激光剥离设备及其控制方法与流程

文档序号:11947771阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种激光剥离设备,其特征在于,包括:

激光发生器、偏振片、液晶光阀和检振片;

所述激光发生器的激光出口设置有所述偏振片;

所述液晶光阀和所述检振片沿远离所述激光出口的方向依次设置在所述激光出口与承载台之间,所述承载台上承载有待剥离物。

2.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,

所述激光剥离设备包括多个矩阵状排布的所述液晶光阀,每个液晶光阀包括:

相对设置的两个透明衬底基板,每个所述透明衬底基板的内侧形成有透明电极,所述两个透明衬底基板之间填充有液晶;

每个所述液晶光阀连接有一个电压控制开关。

3.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,

所述激光剥离设备包括一个所述液晶光阀,所述液晶光阀包括:相对设置的两个透明衬底基板,所述两个透明衬底基板之间填充有液晶;

所述两个透明衬底基板包括第一透明衬底基板和第二透明衬底基板,所述第一透明衬底基板的内侧形成有一个第一透明电极,所述第二透明衬底基板内侧形成有矩阵状排布的多个第二透明电极,所述多个第二透明电极在所述第一透明衬底基板上的正投影位于所述第一透明衬底基板内;

每个所述第二透明电极连接有一个电压控制开关。

4.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,

所述检振片与所述偏振片的偏振方向垂直。

5.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述预设电压为小于15伏的电压。

6.根据权利要求1所述的设备,其特征在于,所述待剥离物包括衬底基板和形成于所述衬底基板上的待剥离的柔性屏。

7.一种激光剥离设备的控制方法,其特征在于,所述激光剥离设备为权利要求1至6任一所述激光剥离设备,所述方法包括:

确定待剥离物的指定形状;

确定所述指定形状在所述待剥离物上的目标位置;

在激光扫描过程中,通过向液晶光阀加载预设电压使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上,使指定形状的待剥离物剥离。

8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述待剥离物包括衬底基板和形成于所述衬底基板上的待剥离的柔性屏;

所述确定待剥离物的指定形状,包括:

确定所述待剥离的柔性屏的指定形状。

9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述激光剥离设备包括多个矩阵状排布的所述液晶光阀;

所述通过向液晶光阀加载预设电压使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上,包括:

向位于所述目标位置正上方的液晶光阀加载预设电压,使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上。

10.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,

所述激光剥离设备包括一个所述液晶光阀,所述液晶光阀包括:相对设置的两个透明衬底基板,所述两个透明衬底基板之间填充有液晶;

所述两个透明衬底基板包括第一透明衬底基板和第二透明衬底基板,所述第一透明衬底基板的内侧形成有一个第一透明电极,所述第二透明衬底基板内侧形成有矩阵状排布的多个第二透明电极,所述多个第二透明电极在所述第一透明衬底基板上的正投影位于所述第一透明衬底基板内;

所述通过向液晶光阀加载预设电压使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上,包括:

向所述第一透明电极加载第一电压;

向位于所述目标位置正上方的第二透明电极加载第二电压,使所述使激光发生器发出的激光照射在所述目标位置上,其中,所述第一电压和所述第二电压的差值为所述预设电压。

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