分隔物形成用感光性树脂组合物、分隔物和图像显示装置的制作方法

文档序号:13682240阅读:173来源:国知局
技术领域本发明涉及分隔物形成用感光性树脂组合物、由该感光性树脂组合物制造的分隔物和包括该分隔物的图像显示装置。

背景技术:
为了维持上下基板的一定间隔,普通显示装置使用了具有一定直径的二氧化硅珠或塑料珠等。然而,在该珠不规则地分散在基板上而位于像素内部时,开口率降低,存在发生漏光现象的问题。为了解决上述问题,开始使用通过光刻法在显示装置内部形成的分隔物,现在,几乎用于所有显示装置的分隔物都通过光刻法形成。通过光刻法形成分隔物的方法是在基板上涂布感光性树脂组合物,经由掩模照射紫外线后,按照显影过程利用掩模形成的图案在基板上的期望位置形成分隔物。最近,随着智能手机和平板电脑PC的大众化,触摸面板的需求增加,要求实现作为维持构成显示装置的彩色滤光器基板与阵列基板之间的间隔的分隔物的基本特性的弹性回复率以及不发生因外部压力造成像素变形的硬特性优异的高解析度。为此,正在积极进行分隔物形成用感光性树脂组合物的研究,但仍然在实现弹性回复率、硬特性、高解析度等方面不满足要求。作为一例,日本特开第2008-181087号记载了包含作为不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与脂肪族多环环氧化合物的共聚物的粘合剂树脂的感光性树脂组合物,但在实现高解析度和弹性回复率上仍然不满足要求。现有技术文献专利文献1:日本特开第2008-181087号

技术实现要素:
本发明的目的在于,提供分隔物形成用感光性树脂组合物、将所述分隔物形成用感光性树脂组合物涂布成规定图案并固化形成的分隔物以及包括该分隔物的图像显示装置,所述分隔物形成用感光性树脂组合物具有优异的弹性回复率并具有对外部压力变形小的硬特性,解析度高且图案形成上优异。为了实现上述目的,本发明提供一种分隔物形成用感光性树脂组合物,包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)及溶剂(D),所述碱溶性树脂(A)包含将选自由下述化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、具有不饱和键和羧基的化合物(a12)以及与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)共聚而得到的第一树脂。[化学式1][化学式2]在前述化学式1和2中,R1为氢原子、碳数1~12的烷基、烯丙基、苯基、苄基、卤原子或碳数1~8的烷氧基,在化学式2中,n为1~10的整数。本发明的一实施方式中,在化学式1和2中,R1可为氢原子或甲基。其他实施方式中,碱溶性树脂(A)可包含将选自由下述化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、具有不饱和键和羧基的化合物(a12)、与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)以及具有不饱和键和环氧基的化合物(a14)共聚而得到的第一树脂。在又一实施方式中,基于构成第一树脂的(a11)、(a12)和(a13)的总摩尔数,第一树脂可为将2~30摩尔%的选自由化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、2~70摩尔%的具有不饱和键和羧基的化合物(a12)以及2~95摩尔%的与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)共聚而得到的共聚物。在又一实施方式中,基于构成第一树脂的(a11)、(a12)、(a13)和(a14)的总摩尔数,第一树脂可为将2~30摩尔%的选自由化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、2~70摩尔%的具有不饱和键和羧基的化合物(a12)、2~95摩尔%的与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)以及基于前述(a12)的摩尔数为5~80摩尔%的具有不饱和键和环氧基的化合物(a14)共聚而得到的共聚物。在又一实施方式中,碱溶性树脂(A)可进一步包含将具有不饱和键和羧基的化合物(a21)和选自由下述化学式3和4组成的组中的一种以上的化合物(a22)共聚而得到的第二树脂。[化学式3][化学式4]在前述化学式3和4中,R2为氢原子、或者被羟基取代或未取代的碳数1~4的烷基,X为单键、或者包含或不含杂原子的碳数1~6的亚烷基。在又一实施方式中,化合物(a22)可为选自由化学式5~化学式34组成的组中的一种以上的化合物。[化学式5][化学式6][化学式7][化学式8][化学式9][化学式10][化学式11][化学式12][化学式13][化学式14][化学式15][化学式16][化学式17][化学式18][化学式19][化学式20][化学式21][化学式22][化学式23][化学式24][化学式25][化学式26][化学式27][化学式28][化学式29][化学式30][化学式31][化学式32][化学式33][化学式34]在又一实施方式中,基于构成第二树脂的(a21)和(a22)的总摩尔数,第二树脂可为将5~95摩尔%的具有不饱和键和羧基的化合物(a21)和25~95摩尔%的选自由化学式3和化学式4组成的组中的一种以上的化合物(a22)共聚而得到的共聚物。