本发明涉及显影液管理装置，尤其是涉及在半导体或液晶面板的电路基板的显影工序等中为了使光致抗蚀剂膜显影而反复使用的显现碱性的显影液管理装置。
背景技术：
：在用于实现半导体或液晶面板等的微细布线加工的光刻法的显影工序中，作为将在基板上制膜后的光致抗蚀剂溶解的药液，使用显现碱性的显影液(以下称作“碱性显影液”)。在半导体或液晶面板基板的制造工序中，近年来，晶片、玻璃基板的大型化以及布线加工的微细化和高集成化不断发展。在这样的状况下，为了实现大型基板的布线加工的微细化及高集成化，需要进一步高精度地测定碱性显影液的主要成分的浓度来对显影液进行维持管理。现有的碱性显影液的成分浓度的测定利用的是碱性显影液的碱成分的浓度(以下称作“碱成分浓度”)与导电率之间能够获得良好的直线关系这一原理(例如，专利文献1)。然而，近年来，由于显影处理而导致碱性显影液与空气接触的机会增加，碱性显影液会吸收空气中的二氧化碳，因此，碱性显影液的二氧化碳的吸收量增加。若吸收的二氧化碳浓度变高，则在基于现有方法进行的显影液管理中，产生无法维持规定的线宽加工等问题。引发该问题的原因如下：碱性显影液中的具有显影活性的碱成分由于二氧化碳的吸收而被生成碳酸盐的反应消耗。另外，引发该问题的原因还有：碱性显影液中的具有显影活性的碱成分由于光致抗蚀剂的溶解而被生成光致抗蚀剂盐的反应消耗。针对这样的问题，尝试了各种对被消耗而减少了的碱成分进行补给的显影液管理。上述尝试如下进行：测定碳酸盐浓度，从而利用补充液对被生成碳酸盐的反应消耗了的碱成分进行补给而使具有显影活性的碱成分的浓度固定化。针对因光致抗蚀剂的溶解而被消耗了的碱成分也同样。上述尝试从变成碳酸盐或光致抗蚀剂盐的碱成分会丧失显影活性而导致失活这样的观点来说是可行的(例如，专利文献2)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本专利第2561578号公报专利文献2：日本特开2008-283162号公报然而，利用上述各种显影液管理的尝试仍然难以实现满意的显影液管理。技术实现要素：发明要解决的课题本发明人针对显影液管理进行仔细研究而发现：碳酸盐或抗蚀剂盐在显影液中一部分发生游离而也会有助于显影作用，而且，将被认为是失活的上述成分对显影作用的贡献也考虑在内的显影液管理能够通过对显影液的导电率值进行管理来实现，另外，这样的导电率的管理值根据吸收二氧化碳浓度以及溶解光致抗蚀剂浓度而各种各样。认为上述发现的依据：变成碳酸盐或光致抗蚀剂盐的碱成分并未失活，而是一部分发生游离而有助于显影作用，而且，具有显影活性的碱成分、从碳酸盐及抗蚀剂盐游离而有助于显影作用的成分均会对导电率产生作用。即，发明人发现具有显影作用的成分总体上利用显影液的导电率值来进行管理的话能够管理成最佳，从而完成本发明。本发明为了解决上述的课题而提出，目的在于提供能够对光致抗蚀剂实现规定的显影性能的显影液管理装置。用于解决课题的方案为了达成所述目的，本发明的显影液管理装置具备控制机构及显示机构，所述控制机构具备：数据存储部，其存储有导电率数据，该导电率数据按照以反复使用且显现碱性的显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述显影液的导电率值；以及控制部，其将根据所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的存储于所述数据存储部的所述导电率值作为控制目标值，以使所述显影液的导电率成为所述控制目标值的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上，所述显示机构显示从所述显影液获得的导电率值、碱成分浓度值、溶解光致抗蚀剂浓度值及吸收二氧化碳浓度值中的、至少导电率值及碱成分浓度值中的任一方。优选本发明的显影液管理装置还具备对显示于所述显示机构的显示对象进行切换的显示切换机构。本发明的显影液管理装置具备控制机构及显示机构，所述控制机构具备：数据存储部，其存储有导电率数据，该导电率数据按照以反复使用且显现碱性的显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述显影液的导电率值；以及控制部，其将根据所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的存储于所述数据存储部的所述导电率值作为控制目标值，以使所述显影液的导电率成为所述控制目标值的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上，所述显示机构将从所述显影液获得的导电率值、碱成分浓度值、溶解光致抗蚀剂浓度值及吸收二氧化碳浓度值中的、至少导电率值及碱成分浓度值中的任一方以测定時刻或测定开始起算的经过时间为指标来图表显示。优选本发明的显影液管理装置还具备对显示于所述显示机构的显示对象进行切换的显示切换机构。根据本发明的显影液管理装置，无论显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度变成什么样，都能够将显影液中的对显影作用具有活性的成分维持成固定，因此能够实现可维持所期望的显影性能且可维持基板上的布线图案的所期望的线宽及剩余膜厚的显影处理。另外，能够显示各种数据及图表。根据本发明的显影液管理装置的优选的方式，所述显影液管理装置还具备多个测定装置，所述多个测定装置对包含与所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的所述显影液的特性值及与所述显影液的吸收二氧化碳浓度具有关联的所述显影液的特性值在内的所述显影液的多个特性值进行测定，所述控制机构还具备运算部，所述运算部根据由所述多个测定装置测定出的所述显影液的多个特性值并利用多变量解析法来算出所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。根据本发明的显影液管理装置的优选的方式，所述显影液管理装置还具备：多个测定装置，其对包含与所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的所述显影液的特性值及与所述显影液的吸收二氧化碳浓度具有关联的所述显影液的特性值在内的所述显影液的多个特性值进行测定；以及运算机构，其根据由所述多个测定装置测定出的所述显影液的多个特性值并使用多变量解析法来算出所述显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。根据本发明的显影液管理装置的优选的方式，所述显影液管理装置具备密度仪，所述控制机构还具备运算部，所述运算部基于所述显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系，根据由所述密度仪测定出的所述显影液的密度值来算出所述显影液的吸收二氧化碳浓度值。