本发明涉及一种感光性树脂组合物。
背景技术：
在近年来的液晶显示装置中，为了形成光间隔件(“光间隔件”的日文原文：フオトスペ一サ)或外涂层(“外涂层”的日文原文：オ一バ一コ一ト)等树脂图案，使用感光性树脂组合物。作为这样的感光性树脂组合物，已知由树脂、聚合性化合物、聚合引发剂和溶剂组成的组合物(JP2008-181087-A)。
对于以往提出的感光性树脂组合物而言，使用半色调掩膜(“半色调掩膜”的日文原文：ハ一フト一ンマスク)在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案时，所得到的树脂图案的高度差小，有时得不到所需高度的树脂图案。
技术实现要素：
本发明包含以下技术方案。
[1]一种感光性树脂组合物，其包含以下(A)、(B)、(C)和(D)，
(A)共聚物，其包含源自选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元、和源自具有碳数2～4的环状醚结构及烯键式不饱和键的单体的结构单元；
(B)聚合性化合物；
(C)聚合引发剂，其包含肟化合物，且肟化合物的含量相对于聚合引发剂的总量为30质量％以上且100质量％以下；
(D)式(1)所示的化合物，
[式(1)中，R1表示碳数1～6的烷基。
A1～A4彼此独立地表示氢原子或碳数1～6的烷基。]。
[2]根据[1]所述的感光性树脂组合物，其中，(C)的含量相对于(A)和(B)的总含量100质量份为0.1质量份以上且30质量份以下。
[3]根据[1]或[2]所述的感光性树脂组合物，其中，(D)的含量相对于(A)和(B)的总含量100质量份为0.02质量％以上且1质量％以下。
[4]一种树脂图案，其由[1]～[3]中任一项所述的感光性树脂组合物形成。
[5]一种光间隔件，其由[1]～[3]中任一项所述的感光性树脂组合物形成。
[6]一种显示装置，其包含选自[4]所述的树脂图案及[5]所述的光间隔件中的至少1种。
根据本发明的感光性树脂组合物，在使用半色调掩膜在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案时，所得的树脂图案的高度差大。
具体实施方式
本说明书中，作为各成分而例示的化合物，只要没有特别说明，均可以单独使用或组合多种使用。
本发明的感光性树脂组合物包含(A)、(B)、(C)和(D)。
(A)共聚物(以下，有时称作“树脂(A)”)，其包含源自选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种的结构单元、和源自具有碳数2～4的环状醚结构及烯键式不饱和键的单体的结构单元；
(B)聚合性化合物；
(C)聚合引发剂(以下，有时称作“聚合引发剂(C)”。)，其包含肟化合物，且肟化合物的含量相对于聚合引发剂的总量为30质量％以上且100质量％以下；
(D)式(1)所示的化合物(以下，有时称作“化合物(1)”。)。
进而，本发明的感光性树脂组合物优选包含选自溶剂(E)和表面活性剂(H)中的至少1种。
<树脂(A)>
树脂(A)为包含源自选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐中的至少1种(以下，有时称作“(a)”)的结构单元、和源自具有碳数2～4的环状醚结构及烯键式不饱和键的单体(以下，有时称作“(b)”)的结构单元的共聚物，可以进一步含有源自能够与(a)共聚且不具有碳数2～4的环状醚结构的单体(以下，有时称作“(c)”)的结构单元。
作为树脂(A)，例如可举出树脂[K1]和树脂[K2]。
树脂[K1]：仅由源自(a)的结构单元和源自(b)的结构单元形成的共聚物；
树脂[K2]：包含源自(a)的结构单元、源自(b)的结构单元和源自(c)的结构单元的共聚物。
作为(a)，具体而言，例如可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、邻乙烯基苯甲酸、间乙烯基苯甲酸、对乙烯基苯甲酸等不饱和单羧酸类；
马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸、3-乙烯基邻苯二甲酸、4-乙烯基邻苯二甲酸、3，4，5，6-四氢邻苯二甲酸、1，2，3，6-四氢邻苯二甲酸、二甲基四氢邻苯二甲酸及1，4-环己烯二羧酸等不饱和二羧酸类；
甲基-5-降冰片烯-2，3-二羧酸、5-羧基二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羧基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基二环[2.2.1]庚-2-烯等含有羧基的二环不饱和化合物类；
马来酸酐、柠康酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基邻苯二甲酸酐、4-乙烯基邻苯二甲酸酐、3，4，5，6-四氢邻苯二甲酸酐、1，2，3，6-四氢邻苯二甲酸酐、二甲基四氢邻苯二甲酸酐及5，6-二羧基二环[2.2.1]庚-2-烯酐等不饱和二羧酸类酸酐；
琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯及邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2元以上多元羧酸的不饱和单[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯类；
如α-(羟基甲基)丙烯酸那样的、在同一分子中含有羟基和羧基的不饱和丙烯酸酯类等。
这些当中，从共聚反应性、在碱水溶液中的溶解性的方面出发，优选(甲基)丙烯酸及马来酸酐等，更优选(甲基)丙烯酸。
予以说明，本说明书中“(甲基)丙烯酰基”表示选自丙烯酰基和甲基丙烯酰基中的至少1种。“(甲基)丙烯酸”及“(甲基)丙烯酸酯”等表述也具有相同的含义。
作为(b)的碳数2～4的环状醚结构，例如可举出环氧乙烷环、氧杂环丁烷环和四氢呋喃环。(b)优选为具有碳数2～4的环状醚和(甲基)丙烯酰氧基的单体。
作为(b)，例如可举出具有环氧乙烷基和烯键式不饱和键的单体(b1)(以下，有时称为“(b1)”)、具有氧杂环丁烷基和烯键式不饱和键的单体(b2)(以下，有时称为“(b2)”)、和具有四氢呋喃基和烯键式不饱和键的单体(b3)(以下，有时称为“(b3)”)等。
作为(b1)，例如可举出具有将直链状或支链状不饱和脂肪族烃进行了环氧化的结构的单体(b1-1)(以下，有时称为“(b1-1)”)、和具有将不饱和脂环式烃进行了环氧化的结构的单体(b1-2)(以下，有时称为“(b1-2)”)。
作为(b1-1)，例如可举出(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、缩水甘油基乙烯基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油醚、间乙烯基苄基缩水甘油醚、对乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-邻乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-间乙烯基苄基缩水甘油醚、α-甲基-对乙烯基苄基缩水甘油醚、2，3-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，4-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，5-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，6-双(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，4-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，5-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、2，3，6-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯、3，4，5-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯及2，4，6-三(缩水甘油基氧基甲基)苯乙烯等。
作为(b1-2)，例如可举出乙烯基环己烯单氧化物、1，2-环氧基-4-乙烯基环己烷(例如Celloxide2000；(株)DAICEL制)、3，4-环氧基环己基甲基(甲基)丙烯酸酯(例如Cyclomer A400；(株)DAICEL制)、3，4-环氧基环己基甲基(甲基)丙烯酸酯(例如Cyclomer M100；(株)DAICEL制)、式(I)所示的化合物及式(II)所示的化合物等。
[式(I)和式(II)中，Rb1和Rb2表示氢原子或碳数1～4的烷基，该烷基中所含的氢原子可以被羟基取代。
Xb1和Xb2表示单键、-Rb3-、＊-Rb3-O-、＊-Rb3-S-或＊-Rb3-NH-。
Rb3表示碳数1～6的亚烷基。
＊表示与O的键合位置。]
作为碳数1～4的烷基，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等。
作为氢原子被羟基取代的烷基，可举出羟基甲基、1-羟基乙基、2-羟基乙基、1-羟基丙基、2-羟基丙基、3-羟基丙基、1-羟基-1-甲基乙基、2-羟基-1-甲基乙基、1-羟基丁基、2-羟基丁基、3-羟基丁基、4-羟基丁基等。
作为Rb1和Rb2，优选可举出氢原子、甲基、羟基甲基、1-羟基乙基和2-羟基乙基，更优选可举出氢原子和甲基。
作为亚烷基，可举出亚甲基、亚乙基、1，2-亚丙基、1，3-亚丙基、1，4-亚丁基、1，5-亚戊基、1，6-亚己基等。
作为Xb1和Xb2，优选可举出单键、亚甲基、亚乙基、＊-CH2-O-和＊-CH2CH2-O-，更优选可举出单键和＊-CH2CH2-O-(＊表示与O的键合位置)。