在又一实施方式中,基于碱溶性树脂的固含量,碱溶性树脂(A)可包含10~95重量%的第一树脂和5~90重量%的第二树脂。在又一实施方式中,基于感光性树脂组合物的固含量,碱溶性树脂(A)的含量可为5~90重量%。此外,本发明提供了一种由前述分隔物形成用感光性树脂组合物制造的分隔物。进而,本发明提供了一种包括前述分隔物的图像显示装置。发明效果本发明的分隔物形成用感光性树脂组合物的特征在于,具有优异的弹性回复率并具有对外部压力变形小的硬特性,解析度高且图案形成优异。因此,本发明的分隔物形成用感光性树脂组合物可有利地用于制造显示装置用分隔物和显示装置。附图说明图1用图示出了本发明一实验例中的底(bottom)CD和顶(top)CD。具体实施方式本发明涉及包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)及溶剂(D)的分隔物形成用感光性树脂组合物、由该组合物制造的分隔物和包括该分隔物的图像显示装置。本发明的特征在于,通过包含庞大的选自由上述化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物作为碱溶性树脂,提供一种因膜密度上升而具有优异的弹性回复率并具有对外部压力变形小的硬特性、解析度高且图案形成优异的分隔物形成用感光性树脂组合物。以下,详细说明本发明。本发明的的分隔物形成用感光性树脂组合物包含碱溶性树脂(A)、光聚合性化合物(B)、光聚合引发剂(C)及溶剂(D),前述感光性树脂组合物可进一步包含添加剂(E)。碱溶性树脂(A)碱溶性树脂(A)通常因光、热的作用而具有反应性,且具有碱溶解性。前述碱溶性树脂(A)可包含将选自由下述化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、具有不饱和键和羧基的化合物(a12)以及与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)共聚而得到的第一树脂。[化学式1][化学式2]在前述化学式1和2中,R1为氢原子、碳数1~12的烷基、烯丙基、苯基、苄基、卤原子或碳数1~8的烷氧基,在化学式2中,n为1~10的整数。优选地,R1可为氢原子或甲基。前述具有不饱和键和羧基的化合物(a12)只要是具有可聚合的不饱和双键的羧酸化合物,则可不限制地使用。前述具有不饱和键和羧基的化合物(a12)例如可举出不饱和单羧酸、如不饱和二羧酸或不饱和三羧酸一样的分子中具有两个以上羧基的多元羧酸等。前述不饱和单羧酸例如可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸等。前述不饱和多元羧酸例如可举出马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸等。前述多元羧酸可为酸酐,前述不饱和多元羧酸酐例如可举出马来酸酐、衣康酸酐、柠康酸酐等。此外,前述不饱和多元羧酸可为其单(2-甲基丙烯酰氧基烷基)酯,例如可举出琥珀酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙酯)、琥珀酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙酯)、邻苯二甲酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙酯)、邻苯二甲酸单(2-甲基丙烯酰氧基乙酯)等。前述不饱和多元羧酸可为其两末端的二羧基聚合物的单(甲基)丙烯酸酯,例如可举出ω-羧基聚己内酯单丙烯酸酯、ω-羧基聚己内酯单(甲基)丙烯酸酯等。进而,前述不饱和多元羧酸可为在同一分子中含有羟基和羧基的不饱和丙烯酸酯,例如可举出α-(羟甲基)丙烯酸酯等。它们之中,丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等由于共聚反应性高而优选使用。前述示例的(a12)可分别单独使用或组合两种以上使用。与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)只要是具有可聚合的不饱和双键的化合物则没有限制。具体地,前述(a13)可举出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸-2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸氨基乙酯等不饱和羧酸的取代或未取代的烷基酯类化合物、(甲基)丙烯酸环戊酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸甲基环己酯、(甲基)丙烯酸环庚酯、(甲基)丙烯酸环辛酯、(甲基)丙烯酸薄荷酯、(甲基)丙烯酸环戊烯酯、(甲基)丙烯酸环己烯酯、(甲基)丙烯酸环庚烯酯、(甲基)丙烯酸环辛烯酯、(甲基)丙烯酸薄荷二烯酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸蒎烷酯、(甲基)丙烯酸金刚烷酯、(甲基)丙烯酸降冰片酯、(甲基