一种掩模的显影装置的制作方法

文档序号:16277912发布日期:2018-12-14 22:42阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掩模的显影装置,其特征在于:其包括上端面开口的显影壳体,显影壳体的底部设置有下凹显影液流出腔,所述显影液流出腔通过外接排出管流出多余显影液,所述显影壳体的底部中心位通过贯穿有旋转吸头的转轴,所述旋转吸头的内腔设置有气路腔体,所述气路腔体通过连接气路外接至抽气结构,所述旋转吸头的上端面用于吸持掩模的下端面,所述显影壳体的上部环壁设置有显影液腔体,所述显影液腔体的外环面分别连接有水入口、高浓度显影液入口,所述显影液腔体的内环面上设置有至少两根输出管,所述输出管的输出端分别固接显影喷头的输入端,所述显影喷头的输出端布置有矩形阵列的喷头孔,所述喷头孔垂直向下布置,所述显影喷头位于所述旋转吸头的正上方布置,所述旋转吸头即为圆形承载台,所述显影喷头的横截面为矩形,所述显影喷头的横截面的对角线长度不小于所述掩模直径。

2.如权利要求1所述的一种掩模的显影装置,其特征在于:所述气路腔体通过位于转轴中心的垂直向连接气路外接至抽气结构。

3.如权利要求1所述的一种掩模的显影装置,其特征在于:所述高浓度显影液入口外接有显影液入口管,所述显影液入口管的外环面套装有水套。

4.如权利要求1所述的一种掩模的显影装置,其特征在于:所述显影液腔体的内环面上设置有两根输出管,两根所述输出管位于所述旋转吸头的两侧布置,两根所述输出管的垂直向输出端分别固接所述显影喷头的上端面的两个不同位置。

5.如权利要求1所述的一种掩模的显影装置,其特征在于:所述显影液腔体内部设置有泵结构。

6.如权利要求1所述的一种掩模的显影装置,其特征在于:所述显影液腔体内设置有温度计。

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