一种光刻胶涂布及回收装置的制作方法

文档序号:13216488阅读:来源:国知局
技术特征:
1.一种光刻胶涂布及回收装置,包括光刻胶容器(1)、光刻胶传输管(2)、光刻胶抽取装置(4)、涂布刮刀(5)、涂布刮刀传输管(6)和动力装置(7),其特征在于:还包括旋转阀门(3);所述旋转阀门(3)通过光刻胶传输管(2)与光刻胶容器(1)相连,光刻胶传输管(2)上装有流量计(2.2),光刻胶容器(1)内设置有温度监控器(1.1);所述旋转阀门(3)通过涂布刮刀传输管(6)与涂布刮刀(5)相连,涂布刮刀传输管(6)与涂布刮刀(5)之间安装有机械关节(5.1);所述旋转阀门(3)通过螺纹与光刻胶抽取装置(4)相连;所述动力装置(7)同时与旋转阀门(3)和光刻胶抽取装置(4)相连。2.根据权利要求1所述的一种光刻胶涂布及回收装置,其特征在于:所述旋转阀门(3)包括,旋转阀芯(3.1)和旋转阀门内壳(3.3);旋转阀芯(3.1)的一端设置于旋转阀门内壳(3.3)上,另一端与动力装置(7)相连,旋转阀芯(3.1)相对于旋转阀门内壳(3.3)旋转;所述旋转阀芯(3.1)设置有第一通孔(3.1.1)、第二通孔(3.1.2)、旋转阀芯电机连接轴(3.1.3)、通孔防渗漏垫圈(3.1.4)、活动卡盘(3.1.5)和卡盘防渗漏垫圈(3.1.6);所述第一通孔(3.1.1)和第二通孔(3.1.2)设置于旋转阀芯(3.1)的一端,所述旋转阀芯电机连接轴(3.1.3)设置于旋转阀芯(3.1)的另一端,所述活动卡盘(3.1.5)设置于旋转阀芯(3.1)的轴向中间位置;所述第一通孔(3.1.1)和第二通孔(3.1.2)设置于旋转阀芯(3.1)的同一径向平面且二者的圆心与该径向圆圆心的连线成90度夹角,同时,二者在旋转阀芯(3.1)内部是连通的;所述第一通孔(3.1.1)和第二通孔(3.1.2)开口外围处设置有通孔防渗漏垫圈(3.1.4);所述活动卡盘(3.1.5)靠通孔的一侧设置有卡盘防渗漏垫圈(3.1.6);所述旋转阀门内壳(3.3)设置有旋转阀门内壳光胶容器接口(3.3.1)、旋转阀门内壳涂布刮刀接口(3.3.2)、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口(3.3.3)、旋转阀芯固定孔(3.3.4)、销钉孔(3.3.5)和活动卡槽(3.3.6);所述旋转阀芯固定孔(3.3.4)设置于旋转阀门内壳(3.3)一底面的中心位置且孔的一端是密封的,所述活动卡槽(3.3.6)设置于旋转阀芯固定孔(3.3.4)的未密封端;所述旋转阀门内壳光胶容器接口(3.3.1)、旋转阀门内壳涂布刮刀接口(3.3.2)和旋转阀门内壳光胶抽取装置接口(3.3.3)分别设置于旋转阀门内壳(3.3)的三个侧面上且各接口均与旋转阀芯固定孔(3.3.4)连通,各接口均设置有内螺纹;所述销钉孔(3.3.5)设置于旋转阀门内壳(3.3)底面的四个角上,用于固定旋转阀门(3)。所述旋转阀芯(3.1)带通孔的一端与旋转阀芯固定孔(3.3.4)相匹配,所述活动卡盘(3.1.5)与活动卡槽(3.3.6)相匹配,旋转阀芯(3.1)和旋转阀门内壳(3.3)通过活动卡盘(3.1.5)与活动卡槽(3.3.6)固定连接,且二者可相对旋转;在旋转阀芯(3.1)旋转一定角度后,所述第一通孔(3.1.1)孔、第二通孔(3.1.2)孔分别与所述旋转阀门内壳光胶容器接口(3.3.1)的内开口、旋转阀门内壳涂布刮刀接口(3.3.2)的内开口、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口(3.3.3)的内开口中的二者相对应;所述旋转阀芯电机连接轴(3.1.3)与动力装置(7)相连。3.根据权利要求2所述的一种光刻胶涂布及回收装置,其特征在于:所述光刻胶传输管(2)、光刻胶抽取装置(4)和涂布刮刀传输管(6)的一端设置有分别与所述旋转阀门内壳光胶容器接口(3.3.1)、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口(3.3.3)和旋转阀门内壳涂布刮刀接口(3.3.2)内螺纹相匹配的外螺纹,光刻胶传输管(2)、光刻胶抽取装置(4)和涂布刮刀传输管(6)分别与旋转阀门内壳光胶容器接口(3.3.1)、旋转阀门内壳光胶抽取装置接口(3.3.3)和旋转阀门内壳涂布刮刀接口(3.3.2)相连。4.根据权利要求2或3所述的一种光刻胶涂布及回收装置,其特征在于:所述光刻胶抽取装置(4)设置有光刻胶抽取筒(4.1)和光刻胶抽取活塞(4.2);光刻胶抽取活塞(4.2)设置于光刻胶抽取筒(4.1)内。5.根据权利要求4所述的一种光刻胶涂布及回收装置,其特征在于:所述动力装置(7)包括主控电路(7.1)、旋转阀芯电机(7.2)和直线电机(7.3);主控电路(7.1)分别与旋转阀芯电机(7.2)和直线电机(7.3)相连,旋转阀芯电机(7.2)与所述旋转阀芯电机连接轴(3.1.3)相连,直线电机(7.3)与所述光刻胶抽取活塞(4.2)相连。6.根据权利要求2所述的一种光刻胶涂布及回收装置,其特征在于:所述光刻胶传输管(2)上设置有过滤器(2.1)。
当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1