专利名称：金属光罩的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及ー种金属光 罩的技术领域，尤其涉及一种增加花纹于金属光罩表面，在使用于各式显示器或触控面板的玻璃基板的制程中，所増加花纹能延长金属光罩的替换周期、提升生产的品质、以及降低生产的成本。
背景技术：
在目前各式显示器或触控面板之中，例如液晶显示器、薄型化显示器、液晶电视、薄型化电视机、触控面板、触控显示器、具有触控功能的银幕. 等中，会利用光罩在制程中于玻璃基板上沉积出ー些不同材料的薄膜，而过程中包含涂布、曝光、蚀刻、显影、清洗、烘烤等步骤，利用多个不同的光罩依序运作，一层ー层规划出所设计的结构。光罩成本中最高的是采用石英材料，此类光罩能满足精密度要求严格的制程条件，但在ー些精密度求不高的制程中，若采用石英材料的光罩，成本太高，制程过于复杂，因此有些SiO2沉积制程则采用金属光罩，如此就能取代涂布、曝光、蚀刻、显影、清洗、烘烤等制程，減少加工流程，降低生产的成本。而对生产厂商而言，亦能減少购买前述涂布、曝光、蚀刻、显影、清洗、烘烤等设备的数量，对设备投资的支出相对減少。一般金属光罩的要求，主要包括有三点1.厚度要薄；2.具有受磁性，以利具有磁性的夹持装置与的吸附，而将欲加工的玻璃基板固定于金属光罩与夹持装置之间；3.表面须光滑、无毛边，避免在夹持或制程运作中刮伤玻璃基板。然而传统的金属光罩为避免刮伤玻璃基板，两相对表面皆为光滑表面，在制程中沉积于基板的薄膜材料也会沉积于金属光罩表面，随着金属光罩连续使用并沉积，金属光罩表面所累积的薄膜厚度也増加，此时光滑表面就容易让贴附表面的薄膜在制程中剥离，掉落至原本欲加工的玻璃基板上，而产生不良品，因此为维持生产的良率，就必须一段时间后，取出并委托外部专业公司清洗，以延续金属光罩的使用寿命，如此会降低设备稼动率，亦减少设备的产能；加上単一金属光罩的单价也相当昂贵，取出次数愈多，不当操作而产生破损机率也愈高。有鉴于此，本实用新型提出一金属光罩。
发明内容本实用新型的主要目的是能于特定表面提高其表面积与粗糙度的金属光罩，主要是于金属光罩ー表面处形成有立体花纹，期许于生产制程中提升所能承受的沉积次数、延长替换周期，让使用此金属光罩的设备的稼动率上升，产能提升，同步能减少生产的成本。为达上述的目的，本实用新型提出ー种金属光罩，其形状为ー框体，该框体形成有至少为ー的开ロ单元，该金属光罩包括有能与玻璃基板接触的第一表面，及位置为第一表面相对面的第二表面，该第一表面为光滑面，该第二表面上形成有至少为ー的非平坦区，该非平坦区位置邻近该开ロ单元，非平坦区内分布着立体的花紋。在本实用新型一实施例中，该非平坦区是呈环状分布于该开ロ单元外围的第二表面处。[0008]在本实用新型一实施例中，该非平坦区是由连续性的花纹分布于该环状区域内。在本实用新型一实施例中，该非平坦区内分布着相同且重复性的花紋。在本实用新型一实施例中，该非平坦区是采化学蚀刻制程于第二表面处加工而成的非平坦区。在本实用新型一实施例中，该非平坦面分布于该第二表面的局部区域。在本实用新型一实施例中，该非平坦面分布区域涵盖整个第二表面。在本实用新型一实施例中，该金属光罩的厚度介于0. 15 0. 7_。在本实用新型一实施例中，该金属光罩的厚度介于0. 25 0. 5_。本实用新型在金属光罩上形成有立体的花紋，主要目的能増加表面积及提高粗糙度。増加表面积能提高表面所能承受的沉积的次数，延长此金属光罩的使用周期，降低替换率，亦减少设备停机更换的次数，提高设备稼动率。而提高表面粗糙度能避免制程中附着金属光罩表面的材料发生不正常的剥离，降低不良率，使品质提升。以下配合附图及元件符号对本实用新型的实施方式做更详细的说明，以使本领域普通技术人员在研读本说明书后能据以实施。
图I为本实用新型的平面图；图2A为本实用新型局部放大的平面图；图2B为本实用新型局部放大的立体图；图3为本实用新型非平坦区的第二种花纹的平面示意图；图4为本实用新型非平坦区的第三种花纹的平面示意图；图5为本实用新型非平坦区的第四种花纹的平面示意图。其中，附图标记说明如下金属光罩 I开ロ单元 11第一表面 13第二表面 14非平坦面 15花纹151花纹15IA花纹151B花纹151C
具体实施方式
图I、图2A和图2B分别为本实用新型的平面图、局部放大图及立体图。本实用新型为ー金属光罩1，能运用于各式显示器或触控面板的制程中，相关产品如液晶显示器、薄型化显示器、液晶电视、薄型化电视机、触控面板、触控显示器、具有触控功能的银幕...等，主要是于制程中的玻璃基板上沉积特定材料的薄膜，在实施例中指Si02薄膜。该金属光罩I为ー框体，形成有至少为ー的开ロ单元11，该开ロ単元11形状对应沉积的图样，在本实施例中该框体所遮蔽的区域(即非开ロ单元的区域)，为制程中欲形成的线路。该金属光罩I具有两相对的表面，其中第一表面13供与欲加工的玻璃基板相接触贴合，为一光滑平整的表面；第二表面14处于第一表面13的相对面，该第二表面14的部分区域会被设备的夹持装置所接触夹持，部分区域亦会在制程中让沉积于基板表面的薄膜材料沉积于此。本实用新型主要设计是于该第二表面14形成有至少为ー的非平坦区15，在图I中以斜线表示其位置，详细的形状请參阅图2A及图2B。