜的步骤；介隔所述感光性组成物涂膜而对所述第I板与所述第2板进行按压的步骤；于介隔所述感光性组成物涂膜而按压所述第I板与所述第2板的状态下，对所述感光性组成物涂膜进行曝光的步骤；将所述第I板与所述第2板分离的步骤；对曝光后的所述感光性组成物涂膜进行加热的步骤；所述第I板及所述第2板的至少任一方于其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的图案，于对所述第I板与所述第2板进行按压的步骤中，所述感光性组成物涂膜追随所述图案，其特征在于所述感光性组成物包含(a)下述通式(I)所表示的硫醚化合物、[化I]
权利要求
1.一种成形物的制造方法，其包含如下步骤 于第I板及第2板的至少任一方上涂布感光性组成物，形成感光性组成物涂膜的步骤； 介隔所述感光性组成物涂膜而对所述第I板与所述第2板进行按压的步骤； 于介隔所述感光性组成物涂膜而按压所述第I板与所述第2板的状态下，对所述感光性组成物涂膜进行曝光的步骤； 将所述第I板与所述第2板分离的步骤；以及 对曝光后的所述感光性组成物涂膜进行加热的步骤； 所述第I板及所述第2板的至少任一方于其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的图案，于对所述第I板与所述第2板进行按压的步骤中，所述感光性组成物涂膜追随所述图案， 其特征在于所述感光性组成物包含(a)下述通式(I)所表示的硫醚化合物、 [化I]
2.根据权利要求I所述的成形物的制造方法，其特征在于 所述(a)成分是所述通式(I)的R1及R2分别独立地表示氢原子亦可被烷氧基或芳氧基取代的碳数为12 18的烃基的硫醚化合物。
3.根据权利要求2所述的成形物的制造方法，其特征在于 所述(a)成分是硫代二丙酸二(十三烷基)酯。
4.根据权利要求I至3中任一项所述的成形物的制造方法，其特征在于 所述(b)成分是具有下述通式(2)所表示的基的羟基酮化合物； [化2]
5.根据权利要求I至3中任一项所述的成形物的制造方法，其特征在于 于将(a)成分与(b)成分与(C)成分的合计量设为100质量份的情况时，所述(C)成分包含10质量份 99. 89质量份的含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物。
6.根据权利要求I至3中任一项所述的成形物的制造方法，其特征在于 于将(a)成分与(b)成分与(C)成分的合计量设为100质量份的情况时，所述(C)成分包含10质量份 70质量份的(c- )下述通式(3)所表示的芴化合物； [化3]
7.根据权利要求I至3中任一项所述的成形物的制造方法，其特征在于 于将(a)成分与(b)成分与(C)成分的合计量设为100质量份的情况时，所述(C)成分包含10质量份 50质量份的(c-2)下述通式(4)所表示的联苯化合物； [化4]
8.根据权利要求I至3中任一项所述的成形物的制造方法，其特征在于 包含所述(a)成分O. 01质量份 20质量份、所述(b)成分O. I质量份 20质量份、及所述(c)成分60质量份 99. 89质量份，其中(a)成分与(b)成分与(c)成分的合计量为100质量份。
9.根据权利要求I至3中任一项所述的成形物的制造方法，其特征在于 所述成形物为透镜。
10.一种成形物，其特征在于 利用根据权利要求I至9中任一项所述的成形物的制造方法而获得。
11.一种成形物，其特征在于 含有下述通式(I)所表示的硫醚化合物， [化5]
12.—种半导体装置，其特征在于 包含根据权利要求10或11所述的成形物。
13.—种感光性组成物，其特征在于包含 (a)下述通式(I)所表示的硫醚化合物、 [化6]
全文摘要
本发明提供一种保存稳定性、UV硬化性优异，且可形成具有耐热性的成形物的感光性树脂组成物、成形物的制造方法、成形物及半导体装置。一种成形物的制造方法，其包含如下步骤于第1板(1)及第2板(4)的任一方上涂布感光性组成物的步骤，对第1板(1)与第2板(4)进行按压的步骤，于按压所述板的状态下进行曝光的步骤，使第1板(1)与第2板(4)分离的步骤，对感光性组成物涂膜(3)进行加热的步骤，所述感光性组成物包含(a)特定的硫醚化合物，(b)光聚合引发剂、及(c)于1分子内具有1个～6个(甲基)丙烯酰基的化合物。
文档编号G03F7/004GK102955360SQ201210246030
公开日2013年3月6日 申请日期2012年7月16日 优先权日2011年8月23日
发明者末光由树, 川岛直之, 菅原周一 申请人:Jsr株式会社