)丙烯酸芘基酯等含有脂环取代基的不饱和羧酸酯化合物、低聚乙二醇单(甲基)丙烯酸烷基酯等乙二醇类单饱和羧酸酯化合物、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸苯氧酯等包含具有芳香环的取代基的不饱和羧酸酯化合物、苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯等芳香族乙烯基化合物、乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯等羧酸乙烯酯、(甲基)丙烯腈、α-氯丙烯腈等氰化乙烯基化合物、N-环己基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺等马来酰亚胺化合物等。这些物质可以分别单独使用或组合两种以上使用,本说明书中所述的(甲基)丙烯酸酯是指丙烯酸酯和(或)甲基丙烯酸甲酯。基于构成第一树脂的(a11)、(a12)和(a13)的总摩尔数,第一树脂可将2~30摩尔%的选自由化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、2~70摩尔%的具有不饱和键和羧基的化合物(a12)以及2~95摩尔%的与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)共聚而得到,优选地,可将5~30摩尔%的选自由化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、5~65摩尔%的具有不饱和键和羧基的化合物(a12)以及5~80摩尔%的与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)共聚而得到。在上述范围的情况下,可制造显影性、耐溶剂性、耐热性和机械强度良好的感光性树脂组合物。此外,前述碱溶性树脂(A)可包含将将选自由化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、具有不饱和键和羧基的化合物(a12)、与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)进一步与具有不饱和键和环氧基的化合物(a14)共聚而得到的第一树脂,也可进一步包含并共聚其他单体化合物。前述(a14)对碱溶性树脂提供光固化性/热固化性。前述(a14)具体可举出(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸-3,4-环氧基环己酯、(甲基)丙烯酸-2,3-环氧基环戊酯、(甲基)丙烯酸-3,4-环氧基环己基甲酯、(甲基)丙烯酸甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸-6,7-环氧基庚酯、(甲基)丙烯酸甲基缩水甘油酯、3,4-环氧基三环[5.2.1.02,6]癸烷-9-基(甲基)丙烯酸酯等。这些物质可以单独使用或组合两种以上使用。基于构成第一树脂的(a11)、(a12)、(a13)和(a14)的总摩尔数,第一树脂可将2~30摩尔%的选自由化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、2~70摩尔%的具有不饱和键和羧基的化合物(a12)、2~95摩尔%的与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)以及基于前述(a12)的摩尔数为5~80摩尔%的具有不饱和键和环氧基的化合物(a14)共聚而得到,优选地,可将5~30摩尔%的选自由化学式1和化学式2组成的组中的一种以上的化合物(a11)、5~65摩尔%的具有不饱和键和羧基的化合物(a12)、5~80摩尔%的与前述(a11)和(a12)能共聚且具有不饱和键的化合物(a13)以及基于前述(a12)的摩尔数为10~80摩尔%的具有不饱和键和环氧基的化合物(a14)共聚而得到。在上述范围的情况下,可制造显影性、耐溶剂性、耐热性和机械强度良好的感光性树脂组合物。在本发明的碱溶性树脂(A)包含将(a11)~(a13)化合物共聚得到的共聚物进一步与(a14)反应得到的含有不饱和基团的第一树脂的情况下,其制造方法的一例如下。向具备搅拌机、温度计、回流冷凝器、滴液漏斗及氮气导入管的烧瓶导入相对于(a11)~(a13)总量以重量基准为0.5~20倍量的溶剂(D),将烧瓶内的气氛由空气置换成氮气。然后,将溶剂(D)升温至40~140℃之后,将规定量的(a11)~(a13)、相对于(a11)~(a13)的总量以质量基准为0~20倍量的溶剂(D)、及偶氮二异丁腈、过氧化苯甲酰等聚合引发剂,以及相对于(a11)~(a13)总摩尔数添加0.1~10摩尔%的溶液(室温或加热下搅拌溶解)历经0.1~8小时从滴液漏斗滴入前述烧瓶中,在40~140℃下再搅拌1~10小时。