作为式(I)所示的化合物，可举出式(I-1)～式(I-15)中的任一者所示的化合物等。其中，优选式(I-1)、式(I-3)、式(I-5)、式(I-7)、式(I-9)或式(I-11)～式(I-15)所示的化合物，更优选式(I-1)、式(I-7)、式(I-9)或式(I-15)所示的化合物。
作为式(II)所示的化合物，可举出式(II-1)～式(II-15)中的任一者所示的化合物等。其中，优选式(II-1)、式(II-3)、式(II-5)、式(II-7)、式(II-9)或式(II-11)～式(II-15)所示的化合物，更优选式(II-1)、式(II-7)、式(II-9)或式(II-15)所示的化合物。
式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物可以分别单独使用，也可以并用式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物。在将它们并用时，式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物的含有比率以摩尔基准计优选为5∶95～95∶5，更优选为10∶90～90∶10，进一步优选为20∶80～80∶20。
作为(b2)，更优选为具有氧杂环丁烷基和(甲基)丙烯酰氧基的单体。作为(b2)，可举出3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷等。
作为(b3)，更优选为具有四氢呋喃基和(甲基)丙烯酰氧基的单体。作为(b3)，具体可举出丙烯酸四氢糠基酯(例如：Viscoat V#150、大阪有机化学工业(株)制)、甲基丙烯酸四氢糠基酯等。
作为(b)，从能够进一步提高所得到的树脂图案或固化膜的耐热性、耐化学药品性等可靠性的方面出发，优选(b1)。进而，从感光性树脂组合物的保存稳定性优异这样的方面出发，更优选(b1-2)。
作为(c)，例如可举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸十二烷酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸硬脂基酯、(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环己酯、三环[5.2.1.02，6]癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯(在该技术领域中，作为惯用名被称作“(甲基)丙烯酸二环戊酯”。另外，有时被称作“三环癸基(甲基)丙烯酸酯”。)、三环[5.2.1.02，6]癸烯-8-基(甲基)丙烯酸酯(在该技术领域中，作为惯用名被称作(甲基)丙烯酸二环戊烯酯。)、二环戊氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸金刚烷酯、(甲基)丙烯酸烯丙基酯、(甲基)丙烯酸炔丙基酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸苄酯等(甲基)丙烯酸酯类；
(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯等含羟基的(甲基)丙烯酸酯类；
马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二羧酸二酯；
二环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-(2’-羟基乙基)二环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二羟基二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(羟基甲基)二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二(2’-羟基乙基)二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二甲氧基二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-二乙氧基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-乙基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基甲基-5-甲基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-叔丁氧羰基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-环己氧基羰基二环[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧羰基二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-双(叔丁氧羰基)二环[2.2.1]庚-2-烯、5，6-双(环己氧羰基)二环[2.2.1]庚-2-烯等二环不饱和化合物类；
N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺苯甲酸酯、N-琥珀酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸酯、N-琥珀酰亚胺基-6-马来酰亚胺己酸酯、N-琥珀酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸酯及N-(9-吖啶基)马来酰亚胺等二羰基酰亚胺衍生物类；
苯乙烯、α-甲基苯乙烯、邻乙烯基甲苯、间乙烯基甲苯、对乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯酯、1，3-丁二烯、异戊二烯及2，3-二甲基-1，3-丁二烯等。
这些当中，从共聚反应性和耐热性的方面出发，优选苯乙烯、乙烯基甲苯、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺和二环[2.2.1]庚-2-烯等。
树脂[K1]中，源自各个单体的结构单元的比率，在构成树脂[K1]的全部结构单元中，优选为以下的范围：
源自(a)的结构单元：1～70摩尔％
源自(b)的结构单元：30～99摩尔％；
更优选为以下范围：
源自(a)的结构单元：10～50摩尔％
源自(b)的结构单元：50～90摩尔％。
构成树脂[K1]的结构单元的比率在上述范围内时，具有感光性树脂组合物的保存稳定性、所得到的树脂图案或固化膜的耐化学药品性、耐热性及机械强度优异的倾向。
树脂[K1]可以以例如文献《高分子合成的实验法》(「高分子合成的実験法」)(大津隆行著发行所(株)化学同人第1版第1次印刷1972年3月1日发行)中记载的方法及该文献中记载的引用文献作为参考来制造。
具体而言，可列举出以下方法：将规定量的(a)及(b)、聚合引发剂以及溶剂等投入反应容器中，例如利用氮气置换氧气，成为脱氧气氛，在搅拌的同时，进行加热和保温。予以说明，在此所使用的聚合引发剂及溶剂等没有特别的限制，可以使用本领域中通常使用的物质。例如，作为聚合引发剂，可举出偶氮化合物(2，2′-偶氮二异丁腈、2，2′-偶氮双(2，4-二甲基戊腈)等)、有机过氧化物(过氧化苯甲酰等)，作为溶剂，只要是使各单体溶解的物质即可，可举出在感光性树脂组合物中使用的后述的溶剂等。
予以说明，所得到的树脂可以直接使用反应后的溶液，也可以使用浓缩或稀释后的溶液，还可以使用通过再沉淀等方法以固体(粉体)的形式获得的物质。尤其，通过使用本发明的感光性树脂组合物中所用的溶剂作为聚合溶剂，可以将反应后的溶液直接使用于感光性树脂组合物的制造中，因此能够简化感光性树脂组合物的制造工序。
树脂[K2]中，源自各个成分的结构单元的比率，在构成树脂[K2]的全部结构单元中，优选为以下范围：
源自(a)的结构单元：2～40摩尔％
源自(b)的结构单元：30～95摩尔％
源自(c)的结构单元：1～65摩尔％；
更优选为以下范围：
源自(a)的结构单元：5～35摩尔％
源自(b)的结构单元：35～80摩尔％
源自(c)的结构单元：1～60摩尔％。
此外，源自(a)的结构单元和源自(b)的结构单元的总量相对于构成树脂[K2]的全部结构单元的总摩尔数优选为70～99摩尔％，更优选为90～99摩尔％。
树脂[K2]的结构单元的比率在上述范围内时，具有感光性树脂组合物的保存稳定性、所得到的树脂图案或固化膜的耐化学药品性、耐热性及机械强度优异的倾向。
树脂[K2]可以利用与树脂[K1]同样的方法来制造。
