液晶显示面板及其像素的制作方法_2

文档序号:9199739阅读:来源:国知局
一基板和该第 二基板之间;该像素区域具有当施加电压时,该液晶层中的液晶分子沿第一方向(左上)、 第二方向(左下)、第三方向(右上)和第四方向(右下)倾斜的第一液晶畴区域、第二液 晶畴区域、第三液晶畴区域和第四液晶畴区域,该第一至第四液晶畴区域之间的边界显示 为十字型的黑纹区域。
[0037] 参考图3,公共电极02具体设置为该黑纹区域覆盖的与该数据线平行的公共电极 线。像素电极07,设置为与该开关元件电连接,且该像素电极07与该公共电极02之间隔置 有保护层13、绝缘厚膜层14,形成第一存储电容。还包括存储电极08,设置为与该像素电极 07电连接,且与该公共电极02图案重合,该存储电极08与该公共电极02之间隔置有栅极 绝缘层12,形成第二存储电容。
[0038] 参考图2,具体地,存储电极08具有在该像素区域内与该公共电极02图案重合的 线段,且具有一延长部,该存储电极08延长部区域与薄膜晶体管的漏极05重叠,像素电极 07通过该接触孔06与该重叠区域实现电学连接。其中,漏极05、公共电极02和数据线03 同布置为第二层金属,存储电极08与栅线01同布置为第一层金属。
[0039] 具体地,绝缘厚膜层可以为酚醛树脂等树脂类有机材料,也可以为水玻璃 (Na20*mSi02)等无机绝缘材料。保护层的材料一般采用氮化娃(SiNx)、氧化娃(Si02)、氧 化铝(Al203)等无机绝缘材料。
[0040] 结合参考图2和图3,本发明还提供了液晶显示面板的该实施例所述像素的制作 方法,其包括以下制作步骤:
[0041] (1)在第一基板11上,优选地为在玻璃基板上溅射形成第一层金属薄膜。利用第 一张掩膜版,通过光刻胶的涂布、曝光、显影、刻蚀等工艺形成栅线01和存储电极08的图 案。
[0042] (2)在第一金属层的图案上,用化学气相沉积工艺形成透明的栅极绝缘层12。在 栅极绝缘层12的上方沉积半导体层04。利用第二张掩膜版,通过光刻胶的涂布、曝光、显 影、刻蚀等工艺形成半导体层的沟道图案。
[0043] (3)在半导体层04的图案上,溅射形成第二层金属薄膜。利用第三张掩膜版,通过 光刻胶的涂布、曝光、显影、刻蚀等工艺形成公共电极线02、数据线03、漏极05等图案。公 共电极线02与存储电极08,隔着栅极绝缘层12,形成第二存储电容。
[0044] (4)在第二金属层的图案上,用化学气相沉积工艺形成透明的保护层13。在保护 层13的上方涂布一层透明的绝缘厚膜层14。绝缘厚膜层14的厚度为Ium~4um。利用第 四张掩膜版,通过光刻胶的涂布、曝光、显影、刻蚀等工艺形成接触孔06图案。
[0045] (5)在绝缘厚膜层14和接触孔06的上方,溅射形成ITO透明导电薄膜。利用第五 张掩膜版,通过光刻胶的涂布、曝光、显影、刻蚀等工艺形成像素电极07图案。像素电极07 覆盖接触孔06,同时覆盖在漏极05和存储电极08的上方,实现漏极05和存储电极08的电 学连接,并且与像素电极07保持等电位。
[0046] (6)在第一基板和第二基板(图未示)上,分别涂覆配向膜。在第一基板的所述像 素的配向膜上沿着水平方向分别进行左右两个方向(或者沿着垂直方向分别进行上下两 个方向)的紫外光配向;在第二基板的所述像素的配向膜上沿着垂直方向分别进行上下两 个方向(沿着水平方向分别进行左右两个方向)的紫外光配向。在第一基板和第二基板之 间注入液晶并贴合后,所述像素区域具有当施加电压时,该液晶层中的液晶分子沿第一方 向(左上)、第二方向(左下)、第三方向(右上)和第四方向(右下)倾斜的第一液晶畴 区域、第二液晶畴区域、第三液晶畴区域和第四液晶畴区域,该第一至第四液晶畴区域之间 的边界显示为十字型的黑纹区域。
[0047] 本发明该实施例提供的像素,在采用光配向的像素中,公共电极和存储电容都隐 藏到黑纹08的下面。不额外占用像素的开口面积,像素的开口率高。
[0048] 图5为示意性示出本发明另一实施例像素结构平面示意图;图6为示意性示出本 发明图5中沿B-B'方向的剖面示意图;图7为本发明图5中像素结构中光配向黑纹位置平 面示意图。结合参考图5-7,本发明该实施例提供一像素,包括:第一基板和第二基板(图 未示);栅线Ol和数据线03,设置为彼此交叉在该第一基板上限定像素区域;开关元件,设 置在该栅线01和该数据线03的交叉处;优选地,开关元件为以栅线01为栅极,以半导体层 04为沟道,以数据线03为源极形成薄膜晶体管开关器件。
