技术总结
一体式旋转结构动平衡的修正装置和修正方法，其中所述修正方法包括：提供一体式旋转结构，所述一体式旋转结构包括聚光镜，所述聚光镜包括内凹的第一表面以及相对的第二表面；一体式旋转结构旋转；进行动平衡偏移值测量步骤，测量获得一体式旋转结构旋转至少一周时第二表面的不同位置的对应的动平衡偏移值；进行待轰击位置获得步骤，获得最大动平衡偏移值对应的第二表面上的待轰击位置；进行轰击步骤，采用激光束轰击待轰击位置对应的聚光镜的第二表面，去除部分聚光镜材料。本发明的方法修正一体式旋转结构的动平衡，提高了EUV光源的稳定性。
技术研发人员：岳力挽;伍强
受保护的技术使用者：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
文档号码：201510570722
技术研发日：2015.09.09
技术公布日：2017.03.22