作为树脂[K1]的具体例，可举出(甲基)丙烯酸/式(I-1)所示的化合物(以下，有时简称为“式(I-1)”。式(I-2)等其他表述也同样。)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-2)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-3)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-4)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-5)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-6)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-7)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-8)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-9)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-10)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-11)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-12)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-13)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-14)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-15)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-2)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-3)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-4)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-5)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-6)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-7)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-8)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-9)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-10)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-11)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-12)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-13)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-14)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-15)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-1)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-2)/式(II-2)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-3)/式(II-3)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-4)/式(II-4)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-5)/式(II-5)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-6)/式(II-6)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-7)/式(II-7)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-8)/式(II-8)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-9)/式(II-9)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-10)/式(II-10)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-11)/式(II-11)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-12)/式(II-12)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-13)/式(II-13)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-14)/式(II-14)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-15)/式(II-15)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(I-7)的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-7)的共聚物、巴豆酸/式(I-1)的共聚物、巴豆酸/式(I-2)的共聚物、巴豆酸/式(I-3)的共聚物、巴豆酸/式(I-4)的共聚物、巴豆酸/式(I-5)的共聚物、巴豆酸/式(I-6)的共聚物、巴豆酸/式(I-7)的共聚物、巴豆酸/式(I-8)的共聚物、巴豆酸/式(I-9)的共聚物、巴豆酸/式(I-10)的共聚物、巴豆酸/式(I-11)的共聚物、巴豆酸/式(I-12)的共聚物、巴豆酸/式(I-13)的共聚物、巴豆酸/式(I-14)的共聚物、巴豆酸/式(I-15)的共聚物、巴豆酸/式(II-1)的共聚物、巴豆酸/式(II-2)的共聚物、巴豆酸/式(II-3)的共聚物、巴豆酸/式(II-4)的共聚物、巴豆酸/式(II-5)的共聚物、巴豆酸/式(II-6)的共聚物、巴豆酸/式(II-7)的共聚物、巴豆酸/式(II-8)的共聚物、巴豆酸/式(II-9)的共聚物、巴豆酸/式(II-10)的共聚物、巴豆酸/式(II-11)的共聚物、巴豆酸/式(II-12)的共聚物、巴豆酸/式(II-13)的共聚物、巴豆酸/式(II-14)的共聚物、巴豆酸/式(II-15)的共聚物、马来酸/式(I-1)的共聚物、马来酸/式(I-2)的共聚物、马来酸/式(I-3)的共聚物、马来酸/式(I-4)的共聚物、马来酸/式(I-5)的共聚物、马来酸/式(I-6)的共聚物、马来酸/式(I-7)的共聚物、马来酸/式(I-8)的共聚物、马来酸/式(I-9)的共聚物、马来酸/式(I-10)的共聚物、马来酸/式(I-11)的共聚物、马来酸/式(I-12)的共聚物、马来酸/式(I-13)的共聚物、马来酸/式(I-14)的共聚物、马来酸/式(I-15)的共聚物、马来酸/式(II-1)的共聚物、马来酸/式(II-2)的共聚物、马来酸/式(II-3)的共聚物、马来酸/式(II-4)的共聚物、马来酸/式(II-5)的共聚物、马来酸/式(II-6)的共聚物、马来酸/式(II-7)的共聚物、马来酸/式(II-8)的共聚物、马来酸/式(II-9)的共聚物、马来酸/式(II-10)的共聚物、马来酸/式(II-11)的共聚物、马来酸/式(II-12)的共聚物、马来酸/式(II-13)的共聚物、马来酸/式(II-14)的共聚物、马来酸/式(II-15)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-1)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-2)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-3)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-4)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-5)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-6)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-7)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-8)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-9)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-10)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-11)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-12)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-13)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-14)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-15)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-1)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-2)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-3)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-4)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-5)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-6)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-7)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-8)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-9)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-10)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-11)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-12)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-13)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-14)的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-15)的共聚物等。