根据本发明的显影液管理装置的优选的方式，所述显影液管理装置还具备：密度仪；以及运算机构，其基于所述显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系，根据由所述密度仪测定出的所述显影液的密度值来算出所述显影液的吸收二氧化碳浓度值。根据本发明的显影液管理装置，所述显影液管理装置具备控制机构及显示机构，所述控制机构具备：数据存储部，其存储有碱成分浓度数据，该碱成分浓度数据按照以反复使用且显现碱性的显影液的与溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的吸光度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述显影液的碱成分浓度值；以及控制部，其将根据所述显影液的吸光度及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的存储于所述数据存储部的所述碱成分浓度值作为控制目标值，以使所述显影液的碱成分浓度成为所述控制目标值的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上，所述显示机构显示从所述显影液获得的碱成分浓度值、与溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的吸光度值、以及吸收二氧化碳浓度值中的至少所述碱成分浓度值。根据本发明的显影液管理装置，所述显影液管理装置具备控制机构及显示机构，所述控制机构具备：数据存储部，其存储有碱成分浓度数据，该碱成分浓度数据按照以反复使用且显现碱性的显影液的与溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的吸光度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述显影液的碱成分浓度值；以及控制部，其将根据所述显影液的吸光度及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的存储于所述数据存储部的所述碱成分浓度值作为控制目标值，以使所述显影液的碱成分浓度成为所述控制目标值的方式向控制阀发送控制信号，所述控制阀设置在输送向所述显影液补给的补充液的管路上，所述显示机构将从所述显影液获得的碱成分浓度值、与溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的吸光度值、以及吸收二氧化碳浓度值中的至少所述碱成分浓度值以测定時刻或测定开始起算的经过时间为指标来图表显示。根据本发明的显影液管理装置，优选所述显影液管理装置还具备对显示于所述显示机构的显示对象进行切换的显示切换机构。发明效果根据本发明，无论显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度变成什么样，都能够将显影液中的对显影作用具有活性的成分维持成固定，因此能够实现可维持所期望的显影性能且可维持基板上的布线图案的所期望的线宽及剩余膜厚的显影处理。另外，能够显示各种数据及图表。附图说明图1是用于说明第一实施方式的显影液管理装置的显影工序的示意图。图2是用于说明第二实施方式的显影液管理装置的显影工序的示意图。图3是用于说明第三实施方式的显影液管理装置的显影工序的示意图。图4是用于说明第四实施方式的显影液管理装置的显影工序的示意图。图5是表示显影液的吸收二氧化碳浓度与密度的关系的图表。图6是用于说明第五实施方式的显影液管理装置的显影工序的示意图。图7是用于说明第六实施方式的显影液管理装置的显影工序的示意图。附图标号说明a…显影工序设备、b…补充液贮存部、c…循环搅拌机构、d…显影液管理装置1…测定部11…导电率仪、12…第一浓度测定机构、12a…第一特性值测定机构、13…第二浓度测定机构、13a…第二特性值测定机构、13b…密度仪14…取样泵、15…取样配管、16…出口侧配管21…控制机构(例如计算机)、22…显示机构23…数据存储部、31…控制部、32、33…运算部、36、37…运算机构41～43…控制阀、44、45、46、47…阀61…显影液贮存槽、62…溢流槽、63…液面计、64…显影室护罩、65…辊式输送机、66…基板、67…显影液喷淋嘴71…废液泵、72、74…循环泵、73、75…过滤器80…显影液管路、81、82…补充液(显影原液及/或新液)用管路、83…纯水用管路、84…合流管路、85…循环管路、86…氮气用管路91、92…补充液(显影原液及/或新液)贮存槽。具体实施方式以下，适当参照附图，对本发明的优选的实施方式详细进行说明。其中，只要没有特别限定，这些实施方式所记载的装置等的形状、大小、尺寸比、其相对配置等就不仅仅限定于用于图示本发明的范围的示例。这些示例仅仅是作为说明例而示意性地进行图示而已。另外，在以下的说明中，作为显影液的具体例，适当使用了在半导体或液晶面板基板的制造工序中主要使用的2.38wt％四甲基氢氧化铵水溶液(以下，将四甲基氢氧化铵称作tmah)来进行说明。但是，本发明所能适用的显影液并不限定于此。作为本发明的显影液的管理方法、管理装置所能适用的其它显影液的示例，还可以举出氢氧化钾、氢氧化钠、磷酸钠、硅酸钠等无机化合物的水溶液、或者三甲基单乙醇基氢氧化铵(胆碱)等有机化合物的水溶液。在以下的说明中，碱成分浓度、溶解光致抗蚀剂浓度、吸收二氧化碳浓度等成分浓度是基于重量百分率浓度(wt％)的浓度。“溶解光致抗蚀剂浓度”是指将溶解的光致抗蚀剂换算成光致抗蚀剂的量的情况下的浓度，“吸收二氧化碳浓度”是指将被吸收的二氧化碳换算成二氧化碳的量的情况下的浓度。在显影处理过程中，显影液将曝光处理后的光致抗蚀剂膜的不需要部分溶解，由此进行显影。溶解于显影液的光致抗蚀剂与显影液的碱成分之间会产生光致抗蚀剂盐。因此，若没有对显影液适当地进行管理，则随着显影处理的进展，显影液中的具有显影活性的碱成分被消耗而发生劣化，显影性能恶化。同时，溶解于显影液中的光致抗蚀剂与碱成分发生反应而以光致抗蚀剂盐的形式不断蓄积。溶解于显影液的光致抗蚀剂在显影液中显现界面活性作用。因此，溶解于显影液的光致抗蚀剂会提高被用来显影处理的光致抗蚀剂膜的相对于显影液的浸润性，使得显影液与光致抗蚀剂膜的亲和性变好。因而，在适度地含有光致抗蚀剂的显影液中，显影液良好地遍布到光致抗蚀剂膜的微细的凹部内，从而能够良好地实施具有微细的凹凸的光致抗蚀剂膜的显影处理。另外，在近年的显影处理中，随着基板的大型化，反复使用大量的显影液，因此显影液暴露于空气的机会增加。然而，碱性显影液若暴露于空气则会吸收空气中的二氧化碳。被吸收的二氧化碳与显影液的碱成分之间会产生碳酸盐。因此，若不适当地管理显影液，则显影液中的具有显影活性的碱成分被吸收的二氧化碳消耗而减少。