此外,在前述工序中使用溶剂时,作为溶剂通常可使用自由基聚合反应时使用的溶剂,具体例如可举出四氢呋喃、二氧六环、乙二醇二甲醚、二乙二醇二甲醚、丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁酮、环己酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙二醇单甲基乙基乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、甲醇、乙醇、丙醇、正丁醇、乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、甲苯、二甲苯、乙苯、氯仿、二甲亚砜等。这些溶剂可单独使用或组合两种以上使用。此外,在前述工序中使用的聚合引发剂可添加通常使用的聚合引发剂,没有特别限制。若举出具体实例,可举出二异丙基苯过氧化物、二叔丁基过氧化物、过氧化苯甲酰、叔丁基过氧化异丙基碳酸酯、叔戊基过氧化-2-乙基己酸酯、叔丁基过氧化-2-乙基己酸酯等有机过氧化物;2,2'-偶氮二异丁腈、2,2'-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮双(2-甲基丙酸酯)等含氮化合物等。它们可单独使用或组合两种以上使用。此外,为了控制分子量、分子量分布,可使用例如正十二烷基硫醇、硫代乙醇酸、巯基乙酸甲酯等含硫类链转移剂、α-甲基苯乙烯二聚物等用作链转移剂。α-甲基苯乙烯二聚物和巯基化合物的用量相对于(a11)~(a13)总量以重量基准为0.005~5质量%。另外,前述聚合条件考虑到制造设备和聚合导致的发热量等,可适当调整加入方法和反应温度。通过前述过程,能够制造聚合前述(a11)~(a13)而得到的共聚物。接着,将烧瓶内的气氛由氮气置换成空气,将相对于前述共聚物中的(a12)以摩尔分率计为5~80摩尔%的(a14)、相对于(a11)~(a14)的总量以重量基准计为0.01~5%的作为羧基和环氧基的反应催化剂的例如三(二甲氨基甲基)苯酚以及相对于(a11)~(a14)的总量以重量基准计为0.001~5%的作为阻聚剂的例如氢醌加入烧瓶中,通过在60~130℃下再搅拌1~10小时,能够使前述共聚物与(a14)反应。另外,前述工序与前述的共聚条件一样,考虑到制造设备和聚合导致的发热量等,可适当调整加入方法和反应温度。如前述一样,使前述(a11)~(a13)共聚得到的共聚物进一步与(a14)反应,能够制造含不饱和基的第一树脂。如前述得到的含不饱和基的第一树脂优选其聚苯乙烯换算的重均分子量在3000~100000的范围内,更优选在5000~50000的范围内。若含不饱和基的第一树脂的重均分子量在3000~100000的范围内,则会展现出像素不变形的硬特性。前述含不饱和基的第一树脂的分子量分布(重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn))优选为1.5~6.0,更优选1.8~4.0。若分子量分布(重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn))为1.5~6.0,则显影性优异而优选。前述第一树脂可单独用作碱溶性树脂(A),需要时可与其他树脂混合使用。优选地,可进一步包含将具有不饱和键和羧基的化合物(a21)和选自由下述化学式3和4组成的组中的一种以上的化合物(a22)共聚而得到的第二树脂。[化学式3][化学式4]在前述化学式3和4中,R2为氢原子、或者被羟基取代或未取代的碳数1~4的烷基,X为单键、或者包含或不含杂原子的碳数1~6的亚烷基。前述单键是指氧与环直接连接。前述具有不饱和键和羧基的化合物(a21)可选择使用前述的含不饱和基的第一树脂的(a12)中说明的化合物,因而省略其详细说明。在前述化学式3及4中,R2具体可以是氢原子;甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等的烷基;羟甲基、1-羟乙基、2-羟乙基、1-羟基正丙基、2-羟基正丙基、3-羟基正丙基、1-羟基异丙基、2-羟基异丙基、1-羟基正丁基、2-羟基正丁基、3-羟基正丁基、4-羟基正丁基等含羟基的烷基。其中,R优选为氢原子、甲基、羟甲基、1-羟乙基或2-羟乙基,特别进一步优选氢原子或甲基。在前述化学式3及4中,X具体可以是单键;亚甲基、亚乙基、亚丙基等亚烷基;氧代亚甲基、氧代亚乙基、氧代亚丙基、硫代亚甲基、硫代亚乙基、硫代亚丙基、氨基亚甲基、氨基亚乙基、氨基亚丙基等含杂原子的亚烷基。其中,X优选是单键、亚甲基、亚乙基、氧代亚甲基或氧代亚乙基,特别是进一步优选单键或氧代亚乙基。前述化学式3表示的化合物可具体示例下述化学式5~19的化合物。[化学式5][化学式6][化学式7][化学式8][化学式9][化学式10][化学式11][化学式12][化学式13][化学式14][化学式15][化学式16][化学式17][化学式18][化学式19]前述化学式4表示的化合物可具体示例下述化学式20~34的化合物。[化学式20][化学式21][化学式22][化学式23][化学式24][化学式25][化学式26][化学式27][化学式28][化学式29][化学式30][化学式31][化学式32][化学式33][化学式34]作为前述化学式3表示的化合物和化学式4表示的化合物示例的化合物可分别单独使用或组合两种以上使用。