作为树脂[K2]的具体例，可举出(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-2)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-3)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-4)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-5)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-6)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-7)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-8)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-9)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-10)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-11)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-12)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-13)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-14)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-15)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-2)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-3)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-4)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-5)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-6)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-7)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-8)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-9)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-10)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-11)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-12)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-13)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-14)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-15)/(甲基)丙烯酸甲酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-1)/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、巴豆酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、马来酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-1)/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、巴豆酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、马来酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-1)/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸二环戊酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、巴豆酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、马来酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-1)/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、巴豆酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、马来酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-1)/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸苯酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/马来酸二乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/马来酸二乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-1)/马来酸二乙酯的共聚物、巴豆酸/式(I-1)/马来酸二乙酯的共聚物、马来酸/式(I-1)/马来酸二乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-1)/马来酸二乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/马来酸二乙酯的共聚物、巴豆酸/式(II-1)/马来酸二乙酯的共聚物、马来酸/式(II-1)/马来酸二乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-1)/马来酸二乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/马来酸二乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-1)/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、巴豆酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、马来酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-1)/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、巴豆酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、马来酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-1)/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-1)/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、巴豆酸/式(I-1)/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、马来酸/式(I-1)/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-1)/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、巴豆酸/式(II-1)/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、马来酸/式(II-1)/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-1)/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/二环[2.2.1]庚-2-烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、巴豆酸/式(I-1)/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、马来酸/式(I-1)/