专利名称：一种光阻瓶更换装置的制作方法
技术领域：
一种光阻瓶更换装置技术领域[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种光阻瓶更换装置。
背景技术：
[0002]光阻(Photo Resist，PR)，亦称为光阻剂或光刻胶，是一种用在许多工业制程上的光敏材料，比如光刻技术，利用光阻的光化学反应，镜曝光、显影将所需要的微细图形从研磨版转移至待加工的基片上。因此，光阻是电子工业中关键性的基础化工材料。光阻可以分为正光阻和负光阻。正光阻是照到光的部分会溶于光阻显影液。而没有照到光的部分不会溶于光阻显影液；负光阻刚好相反，其照到光的部分不会溶于光阻显影液，而没有照到光的部分会溶于光阻显影液。在半导体制造车间内，每天需要消耗大量的光阻，当光阻用完时，制程设备则要更换光阻，这时需要将空的光阻瓶换下，新的光阻瓶换上。[0003]传统的用于更换光阻瓶的装置如图1所示，该装置包括一主架2A和一侧架3A，所述侧架3A的底板与主架2A活动连接，侧架3A的侧面还设有与主架2A连接的侧边。当光阻用完需要更换空光阻瓶IA时，要完成三个步骤:，首先将侧架3A放下(如图1 (2))，把新光阻瓶4A放在侧架3A上(如图1 (3))，然后将空光阻瓶IA瓶口上的泵管5A安装到新光阻瓶4A瓶口上并将空光阻瓶IA从主架2A上取下(如图1 (4))，最后手动将新光阻瓶4A搬运到主架2A上(如图1 (5))，并收起侧架3A。在最后搬运新光阻4A瓶至主架2A上时，由于光阻瓶陈列柜的空间非常有限，操作员只能抓住光阻瓶的瓶口来实施搬运，这样就很容易引起瓶口的泵管5A脱落，使瓶口的光阻和粘在泵管5A上的光阻受到污染。[0004]因此，设计一种改进型的光阻瓶更换装置实属必要。实用新型内容[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种光阻瓶更换装置，用于解决现有技术中更换光阻瓶时泵管脱落引起光阻受到污染的问题。[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种光阻瓶更换装置，所述更换装置至少包括:[0007]主架和用于辅助更换光阻瓶的抽屉式侧架；[0008]所述主架包括主架底板、位于主架底板边缘上的主架侧壁和一个活动挡板；所述主架底板设置有空心层，所述空心层侧面具有一个入口 ；[0009]所述抽屉式侧 架 包括侧架底板和位于侧架底板边缘上的侧架侧壁，所述侧架底板从空心层的入口推入；藉由所述抽屉式侧架将光阻瓶推到主架上。[0010]优选地，主架底板上设置有支撑所述活动挡板的支柱。[0011]优选地，所述主架底板为长方形，其三个边缘上设置为主架侧壁，另一个边缘上设置为活动挡板，其中，与所述活动挡板相邻的两个主架侧壁为主架横梁，该主架横梁固定于所述支柱和与活动挡板相对的另一主架侧壁之间。[0012]优选地，所述侧架底板为长方形，其三个边缘设置为侧架侧壁，其中两个相对的侧架侧壁为侧架横梁。[0013]优选地，所述主架底板由上底板、空心层和下底板组成，所述上底板呈U字型。[0014]优选地，所述侧架底板的表面设有凸起，所述凸起的高度与主架底板的上底板厚度相问。[0015]优选地，侧架推入主架后，所述侧架底板的凸起匹配卡于主架底板的U字型上底板间。[0016]优选地，所述空心层设有一个与所述入口相对应的出口。[0017]优选地，侧架推入主架后，侧架的侧架底板有一部分从主架的空心层出口露出。[0018]优选地，所述侧架底板的下表面还设有滚轮。[0019]如上所述，本实用新型的光阻瓶更换装置，具有以下有益效果:通过在主架的一侧设置一抽屉式侧架，操作员不需要将新的光阻瓶提起而只需将新的光阻瓶推到主架上，便可完成光阻瓶的更换，本实用新型提供的光阻瓶更换装置，操作方便，降低了操作员的操作风险，避免了光阻受到污染。
[0020]图1显示为现有技术中的光阻瓶更换装置流程示意图。[0021]图2显示为本实用新型的光阻瓶更换装置流程示意图。[0022]图3显示为本实用新型的光阻瓶更换装置中侧架底板下表面装有滚轮的示意图。[0023]图4显示为本实用新型的光阻瓶更换装置中活动挡板关闭和打开的示意图。[0024]图5a显示为本实用新型的光阻瓶更换装置中主架和侧架运动过程的局部示意图。[0025]图5b显示为本实用新型的光阻瓶更换装置中主架和侧架运动过程俯视图。[0026]图5c显示为本实用新型的光阻瓶更换装置中主架和侧架运动过程侧视图。[0027]元件标号说 明[0028]
权利要求1.一种光阻瓶更换装置，其特征在于，所述更换装置至少包括: 主架和用于辅助更换光阻瓶的抽屉式侧架； 所述主架包括主架底板、位于主架底板边缘上的主架侧壁和一个活动挡板；所述主架底板设置有空心层，所述空心层侧面具有一个入口 ； 所述抽屉式侧架包括侧架底板和位于侧架底板边缘上的侧架侧壁，所述侧架底板从空心层的入口推入；藉由所述抽屉式侧架将光阻瓶推到主架上。
2.根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于:主架底板上设置有支撑所述活动挡板的支柱。
3.根据权利要求2所述的光阻瓶更换装置，其特征在于:所述主架底板为长方形，其三个边缘上设置为主架侧壁，另一个边缘上设置为活动挡板，其中，与所述活动挡板相邻的两个主架侧壁为主架横梁，该主架横梁固定于所述支柱和与活动挡板相对的另一主架侧壁之间。
4.根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于:所述侧架底板为长方形，其三个边缘设置为侧架侧壁，其中两个相对的侧架侧壁为侧架横梁。
5.根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于:所述主架底板由上底板、空心层和下底板组成，所述上底板呈U字型。
6.根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于:所述侧架底板的表面设有凸起，所述凸起的高度与主架底板的上底板厚度相同。
7.根据权利要求5或6所述的光阻瓶更换装置，其特征在于:侧架推入主架后，所述侧架底板的凸起匹配卡于主 架底板的U字型上底板间。
8.根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于:所述空心层设有一个与所述入口相对应的出口。
9.根据权利要求8所述的光阻瓶更换装置，其特征在于:侧架推入主架后，侧架底板有一部分从主架的空心层出口露出。
10.根据权利要求1所述的光阻瓶更换装置，其特征在于:所述侧架底板的下表面还设有滚轮。
专利摘要本实用新型提供一种光阻瓶更换装置，该更换装置至少包括主架和用于辅助更换光阻瓶的抽屉式侧架；所述主架包括主架底板、位于主架底板边缘上的主架侧壁和一个活动挡板；所述主架底板设置有空心层，所述空心层侧面具有一个入口；所述抽屉式侧架包括侧架底板和位于侧架底板边缘上的侧架侧壁，所述侧架底板从空心层的入口推入；藉由所述抽屉式侧架将光阻瓶推到主架上。本实用新型提供的光阻瓶更换装置，通过在主架上设计一抽屉式的侧架，可方便地进行光阻瓶的更换，避免操作员搬运光阻瓶时失误导致泵管脱落而使光阻受到污染。
文档编号G03F7/00GK203101811SQ20132010979
公开日2013年7月31日 申请日期2013年3月11日 优先权日2013年3月11日
发明者岳力挽, 邢滨 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司