专利名称：4.26微米窄带滤光片的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光学技术领域，涉及一种除透镜以外的光学元部件，是一种选择所需红外光谱的滤光片。
红外分析仪是利用气体红外特性吸收峰测定气体含量的仪器，选择特定波长的红外气体分析滤光片无疑是红外气体分析仪的关键部件。现红外分析仪以其快速、精度高的特点已广泛应用于化工、环保、钢铁、医学、军工等部门。
由于CO2气体在4.26微米波长处具有一较强特征吸收光谱，通过探测气体对选择4.26微米波长滤光片红外光谱的衰减可推算其CO2含量。
本实用新型的目的是提供一种中心波长为4.26微米的红外窄带滤光片。
本实用新型通过以下技术方案实现1、以表面抛光、外径12，厚度0.8mm的白宝石作基片；2、膜层介质材料选用硒化锌和碲化铅，在基板上真空蒸镀多层干涉薄膜。
3、第一面膜系采用ns/LH4LHLHLH4LHLHLH4LH2L/no；第二面膜系采用ns/[LHL]s/no式中各符号的含义分别为ns表示白宝石基板；L表示硒化锌的λo/4层，H表示碲化铅的λo/4层；中心波长λo/4为4.26微米；no表示空气。
本实用新型的
如下图1为本实用新型第一面和第二面膜排列示意图。图中示出了基板1和硒化锌涂层3及碲化铅涂层2。
图2为本实用新型第一面膜系即主膜系的光谱透过率曲线。
图3为本实用新型第二面膜系即次峰截止膜系的光谱透过率曲线。
图4为本实用新型4.26微米滤光片产品实测光谱透过率曲线。
下面对本实用新型实施方式和特点进行说明由于本滤光片波形系数(η=Δλ0.10Δλ0.50)]]>要求较高，故膜系采用多层三半波结构，为达到要求的较窄带宽，采用了高级次半波层来压窄带宽。
第一面膜系和第二面膜系分别通过真空镀膜将硒化锌和碲化铅膜料交替蒸镀在基片的二个面上。其第一面与第二面膜系的光谱曲线分别在图2和图3中示出，其膜系示意排列在图1中示出。
选用高折射率窄禁带碲化铅材料，利用其本征吸收特性截除低于3.8微米的次峰，并加深截止深度。
为减小背景干扰，滤光片中心波长定位精度要求在±0.01微米范围內，采用了优良的膜厚监控方法。
采用的反射式奇级次间接直控法光电监控，由于该膜厚监控方法层与层的补偿良好，而使高性能4.26微米滤光片的制备提高丁成品率，形成了批量生产。
经试制检测本滤光片性能实测结果如下1、成品外形外径12毫米，厚0.8毫米；2、中心波长λo＝4.26±0.01微米；3、半宽度Δλ0.50＝0.14±0.02微米
4、波形系数η=Δλ0.10Δλ0.00≤1,4]]>Δλ0.10和Δλ0.50分别为峰值透过率的10％和50％处的透过光谱波形的宽度。
5、峰值透过率 Tmax≥70％6、截止波长除主峰外全部截止；7、截止深度Tc≤0.5％。
本实用新型有如下有益效果1、滤光片达到优良的技术指标，具有独特的4.26微米中心波长及带宽、波形及透过率。并在截止区內截止深度小于0.5％，采用本滤光片可起到限制光谱范围，抑制背景光干扰的作用。
2、本技术方案成品率高，本产品能形成批量生产，滤光片性能稳定，能经受苛刻的环境考验。
3、对于CO2气体在4.26微米处具有较强的特征吸收光谱，通过测量采样气体对4.26微米一定宽度红外线的衰减，可监测CO2气体的含量，特别适用于环境、医用、化肥等方面的检测，也适用于钢铁的碳含量的分析、检测。
权利要求1.一种滤光片，在一基板两个面上分别蒸镀多层介质膜组成，其特征为a.基板(1)为表面抛光直径12毫米，厚0.8微米的白宝石材料；b.镀层介质膜材料选用硒化锌(3)及碲化铅(2)，在真空镀膜机中交替蒸镀多层干涉膜；c.第一面的膜系采用ns/LH4LHLHLH4LHLHLH4LH2L/no；第二面的膜系采用ns/[LHL]s/no排列式中各符号的含义分别为ns代表白宝石基板，L代表硒化锌的λo/4层，H代表碲化铅的λo/4层， 中心波长λo为4.26微米，no表示空气。
专利摘要本实用新型提供了一种4.26微米红外窄带滤光片，它是以白宝石为基板，硒化锌，碲化铅为膜层材料，采用真空蒸镀制备的干涉滤光片。膜系设计采用波形系数良好，高级次半波层的三半波膜系，滤光片成品为外径ф12毫米，厚0.8毫米的圆片，除主峰外全部波段范围截止深度优于0.5％。本实用新型适于批量生产，成品率高，产品光学性能及膜层牢固度满足使用要求，适合于环境监测，医用、化肥、钢铁碳含量等的分析仪的使用。
文档编号G02B5/20GK2252345SQ9524486
公开日1997年4月16日 申请日期1995年10月12日 优先权日1995年10月12日
发明者严义埙, 朱玲心, 张麟, 黄泳宝, 张素英, 张文德 申请人:中国科学院上海技术物理研究所