一种掩模的显影装置的制作方法

本实用新型涉及掩模显影的技术领域，具体为一种掩模的显影装置。

背景技术：

由于摩尔定律的作用，半导体器件变得越来越小，在晶圆上形成的图案尺寸也随之变小，随着晶圆尺寸的变大和对显影分辨率要求的提升，对于工艺中的条宽均匀性的要求也在提高，由于掩模与晶圆的条宽是一定比例的投影关系，因此对掩模的条宽均匀性的要求也越来越严格。其中显影对线宽均匀性的影响很大，以往的显影方法，通过在成片台的上方布置若干喷淋管，然后每根喷淋管对接一个喷头，使得喷头喷出的显影液涂布于固定在成片台的掩模上，由于喷头不能覆盖所有的区域，其会造成中心和边缘处显影液覆盖不均匀导致的条宽均匀性较差的问题。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型提供了一种掩模的显影装置，其可保证掩模中心和边缘处的显影液覆盖均匀，效提升掩模条宽均匀性的显影。

一种掩模的显影装置，其特征在于：其包括上端面开口的显影壳体，显影壳体的底部设置有下凹显影液流出腔，所述显影液流出腔通过外接排出管流出多余显影液，所述显影液壳体的底部中心位通过贯穿有旋转吸头的转轴，所述旋转吸头的内腔设置有气路腔体，所述气路腔体通过连接气路外接至抽气结构，所述旋转吸头的上端面用于吸持掩模的下端面，所述显影壳体的上部环壁设置有显影液腔体，所述显影液腔体的外环面分别连接有水入口、高浓度显影液入口，所述显影液腔体的内环面上设置有至少两根输出管，所述输出管的输出端分别固接显影喷头的输入端，所述显影喷头的输出端布置有矩形阵列的喷头孔，所述喷头孔垂直向下布置，所述显影喷头位于所述旋转吸头的正上方布置，所述旋转吸头即为圆形承载台，所述显影喷头的横截面为矩形，所述显影喷头的横截面的对角线长度不小于所述掩模直径。

其进一步特征在于：所述气路腔体通过位于转轴中心的垂直向连接气路外接至抽气结构；

所述高浓度显影液入口外接有显影液入口管，所述显影液入口管的外环面套装有水套；

所述显影腔体的内环面上设置有两根输出管，两根所述输出管位于所述旋转吸头的两侧布置，两根所述输出管的垂直向输出端分别固接所述显影喷头的上端面的两个不同位置，确保显影喷头的稳固可靠便捷安装；

所述显影腔体内部设置有泵结构，该泵结构用于调节显影液进入显影喷头的流量；

所述显影腔体内设置有温度计，确保泵入显影喷头的显影液的温度达到设计要求。

采用本实用新型后，通过采用掩模旋转、显影喷头固定的方法，能缩短显影液涂布时间，同时由于显影喷头通过液体泵将显影液泵入并通过喷淋孔覆盖下方掩模所对应的面域，其改善显影液在掩模中心处和边缘处覆盖不均的问题，提高线宽均匀性。

附图说明

图1为本实用新型的装置的结构示意简图；

图2为本实用新型的装置的显影喷头和掩模的面域投影关系结构示意图；

图中序号所对应的名称如下：

显影壳体1、显影液流出腔2、排出管3、旋转吸头4、转轴5、连接气路6、显影液腔体7、水入口8、高浓度显影液入口9、输出管10、显影喷头11、喷头孔12、显影液入口管13、水套14、垂直向输出端15、掩模16。

具体实施方式

一种掩模的显影方法：其在圆形承载台的正上方设置显影喷头，显影喷头的横截面为矩形形状，显影喷头的对角线的长度不小于圆形承载台的直径，并将显影喷头水平平行于圆形承载台布置，显影喷头的下端面上均布有矩形阵列排布的喷淋孔，喷淋孔垂直向下布置，将掩模固装于承载台上端面，驱动承载台旋转的同时，显影喷头通过液体泵将显影液泵入并通过喷淋孔覆盖下方掩模所对应的面域，在掩模旋转过程中，显影液均匀覆盖掩模的中心和边缘处。

显影喷头的面域中心重合于圆形承载台的面域中心布置；

显影喷涂的对角线的长度等于圆形承载台的直径，确保制作成本最小；

显影液泵入显影喷头时：显影液温度为22±1℃，显影液的流量为200～260L/min，显影液浓度为2％～3％，显影液反应时间100s～150s，喷淋压力为0.2～0.3MPa；

承载台的旋转速度为10～5000rpm/min；

具体实施例中，显影液的浓度为2.38％，其通过水和高浓度显影液混合获得。

一种掩模的显影装置，见图1、图2：其包括上端面开口的显影壳体1，显影壳体1的底部设置有下凹显影液流出腔2，显影液流出腔2通过外接排出管3流出多余显影液，显影液壳体1的底部中心位通过贯穿有旋转吸头4的转轴5，旋转吸头4的内腔设置有气路腔体，气路腔体通过连接气路6外接至抽气结构(图中未画出)，旋转吸头4的上端面用于吸持掩模的下端面，显影壳体1的上部环壁设置有显影液腔体7，显影液腔体7的外环面分别连接有水入口8、高浓度显影液入口9，显影液腔体7的内环面上设置有至少两根输出管10，输出管10的输出端分别固接显影喷头11的输入端，显影喷头11的输出端布置有矩形阵列的喷头孔12，喷头孔12垂直向下布置，显影喷头11位于旋转吸头4的正上方布置，旋转吸头4即为圆形承载台，显影喷头11的横截面为矩形，显影喷头11的横截面的对角线长度不小于掩模16的直径。

气路腔体通过位于转轴5中心的垂直向连接气路外接至抽气结构；

高浓度显影液入口9外接有显影液入口管13，显影液入口管13的外环面套装有水套14；

显影腔体7的内环面上设置有两根输出管10，两根输出管10位于旋转吸头4的两侧布置，两根输出管10的垂直向输出端15分别固接显影喷头11的上端面的两个不同位置，确保显影喷头11的稳固可靠便捷安装；

显影腔体7内部设置有泵结构(图中未画出、根据实际情况布置对应的型号和位置)，该泵结构用于调节显影液进入显影喷头11的流量；

显影腔体7内设置有温度计(图中未画出、根据实际情况布置对应的型号和位置)，确保泵入显影喷头11的显影液的温度达到设计要求。

以上对本实用新型的具体实施例进行了详细说明，但内容仅为本实用新型创造的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型创造的实施范围。凡依本实用新型创造申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。