制造三维光子器件的方法和系统与流程

文档序号:11971827阅读:来源:国知局
技术总结
本发明涉及一种在包括若干阶段的工艺流程内制造集成至少两个相异微光学部件(4)的三维光子器件的方法,这些阶段包括涉及到通过两光子吸收来聚合的直射激光写入,这些微光学部件分别具有两个光学功能并且相互对准,从而可以从所述相异部件中的一个部件向另一部件传输光学信号,其中由涉及到通过两光子吸收来聚合的所述直射激光写入在所述工艺流程的相同阶段构建所述相异部件(4)以便提高它们的相对对准。

技术研发人员:I·M·索甘西;A·拉波塔;B·J·奥夫赖因
受保护的技术使用者:国际商业机器公司
文档号码:201310190041
技术研发日:2013.05.21
技术公布日:2017.04.12

当前第3页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1