制造三维光子器件的方法和系统与流程

技术特征：
1.一种根据包括若干制造阶段的工艺流程制造三维光子器件的方法，所述方法包括：-在所述工艺流程的相同制造阶段，由涉及到通过两光子吸收来聚合的直射激光写入来制作作为三维部件的至少两个相异微光学部件(4，41至46)；其中所述至少两个相异微光学部件：-集成于所述三维光子器件内；-具有相应光学功能；以及-相互对准，从而能够从所述相异微光学部件(4，41至46)中的一个部件向所述相异微光学部件中的另一部件传输光学信号；其中通过混合直射激光写入来执行所述制造，所述混合直射激光写入包括用于执行涉及到通过两光子吸收来聚合的所述直射激光写入以构建三维部件的第一光束(14)和用于执行涉及到通过一光子吸收来聚合的另一直射激光写入以构建二维部件的与所述第一光束(14)相异的第二光束(13)，两个所述光束(13，14)适于被交替地使用。2.根据权利要求1所述的制造方法，其中所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件呈现沿着所述三维光子器件的厚度方向(y)的凹形状。3.根据权利要求1所述的制造方法，其中涉及到通过两光子吸收来聚合的所述直射激光写入的光在可见光和/或红外线范围中，并且其中涉及到通过一光子吸收来聚合的所述直射激光写入的光在紫外线范围中。4.根据前述权利要求1-3中任一项所述的制造方法，其中所述三维光子器件还包括用于传输光学信号的无源波导(3)。5.根据权利要求4所述的制造方法，其中所述无源波导(3)适于仅在所述相异微光学部件(4，41至46)中的两个其它部件之间传输光学信号。6.根据前述权利要求1-3中任一项所述的制造方法，其中所述三维光子器件包括适于仅从所述相异微光学部件(4，41至46)中的另一部件或者向所述相异微光学部件(4，41至46)中的另一部件传输光学信号并且已经通过基于掩模曝光的光刻来制造的至少一个无源波导。7.根据前述权利要求1-3中任一项所述的制造方法，其中所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是微透镜(41)和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是镜面(42)和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是复用器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是耦合器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是分路器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是偏振控制器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是放大器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是检测器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是锥体和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是凹陷。8.根据前述权利要求1-3中任一项所述的制造方法，其中所述三维光子器件集成至少一个导波微光学部件(41，43，44)和至少一个自由空间微光学部件(42)和至少一个微机械结构(45，46)。9.根据前述权利要求1-3中任一项所述的制造方法，相继：-在衬底上沉积膜；-涉及到通过两光子吸收来聚合的所述直射激光写入并且涉及到通过一光子吸收来聚合的备选直射激光写入；-去除未曝光的材料。10.根据权利要求9所述的制造方法，其中执行所述沉积、激光写入和去除若干次以构成若干相应的堆叠。11.一种根据包括若干制造阶段的工艺流程制造三维光子器件的系统，所述系统包括：-用于在所述工艺流程的相同制造阶段由涉及到通过两光子吸收来聚合的直射激光写入来制作作为三维部件的至少两个相异微光学部件(4，41至46)的装置；其中所述至少两个相异微光学部件：-集成于所述三维光子器件内；-具有相应光学功能；以及-相互对准，从而能够从所述相异微光学部件(4，41至46)中的一个部件向所述相异微光学部件中的另一部件传输光学信号；其中通过混合直射激光写入来执行所述制造，所述混合直射激光写入包括用于执行涉及到通过两光子吸收来聚合的所述直射激光写入以构建三维部件的第一光束(14)和用于执行涉及到通过一光子吸收来聚合的另一直射激光写入以构建二维部件的与所述第一光束(14)相异的第二光束(13)，所述光束(13，14)均适于被交替地使用。12.根据权利要求11所述的系统，其中所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件呈现沿着所述三维光子器件的厚度方向(y)的凹形状。13.根据权利要求11所述的系统，其中涉及到通过两光子吸收来聚合的所述直射激光写入的光在可见光和/或红外线范围中，并且其中涉及到通过一光子吸收来聚合的所述直射激光写入的光在紫外线范围中。14.根据权利要求11至13中的任一权利要求所述的系统，其中所述三维光子器件包括用于传输光学信号的无源波导(3)。15.根据权利要求14所述的系统，其中所述无源波导(3)适于仅在所述相异微光学部件(4，41至46)中的两个其它部件之间传输光学信号。16.根据权利要求11至13中的任一权利要求所述的系统，其中所述三维光子器件包括适于仅从所述相异微光学部件(4，41至46)中的另一部件或者向所述相异微光学部件(4，41至46)中的另一部件传输光学信号并且已经通过基于掩模曝光的光刻来制造的至少一个无源波导。17.根据权利要求11至13中的任一权利要求所述的系统，其中所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是微透镜(41)和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是镜面(42)和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是复用器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是耦合器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是分路器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是偏振控制器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是放大器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是检测器和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是锥体和/或所述相异微光学部件(4，41至46)中的至少一个部件是凹陷。18.根据权利要求11至13中的任一权利要求所述的系统，其中所述三维光子器件集成至少一个导波微光学部件(41，43，44)和至少一个自由空间微光学部件(42)和至少一个微机械结构(45，46)。19.根据权利要求11至13中的任一权利要求所述的系统，相继包括：-用于在衬底上沉积膜的装置；-用于涉及到通过两光子吸收来聚合的所述直射激光写入并且用于涉及到通过一光子吸收来聚合的备选直射激光写入的装置；-用于去除未曝光的材料的装置。20.一种集成作为三维部件的至少两个相异微光学部件(4，41至46)的三维光子器件，所述至少两个相异微光学部件(4，41至46)分别具有两个光学功能并且相互对准，从而能够从所述部件(4，41至46)中的一个部件向另一部件传输光学信号，其中在由涉及到通过两光子吸收来聚合的直射激光写入来制造的相同单片结构中嵌入所述相异微光学部件(4，41至46)；其中通过混合直射激光写入来执行所述制造，所述混合直射激光写入包括用于执行涉及到通过两光子吸收来聚合的所述直射激光写入以构建三维部件的第一光束(14)和用于执行涉及到通过一光子吸收来聚合的另一直射激光写入以构建二维部件的与所述第一光束(14)相异的第二光束(13)，所述光束(13，14)均适于被交替地使用。21.一种集成至少一个微光学部件(4，41至46)的三维光子器件，所述至少一个微光学部件(4，41至46)呈现沿着所述三维光子器件的厚度方向的凹形状，其中已经由涉及到通过两光子吸收来聚合的直射激光写入来制造所述至少一个微光学部件(4，41至46)，其中通过混合直射激光写入来制造所述三维光子器件，所述混合直射激光写入包括用于执行涉及到通过两光子吸收来聚合的所述直射激光写入以构建三维部件的第一光束(14)和用于执行涉及到通过一光子吸收来聚合的另一直射激光写入以构建二维部件的与所述第一光束(14)相异的第二光束(13)，两个所述光束(13，14)适于被交替地使用。