同时，显影液中吸收的二氧化碳与碱成分发生反应而以碳酸盐的形式不断蓄积。然而，显影液中的碳酸盐在显影液中显现碱性，因此具有显影作用。这样，不同于“显影液中溶解的光致抗蚀剂或被显影液吸收的二氧化碳会使显影处理的显影活性失活”这样的现有认知，实际上，显影液中溶解的光致抗蚀剂或被显影液吸收的二氧化碳是有助于显影液的显影性能的。因此，并非是进行将溶解光致抗蚀剂或吸收二氧化碳完全排除这样的显影液管理，而是需要进行如下的显影液管理，即，允许在显影液中溶存有溶解光致抗蚀剂或吸收二氧化碳并将它们维持管理成最佳的浓度。另外，在显影液中产生的光致抗蚀剂盐或碳酸盐的一部分发生解离，而产生光致抗蚀剂离子或碳酸离子、碳酸氢离子等多样的游离离子。并且，这些游离离子以各种各样的作用率对显影液的导电率产生影响。基于上述点，本发明人对显影液管理进行仔细研究而发现：碳酸盐或抗蚀剂盐在显影液中一部分发生游离而也会有助于显影作用，而且，将被认为是失活的上述成分对显影作用的贡献也考虑在内的显影液管理能够通过对显影液的导电率值进行管理来实现，另外，这样的导电率的管理值根据吸收二氧化碳浓度以及溶解光致抗蚀剂浓度而各种各样。因此，发明人假设进行作为显影液的tmah水溶液的管理的情况，使溶解光致抗蚀剂浓度、吸收二氧化碳浓度各种变化，从而求出对光致抗蚀剂期望的显影性能与显影液的导电率值的关系。调制出使吸收二氧化碳浓度在0.0～1.3(wt％)之间变化且使溶解光致抗蚀剂浓度在0.0～0.40(wt％)(相当于波长560nm下的吸光度0.0～1.3(abs))(以下，有时同样地一并记作浓度和吸光度)之间变化所得的tmah水溶液的显影液的样本。发明人针对这些样本进行了如下实验：测定显影液的导电率、吸收二氧化碳浓度以及溶解光致抗蚀剂浓度，并确认显影性能与导电率、吸收二氧化碳浓度及溶解光致抗蚀剂浓度成分之间的相关性。制作将吸收二氧化碳浓度作为一个项目而横向或纵向地排列且将溶解光致抗蚀剂浓度作为其它项目而横向或纵向地排列而成的矩阵(组合表)。按照吸收二氧化碳浓度与溶解光致抗蚀剂浓度的各个组合，来求解满足对光致抗蚀剂期望的显影性能的显影液的导电率，并计入各栏，完成矩阵。这里，规定的显影性能是指实现在显影工序中要实现的基板上的布线图案的线宽或剩余膜厚时的显影液的显影性能。例示出代表性的各样本的吸收二氧化碳浓度、溶解光致抗蚀剂浓度及导电率的测定结果。在吸收二氧化碳浓度为0.0(wt％)、溶解光致抗蚀剂浓度为0.0(wt％)(相当于0.0(abs))的情况下(所谓的新液)，能够发挥规定的显影性能的显影液的导电率为54.58(ms/cm)。在吸收二氧化碳浓度为0.0(wt％)、溶解光致抗蚀剂浓度为0.25(wt％)(相当于0.8abs)的情况下，能够发挥规定的显影性能的显影液的导电率为54.55(ms/cm)，在溶解光致抗蚀剂浓度为0.40(wt％)(相当于1.3abs)的情况下，显影液的导电率为54.53(ms/cm)。另外，在溶解光致抗蚀剂浓度为0.0(wt％)(相当于0.0(abs))、吸收二氧化碳浓度为0.6(wt％)的情况下，显影液的导电率为54.60(ms/cm)，在吸收二氧化碳浓度为1.3(wt％)的情况下，显影液的导电率为54.75(ms/cm)。另外，在吸收二氧化碳浓度为0.6(wt％)、溶解光致抗蚀剂浓度为0.22(wt％)(相当于0.7abs)的情况下，显影液的导电率为54.60(ms/cm)，在溶解光致抗蚀剂浓度为0.40(wt％)(相对于1.3abs)的情况下，显影液的导电率为54.58(ms/cm)。另外，在吸收二氧化碳浓度为1.3(wt％)、溶解光致抗蚀剂浓度为0.22(wt％)(相当于0.7abs)的情况下，显影液的导电率为54.75(ms/cm)，在溶解光致抗蚀剂浓度为0.40(wt％)(相当于1.3abs)的情况下，显影液的导电率为54.75(ms/cm)。需要说明的是，在上述的实验中，在某浓度区域中，若吸收二氧化碳浓度变大，则导电率的管理值趋向于变大，若溶解光致抗蚀剂浓度变大，则导电率的管理值趋向于变小。在上述的实验中，各样本的显影液的导电率使用了利用导电率仪测定出的值。吸收二氧化碳浓度使用了利用滴定分析法测定出的值。溶解光致抗蚀剂浓度使用了重量调制值。滴定是将盐酸作为滴定试剂的中和滴定。作为滴定装置，使用了三菱化学分析技术公司制的自动滴定装置gt-200。需要说明的是，上述的导电率、吸收二氧化碳浓度及溶解光致抗蚀剂浓度用于找出导电率、吸收二氧化碳浓度及溶解光致抗蚀剂浓度与显影性能之间的关系性，并不限定于各数值。如上所述，可以理解为，能够发挥显影性能的导电率根据吸收二氧化碳浓度及溶解光致抗蚀剂浓度而各种各样。这样，在显影液的管理中，在包含吸收二氧化碳及溶解光致抗蚀剂的显影液中，通过将导电率作为管理值并测定吸收二氧化碳浓度及溶解光致抗蚀剂浓度，基于各测定结果来使导电率的管理值不同，由此能够发挥规定的显影性能。即，存储按照以显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域而具有预先确认了实现规定的显影性能的显影液的导电率值的导电率数据(矩阵)，通过利用导电率数据(矩阵)，而能够实现可发挥规定的显影性能的显影液的管理。另外，发明人对显影液管理进行了仔细研究而发现：碳酸盐或抗蚀剂盐在显影液中一部分发生游离而也会有助于显影作用，而且，将被认为是失活的上述成分对显影作用的贡献也考虑在内的显影液管理能够通过对显影液的碱成分浓度值进行管理来实现，另外，这样的碱成分浓度值的管理值根据吸收二氧化碳浓度及与溶解光致抗蚀剂浓度具有相关关系的吸光度而各种各样。因此，发明人假设进行作为显影液的tmah水溶液的管理的情况，使基于显现碱性的显影液的导电率而测定的碱成分浓度、与显影液的溶解光致抗蚀剂浓度具有相关关系的吸光度、显影液的吸收二氧化碳浓度各种变化，而求出对光致抗蚀剂期望的显影性能与显影液的碱成分浓度的关系。调制出使吸收二氧化碳浓度在0.0～1.3(wt％)之间变化且使与溶解光致抗蚀剂浓度具有相关关系的吸光度在0.0～1.3(abs)之间变化所得的tmah水溶液的显影液的样本。发明人针对这些样本进行了如下实验：测定显影液的碱成分浓度、吸收二氧化碳浓度及吸光度，并确认显影性能与碱成分浓度、吸收二氧化碳浓度及吸光度的相关性。制作出将吸收二氧化碳浓度作为一个项目而横向或纵向地排列且将吸光度作为其它项目而横向或纵向地排列而成的矩阵(组合表)。按照吸收二氧化碳浓度与吸光度的各个组合，来求解满足对光致抗蚀剂期望的显影性能的显影液的碱成分浓度，并计入各栏，完成矩阵。这里，规定的显影性能是指实现在显影工序中要实现的基板上的布线图案的线宽或剩余膜厚时的显影液的显影性能。例示出代表性的各样本的吸收二氧化碳浓度、吸光度及碱成分浓度的测定结果。在吸收二氧化碳浓度为0.0(wt％)、吸光度为0.0(abs)的情况下(所谓的新液)，能够发挥规定的显影性能的显影液的碱成分浓度为2.380(wt％)。