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-1)/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、巴豆酸/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、马来酸/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/N-环己基马来酰亚胺的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-1)/苯乙烯的共聚物、巴豆酸/式(I-1)/苯乙烯的共聚物、马来酸/式(I-1)/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-1)/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/苯乙烯的共聚物、巴豆酸/式(II-1)/苯乙烯的共聚物、马来酸/式(II-1)/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-1)/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、巴豆酸/式(I-1)/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、马来酸/式(I-1)/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(I-1)/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(I-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、巴豆酸/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、马来酸/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/马来酸酐/式(II-1)/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物、(甲基)丙烯酸/式(II-1)/(甲基)丙烯酸甲酯/N-环己基马来酰亚胺/苯乙烯的共聚物等。
树脂(A)的聚苯乙烯换算的重均分子量优选为3000～100000，更优选为5000～50000，进一步优选为5000～20000，特别优选为5000～15000。树脂(A)的重均分子量在上述范围内时，具有感光性树脂组合物的涂布性变得良好的倾向。
树脂(A)的分子量分布[重均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]优选为1.1～6.0，更优选为1.2～4.0。分子量分布在上述范围内时，具有所得到的树脂图案或固化膜在耐化学药品性方面优异的倾向。
树脂(A)的酸值优选为30mg-KOH/g以上且180mg-KOH/g以下，更优选为40mg-KOH/g以上且150mg-KOH/g以下，特别优选为50mg-KOH/g以上且135mg-KOH/g以下。在此，酸值是作为中和1g树脂所需的氢氧化钾的量(mg)而测定的值，可以通过使用氢氧化钾水溶液进行滴定而求出。树脂(A)的酸值在上述范围内时，具有所得到的树脂图案或固化膜与基板的密合性优异的倾向。
树脂(A)的含量相对于本发明的感光性树脂组合物的固体成分优选为30～90质量％，更优选为35～80质量％，进一步优选为40～70质量％，特别优选为52～70质量％。树脂(A)的含量在上述范围内时，具有所得到的树脂图案或固化膜的耐热性优异、且与基板的密合性及耐化学药品性优异的倾向。在此，感光性树脂组合物的固体成分是指从本发明的感光性树脂组合物的总量中除去溶剂(E)的含量后的量。
<聚合性化合物(B)>
聚合性化合物(B)为可以利用由聚合引发剂(C)产生的活性自由基进行聚合的化合物，例如为具有聚合性烯键式不饱和键的化合物等，优选为(甲基)丙烯酸酯化合物。
作为具有1个烯键式不饱和键的聚合性化合物(B)，可举出与作为上述(a)、(b)及(c)举出的化合物相同的化合物，其中，优选(甲基)丙烯酸酯类。
作为具有2个烯键式不饱和键的聚合性化合物，可举出1，3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1，6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、双酚A的二(丙烯酰氧基乙基)醚、乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
作为具有3个以上烯键式不饱和键的聚合性化合物，可举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰脲酸三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、己内酯改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三(2-羟基乙基)异氰脲酸三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、己内酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、己内酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物等。
其中，优选具有3个以上烯键式不饱和键的聚合性化合物，更优选二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。
此外，聚合性化合物(C)的重均分子量优选为150以上且2900以下，更优选为250～1500以下。
聚合性化合物(B)的含量相对于树脂(A)及聚合性化合物(B)的总量优选为5～95质量％，更优选为20～80质量％，进一步优选为40～80质量％，特别优选为46～70质量％。聚合性化合物(B)的含量在上述范围内时，具有使制作树脂图案时的灵敏度、所得到的树脂图案或固化膜的强度、平滑性及可靠性变良好的倾向。
<聚合引发剂(C)>
肟化合物为例如O-酰基肟化合物，即具有式(d1)所示的部分结构的化合物。以下，＊表示键合位置。
作为上述O-酰基肟化合物，例如可举出N-苯甲酰氧基-1-(4-苯基硫基苯基)丁烷-1-酮-2-亚胺、N-苯甲酰氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亚胺、N-苯甲酰氧基-1-(4-苯基硫基苯基)-3-环戊基丙烷-1-酮-2-亚胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亚胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3，3-二甲基-2，4-二氧杂环戊基甲基氧基)苯甲酰基}-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亚胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-3-环戊基丙烷-1-亚胺、N-苯甲酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]-3-环戊基丙烷-1-酮-2-亚胺等。可以使用IRGACURE(注册商标)OXE01、OXE02(以上，BASF公司制)、N-1919(ADEKA公司制)等的市售产品。
聚合引发剂(C)还可含有肟化合物以外的聚合引发剂。这样的聚合引发剂只要是能够利用光、热的作用产生活性自由基、酸等而引发聚合的化合物，则没有特别的限定，可以使用公知的聚合引发剂，例如可举出烷基苯酮化合物、三嗪化合物、酰基膦氧化物及联咪唑化合物。
上述烷基苯酮化合物为具有式(d2)所示的部分结构或式(d3)所示的部分结构的化合物。这些部分结构中，苯环可以具有取代基。
作为具有式(d2)所示的部分结构的化合物，例如可举出2-甲基-2-吗啉代-1-(4-甲基硫基苯基)丙烷-1-酮、2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-2-苄基丁烷-1-酮、2-(二甲基氨基)-2-[(4-甲基苯基)甲基]-1-[4-(4-吗啉基)苯基]丁烷-1-酮等。可以使用IRGACURE(注册商标)369、907、379(以上，BASF公司制)等市售品。此外，也可以使用JP2002-544205-A中记载的、具有能够引起链转移的基团的聚合引发剂。
作为具有式(d3)所示的部分结构的化合物，例如可以举出2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、2-羟基-2-甲基-1-〔4-(2-羟基乙氧基)苯基〕丙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-(4-异丙烯基苯基)丙烷-1-酮的低聚物、α，α-二乙氧基苯乙酮、苄基二甲基缩酮等。
从灵敏度方面出发，作为烷基苯酮化合物，优选具有式(d2)所示的部分结构的化合物。
