一种光刻胶涂布及回收装置的制作方法

文档序号:13216488阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种光刻胶涂布及回收装置,包括光刻胶容器1、光刻胶传输管2、光刻胶抽取装置4、涂布刮刀5、涂布刮刀传输管6和动力装置7,其特征在于:还包括旋转阀门3;所述旋转阀门3通过光刻胶传输管2与光刻胶容器1相连;所述旋转阀门3通过涂布刮刀传输管6与涂布刮刀5相连;所述旋转阀门3通过螺纹与光刻胶抽取装置4相连;所述动力装置7同时与旋转阀门3和光刻胶抽取装置4相连;所述旋转阀门3包括旋转阀芯3.1和旋转阀门内壳3.3,所述转阀芯3.1旋转一定角度后,设置于其上的通孔将光刻胶容器1和光刻胶抽取装置4连通,所述转阀芯3.1旋转另一角度后,设置于其上的通孔将光刻胶抽取装置4和涂布刮刀5连通。

技术研发人员:不公告发明人;
受保护的技术使用者:四川虹视显示技术有限公司;
文档号码:201410787516
技术研发日:2014.12.17
技术公布日:2016.07.20

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