技术总结
本实用新型提供了一种掩模的显影装置，其可保证掩模中心和边缘处的显影液覆盖均匀，效提升掩模条宽均匀性的显影。其包括上端面开口的显影壳体，显影壳体的底部设置有下凹显影液流出腔，所述显影液流出腔通过外接排出管流出多余显影液，所述显影液壳体的底部中心位通过贯穿有旋转吸头的转轴，所述旋转吸头的内腔设置有气路腔体，所述气路腔体通过连接气路外接至抽气结构，所述旋转吸头的上端面用于吸持掩模的下端面，所述显影壳体的上部环壁设置有显影液腔体，所述显影液腔体的外环面分别连接有水入口、高浓度显影液入口，所述显影液腔体的内环面上设置有至少两根输出管，所述输出管的输出端分别固接显影喷头的输入端。
技术研发人员：尤春
受保护的技术使用者：无锡中微掩模电子有限公司
技术研发日：2018.04.20
技术公布日：2018.12.14