此外,前述第二树脂除前述(a21)和(a22)以外,还可与具有与(a21)和(a22)可聚合的不饱和键的化合物共聚,例如,第二树脂可将(a21)和(a22)同时与以下物质共聚,该物质为丙烯酸-2-氨基乙酯、甲基丙烯酸-2-氨基乙酯、丙烯酸-2-二甲基氨基乙酯、甲基丙烯酸-2-二甲基氨基乙酯、丙烯酸-2-氨基丙酯、甲基丙烯酸-2-氨基丙酯、丙烯酸-2-二甲基氨基丙酯、甲基丙烯酸-2-二甲基氨基丙酯、丙烯酸-3-氨丙酯、甲基丙烯酸-3-氨基丙酯、丙烯酸-3-二甲基氨基丙酯、甲基丙烯酸-3-二甲基氨基丙酯等不饱和羧酸氨基烷基酯类;丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯等不饱和羧酸缩水甘油酯类;乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯、苯甲酸乙烯酯等羧酸乙烯酯类;乙烯基甲基醚、乙烯基乙基醚、烯丙基缩水甘油基醚等不饱和醚类;丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯丙烯腈、偏二氰乙烯等氰化乙烯基化合物类;丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、α-氯代丙烯酰胺、N-2-羟基乙基丙烯酰胺、N-2-羟乙基甲基丙烯酰胺等不饱和酰胺类;马来酰亚胺、苄基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺等不饱和酰亚胺类;1,3-丁二烯、异戊二烯、氯丁二烯等脂族共轭二烯类;以及在聚苯乙烯、聚丙烯酸甲酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯酸正丁酯、聚甲基丙烯酸正丁酯、聚硅氧烷的聚合物分子链的末端具有单丙烯酰基或单甲基丙烯酰氧基的巨大单体类。基于构成第二树脂的(a21)和(a22)的总摩尔数,第二树脂可将5~95摩尔%的具有不饱和键和羧基的化合物(a21)和25~95摩尔%的选自由化学式3和化学式4组成的组中的一种以上的化合物(a22)共聚而得到,优选地,可将10~70摩尔%的具有不饱和键和羧基的化合物(a21)和30~90摩尔%的选自由化学式3和化学式4组成的组中的一种以上的化合物(a22)共聚而得到。在上述范围的情况下,可制造显影性、耐溶剂性、耐热性和机械强度良好的感光性树脂组合物。前述含不饱和基的第二树脂与前述的第一树脂的共聚物的制造方法类似,因而对其参照能够容易地进行制造。前述第二树脂的酸值优选在20~200(KOHmg/g)的范围内。若酸值在前述范围内,可制造弹性回复率优异的分隔物。前述第二树脂的聚苯乙烯换算的重均分子量在3000~100000的范围内,优选在5000~50000的范围内。若第二树脂的重均分子量在3000~100000的范围内,则显影时防止膜减少且图案部分的缺损性良好而优选。前述第二树脂的分子量分布(重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn))优选为1.5~6.0,更优选1.8~4.0。若前述分子量分布(重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn))在上述范围内,则显影性优异而优选。作为前述碱溶性树脂(A)混合使用前述的第一树脂和第二树脂时,基于固含量,前述碱溶性树脂(A)能够以重量分率计优选由10~95重量%的第一树脂和5~90重量%的第二树脂组成。在前述第一树脂和第二树脂的含量在上述范围内时,能够制造具有优异的弹性回复率并具有对外部压力变形小的硬特性的分隔物。前述碱溶性树脂(A)的含量相对于感光性树脂组合物中的全部固含量通常为5~90重量%,优选为10~70重量%。如果碱溶性树脂(A)的含量以所述基准计算为5~90质量%,则对显影液的溶解性充分,显影性变得优异,能够制造具有优异的弹性回复率并具有对外部压力变形小的硬特性的分隔物。光聚合性化合物(B)本发明的分隔物形成用感光性树脂组合物中含有的光聚合性化合物(B)是在光及后述的光聚合引发剂(C)的作用下可聚合的化合物,可举出单官能单体、双官能单体、其他多官能单体等。为了改进分隔物形成用感光性树脂组合物的显影性、灵敏度、粘附性、表面的问题等,本发明中使用的光聚合性化合物(B)可混合使用官能团结构或官能团数量不同的两种或两种以上的光聚合性化合物,不限制其范围。单官能单体的具体例可举出壬基苯基卡必醇丙烯酸酯、2-羟基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、2-乙基己基卡必醇酯丙烯酸酯、丙烯酸-2-羟基乙酯、N-乙烯基吡咯烷酮等。双官能单体的具体例可举出1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、双酚A(丙烯酰氧基乙基)醚、3-甲基-戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。其他多官能单体的具体例可举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化的三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化的三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯或二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯等。