光罩组件以及曝光装置的制作方法

文档序号:13136079阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及显示技术领域,公开了一种光罩组件以及曝光装置,所述光罩组件(3)包括具有透光区域(300)和遮光区域(301)的光罩(30)以及至少覆盖所述透光区域(300)的第一偏光层(31),所述光罩组件(3)还包括与所述光罩(30)相对设置且能够围绕垂直于所述光罩(30)的轴线旋转的偏光基板(32)。该光罩组件能够任意调节透过光罩的透光区域的光的透过率。在所述曝光装置中设置上述光罩组件(3),能够改善制备工艺,例如可提高制备彩色滤光片中的不同的间柱层的效率。

技术研发人员:蔡财福
受保护的技术使用者:东旭(昆山)显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司
文档号码:201720497643
技术研发日:2017.05.05
技术公布日:2017.12.08

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