在吸收二氧化碳浓度为0.0(wt％)、吸光度为0.8abs的情况下，能够发挥规定的显影性能的显影液的碱成分浓度为2.379(wt％)，在吸光度为1.3abs的情况下，显影液的碱成分浓度为2.378(wt％)。另外，在吸光度为0.0(abs)、吸收二氧化碳浓度为0.6(wt％)的情况下，显影液的碱成分浓度为2.381(wt％)，在吸收二氧化碳浓度为1.3(wt％)的情况下，显影液的碱成分浓度为2.388(wt％)。另外，在吸收二氧化碳浓度为0.6(wt％)、吸光度为0.7abs的情况下，显影液的碱成分浓度为2.381(wt％)，在吸光度为1.3abs的情况下，显影液的碱成分浓度为2.380(wt％)。另外，在吸收二氧化碳浓度为1.3(wt％)、吸光度为0.7abs的情况下，显影液的碱成分浓度为2.388(wt％)，在吸光度为1.3abs的情况下，显影液的碱成分浓度为2.388(wt％)。需要说明的是，在上述的实验中，在某浓度区域中，若吸收二氧化碳浓度变大，则碱成分浓度的管理值趋向于变大，若吸光度变大，则碱成分浓度的管理值趋向于变小。在上述的实验中，各样本的显影液的碱成分浓度可以通过用导电率仪测定导电率来求解。具体而言，预先将tmah水溶液的新液(显影前的tmah水溶液)的碱成分浓度与导电率值的相关关系(例如直线关系)制成为检量线。能够基于该检量线并根据导电率值来求解碱成分浓度。吸收二氧化碳浓度使用了利用滴定分析法测定出的值。滴定是将盐酸作为滴定试剂的中和滴定。作为滴定装置，使用了三菱化学分析技术公司制的自动滴定装置gt-200。吸光度的测定使用了吸光光度计。需要说明的是，上述的碱成分浓度、吸收二氧化碳浓度及吸光度用于找出碱成分浓度、吸收二氧化碳浓度及吸光度与显影性能之间的关系性，并不限定于各数值。如上所述，可以理解为：能够发挥显影性能的碱成分浓度根据吸收二氧化碳浓度及吸光度而各种各样。这样，在显影液的管理中，在包含吸收二氧化碳及溶解光致抗蚀剂的显影液中，通过将碱成分浓度作为显影液的管理值并测定吸收二氧化碳浓度及吸光度，基于各测定结果来使碱成分浓度的管理值不同，由此能够发挥规定的显影性能。即，存储按照以显影液的吸光度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域而具有预先确认了实现规定的显影性能的显影液的碱成分浓度值的碱成分浓度数据(矩阵)，通过利用碱成分浓度数据(矩阵)，而能够发挥规定的显影性能。接着，参照附图对具体的实施例进行说明。〔第一实施方式〕图1是用于说明本实施方式的显影液管理装置d的显影工序的示意图。本发明的显影液管理装置d与显影工序设备a、补充液贮存部b、循环搅拌机构c等一起被图示。首先，对显影工序设备a简单进行说明。显影工序设备a主要由显影液贮存槽61、溢流槽62、显影室护罩64、辊式输送机65、显影液喷淋嘴67等构成。在显影液贮存槽61中贮存有显影液。显影液通过补充补充液来进行组成管理。显影液贮存槽61具备液面计63和溢流槽62，对补给补充液而引起的液量的增加进行管理。显影液贮存槽61与显影液喷淋嘴67通过显影液管路80来连接。贮存在显影液贮存槽61内的显影液在设于显影液管路80的循环泵72的作用下经由过滤器73向显影液喷淋嘴67输送。辊式输送机65设置在显影液贮存槽61的上方，用于输送制作有光致抗蚀剂膜的基板66。显影液从显影液喷淋嘴67滴下。由辊式输送机65输送的基板66通过滴下的显影液之中而被显影液浸渗。之后，显影液被显影液贮存槽61回收而再次贮存。这样，显影液在显影工序中循环而被反复使用。需要说明的是，在小型的玻璃基板的显影室内，也有时通过充满氮气等方式来实施防止吸收空气中的二氧化碳这样的处理。需要说明的是，劣化了的显影液通过使废液泵71动作而被废弃(排出)。对循环搅拌机构c进行说明。循环搅拌机构c主要用于使贮存在显影液贮存槽61内的显影液循环并对该显影液进行搅拌。显影液贮存槽61的底部与显影液贮存槽61的侧部通过在中途设有循环泵74和过滤器75的循环管路85而连接。在使循环泵74动作时，贮存在显影液贮存槽61中的显影液经由循环管路85进行循环。显影液经由循环管路85从显影液贮存槽61的侧部返回到显影液贮存槽61，从而对贮存的显影液进行搅拌。另外，在补充液经由合流管路84向循环管路85流入的情况下，该流入的补充液一边与在循环管路85内循环的显影液混合一边向显影液贮存槽61内供给。接着，对本实施方式的显影液管理装置d进行说明。本实施方式的显影液管理装置d是如下方式的显影液管理装置：使用按照以显现碱性的显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域而具有预先确认了实现规定的显影性能的显影液的导电率值的导电率数据，将根据显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的导电率作为控制目标值，以使显影液的导电率成为控制目标值的方式向显影液补给补充液。显影液管理装置d具备测定部1和控制机构21。显影液管理装置d通过取样配管15及出口侧配管16与显影液贮存槽61连接。测定部1具备取样泵14、导电率仪11、测定溶解光致抗蚀剂浓度的第一浓度测定机构12、以及用于测定吸收二氧化碳浓度的第二浓度测定机构13。导电率仪11、第一浓度测定机构12及第二浓度测定机构13与取样泵14的后段串联连接。优选测定部1还具备使取样后的显影液稳定为规定的温度的温度调节机构(未图示)来提高测定精度。此时，优选温度调节机构设置在测定机构的紧前方。取样配管15与显影液管理装置d的测定部1的取样泵14连接，出口侧配管16与测定机构末端的配管连接。另外，在图1中，图示出导电率仪11、第一浓度测定机构12及第二浓度测定机构13串联连接的方式，但导电率仪11、第一浓度测定机构12及第二浓度测定机构13的连接并不限定于此。也可以并联连接，还可以彼此独立地具备送液路径来进行测定。导电率仪11、第一浓度测定机构12及第二浓度测定机构13的顺序也不特别限定先后。只要根据各测定机构的特征而适当以最佳的顺序进行测定即可。控制机构21具备数据存储部23和控制部31。在数据存储部23中，存储有导电率数据，该导电率数据按照以显现碱性的显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的、要使用的显影液的导电率值。控制机构21通过信号线与测定部1的导电率仪11、第一浓度测定机构12及第二浓度测定机构13连接。由测定部1测定出的导电率值、溶解光致抗蚀剂浓度值及吸收二氧化碳浓度值被向控制机构21发送。控制机构21的控制部31通过信号线与设于向显影液输送补充液的管路上的控制阀41～43连接。在图1中，控制阀41～43作为显影液管理装置d的内部部件而被图示，但控制阀41～43并非是本实施方式的显影液管理装置d的必要部件。