作为上述三嗪化合物，例如可列举2，4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1，3，5-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1，3，5-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-胡椒基-1，3，5-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1，3，5-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-〔2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基〕-1，3，5-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-〔2-(呋喃-2-基)乙烯基〕-1，3，5-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-〔2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基〕-1，3，5-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-〔2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基〕-1，3，5-三嗪等。
作为上述酰基膦氧化物，可举出2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基膦氧化物等。可以使用IRGACURE(注册商标)819(BASF公司制)等市售品。
作为上述联咪唑化合物，例如可举出2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基联咪唑、2，2’-双(2，3-二氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基联咪唑(例如参照JPH06-75372-A、JPH06-75373-A等。)、2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基联咪唑、2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四(烷氧基苯基)联咪唑、2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四(二烷氧基苯基)联咪唑、2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四(三烷氧基苯基)联咪唑(例如参照JPS48-38403-B、JPS62-174204-A等。)、4，4’5，5’-位的苯基被烷氧羰基取代的咪唑化合物(例如参照JPH07-10913-A等)。
进而，作为聚合引发剂，可以举出苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻异丁基醚等苯偶姻化合物；二苯甲酮、邻苯甲酰苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4’-甲基二苯基硫醚、3，3’，4，4’-四(叔丁基过氧羰基)二苯甲酮、2，4，6-三甲基二苯甲酮等二苯甲酮化合物；9，10-菲醌、2-乙基蒽醌、樟脑醌等醌化合物；10-丁基-2-氯吖啶酮、苯偶酰、苯基乙醛酸甲酯、二茂钛化合物等。它们优选与后述的聚合引发助剂(C1)(特别是胺类)组合使用。
作为产酸剂，例如可举出4-羟基苯基二甲基锍对甲苯磺酸盐、4-羟基苯基二甲基锍六氟锑酸盐、4-乙酰氧基苯基二甲基锍对甲苯磺酸盐、4-乙酰氧基苯基·甲基·苄基锍六氟锑酸盐、三苯基锍对甲苯磺酸盐、三苯基锍六氟锑酸盐、二苯基碘鎓对甲苯磺酸盐、二苯基碘鎓六氟锑酸盐等鎓盐类，硝基苄基甲苯磺酸酯类、苯偶姻甲苯磺酸酯类等。
作为与肟化合物组合的聚合引发剂，优选烷基苯酮化合物及联咪唑化合物。
肟化合物的含量相对于聚合引发剂(C)的总量为30质量％以上且100质量％以下，优选为50质量％以上且100质量％以下，更优选为70质量％以上且100质量％以下。若将肟化合物与上述的化合物组合或肟化合物的含量在上述范围内，则除了本发明的效果外，在使用具有不同尺寸的透光部的二元掩膜(binary mask)在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案时，还会使所得的树脂图案的高度差变大。
肟化合物的含量相对于树脂(A)和聚合性化合物(B)的总含量100质量份优选为0.1～10质量份，更优选为0.2～6质量份，进一步优选为0.3～3质量份。
聚合引发剂(C)的含量相对于树脂(A)和聚合性化合物(B)的总含量100质量份优选为0.1质量份以上且30质量份以下，更优选为0.2质量份以上且15质量份以下，进一步优选为0.3质量份以上且8质量份以下，特别优选为0.5质量份以上且3质量份以下。聚合引发剂(C)的含量在上述范围内时，除了本发明的效果外，因高灵敏度化而具有曝光时间被缩短的倾向，因此具有生产率提高、进而所得到的树脂图案的可见光透过率变高的倾向。
<聚合引发助剂(C1)>
聚合引发助剂(C1)为与聚合引发剂(C)一起使用的、用于促进利用聚合引发剂(C)引发聚合的化合物(例如，聚合性化合物(B))的聚合而使用的化合物或敏化剂。
聚合引发助剂(C1)，例如可列举噻唑啉化合物、胺化合物、烷氧基蒽化合物、噻吨酮化合物以及羧酸化合物等。
作为噻唑啉化合物，可列举式(III-1)～式(III-3)所示的化合物、JP2008-65319-A记载的化合物等。
作为上述胺化合物，可举出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、N，N-二甲基对甲苯胺、4，4’-双(二甲基氨基)二苯甲酮(通称米蚩酮)、4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮、4，4’-双(乙基甲基氨基)二苯甲酮等，其中，优选4，4’-双(二乙基氨基)二苯甲酮。可以使用EAB-F(保土谷化学工业公司制)等市售品。
作为上述烷氧基蒽化合物，可举出9，10-二甲氧基蒽、2-乙基-9，10-二甲氧基蒽、9，10-二乙氧基蒽、2-乙基-9，10-二乙氧基蒽、9，10-二丁氧基蒽、2-乙基-9，10-二丁氧基蒽等。
作为上述噻吨酮化合物，可列举2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2，4-二乙基噻吨酮、2，4-二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮等。
作为上述羧酸化合物，可举出苯硫基乙酸、甲基苯硫基乙酸、乙基苯硫基乙酸、甲基乙基苯硫基乙酸、二甲基苯硫基乙酸、甲氧基苯硫基乙酸、二甲氧基苯硫基乙酸、氯苯硫基乙酸、二氯苯硫基乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、萘基硫代乙酸、N-萘基甘氨酸、萘氧基乙酸等。
在本发明的感光性树脂组合物含有聚合引发助剂(C1)的情况下，其含量相对于树脂(A)和聚合性化合物(B)的总含量100质量份优选为0.1～30质量份，更优选为0.2～10质量份。若聚合引发助剂(C1)的量在上述范围内，则具有在形成树脂图案时灵敏度进一步变高的倾向。
<化合物(1)>
化合物(1)由式(1)表示。
[式(1)中，R1表示碳数1～6的烷基。
A1～A4彼此独立地表示氢原子或碳数1～6的烷基。]
作为R1和A1～A4的烷基，可举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基、戊基、己基等。
R1优选为甲基或乙基，更优选为甲基。
A1～A4优选分别独立地为氢原子或叔丁基。
作为化合物(1)，例如可举出甲氧基苯酚、乙氧基苯酚、2，5-叔丁基甲氧基苯酚等。
本发明的感光性树脂组合物之所以取得本发明效果，是由于同时包含化合物(1)和含肟化合物的聚合引发剂(C)来决定的。
化合物(1)的含量相对于树脂(A)和聚合性化合物(B)的总含量100质量份优选为0.02质量份以上且1质量份以下，更优选为0.03质量份以上且0.4质量份以下。若化合物(1)的含量在上述范围内，则在使用半色调掩膜在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案时，所得到的树脂图案的高度差大、能够形成所需高度的树脂图案。在化合物(1)的含量超过上述的范围时，灵敏度显著降低，可能难以得到所需线宽的树脂图案，在化合物(1)的含量少于上述范围时，可能无法充分获得本发明的效果。
<表面活性剂(H)>
作为表面活性剂(H)，例如可举出硅酮系表面活性剂、氟系表面活性剂及具有氟原子的硅酮系表面活性剂等。
作为硅酮系表面活性剂，可举出具有硅氧烷键的表面活性剂等。具体而言，可举出Toray Silicone(商品名)DC3PA、Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DC11PA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、Toray Silicone8400(东丽道康宁(株)制)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化学工业(株)制)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF-4446、TSF4452、TSF4460(迈图高新材料日本合同公司制)等。
作为上述氟系表面活性剂，可举出具有氟碳链的表面活性剂等。具体而言，可举出Fluorad(注册商标)FC430、Fluorad FC431(住友3M公司制)、Megafac(注册商标)F142D、Megafac F171、Megafac F172、MegafacF173、Megafac F177、Megafac F183、Megafac F554、Megafac R30、MegafacRS-718-K(DIC(株)制)、EFTOP(注册商标)EF301、EFTOP EF303、EFTOP EF351、EFTOP EF352(三菱材料电子化成(株)制)、Surflon(注册商标)S381、Surflon S382、Surflon SC101、Surflon SC105(旭硝子(株)制)、E5844((株)(大金精细化学研究所制)等。
作为上述具有氟原子的硅酮系表面活性剂，可举出具有硅氧烷键和氟碳链的表面活性剂等。具体而言，可举出Megafac(注册商标)R08、MegafacBL20、Megafac F475、Megafac F477、Megafac F443(DIC(株)制)等。