在这些物质当中,优选使用双官能以上的多官能单体。以分隔物形成用感光性树脂组合物中的固含量为基准相对于碱溶性树脂(A)和光聚合性化合物(B)的总计100重量份,前述光聚合性化合物(B)可在1~90质量%,优选10~80质量%的范围内使用。如果光聚合性化合物(B)在前述基准的范围内,则分隔物图案的强度和平滑性良好而优选。光聚合引发剂(C)前述光聚合引发剂(C)可无限制地适用该领域中通常使用的光聚合引发剂。例如,光聚合引发剂(C)可使用由三嗪类化合物、苯乙酮类化合物、联咪唑类化合物及肟化合物组成的组中选择的一种以上的化合物。包含前述光聚合引发剂(C)的感光性树脂组合物具有高灵敏度,使用所述组合物形成的分隔物图案的强度和表面平滑性良好。前述三嗪类化合物可举出例如2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-双(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪等。前述苯乙酮类化合物可举出例如二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苯偶酰二甲基缩酮、2-羟基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-甲基丙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-甲基-1-(4-甲基硫苯基)-2-吗啉基丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-羟基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮、2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基氨基)-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮等。另外,前述苯乙酮类化合物可举出例如下述化学式35表示的化合物。[化学式35]在前述化学式35中,R3~R6分别独立地表示氢原子、卤原子、羟基、可被碳数1~12的烷基取代的苯基、可被碳数1~12的烷基取代的苄基,或可被碳数1~12的烷基取代的萘基。前述化学式35表示的化合物的具体例可举出2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-丙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-丁基-2-氨基(4-吗啉代苯基)乙烷-1-酮、2-甲基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-氨基-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-乙基-2-氨基(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-甲基-2-甲基氨基-(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-二甲基氨基-(4-吗啉代苯基)丙烷-1-酮、2-甲基-2-二乙基氨基(4-吗啉苯基)丙烷-1-酮等。前述联咪唑类化合物可举出例如2,2'-双(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基联咪唑、2,2'-双(2,3-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基联咪唑、2,2'-双(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(烷氧基苯基)联咪唑、2,2'-双(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四(三烷氧基苯基)联咪唑、4,4',5,5'位置的苯基由烷氧羰基置换后的咪唑化合物等。这些之中,优选使用2,2'-双(2-氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基联咪唑、2,2'-双(2,3-二氯苯基)-4,4',5,5'-四苯基联咪唑。前述肟化合物可举出邻乙氧基羰基-α-氧亚氨基-1-苯基丙烷-1-酮、下述化学式36、37、38等。[化学式36][化学式37][化学式38]另外,如果不损害本发明的效果,则还可以并用本领域中通常使用的其他光聚合引发剂等。其他光聚合引发剂可举出例如苯偶姻类化合物、二苯甲酮类化合物、噻吨酮类化合物、蒽类化合物等。这些物质可以分别单独使用或组合两种以上使用。前述苯偶姻类化合物可举出例如苯偶姻、苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚等。前述二苯甲酮类化合物可举出例如二苯甲酮、邻苯甲酰基苯甲酸酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4'-甲基二苯硫醚、3,3',4,4'-四(叔丁基过氧羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等。