控制部31只要能够以控制控制阀41～43的动作来向显影液补给补充液的方式与控制阀41～43联络即可。控制阀41～43也可以存在于显影液管理装置d之外。实施方式的显影液管理装置d还具备显示机构22。显示机构22能够显示显影液的导电率值、碱成分浓度值、溶解光致抗蚀剂浓度值及吸收二氧化碳浓度值中的、至少导电率值及碱成分浓度值中的任一方。显示机构22可以是与显影液管理装置d电连接的显示监视器，也可以是组入显影液管理装置d中的触控面板型计算机。在为触控面板型计算机的情况下，控制机构与显示机构(控制部及数据存储部)一体地构成。接着，对本实施方式的显影液管理装置d的动作进行说明。从显影液贮存槽61取样的显影液被向测定部1内输送并被温度调节。之后，显影液被向导电率仪11、第一浓度测定机构12及第二浓度测定机构13输送，来测定导电率、溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度。各测定数据被向控制机构21发送。在控制部31中，设定有与导电率数据的导电率值对应的导电率的管理值，该导电率数据按照以显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的显影液的导电率值。控制部31根据从测定部1接收的测定数据，如下进行控制。控制部31基于从测定部1接收的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度，求解存储于数据存储部23的导电率数据中的、根据测定出的溶解光致抗蚀剂浓度及测定出的吸收二氧化碳浓度而确定的浓度区域的导电率值。将求出的导电率值设定为显影液的导电率的控制目标值。控制部31将从测定部1接收的测定出的导电率与设定为控制目标值的导电率进行比较，根据比较结果而进行如下管理。即，在设定为控制目标值的导电率与测定出的导电率相同的情况下，基本上不向显影液添加补充液。另外，在设定为控制目标值的导电率大于测定出的导电率的情况下，可以向显影液补给以提高导电率的方式作用的补充液。另外，在设定为控制目标值的导电率小于测定出的导电率的情况下，可以向显影液补给以降低导电率的方式作用的补充液。这里，作为向显影液补给的补充液，例如有显影液的原液、显影液的新液、纯水等。补充液贮存于补充液贮存部b的补充液贮存槽91、92。补充液贮存槽91、92上连接有具备阀46、47的氮气用管路86，补充液贮存槽91、92被经由该管路供给的氮气加压。另外，在补充液贮存槽91、92上分别连接有补充液用管路81、82，经由常开状态的阀44、45来输送补充液。在补充液用管路81、82及纯水用管路83上设置有控制阀41～43，控制阀41～43由控制部31来控制开闭。通过控制阀进行动作，由此将贮存于补充液贮存槽91、92的补充液压力输送，并且输送纯水。之后，补充液经由合流管路84与循环搅拌机构c合流，向显影液贮存槽61补给并被搅拌。若因补给而使贮存于补充液贮存槽91、92内的补充液减少，则其内压下降而导致供给量变得不稳定，因此根据补充液的减少而适当打开阀46、47来供给氮气，以维持确保补充液贮存槽91、92的内压。在补充液贮存槽91、92变空时，关闭阀44、45，更换为充满了补充液的新的补充液贮存槽，或者将另行供应的补充液再次填充到空的补充液贮存槽中。控制阀41～43的控制例如如下进行。若要调整控制阀打开时流过的流量，则对打开控制阀的时间进行管理，由此能够补给需要补给的液量的补充液。控制部31基于从测定部1接收的测定出的导电率以及设定为控制目标值的导电率，向控制阀发送控制信号以使控制阀打开规定时间，从而流过需要补给的液量的补充液。控制的方式可以采用使控制量与目标值一致的控制所使用的各种控制方法。尤其是优选比例控制(p控制)(proportionalcontrol)、积分控制(i控制)(integralcontrol)、微分控制(d控制)(differentialcontrol)以及将它们组合而成的控制(pi控制等)(proportional-integralcontrol)。更优选适用pid控制(proportional-integral-differentialcontrol)。如上所述，根据本实施方式的显影液管理装置d，无论显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度变成什么样，都能够通过利用显影液中的导电率来对显影液进行管理来维持对显影作用具有活性的成分，因此能够实现可维持所期望的显影性能且可维持基板上的布线图案的所期望的线宽及剩余膜厚的显影处理。另外，根据本实施方式的显影液管理装置d，使用预先确认了显影性能的显影液的导电率值的导电率数据来设定控制目标管理值，由此即使是显影液的溶解光致抗蚀剂浓度为0.0～0.40(wt％)(相当于0.0～1.3(abs))且吸收二氧化碳浓度为0.0～1.3(wt％)，也能够作为具有所期望的显影活性的显影液来使用。即，根据本实施方式的显影液管理装置d，即使是显影液的溶解光致抗蚀剂浓度为0.25(wt％)以上(相当于0.8(abs))且吸收二氧化碳浓度为0.6(wt％)以上，也无需废弃显影液而能继续使用，能够减少显影液的废液量。以上，说明了使用显影液的导电率、吸收二氧化碳浓度及溶解光致抗蚀剂浓度和导电率数据的示例。但并不限定于此，也可以使用显影液的碱成分浓度、吸收二氧化碳浓度、与溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的吸光度及碱成分浓度数据来管理显影液。这种情况下，在显示机构22显示碱成分浓度值、与溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的吸光度值及吸收二氧化碳浓度值中的至少碱成分浓度值。〔第二实施方式〕图2是用于说明本实施方式的显影液管理装置d的显影工序的示意图。本发明的显影液管理装置d与显影工序设备a、补充液贮存部b、循环搅拌机构c等一起被图示。需要说明的是，有时对与第一实施方式的结构同样的结构标注同一附图标号而省略说明。显影液管理装置d的测定部1具备导电率仪11、以及对与显影液的溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的显影液的特性值和与显影液的吸收二氧化碳浓度具有关联的显影液的特性值进行测定的多个测定装置。例如，作为对与溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的显影液的特性值进行测定的第一特性值测定机构12a，而设置对例如λ＝560nm下的吸光度进行测定的吸光光度计。作为对与吸收二氧化碳浓度具有关联的显影液的特性值进行测定的第二特性值测定机构13a，而设置对显影液的密度进行测定的密度仪。这里，“具有关联的”显影液的特性值是指，该特性值与该成分浓度有关系，处于特性值根据该成分浓度的变化而改变这样的关系。