技术特征：
技术总结
基板处理装置以使得通过多个描绘单元的各描绘线在基板上描绘出的图案彼此伴随着基板向长度方向的移动而在基板的宽度方向上接合在一起的方式，沿基板的宽度方向配置有多个描绘单元。控制部预先存储有与通过多个描绘单元分别在基板上形成的描绘线的相互的位置关系有关的校准信息，并且基于该校准信息和从移动测量装置输出的移动信息来调整通过多个描绘单元各自的描绘光束在基板上的形成的图案的描绘位置。
技术研发人员：加藤正纪;奈良圭;铃木智也;渡边智行;鬼头义昭;堀正和
受保护的技术使用者：株式会社尼康
技术研发日：2015.03.31
技术公布日：2017.10.20