1. 喷砂用感光性树脂组合物,其特征在于,含有(A) 碱可溶性树脂、(B) 光聚合引发剂、(C) 氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物和(D) 环氧(甲基)丙烯酸酯。
2. 权利要求1的喷砂用感光性树脂组合物,其含有(D-1) 单官能环氧(甲基)丙烯酸酯和/或(D-2) 酸改性环氧(甲基)丙烯酸酯作为(D) 环氧(甲基)丙烯酸酯。
3. 权利要求1的喷砂用感光性树脂组合物,其含有(D-1) 单官能环氧(甲基)丙烯酸酯和(D-2) 酸改性环氧(甲基)丙烯酸酯作为(D) 环氧(甲基)丙烯酸酯。
4. 权利要求1~3中任一项的喷砂用感光性树脂组合物,其中,(C) 氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物为使(c1) 具有多元羟基的化合物与(c2) 多元异氰酸酯化合物反应而得的具有末端异氰酸酯基的化合物与(c3) 具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物反应而得的产物,其中化合物(c1)为1,4-丁二醇或聚四亚甲基醚二醇。
5. 权利要求1~4中任一项的喷砂用感光性树脂组合物,其中,(C) 氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物为使(c1) 具有多元羟基的化合物与(c2) 多元异氰酸酯化合物反应而得的具有末端异氰酸酯基的化合物与(c3) 具有羟基的(甲基)丙烯酸酯化合物反应而得的产物,其中化合物(c3)为丙烯酸4-羟基丁酯。
6. 权利要求1~5中任一项的喷砂用感光性树脂组合物,其中,(D-1) 单官能环氧(甲基)丙烯酸酯为丙烯酸2-羟基-3-苯基氧基丙酯。
7. 权利要求1~6中任一项的喷砂用感光性树脂组合物,其中,(D-2) 酸改性环氧(甲基)丙烯酸酯为至少使(d1)环氧树脂、(d2) (甲基)丙烯酸与(d3) 选自含羧酸的化合物和含羧酸的化合物的酐的至少1种化合物反应而成的化合物。
8. 喷砂处理方法,其包括:在被处理物上贴附由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层并曝光后,用碱显像液冲洗非曝光部,在被处理物上形成抗蚀图像,接着实施喷砂处理,对被处理物进行加工;或者,在将由感光性树脂组合物构成的感光性树脂层曝光后,用碱显像液冲洗非曝光部,形成抗蚀图像,将该抗蚀图像贴附在被处理物上,在被处理物上形成抗蚀图像,接着实施喷砂处理,对被处理物进行加工;
其特征在于,使用的感光性树脂组合物为权利要求1~7中任一项的喷砂用感光性树脂组合物。