前述噻吨酮类化合物可举出例如2-异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮等。前述蒽类化合物可举出例如9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽等。此外,可以例举2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦、10-丁基-2-氯吖啶酮、2-乙基蒽醌、苄基、9,10-菲醌、樟脑醌、苯乙酸甲酯、二茂钛化合物等作为其他光聚合引发剂。进而,光聚合引发剂(C)可使用具有引起链转移的基团的光聚合引发剂。这种光聚合引发剂可举出例如日本特表第2002-544205号公报中记载的光聚合引发剂。前述具有引起链转移的基团的光聚合引发剂可举出例如下述化学式39~44表示的化合物。[化学式39][化学式40][化学式41][化学式42][化学式43][化学式44]前述光聚合引发剂(C)中可组合使用光聚合引发辅助剂(C-1)。前述光聚合引发剂(C)中合用光聚合引发辅助剂(C-1)时,包含它们的感光性树脂组合物具有更高的灵敏度,能提高分隔物形成时的生产率而优选。前述光聚合引发辅助剂(C-1)可优选使用胺化合物、羧酸化合物。前述光聚合引发辅助剂(C-1)中,胺化合物的具体例可举出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺等脂肪族胺化合物、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、N,N-二甲基对甲苯胺、4,4′-双(二甲氨基)二苯甲酮(俗称:米蚩酮)、4,4′-双(二乙氨基)二苯甲酮等芳香族胺化合物。它们之中,前述胺化合物可优选使用芳香族胺化合物。前述光聚合引发辅助剂(C-1)中,羧酸化合物的具体例可举出苯硫基乙酸、甲基苯硫基乙酸、乙基苯硫基乙酸、甲基乙基苯硫基乙酸、二甲基苯硫基乙酸、甲氧基苯硫基乙酸、二甲氧基苯硫基乙酸、氯苯硫基乙酸、二氯苯硫基乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧乙酸、萘硫基乙酸、N-萘基甘氨酸、萘氧乙酸等芳香族杂乙酸类。光聚合引发剂(C)的含量相对于碱溶性树脂(A)和光聚合性化合物(B)的总计100质量份,为0.1~40质量份,优选为1~30质量份,光聚合引发辅助剂(C-1)的用量在前述基准下为0.1~50质量份,优选为1~40质量份。如果前述光聚合引发剂(C)的用量处于前述范围内,则感光性树脂组合物被高灵敏度化,使用该组合物形成的分隔物的强度、平滑性变得良好,因此优选。另外,如果光聚合引发辅助剂(C-1)的用量处于所述范围,则感光性树脂组合物的灵敏度变得更高,使用该组合物形成的分隔物图案的生产率提高,因此优选。溶剂(D)前述溶剂(D)只要是在该领域中通常使用的溶剂,则不限制地使用。前述溶剂(D)的具体例可举出乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚和乙二醇单丁醚等乙二醇单烷基醚类;二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二丙醚、二乙二醇二丁醚等二乙二醇二烷基醚类;甲基溶纤剂乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、乙二醇单乙醚乙酸酯等乙二醇烷基醚乙酸酯类;丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、丙二醇单丙醚乙酸酯、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基苯基乙酸酯等亚烷基二醇烷基醚乙酸酯类;丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丙醚、丙二醇单丁醚等丙二醇单烷基醚类;丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、丙二醇乙基甲基醚、丙二醇二丙醚、丙二醇丙基甲基醚、丙二醇乙基丙基醚等丙二醇二烷基醚类;丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯等丙二醇烷基醚丙酸酯类;甲氧基丁醇、乙氧基丁醇、丙氧基丁醇、丁氧基丁醇等丁二醇单烷基醚类;甲氧基丁基乙酸酯、乙氧基丁基乙酸酯、丙氧基丁基乙酸酯、丁氧基丁基乙酸酯等丁二醇单烷基醚乙酸酯类;甲氧基丁基丙酸酯、乙氧基丁基丙酸酯、丙氧基丁基丙酸酯、丁氧基丁基丙酸酯等丁二醇单烷基醚丙酸酯类;二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇甲基乙基醚等二丙二醇二烷基醚类;苯、甲苯、二甲苯、均三甲苯等芳香烃类;甲基乙基酮、丙酮、甲基戊基酮、甲基异丁基酮、环己酮等酮类;乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、丙三醇等醇类;乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟基乙酸甲酯、羟基乙酸乙酯、羟基乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸丙酯、3-羟基丙酸丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯等酯类;四氢呋喃、吡喃等环状醚类;γ-丁内酯等环酯类等。