一种全自动半导体晶片的生产系统及方法与流程

文档序号:17657998发布日期:2019-05-15 22:11阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及半导体技术领域。一种全自动半导体晶片喷胶设备,该设备包括机架、喷胶平台、旋转盘、旋转升降驱动装置、水平竖直移动装置、喷嘴和防溅罩;喷胶平台设置在机架的中层,旋转盘设置在喷胶平台上,旋转升降驱动装置设置在旋转盘的底部,且通过旋转升降驱动装置带动旋转盘升降和旋转;喷嘴设置在水平竖直移动装置上,且通过水平竖直移动装置带动喷嘴水平竖直移动;机架的下层设有胶液装置;防溅罩设置在旋转盘的外侧。本发明的有益效果是:能够使喷嘴前后左右移动,提高喷胶效率;设置有升降气缸,能够使旋转盘升降,提高喷胶效果;能够减少有害物质对人体的影响;对废液进行统一处理,保护环境;能够使喷嘴工作前进行试喷,防止喷嘴堵塞。

技术研发人员:田丽玖
受保护的技术使用者:田丽玖
技术研发日:2019.01.11
技术公布日:2019.05.14
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