例如，与显影液的成分浓度中的至少成分浓度a具有关联的显影液的特性值a是指，在利用将成分浓度作为变量的函数来求解特性值a时，变量中的一个至少包含成分浓度a。特性值a可以是仅与成分浓度a相关的函数，但通常成为除了成分浓度a之外还将成分浓度b或c等作为变量的多变量函数，此时，使用多变量解析法(例如多元回归分析法)的意义就很大。控制机构21具备数据存储部23、控制部31及运算部32。运算部32根据由测定部1测定出的显影液的多个特性值并利用多变量解析来算出显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。在本实施方式中，从显影液贮存槽61取样的显影液被向测定部1内输送并被调节温度。之后，显影液被向导电率仪11、第一特性值测定机构12a及第二特性值测定机构13a输送来测定导电率、吸光度及密度。各测定数据被向控制机构21发送。运算部32根据由测定部1测定出的吸光度及密度并利用多变量解析来算出显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。此时，也可以根据导电率、吸光度及密度并利用多变量解析来算出溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。控制部31基于由运算部32算出的溶解光致抗蚀剂浓度和吸收二氧化碳浓度，来求解存储于数据存储部23的导电率数据中的、根据测定出的溶解光致抗蚀剂浓度及测定出的吸收二氧化碳浓度而确定的浓度区域的导电率值。将求出的导电率值设定为显影液的导电率的控制目标值。其它的结构、动作等与第一实施方式同样，因此省略。接着，对根据显影液的多个特性值并利用多变量解析来算出溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的方法进行说明。发明人发现：若运算方法使用多变量解析法(例如，多元回归分析法)，则与使用了现有方法的情况相比，能够精度良好地算出显影液的各成分的浓度，而且，能够测定现有技术难以测定的吸收二氧化碳浓度。若使用利用多变量解析法(例如，多元回归分析法)而算出的显影液的成分浓度(溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度)，则能够根据预先确认了显影性的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度和具有导电率值的导电率数据来容易地获得目标的导电率值。假设进行2.38％tmah水溶液的管理的情况，将使碱成分浓度、溶解光致抗蚀剂浓度、吸收二氧化碳浓度发生各种变化所得的tmah水溶液调制成为模拟显影液样本。发明人进行了如下实验：根据对这些模拟显影液样本进行测定所得的各种特性值，利用多元回归分析法求解其成分浓度。以下，对基于多元回归分析法的通常的运算方法进行说明，之后，基于发明人所进行的实验，对使用了多元回归分析法的显影液的成分浓度的运算方法进行说明。多元回归分析由校正和预测两个阶段构成。在n成分系的多元回归分析中，准备m个校正标准溶液。将存在于第i个溶液中的第j个成分的浓度表示为cij。这里，i＝1～m、j＝1～n。对于m个标准溶液，分别测定p个特性值(例如，某波长下的吸光度或导电率等特性值)aik(k＝1～p)。浓度数据和特性数据分别能够汇总而以矩阵的形式(c、a)表示。【式1】将对这些矩阵建立关系而得到的矩阵称为校正矩阵，在此用符号s(skj；k＝1～p，j＝1～n)表示。【式2】c＝a·s根据已知的c和a(就a的内容而言，不仅可以是同质的测定值，也可以是异质的测定值混在一起。例如，导电率、吸光度和密度。)并利用矩阵运算来算出s的阶段为校正阶段。此时，必需是p≥n且m≥np。s的各要素全部为未知数，因此优选m＞np，在该情况下如下那样进行最小二乘运算。【式3】s＝(ata）-1(atc)在此，上标的t表示转置矩阵，上标的-1表示逆矩阵。对于浓度未知的试料液测定p个特性值，如果将它们设为au(auk；k＝1～p)，则将其与s相乘能够得到要求出的浓度cu(cuj；j＝1～n)。【式4】cu＝au·s这是预测阶段。发明人将使用完的碱性显影液(2.38％tmah水溶液)视作是由碱成分、溶解光致抗蚀剂及吸收二氧化碳这三个成分构成的多成分系(n＝3)，而进行了根据作为该显影液的特性值的三个特性值(p＝3)、即显影液的导电率值、特定波长下的吸光度值及密度值并利用上述多元回归分析法来算出各成分浓度的实验。发明人以2.38％tmah水溶液作为显影液的基本组成，调制出使碱成分浓度(tmah浓度)、溶解光致抗蚀剂浓度、吸收二氧化碳浓度发生各种变化所得的11个校正标准溶液(m＝11，满足p≥n且m＞np)。实验如下进行：对于11个校正标准溶液，测定导电率值、波长λ＝560nm下的吸光度值及密度值作为显影液的特性值，并利用多元线性回归分析(multiplelinearregression-inverseleastsquares；mlr-ils)来运算出各成分浓度。测定通过将校正标准溶液的温度调整为25.0℃来进行。温度调整采用如下方式：将放入有校正标准溶液的瓶子长时间地浸在温度被管理成25℃附近的恒温水槽中，从该瓶子中取样，而且，在马上要进行测定时利用温度控制器再次调为25.0℃。导电率仪采用了本公司制的导电率仪。使用实施了铂黑处理的本公司制的导电率流通池来进行了测定。向导电率仪输入另行利用校正作业而确认了的导电率流通池的电极常数。吸光光度计也采用了本公司制的设备。吸光光度计是具备波长λ＝560nm的光源部、测光部以及玻璃流通池的吸光光度计。密度测定使用了采用固有振动法的密度仪，该固有振动法根据对u字管流通池进行激励而测定的固有振动数来求解密度。测定出的导电率值、吸光度值、密度值的单位分别为ms/cm、abs.(absorbance)、g/cm3。运算基于如下的方法(留一交叉验证法；leave-one-out法)来进行：将11个校正标准溶液中的一个当作未知试料而利用剩余的10个校正标准溶液来求解校正矩阵，算出假定的未知试料的浓度并与已知的值(利用其它的准确的分析方法测定出的浓度值或重量调制值)进行比较。进行了mlr-ils计算的结果如表1所示。【表1】在mlr-ils计算中，鉴于tmah水溶液为强碱性而容易吸收二氧化碳从而发生劣化，在运算所使用的浓度矩阵中，使用了利用能准确地分析碱成分浓度或吸收二氧化碳浓度的滴定分析法对校正标准溶液另行进行测定所得的值。其中，关于溶解光致抗蚀剂浓度，使用了重量调制值。滴定是将盐酸作为滴定试剂的中和滴定。作为滴定装置使用了三菱化学分析技术公司制的自动滴定装置gt-200。以下，在表2中表示浓度矩阵。【表2】此时的校正标准溶液的特性值的测定结果如表3所示。吸光度这一栏表示波长λ＝560nm下的吸光度值(光路长d＝10mm)。