技术特征：
技术总结
本发明属于薄膜光学技术领域，涉及一种深紫外窄带滤光片制备方法，具体工艺过程包括设计膜系公式、制备基底层、制备滤光片层、制备膜层和控制膜层厚度五个步骤，利用F‑P带通滤光膜的设计概念对金属‑介质组合的透射滤光片进行设计，选择串置金属‑介质滤光片来抑制长波区的旁通带，采用全介质滤光片来降低带宽，在双半波F‑P干涉滤光片结构基础上串置以高折射率材料/低折射率材料组成的多层膜结构形成结构简单的F‑P滤光片，实现在特定的深紫外波段的深度截止，通过改变滤光片层的形状，能够降低深紫外窄带滤光片的半带宽；其滤光片结构简单，制作方法简便，原理科学可靠，保证可见光的透过率和深度截止，降低深紫外窄带滤光片的半带宽。
技术研发人员：吴锜;佟瑶;窦琳
受保护的技术使用者：德州尧鼎光电科技有限公司
技术研发日：2018.05.16
技术公布日：2018.10.19