在本发明的感光性树脂组合物含有表面活性剂(H)的情况下，其含量相对于本发明的感光性树脂组合物的总量为0.001质量％以上且0.2质量％以下，优选为0.002质量％以上且0.1质量％以下，更优选为0.01质量％以上且0.05质量％以下。表面活性剂(H)的含量在上述范围内时，可以提高组合物层的平坦性，因此具有在树脂图案中高度不均变小、在固化膜中平坦性变高的倾向。
<溶剂(E)>
溶剂(E)没有特别限定，可以使用该领域中通常使用的溶剂。例如可以从酯溶剂(在分子内包含-COO-且不包含-O-的溶剂)、醚溶剂(在分子内包含-O-且不包含-COO-的溶剂)、醚酯溶剂(在分子内包含-COO-和-O-的溶剂)、酮溶剂(在分子内包含-CO-且不包含-COO-的溶剂)、醇溶剂(在分子内包含OH且不包含-O-、-CO-和-COO-的溶剂)、芳香族烃溶剂、酰胺溶剂、二甲亚砜等中选择使用。
作为酯溶剂，可举出乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羟基异丁酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、环己醇乙酸酯、γ-丁内酯等。
作为醚溶剂，可举出乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单丙基醚、乙二醇单丁基醚、二乙二醇单甲基醚、二乙二醇单乙基醚、二乙二醇单丁基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单丁基醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氢呋喃、四氢吡喃、1，4-二噁烷、二乙二醇二甲基醚、二乙二醇二乙基醚、二乙二醇甲基乙基醚、二乙二醇二丙基醚、二乙二醇二丁基醚、苯甲醚、苯乙醚、甲基苯甲醚等。
作为醚酯溶剂，可举出甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单丙基醚乙酸酯、乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇单乙基醚乙酸酯、二乙二醇单丁基醚乙酸酯等。
作为酮溶剂，可举出4-羟基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、环戊酮、环己酮、异弗尔酮等。
作为醇溶剂，可举出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、丙二醇、甘油等。
作为芳香族烃溶剂，可举出苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等。
作为酰胺溶剂，可举出N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。
上述溶剂当中，从涂布性、干燥性的方面出发，优选在1atm时的沸点为120℃以上180℃以下的有机溶剂。其中，作为该有机溶剂，优选丙二醇单甲基醚、丙二醇单甲基醚乙酸酯、二乙二醇甲基乙基醚、3-甲氧基丁基乙酸酯及3-甲氧基-1-丁醇。溶剂(E)优选为包含这些有机溶剂的混合溶剂。
溶剂(E)的含量相对于本发明的感光性树脂组合物的总量优选为60～95质量％，更优选为70～95质量％。换言之，本发明的感光性树脂组合物的固体成分优选为5～40质量％，更优选为5～30质量％。溶剂(E)的含量在上述范围内时，由本发明的感光性树脂组合物形成的组合物层的平坦性具有变高的倾向，因此具有在树脂图案中高度不均变小、在固化膜中平坦性变高的倾向。
<其他的成分>
本发明的感光性树脂组合物可根据需要含有填充剂、其他高分子化合物、热自由基产生剂、紫外线吸収剂、链转移剂、密合促进剂等该技术领域中公知的添加剂。
作为填充剂，可举出玻璃、氧化硅、氧化铝等。
作为其他高分子化合物，可举出马来酰亚胺树脂等热固性树脂、聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇单烷基醚、聚氟代烷基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等热塑性树脂等。
作为热自由基产生剂，具体而言，可举出2，2’-偶氮双(2-甲基戊腈)、2，2’-偶氮双(2，4-二甲基戊腈)等。
作为紫外线吸收剂，具体而言，可举出2-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苯基)-5-氯苯并三唑、烷氧基二苯甲酮等。
作为链转移剂，可举出十二烷硫醇、2，4-二苯基-4-甲基-1-戊烯等。
作为密合促进剂，例如可举出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、3-缩水甘油基氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基甲基二乙氧基硅烷、2-(3，4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷、3-硫基丙基三甲氧基硅烷、3-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二甲氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-2-(氨基乙基)-3-氨基丙基甲基二乙氧基硅烷、3-氨基丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三甲氧基硅烷、N-苯基-3-氨基丙基三乙氧基硅烷等。
本发明的感光性树脂组合物基本上不含颜料和染料等着色剂。即，本发明的感光性树脂组合物中，组合物整体中的着色剂的含量例如小于1质量％，优选小于0.5质量％。
此外，将本发明的感光性树脂组合物填充于光路长为1cm的石英池中，使用分光光度计，在测定波长400～700nm的条件下对其测定透过率，此种情况下，平均透过率优选为70％以上，更优选为80％以上。
将本发明的感光性树脂组合物制成固化膜时，固化膜的平均透过率优选为90％以上，更优选为95％以上。该平均透过率是使用分光光度计在测定波长400～700nm的条件下对加热固化(例如100～250℃、5分钟～3小时)后的厚度为2μm的固化膜进行测定时的平均值。由此，可以提供在可见光区域的透明性优异的树脂图案或固化膜。
<感光性树脂组合物的制造方法>
本发明的感光性树脂组合物可以通过将树脂(A)、聚合性化合物(B)、聚合引发剂(C)和化合物(1)、以及根据需要使用的溶剂(E)、表面活性剂(H)和其他成分用公知的方法混合来制造。优选在混合后用孔径0.05～1.0μm左右的过滤器进行过滤。
<树脂图案的制造方法>
由本发明的感光性树脂组合物形成的树脂图案例如可以通过进行下述的工序(1)～(4)来制造。优选在工序(4)后进一步进行工序(5)。
工序(1)：将本发明的感光性树脂组合物涂布在基板上的工序
工序(2)：使涂布后的感光性树脂组合物干燥而形成组合物层的工序
工序(3)：隔着光掩膜对组合物层进行曝光的工序
工序(4)：对曝光后的组合物层进行显影的工序
工序(5)：对显影后的组合物层进行加热的工序
工序(1)为将本发明的感光性树脂组合物涂布在基板上的工序。
作为基板，可举出玻璃、金属、塑料等，可以在基板上形成滤色器、绝缘膜、导电膜和/或驱动电路等。
在基板上的涂布优选使用旋涂机、狭缝旋涂机、狭缝涂布机、喷墨涂布机、辊涂机、浸涂机等涂布装置进行。
工序(2)是使涂布后的固化性树脂组合物干燥而形成组合物层的工序。通过进行该工序，从而除去固化性树脂组合物中的溶剂等挥发成分。作为干燥的方法，可举出加热干燥(预烘焙)和减压干燥。
在进行加热干燥的情况下，干燥温度优选为30～120℃，更优选为50～110℃的范围，干燥时间优选为10秒钟～60分钟，更优选为30秒钟～30分钟。加热干燥通常使用烘箱和加热板等加热装置进行。
在进行减压干燥的情况下，优选在50～150Pa的压力下、20～25℃的温度范围内进行。
工序(3)为隔着光掩膜对通过工序(2)形成的组合物层进行曝光的工序。该光掩膜使用对应与组合物层的想要除去的部分而形成遮光部的光掩膜。遮光部的形状没有特别的限定，可以根据目标用途进行选择。特别是，在使用半色调掩膜或灰度掩模(“灰度掩模”的日文原文：グレイスケ一ルマスク)时，可以在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案。半色调掩膜为具有2种以上互不相同的透过率的透光部的光掩膜，优选为具有透过率100％的透光部、和透过率10～60％的范围的透光部的光掩膜。在使用这样的半色调掩膜时，可以形成尺寸和高度的精度高的树脂图案。
作为用于曝光的光源，优选为发出250～450nm的波长的光的光源。例如使用截取该波长区域的滤波器截取小于350nm的光，或者也可以使用取出这些波长区域的带通滤波器选择性取出436nm附近、408nm附近、365nm附近的光。具体而言，可举出汞灯、发光二极管、金属卤化物灯、卤素灯等。
为了能够对曝光面整体均匀地照射平行光线或者进行光掩膜与组合物层的正确的对准，优选使用掩模对准器和步进机等曝光装置。
工序(4)为对曝光后的组合物层进行显影的工序。通过使曝光后的组合物层接触显影液进行显影，从而组合物层的未曝光部溶解于显影液而被除去，在基板上形成树脂图案。
作为显影液，优选为例如氢氧化钾、碳酸氢钠、碳酸钠、四甲基氢氧化铵等碱性化合物的水溶液。这些碱性化合物的水溶液中的浓度优选为0.01～10质量％，更优选为0.03～5质量％。进而，显影液也可以含有表面活性剂。
显影方法可以是搅拌(paddle)法、浸渍法及喷雾法等中的任意一种。进而在显影时可以使基板倾斜成任意的角度。
优选在显影后进行水洗。
工序(5)为对显影后的组合物层进行加热(后烘焙)的工序。通过进行加热，树脂图案的耐久性、例如耐热性、耐化学药品性及机械特性等得以提高。加热通常使用烘箱和加热板等加热装置来进行。加热温度优选为120～250℃，更优选为150～235℃。加热时间优选为1～180分钟，更优选为10～60分钟。