前述溶剂(D)在涂布性、干燥性方面考虑时,可优选使用亚烷基醇烷基醚乙酸酯类、酮类、丁二醇烷基醚乙酸酯类、丁二醇单烷基醚类、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲基等酯类,可进一步优选使用丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、环己酮、甲氧基丁基乙酸酯、甲氧基丁醇、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲基等。前述溶剂(D)的含量相对于包含该溶剂的感光性树脂组合物以重量%计算为60~90质量%,优选为70~85质量%。如果溶剂(D)的含量在前述范围内,则用旋涂机、狭缝旋涂机、狭缝式涂布机(也称为槽膜涂布机、淋幕式涂布机)、喷墨式等的涂布装置进行涂布时,涂布性变得良好,因此优选。添加剂(E)必要时,上述本发明的感光性树脂组合物可进一步包含填充剂、其他高分子化合物、固化剂、流平剂、粘附促进剂、抗氧化剂、紫外线吸收剂、抗絮凝剂、链转移剂等添加剂(E)。前述填充剂的具体例可举出玻璃、二氧化硅、氧化铝等。前述其他高分子化合物的具体例可举出环氧树脂、马来酰亚胺树脂等固化性树脂、聚乙烯醇、聚丙烯酸、聚乙二醇单烷基醚、聚氟烷基丙烯酸酯、聚酯、聚氨酯等热塑性树脂等。前述固化剂为了提高深部固化及机械强度而使用,固化剂的具体例可举出环氧化合物、多官能异氰酸酯化合物、三聚氰胺化合物、氧杂环丁烷化合物等。在前述固化剂中,环氧化合物的具体例可举出例如双酚A型环氧树脂、氢化双酚A型环氧树脂、双酚F型环氧树脂、氢化双酚F型环氧树脂、酚醛清漆型环氧树脂、其他芳香族类环氧树脂、脂环族类环氧树脂、缩水甘油酯类树脂、缩水甘油胺类树脂或这种环氧树脂溴化衍生物、环氧树脂及其溴化衍生物以外的脂肪族脂环族或芳香族环氧化合物、丁二烯(共)聚合物的环氧化物、异戊二烯(共)聚合物的环氧化物、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯(共)聚合物、异氰脲酸三缩水甘油酯等。在前述固化剂中,氧杂环丁烷化合物的具体例可举出例如碳酸酯双氧杂环丁烷、二甲苯双氧杂环丁烷、己二酸双氧杂环丁烷、对苯二甲酸双氧杂环丁烷、环己烷二羧酸二-氧杂环丁烷等。前述固化剂可与固化剂一起包含使环氧化合物的环氧基、氧杂环丁烷化合物的氧杂环丁烷骨架开环聚合的固化辅助化合物。固化辅助化合物可举出例如多元羧酸类、多元羧酸酐类、酸产生剂等。羧酸酐类可以使用作为环氧树脂固化剂的市售品。前述环氧树脂固化剂可举出例如商品名(艾迪科固化剂EH-700)(旭电业公司制造),商品名(RIKACIDHH)(新日本化工公司制造)、商品名(MH-700)(新日本化工公司制造)等。前述固化剂可以单独使用或混合两种以上使用。前述流平剂可使用市售的表面活性剂,可举出例如有机硅类、氟类、酯类、阳离子类、阴离子类、非离子类、两性等的表面活性剂等。这些物质可以分别单独使用或组合两种以上使用。前述表面活性剂可举出例如聚氧乙烯烷基醚类、聚氧乙烯烷基苯醚类、聚乙二醇二酯类、山梨糖醇酐脂肪酸酯类、脂肪酸改性的聚酯类、例如叔胺改性的聚氨酯类、聚乙烯亚胺类等,除此之外,可举出商品名:KP(信越化学工业公司制造)、POLYFLOW(共荣社化学公司制造)、EFTOP(TochemProducts公司制造)、MEGAFAC(大日本油墨化学工业公司制造)、FLOURAD(住友3M公司制造)、ASAHIGUARD、SURFLON(以上,旭硝子公司制造)、SOLSPERSE(捷利康公司制造)、EFKA(EFKA化学公司制造)、PB821(味之素公司制造)等。前述粘合促进剂优选硅烷类化合物,具体可举出乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、N-(2-氨基乙基)-3-氨丙基三甲氧基硅烷、3-氨基丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧丙基甲基二甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧基环己基)乙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、3-巯基丙基三甲氧基硅烷等。前述抗氧化剂具体可举出2-叔丁基-6-(3-叔丁基-2-羟基-5-甲基苄基)-4-甲基苯基丙烯酸酯、2-[1-(2-羟基-3,5-二叔戊基苯基)乙基]-4,6-二叔戊基苯基丙烯酸酯、6-[3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙氧基]-2,4,8,10-四叔丁基二苯并[d,f][1,3,2]二噁磷杂庚英、3,9-双[2-{3-(3-叔丁基-4-羟基-5-甲基苯基)丙酰氧基
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