[0049] 参考图7,垂直取向型液晶层(图未示),夹置在该像素区域的该第一基板和该第 二基板之间;该像素区域具有当施加电压时,该液晶层中的液晶分子沿第一方向(左上)、 第二方向(左下)、第三方向(右上)和第四方向(右下)倾斜的第一液晶畴区域、第二液 晶畴区域、第三液晶畴区域和第四液晶畴区域,该第一至第四液晶畴区域之间显示为十字 型的黑纹区域。
[0050] 参考图6,公共电极02具体设置为该黑纹区域覆盖的与该数据线平行的公共电极 线。像素电极07,设置为与该开关元件电连接,且该像素电极07与该公共电极02之间隔置 有保护层13,形成第一存储电容。
[0051] 具体地,保护层的材料一般采用氮化硅(SiNx)、氧化硅(Si02)、氧化铝(A1203)等 无机绝缘材料。该保护层的厚度为在丨000~4000A范围内。可根据设置保护层的不同厚度 调节第一存储电容的大小。
[0052] 参考图5,像素电极07通过该接触孔06与开关元件实现电学连接。其中,漏极05、 公共电极02和数据线03同布置为第二层金属。
[0053] 结合参考图5和图6,本发明还提供了液晶显示面板的该实施例所述像素的制作 方法,其包括以下制作步骤:
[0054] (1)在第一基板11上,优选地为在玻璃基板上溅射形成第一层金属薄膜。利用第 一张掩膜版,通过光刻胶的涂布、曝光、显影、刻蚀等工艺形成栅线01图案。
[0055] (2)在第一金属层的图案上,用化学气相沉积工艺形成透明的栅极绝缘层12。在 栅极绝缘层12的上方沉积半导体层04。利用第二张掩膜版,通过光刻胶的涂布、曝光、显 影、刻蚀等工艺形成半导体层的沟道图案。
[0056] (3)在半导体层04的图案上,溅射形成第二层金属薄膜。利用第三张掩膜版,通过 光刻胶的涂布、曝光、显影、刻蚀等工艺形成公共电极线02、数据线03、漏极05等图案。
[0057] (4)在第二金属层的图案上,用化学气相沉积工艺形成透明的保护层13。利用第 四张掩膜版,通过光刻胶的涂布、曝光、显影、刻蚀等工艺形成接触孔06图案。
[0058] (5)在接触孔06的上方,溅射形成ITO透明导电薄膜。利用第五张掩膜版,通过光 刻胶的涂布、曝光、显影、刻蚀等工艺形成像素电极07图案。像素电极07覆盖接触孔06,同 时覆盖在漏极05上方,实现漏极05的电学连接,并且与像素电极07保持等电位。
[0059] (6)在第一基板和第二基板(图未示)上,分别涂覆配向膜。在第一基板的所述像 素的配向膜上沿着水平方向分别进行左右两个方向(或者沿着垂直方向分别进行上下两 个方向)的紫外光配向;在第二基板的所述像素的配向膜上沿着垂直方向分别进行上下两 个方向(沿着水平方向分别进行左右两个方向)的紫外光配向。在第一基板和第二基板之 间注入液晶并贴合后,所述像素区域具有当施加电压时,该液晶层中的液晶分子沿第一方 向(左上)、第二方向(左下)、第三方向(右上)和第四方向(右下)倾斜的第一液晶畴 区域、第二液晶畴区域、第三液晶畴区域和第四液晶畴区域,该第一至第四液晶畴区域之间 的边界显示为十字型的黑纹区域。
[0060] 该实施例与上述实施例的区别在于,该实施例未设置存储电极。具体而言,上述实 施例的存储电容包括第一存储电容和第二存储电容,存储电极与公共电极线之间隔着栅极 绝缘层形成第一存储电容,公共电极线与像素电极之间隔着保护层形成第二存储电容。而 该实施例仅设置第二存储电容,通过控制加厚或者减薄保护层的厚度,可以保证用第二存 储电容即可满足像素电学性能的要求。
[0061] 图8为示意性示出本发明又一实施例像素结构平面示意图;图9为示意性示出本 发明图8中沿C-C'方向的剖面示意图;图10为本发明图8中像素结构中光配向黑纹位置平 面示意图。结合参考图8-10,本发明该实施例提供一像素,包括:第一基板和第二基板(图 未示);栅线01和数据线03,设置为彼此交叉在该第一基板上限定像素区域;开关元件,设 置在该栅线01和该数据线03的交叉处;优选地,开关元件为以栅线01为栅极,以半导体层 04为沟道,以数据线03为源极形成薄膜晶体管开关器件。
[0062] 参考图10,垂直取向型液晶层(图未示),夹置在该像素区域的该第一基板和该第 二基板之间;该像素区域具有当施加电压时,该液晶层中的液晶分子沿第一方向(左上)、 第二方向(左下)、第三方向(右上)和第四方向(右下)倾斜的第一液晶畴区域、第二
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