该非平坦区15位置邻近该开ロ单元11，在本实施例中该非平坦区15呈环状分布于该开ロ单元11外围的第二表面14处。该非平坦区15由立体的花纹151所形成，所谓立体的花纹151是由高低不同的峰面图样及谷面图样所形成。在本实施例中该非平坦区15由连续性的花纹151均匀分布于环状区域内，但并不以此为限，部分位置可因有金属光罩I原有的设计如定位孔、夹持装置欲接触处、或设计上须预留空白处的关系而空缺，但间隔愈小最好。再者，在本实施例中该非平坦区15由相同且重复性的花纹151所形成，目的为使各区域所能达成的效果相同。再者，在本施实例中，该非平坦区15仅形成第二表面14的局部区域，但并不以此为限，也能为涵盖第二表面14的所有表面。另外在本施实中多个非平坦区15彼此相连分布第二表面14上，但也并非以此为限，亦能个别独立彼此不相连，或于单ー开ロ单元11外围分布着多个非平坦区15。该花纹151的图样可为单纯的几何形状，例如在本实例中该花纹151由两个同中心、呈凹陷状的六角形环所构成，但并不以此为限。例如图3该花纹151A为单ー凹陷的六角形环。在图3至图5中，以交错状的剖面线表示凹陷的位置。图4该花纹151B为中心呈凹陷的六角形、外围另具呈凹陷的六角形环。如图5该花纹151C为单ー凹陷的六角形。由此可知，本实用新型花纹151并非限制须为特定的图样，亦可为非几何图样或不规则的图样所形成的立体造型，或是由ー个或多个图样所构成的立体造型。再者，本实用新型的金属光罩考虑其制程上的限制，其厚度须在0. 15 0. 7mm,最佳的实施例为0. 25mm，但为了方便更换及降低更换时破裂的机率，一般使用厚度约为
0.5mm。在如此薄的金属光罩I欲于表面形成立体的花纹151,利用传统的机械加工方式有相当的困难度，表面各处花纹的一致性也较不易控制。因此本实用新型系采用化学蚀刻制程于金属光罩I的第二表面14处形成该非平坦区15，如此能使非平坦区15内各处形成相同一致性的立体花纹151。接着就本实用新型设计的目的及功效作ー说明本实用新型的金属光罩I保有光滑的第一表面13与欲加工的玻璃基板接触贴合，能避免刮伤该基板，維持原有制程上须具有的品质。而于第二表面14形成有非平坦区15，该非平坦区15利用分布其上的立体花纹151能增加原本第二表面14的表面积及提高粗糙度，如此在进行基板加工的制程中，增加的表面积能承受更多的薄膜材料沉积其中，粗糙的表面能使沉积其中的薄膜材料的间较不容易剥离，两者相互加持之下，能延长此金属光罩I的使用周期，与传统两面皆为光滑面的金属光罩相较，本实用新型可増加5倍以上的使用时间，因此，停机取下金属光罩I的次数減少，提高设备稼动率，让设备发挥最大的产能，而减少洗清金属光罩的次数，亦能降低生产的成本。以上所述者，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型实施例的范围。即凡依本实用新型权利要求所作的均等变化及修饰，皆为本实用新型的专利范围 所涵盖。
权利要求1.一种金属光罩，为一框体并形成有至少为一的开口单兀，该金属光罩包括有能与玻璃基板接触的第一表面，及位置为该第一表面相对面的第二表面，该第一表面为光滑面，其特征在于该第二表面上形成有至少为一的非平坦区，该非平坦区位置邻近该开口单元，该非平坦区内分布着立体的花纹。
2.如权利要求I所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦区是呈环状分布于该开口单元外围的第二表面处。
3.如权利要求2所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦区是由连续性的花纹分布于该环状区域内。
4.如权利要求I所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦区内分布着相同且重复性的花纹。
5.如权利要求I所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦区是采化学蚀刻制程于第二表面处加工而成的非平坦区。
6.如权利要求I所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦面分布于该第二表面的局部区域。
7.如权利要求I所述的金属光罩，其特征在于，该非平坦面分布区域涵盖整个第二表面。
8.如权利要求I所述的金属光罩，其特征在于，该金属光罩的厚度介于O.15 O. 7mm。
9.如权利要求8所述的金属光罩,其特征在于,该金属光罩的厚度介于O.25 O. 5mm。
专利摘要本实用新型提出一种金属光罩，用于各式显示器或触控面板的玻璃基板的制程中，为一框体并形成有至少为一的开口单元，该框体所遮蔽的区域即制程中形成线路之处。该金属光罩包括有能与玻璃基板接触的第一表面，及位置为第一表面相对面的第二表面，该第一表面为光滑面，而该第二表面上形成有至少为一的非平坦区，该非平坦区位置邻近该开口单元，区内分布着立体的花纹，其目的为提高表面积与粗糙度，以避免表面沉积物剥离、掉落，借此提升制程的品质，延长金属光罩的替换周期。
文档编号G03F7/20GK202548531SQ201220181330
公开日2012年11月21日 申请日期2012年4月20日 优先权日2012年4月20日
发明者陈学哲 申请人:世禾科技股份有限公司