技术总结
本发明提供了一种LDI自动聚焦控制方法及系统，涉及光刻直写曝光机及投影显示的技术领域，其中，一种LDI自动聚焦控制方法，包括以下步骤：控制镜筒向聚焦平台输出成像信息；通过相机采集位于所述聚焦平台上的所述成像信息；根据所述成像信息判断所述镜筒的聚焦面是否位于所述聚焦平台上，并给出所述聚焦平台需要沿Z轴运动的提示信息；所述聚焦平台根据所述提示信息沿Z轴向上或向下运动至指定位置。解决了现有技术中存在的硬件成本较高，维护清洁麻烦的技术问题，达到了通过调整聚焦平台在Z轴方向的位置使镜筒聚焦于聚焦平台上的技术效果，结构简单，操作、维修方便。
技术研发人员：杨振玲
受保护的技术使用者：天津津芯微电子科技有限公司
文档号码：201611061209
技术研发日：2016.11.25
技术公布日：2017.03.22