照明系统、照明方法及其应用与流程

文档序号:11826109阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种照明系统,其特征在于,包括沿激光光束的传播方向依次设置的普克尔斯盒、共振扫描器及透镜,所述激光光束依次通过所述普克尔斯盒、共振扫描器后在所述透镜的焦平面上形成共振扫描;

所述普克尔斯盒可调节通过的激光光强,使得所述焦平面上的视场中各点处的光强和照明时间的乘积是一个常数。

2.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,还包括电性连接于所述普克尔斯盒的电压单元,通过控制所述电压单元的电压,以实现所述焦平面上的光强调节。

3.根据权利要求2所述的照明系统,其特征在于,还包括电性连接于所述电压单元的上位机,所述上位机用于控制所述电压单元的电压。

4.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,所述焦平面上的视场最边缘处的照明光强值最小。

5.根据权利要求1所述的照明系统,其特征在于,所述常数为I(x)*t(x)=constant,其中,x为某视场区域的位置坐标,t为在该位置区域的激光停留时间I为在该位置区域的激光照明强度,Constant为某个常数值。

6.一种照明方法,其特征在于,包括下述步骤:

沿激光光束的传播方向依次设置普克尔斯盒、共振扫描器及透镜;

将所述激光光束依次通过所述普克尔斯盒、共振扫描器后在所述透镜的焦平面上形成共振扫描;

控制所述普克尔斯盒的电压以调节通过的激光光强,使得所述焦平面上的视场中各点处的光强和照明时间的乘积是一个常数。

7.根据权利要求6所述的照明方法,其特征在于,所述普克尔斯盒电性连接有电压单元,通过控制所述电压单元的电压,以实现所述焦平面上的光强调节。

8.根据权利要求7所述的照明方法,其特征在于,所述电压单元电性连接于上位机,所述上位机用于控制所述电压单元的电压。

9.根据权利要求6所述的照明方法,其特征在于,所述焦平面上的视场最边缘处的照明光强值最小。

10.一种根据权利要求1至5任一项所述的照明系统在显微成像、激光显示、激光打印或激光加工中的应用。

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