【表3】校正行列如表4所示。【表4】0.040187-0.0028690.000171-0.130547-0.0614410.300422432.787314144.6545312.02483表5表示表2的浓度测定值与表1的mlr-ils计算值的比较。【表5】如表5所示，利用多元回归分析法求出的tmah浓度、溶解光致抗蚀剂浓度、吸收二氧化碳浓度均为与利用滴定分析测定出的tmah浓度、吸收二氧化碳浓度、以及根据调制重量求出的溶解光致抗蚀剂浓度中的任一方非常近似的值。这样，可以理解为，通过测定碱性显影液的导电率、特定波长下的吸光度及密度并使用多变量解析法(例如多元回归分析法)，由此能够测定显影液的碱成分浓度、溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度。多变量解析法(例如多元回归分析法)对于运算并求解多个成分的浓度是有效的。可以测定显影液的多个特性值a、b、c、…，根据这些特性值的测定值并利用多变量解析法(例如多元回归分析法)来求解成分浓度a、b、c、…。此时，针对每个要求解的成分浓度而言，至少与该成分浓度具有关联的特性值需要至少被测定一个而用于运算。另外，成分浓度是表示该成分相对于整体的相对量的尺度。被反复使用的显影液那样的成分随着时间经过而增减的混合液的成分浓度并不由该成分单独决定，通常成为其它成分的浓度的函数。因此，显影液的特性值与成分浓度的关系大多难以用平面的图表来表示。在这样的情况下，在使用检量线的运算法等中，无法根据显影液的特性值来算出成分浓度。然而，根据多变量解析法(例如多元回归分析法)，准备一组与要算出的成分浓度具有关联的多个特性值的测定值，并将它们用于运算，算出一组成分浓度。在基于多变量解析法(例如多元回归分析法)来进行的成分浓度测定中，能够获得如下显著效果：即使是根据现有的认知乍一看难以测定的成分浓度，也可以通过测定特性值来测定成分浓度。如上所述，根据本发明的运算方法，能够基于显影液的特性值(例如，导电率、特定波长下的吸光度及密度)的测定值来算出显影液的碱成分浓度、溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度。根据本发明的运算方法，与现有方法相比，能够高精度地算出各成分浓度。另外，在本发明中，使用了多变量解析法(例如多元回归分析法)，因此在算出显影液的成分浓度的运算中也可以采用与显影液的特定的成分浓度不呈直线关系的显影液的特性值。另外，根据本发明，在专利文献2的发明中为了实现高精度测定而需要的非常多的样本的准备以及预先测定是不需要的。(如前述的实验例那样，若为成分数n＝3的显影液，则将要测定的特性值的数设成是p＝3，准备满足m≥np的样本数m(例如m＝11个样本)进行测定就足够。若成分数n＝2，则样本数可以进一步减少)。进而，由于本发明使用多变量解析法(例如多元回归分析法)，因此能够精度良好地算出现有技术难以测定的显影液的吸收二氧化碳浓度。在本实施方式中，作为与显影液的溶解光致抗蚀剂浓度具有关联的显影液的特性值，例示了λ＝560nm下的吸光度，但并不限定于此。也可以将其它特定波长下的吸光度作为特性值来利用，其它特定波长下的吸光度即是指可见光区域、更为优选360～600nm的波长区域的特定波长下的吸光度，进而优选波长λ＝480nm下的吸光度。这是因为，包含在上述波长区域的特定波长下的吸光度与溶解抗蚀剂浓度具有比较良好的对应关系。另外，作为与显影液的吸收二氧化碳浓度具有关联的显影液的特性值而例示了密度，但并不限定于此。作为与显影液的溶解光致抗蚀剂浓度或吸收二氧化碳浓度具有关联的显影液的特性值，在与显影液的导电率组合来测定的特性值所能采用的特性值中，除了上述特定波长下的吸光度、密度之外，例如可以举出超声波传播速度、折射率、滴定终点、ph等。〔第三实施方式〕图3是用于说明本实施方式的显影液管理装置d的显影工序的示意图。本发明的显影液管理装置d与显影工序设备a、补充液贮存部b、循环搅拌机构c等一起被图示。需要说明的是，有时对与第一实施方式及第二实施方式的结构同样的结构标注同一附图标号而省略说明。本实施方式的显影液管理装置d具备测定部1、控制机构21及运算机构36。在本实施方式中，与第二实施方式不同的是，控制机构21与进行运算的运算机构36由分体的装置来构成。测定部1具备导电率仪11、第一特性值测定机构12a及第二特性值测定机构13a。运算机构36根据由第一特性值测定机构12a及第二特性值测定机构13a测定出的吸光度及密度并利用多变量解析来算出显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值。此时，能够根据导电率、吸光度及密度并利用多变量解析来算出溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度。控制部31基于由运算机构算出的溶解光致抗蚀剂浓度和吸收二氧化碳浓度，来求解存储于数据存储部23的导电率数据中的、根据测定出的溶解光致抗蚀剂浓度及测定出的吸收二氧化碳浓度而确定的浓度区域的导电率值。将求出的导电率值设定为显影液的导电率的控制目标值。其它结构、动作等与第二实施方式同样，因此省略。〔第四实施方式〕图4是用于说明本实施方式的显影液管理装置d的显影工序的示意图。本发明的显影液管理装置d与显影工序设备a、补充液贮存部b、循环搅拌机构c等一起被图示。需要说明的是，有时对与第一实施方式、第二实施方式及第三实施方式的结构同样的结构标注同一附图标号而省略说明。本实施方式的测定部1具备导电率仪11、第一浓度测定机构12及密度仪13b。控制机构21具备数据存储部23和运算部33。运算部33基于显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系，根据由密度仪13b测定出的显影液的密度来算出显影液的吸收二氧化碳浓度。控制部31基于由测定部1测定出的溶解光致抗蚀剂浓度及由运算部33算出的吸收二氧化碳浓度，来求解存储于数据存储部23的导电率数据中的、根据测定出的溶解光致抗蚀剂浓度及测定出的吸收二氧化碳浓度而确定的浓度区域的导电率值。将求出的导电率值设定为显影液的导电率的控制目标值。其它结构、动作等与第一实施方式同样，因此省略。对显影液的密度值与吸收二氧化碳浓度值的关系进行说明。发明人不断进行仔细研究的结果是，获得如下发现。即，与显影液的碱成分浓度、溶解光致抗蚀剂浓度无关，在显影液的密度值与吸收二氧化碳浓度值之间能够获得比较良好的对应关系(直线关系)。另外，若使用该对应关系(直线关系)，则能够利用密度仪来测定显影液的密度，由此能够测定现有技术难以测定的吸收二氧化碳浓度。发明人将使用了多变量解析法的显影液的成分浓度的运算所使用的11个校正标准溶液作为模拟显影液样本，并针对模拟显影液样本进行了如下实验：测定碱成分浓度(tmah浓度)、溶解光致抗蚀剂浓度、吸收二氧化碳浓度及密度，并确认成分浓度与密度的相关性。