技术总结
本发明公开了一种吸振装置及吸振方法，包括壳体、铁芯，所述壳体内设置有相互贯通的第一腔室和第二腔室，第一腔室内设置有磁流变弹性体，位于所述第二腔室的铁芯缠绕有励磁线圈。本发明通过励磁线圈的电流的大小控制所述磁流变弹性体的刚度变强或变弱，以保证吸振装置的振动频率与振动源的振动频率相一致，降低振动敏感位置的振动幅值。本发明还公开了一种光刻机系统，依次包括地基、基础框架、一级减振器、主基板、法兰，二级减振器、光刻投影物镜以及设置于光刻投影物镜的模态节点位置的吸振装置，该光刻机系统能够对光刻投影物镜产生的振动进行吸振，特别是对绕水平方向的吸振效果较佳。
技术研发人员：季采云;孙见奇
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201510270064
技术研发日：2015.05.24
技术公布日：2017.01.04