未进行图案化的固化膜也可以利用下述工序由本发明的感光性树脂组合物来制造。各工序的优选条件与树脂图案的制造方法相同。
工序(1)：将本发明的感光性树脂组合物涂布在基板上的工序
工序(2)：使涂布后的感光性树脂组合物干燥而形成组合物层的工序
工序(5)：对显影后的组合物层进行加热的工序
根据需要，在工序(2)之后，可以进行工序(3’)：不隔着光掩膜对组合物层进行曝光的工序。此外，在进行工序(3’)的情况下，也可以进行工序(4)：对曝光后的组合物层进行显影的工序。
这样得到的树脂图案例如作为构成滤色器基板和/或阵列基板的一部分的光间隔件、可形成图案的外涂层、层间绝缘膜、液晶取向控制用突起、微透镜、用于调整膜厚的涂层等触摸屏用部件、构成滤色器基板和/或阵列基板的一部分的外涂层是有用的。特别是，在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案时在控制高度方面优异，因此在同一基板上同时形成高度不同的光间隔件时、以及在同一基板上同时形成光间隔件和液晶取向控制用突起时是有用的。上述的滤色器基板及阵列基板适合用于液晶显示装置、有机EL显示装置、电子纸等。
实施例
以下，通过实施例更详细地说明本发明。只要没有特别说明，例中的“％”及“份”为“质量％”及“质量份”。
合成例1
在具备回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌机的烧瓶内以0.02L/分钟通入氮形成氮气气氛，加入3-甲氧基-1-丁醇200质量份和3-甲氧基丁基乙酸酯105质量份，一边搅拌一边加热至70℃。接着，将甲基丙烯酸60质量份、3，4-环氧三环[5.2.1.02.6]癸基丙烯酸酯(式(I-1)所示的化合物和式(II-1)所示的化合物的含量比(摩尔比)为50∶50)240质量份溶解于3-甲氧基丁基乙酸酯140质量份中，制备溶液，使用滴液漏斗用4小时将该溶液滴加至保温为70℃的烧瓶内。
另一方面，将聚合引发剂2，2’-偶氮双(2，4-二甲基戊腈)30质量份溶解于3-甲氧基丁基乙酸酯225质量份中，制成溶液，使用另外的滴液漏斗用4小时将该溶液滴加至烧瓶内。聚合引发剂的溶液的滴加结束后，在70℃保持4小时，然后冷却至室温，得到固体成分32.6质量％、酸值110mg-KOH/g(固体成分换算)的共聚物(树脂Aa)的溶液。所得到的树脂Aa的重均分子量Mw为13400，分子量分布(Mw/Mn)为2.50。树脂Aa具有下述的结构单元。
所得到的树脂的重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)的测定使用GPC法在以下条件下进行。
装置：K2479((株)岛津制作所制)
柱：SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
柱温度：40℃
溶剂：THF(四氢呋喃)
流速：1.0mL/min
检测器：RI
校正用标准物质：TSK STANDARD POLYSTYRENE F-40、F-4、F-288、A-2500、A-500(东曹(株)制)
将上述得到的聚苯乙烯换算的重均分子量和数均分子量之比(Mw/Mn)作为分子量分布。
实施例1～7及比较例1
<感光性树脂组合物的制备>
将表1所示的各成分按表1所示的比例混合，得到感光性树脂组合物。
[表1]
予以说明，表1中树脂(A)的含有份数表示固体成分换算的质量份。
树脂(A)：树脂Aa
聚合性化合物(B)：二季戊四醇六丙烯酸酯(KAYARAD(注册商标)DPHA；日本化药(株)制)
聚合引发剂(C)：Ca：N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亚胺(IRGACURE(注册商标)OXE02；BASF公司制；O-酰基肟化合物)
聚合引发剂(C)：Cb：N-苯甲酰氧基-1-(4-苯基硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亚胺(IRGACURE(注册商标)OXE01；BASF公司制；O-酰基肟化合物)
聚合引发剂(C)：Cc：2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮(IRGACURE(注册商标)369；BASF JAPAN(株)制；烷基苯酮化合物)
聚合引发剂(C)：Cd：2，2’-双(2-氯苯基)-4，4’，5，5’-四苯基-1，2’-联咪唑(B-CIM：保土谷化学(株)制；联咪唑化合物)
化合物(1)：la：4-甲氧基苯酚(东京化成工业(株)制)
表面活性剂(H)：聚醚改性硅油(Toray Silicone SH8400；道康宁东丽(株)制)
溶剂(E)：Ea：二乙二醇乙基甲基醚
溶剂(E)：Eb：丙二醇单甲基醚乙酸酯
溶剂(E)：Ec：3-甲氧基-1-丁醇
溶剂(E)：Ed：3-甲氧基丁基乙酸酯
溶剂(E)：Ee：3-乙氧基乙基丙酸酯
溶剂(E)以感光性树脂组合物的固体成分量为表1的“固体成分量(％)”的方式混合，溶剂(E)中的溶剂成分Ea～Ee的值表示溶剂(E)中的质量比(％)。
<组合物的透过率测定>
对于所得到的感光性树脂组合物，分别使用紫外可见近红外分光光度计(V-650；日本分光(株)制)(石英池、光程长；1cm)，测定400～700nm时的平均透过率(％)。将结果示于表2。
<固化膜的制作>
将2英寸见方的玻璃基板(Eagle XG；康宁公司制)用中性洗涤剂、水及乙醇依次洗涤后干燥。将感光性树脂组合物以后烘焙后的膜厚为3.0μm的方式旋涂在该玻璃基板上，用减压干燥机(Microtek(株)制)进行减压干燥直至减压度达到66kPa，然后用加热板在90℃下预烘焙80秒钟进行干燥，形成组合物层。放冷后，使用曝光机(TME-150RSK；Topcon(株)制、光源：超高压汞灯)在大气气氛下以曝光量60mJ/cm2(365nm标准)进行曝光。予以说明，此时向组合物层的照射是使来自超高压汞灯的放射光通过光学滤波器(UV-33；朝日分光(株)制)来进行的。光照射后，在包含非离子系表面活性剂0.12％和氢氧化钾0.04％的水系显影液中将曝光后的组合物层在25℃下边摇动边浸渍60秒钟，再进行水洗。其后，在烘箱中、于235℃加热15分钟，得到固化膜。
<固化膜的透过率测定>
对于所得到的固化膜，使用显微分光测光装置(OSP-SP200；奥林巴斯公司制)，测定400～700nm时的平均透过率(％)。将结果示于表2。
<树脂图案形成1>
将2英寸见方的玻璃基板(Eagle XG；康宁公司制)用中性洗涤剂、水及异丙醇依次洗涤后，干燥。将感光性树脂组合物旋涂在该玻璃基板上，接着，用减压干燥机进行减压至66Pa，然后用加热板在90℃下预烘焙80秒钟，形成组合物层。放冷后，将形成有该组合物层的基板和石英玻璃制光掩模的间隔设为150μm，使用曝光机(TME-150RSK；Topcon(株)制、光源：超高压汞灯)在大气气氛下照射曝光量60mJ/cm2(365nm标准)的光。予以说明，此时向组合物层的照射是使来自超高压汞灯的放射光通过光学滤波器(UV-33；朝日分光(株)制)来进行的。此外，作为光掩模，使用了透光部的形状为20μm见方的正方形、该正方形以100μm间隔进行配置、并且透光部的透过率为100％和25％的2种的半色调掩膜。
光照射后，在包含非离子系表面活性剂0.12％和氢氧化钾0.04％的水系显影液中将上述涂膜在23℃下边摇动边浸渍60秒钟以进行显影，再进行水洗。其后，在烘箱中、于235℃后烘焙15分钟，得到树脂图案。
<树脂图案形成2>
将2英寸见方的玻璃基板(Eagle XG；康宁公司制)用中性洗涤剂、水及异丙醇依次洗涤后，干燥。将感光性树脂组合物旋涂在该玻璃基板上，接着，用减压干燥机进行减压至66Pa，然后用加热板在90℃下预烘焙80秒钟，形成组合物层。放冷后，将形成有该组合物层的基板和石英玻璃制光掩模的间隔设为200μm，使用曝光机(TME-150RSK；Topcon(株)制、光源：超高压汞灯)在大气气氛下以曝光量60mJ/cm2(365nm标准)进行曝光。予以说明，此时向组合物层的照射是使来自超高压汞灯的放光通过光学滤波器(UV-33；朝日分光(株)制)来进行的。此外，作为光掩模，使用了透光部的形状为20μm见方的正方形及12μm见方的正方形、各个正方形以100μm间隔进行配置、并且透光部的透过率为100％的二元掩模。
光照射后，在包含非离子系表面活性剂0.12％和氢氧化钾0.04％的水系显影液中将上述涂膜在23℃下边摇动边浸渍60秒钟以进行显影，再进行水洗。其后，在烘箱中、于235℃后烘焙15分钟，得到树脂图案。
<评价：树脂图案的宽度和高度的测定>
用三维非接触表面形状测量系统(Micromap MM527N-PS-M100；(株)菱化系统公司制)测量所得到的树脂图案的宽度和高度。树脂图案的宽度在相对于基板面、树脂图案高度的5％高度位置进行测量。
树脂图案形成1中，根据由透过率100％的透光部形成的树脂图案的高度(以下，称为“H100”)和由透过率25％的透光部形成的树脂图案的高度(以下，称为“H25”)的测量值，求出两者之差[H100-H25]。在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案的情况下，该高度差越大越有利。
树脂图案形成2中，根据由20μm见方正方形的透光部形成的树脂图案的高度(以下，称为“HS20”)和由12μm见方正方形的透光部形成的树脂图案的高度(以下，称为“HS12”)的测量值，求出两者之差[HS20-HS12]。在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案的情况下，该高度差越大越有利。将结果示于表2中。
[表2]
由表2的结果可以确认，根据本发明的感光性树脂组合物，使用半色调掩膜在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案时有利。
根据本发明的感光性树脂组合物，使用半色调掩膜在同一基板上同时形成高度不同的树脂图案时，所得到的树脂图案的高度差大。