在以下的表6中示出各样本的成分浓度和密度的测定结果。表6是将表5的浓度测定值(wt％)与表3的密度(g/cm3)对比而得到的表。【表6】在图5中示出表6所示的各样本的吸收二氧化碳浓度与密度的图表。该图表是将吸收二氧化碳浓度(wt％)取为横轴且将密度(g/cm3)取为纵轴，绘制各样本的值而得到的图表。根据绘制出的各点并利用最小二乘法来求出回归直线。根据图5可以理解为，显影液的吸收二氧化碳浓度与碱成分浓度或溶解光致抗蚀剂浓度为何值无关，在显影液的吸收二氧化碳浓度与显影液的密度之间存在良好的直线关系。发明人根据该实验结果发现：若使用该显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系(直线关系)，则能够通过测定显影液的密度来算出显影液的吸收二氧化碳浓度。因而，能够与碱成分浓度(tmah浓度)或溶解抗蚀剂浓度无关而利用该对应关系(直线关系)并使用密度仪来测定显影液的吸收二氧化碳浓度。运算部33通过利用显影液的密度与吸收二氧化碳浓度的关系，而能够容易地测定显影液的吸收二氧化碳浓度。〔第五实施方式〕图6是用于说明本实施方式的显影液管理装置d的显影工序的示意图。本发明的显影液管理装置d与显影工序设备a、补充液贮存部b、循环搅拌机构c等一起被图示。需要说明的是，有时对与第一实施方式及第二实施方式的结构同样的结构标注同一附图标号而省略说明。本实施方式的显影液管理装置d具备测定部1、控制机构21及运算机构37。在本实施方式中，与第四实施方式不同的是，控制机构21与进行运算的运算机构37由不同体的装置构成。本实施方式的测定部1具备导电率仪11、第一浓度测定机构12及密度仪13b。运算机构37基于显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系，根据由密度仪13b测定出的显影液的密度来算出显影液的吸收二氧化碳浓度。控制部31基于由测定部1测定出的溶解光致抗蚀剂浓度及由运算机构37算出的吸收二氧化碳浓度，来求解存储于数据存储部23的导电率数据中的、根据测定出的溶解光致抗蚀剂浓度及测定出的吸收二氧化碳浓度而确定的浓度区域的导电率值。将求出的导电率值设定为显影液的导电率的控制目标值。其它结构、动作等与第四实施方式同样，因此省略。如上所述，根据本实施方式的显影液管理装置d，无论显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度变成什么样，都能够将显影液中的对显影作用具有活性的成分维持成固定，因此能够实现可维持所期望的显影性能且可维持基板上的布线图案的所期望的线宽及剩余膜厚的显影处理。接着，对本实施方式的显影液管理装置d的变形例进行说明。在图1～4、6中，绘制了显影液管理装置d的测定部1与控制机构21、运算机构36、37一体构成的显影液管理装置d，但本实施方式的显影液管理装置d并不限定于此。也可以将测定部1设为不同体的结构。在测定部1中，根据分别采用的测定原理而存在最佳的设置方法，例如，可以将测定部1与显影液管路80在线连接，或者可以将测定探针以浸渍的方式设置于显影液贮存槽61。导电率仪11、第一浓度测定机构12、第一特性值测定机构12a、第二浓度测定机构13、第二特性值测定机构13a及密度仪13b的各测定机构可以分别独立地设置。就本实施方式的显影液管理装置d而言，只要是各测定机构以能够与控制机构21、运算机构36、37进行测定数据的交换的方式相互联络的方案，就能够实现。根据各测定机构所采用的测定原理，若需要添加试剂，则各测定机构可以具备用于添加试剂的配管，若需要废弃液体，则各测定机构可以具备用于废弃液体的管路。即便各测定机构不串联连接，也能够实现本实施方式的显影液管理装置d。在图1～4、6中，绘制出如下方案：以设置在输送向显影液补给的补充液的管路上的控制阀41～43成为显影液管理装置d的内部部件的方式，将显影液管理装置d与补充液用管路81、82及纯水用管路83连接，但本实施方式的显影液管理装置d并不限定于此。显影液管理装置也可以不具备控制阀41～43作为内部部件，显影液管理装置也可以不与用于向显影液补给补充液的管路81～83连接。只要是如下方案即可：本实施方式的显影液管理装置d中的控制机构21与设置在用于补给补充液的管路上的控制阀41～43以控制阀41～43接收由显影液管理装置d的控制机构21发出的控制信号而被控制的方式相互联络。即便控制阀不成为显影液管理装置d的内部部件，也能够实现本实施方式的显影液管理装置d。〔第六实施方式〕图7是用于说明本实施方式的显影液管理装置d的示意图。本实施方式的显影液管理装置d具有与第一实施方式同样的结构。需要说明的是，对与第一实施方式至第五实施方式的结构同样的结构标注同一附图标号而省略说明。如图7所示，第六实施方式的显示机构22将显影液的导电率值、碱成分浓度值、溶解光致抗蚀剂浓度值及吸收二氧化碳浓度值中的、至少导电率值及碱成分浓度值中的任一方以测定时刻或测定开始起算的经过时间为指标来图表显示。另外，在本实施方式中，显示机构22能够通过设定在显示机构22的画面上的显示切换机构即切换按钮bt来进行特性值及成分浓度的图表显示的切换。在第一实施方式至第五实施方式中，也可以适用第六实施方式的显示机构22。本发明的显影液管理装置虽然允许上述各种的变形例，但需要构成为：具备导电率数据，该导电率数据按照以显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度为指标而确定的浓度区域，具有预先确认了实现规定的显影性能的所述显影液的导电率值，将根据显影液的溶解光致抗蚀剂浓度的测定值及吸收二氧化碳浓度的测定值而确定的浓度区域的导电率数据的导电率值作为控制目标值，以使显影液的导电率成为所述控制目标值的方式输送向所述显影液补给的补充液。如上所述，根据本发明的显影液的管理方法及显影液管理装置，无论显影液的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度变成什么样，都能够将显影液中的对显影作用具有活性的成分维持成固定，因此能够实现可维持所期望的显影性能且可维持基板上的布线图案的所期望的线宽及剩余膜厚的显影处理。作为显影液管理装置的优选的方式，利用多变量解析法来算出溶解光致抗蚀剂浓度、吸收二氧化碳浓度，因此能够精度良好地算出溶解光致抗蚀剂浓度、吸收二氧化碳浓度。能够基于上述的溶解光致抗蚀剂浓度及吸收二氧化碳浓度并根据导电率数据来求解目标的导电率值。而且，作为显影液管理装置的优选的方式，基于显影液的吸收二氧化碳浓度与密度之间的对应关系，根据由密度仪测定出的显影液的密度来算出显影液的吸收二氧化碳浓度。由此，能够更为简便地求解显影液的吸收二氧化碳浓度。能够基于该吸收二氧化碳浓度及另行求出的溶解光致抗蚀剂浓度并根据导电率数据来求解目标的导电率值。当前第1页12