的上表面上施加有Au涂层119。该Au涂层119与LD阵列条110的下表面的接地端子(未图示)连接。LD阵列条110被配置为与副安装座118上的Au涂层119连接，从而隔着副安装座118被固定于玻璃基板120。
[0106]LD阵列条110的上表面的端子经由倒装芯片115a与电路基板114连接。并且，glj安装座118上的Au涂层119也经由倒装芯片115b与电路基板114上的接地端连接。在该电路基板114上搭载有用于驱动该LD阵列条110的驱动器IC 116。该电路基板114经由柔性基板112( —并参照图8)与图7所示的LD阵列驱动器113连接。
[0107]在LD阵列条110的射出端面侧配置有反射棱镜121。该反射棱镜121反射来自LD阵列条110的射出光并使其透过玻璃基板120而入射到图8所示的平板状的柱状透镜122。
[0108]图12是示出玻璃基板上的LD阵列条的另一个排列形式的图。
[0109]在图10、图11所示的排列形式的情况下，LD阵列条110以从构成该LD阵列条110的多个LD向与玻璃基板120的表面平行的方向射出光的姿势固定在玻璃基板120上，通过被反射棱镜121反射而透过玻璃基板120。
[0110]与此相对，在该图12中，LD阵列条110以从构成该LD阵列条110的多个LD朝向玻璃基板120射出光的姿势经由副安装座118’固定在玻璃基板120上。
[0111]这里，进行简化而以仅LD阵列条110固定在副安装座118’上的方式进行图示，但具有如下构造:在副安装座118’上除了反射棱镜121还组装有与图11相同的部件，以使LD阵列条110的射出面朝下的方式立起副安装座118’并固定在玻璃基板120上。LD阵列条110也可以像该图12所示那样排列在玻璃基板120上。
[0112]根据以上的本实施方式的照明单元10，作为一例可以是宽度为0.9m、进深为0.3m、高度为0.6m左右的尺寸，与参照图3进行说明的采用了水银灯的以往的照明单元相比实现大幅的尺寸缩小。
[0113]图13是示出一个照明光学系统的照明区域的照明图案的图。
[0114]图1中所不的移动方向A在该图13中也由前头A表不。
[0115]如图13所示，通过长条的缝状的曝光光170对微透镜阵列30上的微透镜31按照各列进行照明。不过，曝光光170直接对微透镜阵列30上的掩模20(参照图1)进行照明，省略了掩模20的图示。
[0116]在图13的(A)中示出了由12条曝光光束173构成的多光束174(参照图7)照射在微透镜阵列30上的状态。
[0117]并且，图13的(B)是以隔I条的方式对排列的LD阵列条进行驱动而使来自其他的隔I条的LD阵列条的发出光的射出停止的状态的图。
[0118]图13的(C)是与图13的⑶相比进一步仅驱动一半条数的LD阵列条的状态的图。
[0119]图13的⑶作为比较例示出与基于图3所示的照明单元90的本实施方式的一个照明光学系统所承担的照明区域相同的照明区域179。
[0120]根据本实施方式的照明单元10，如果对基板50(参照图1)上进行曝光的曝光光量要实现与比较例(图13的(D))相同的曝光光量，则依靠图13的(C)就够了，消耗电力也是4分之I左右即可。在需要增加对基板50的曝光光量时，能够通过像图13的(B)或者图13的(A)那样进一步驱动多条LD阵列条而提高曝光光量。
[0121]如上所述，根据本实施方式，使照明单元大幅地小型化，因此曝光装置大幅地小型化，消耗电力进一步降低。
[0122]标号说明
[0123]1:曝光装置；10、90:照明单元；20:掩模；30:微透镜阵列；31:微透镜；32:视野光圈；40:驱动装置；50:基板;91:光源;92、100:照明光学系统；93:曝光区域；111:LD ;112:柔性基板；113:LD阵列驱动器；114:电路基板；115a、115b:倒装芯片；116:驱动器IC;117、171:反射棱镜；118、118’:副安装座；119:Au涂层；120:玻璃基板；121:反射棱镜；122:柱状透镜；123:投光光学系统；170:曝光光；171、172:光束；173:曝光光束；174 ??多光束；301:单位微透镜阵列；911:水银灯；921:第I镜；922:透镜；923:第2镜；924:第3Ho
【主权项】
1.一种曝光装置，其具有: 照明单元，其射出曝光光； 掩模，其形成有曝光图案，并接受来自所述照明单元的曝光光的照射； 微透镜阵列，其将所述掩模作为被摄体；以及 移动机构，其使所述照明单元和所述微透镜阵列相对于所述掩模和基板这双方，向规定的移动方向相对移动，其中，通过该微透镜阵列将该掩模上的曝光图案成像在所述基板上， 该曝光装置借助由所述移动机构实现的向所述移动方向的相对移动，在所述基板上的具有超过所述微透镜阵列静止时的曝光区域的广度的区域内，将该基板曝光成与所述掩模上的曝光图案对应的图案， 该曝光装置的特征在于， 所述微透镜阵列具有以二维方式配置的多个微透镜，该多个微透镜包含朝向与所述移动方向交叉的交叉方向的排列， 所述照明单元具有: 发光元件阵列，其排列有多个发光元件；以及 照明光学系统，其将从构成所述发光元件阵列的多个发光元件射出的多个发出光转换成曝光光束，并将该曝光光束引导到在该交叉方向上排列的多个微透镜上，关于所述交叉方向，所述曝光光束跨越在该交叉方向上排列的多个微透镜而扩展，并且关于所述移动方向，所述曝光光束被限制为不会波及排列于在该移动方向上相邻的列上的微透镜的宽度。2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于， 所述照明单元具有多条所述发光元件阵列， 所述照明光学系统是如下的光学系统:针对每一条所述发光元件阵列，将从该一条发光元件阵列射出的多个发出光转换成一条所述曝光光束，并将与多条该发光元件阵列对应的多条曝光光束分别引导到在所述移动方向上彼此不同的多个列，所述多个列的任意一个都是由在所述交叉方向上排列的多个微透镜构成的列。3.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于， 所述照明光学系统具有: 光束转换光学系统，其与该发光元件阵列对应地配置，从构成所述发光元件阵列的多个发光元件射出的多个发出光入射至该光束转换光学系统并转换成具有缝形状的缝光束而射出；以及 投光光学系统，从所述光束转换光学系统射出的所述缝光束入射至该投光光学系统，且该投光光学系统将该缝光束转换成所述曝光光束。4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的曝光装置，其特征在于， 所述照明单元还具有支承基板，在该支承基板上固定所述发光元件阵列，该支承基板由使从该发光元件阵列射出的发出光透过的材质构成， 所述照明光学系统具有反射光学系统，该反射光学系统与所述发光元件阵列对应地配备且固定在所述支承基板上并沿着该发光元件阵列延伸，该反射光学系统反射从构成该发光元件阵列的多个发光元件射出的多个发出光并使其透过该支承基板。5.根据权利要求1至3中的任意一项所述的曝光装置，其特征在于， 所述照明单元还具有支承基板，在该支承基板上固定所述发光元件阵列，该支承基板由使从该发光元件阵列射出的发出光透过的材质构成， 所述发光元件阵列以从构成该发光元件阵列的多个发光元件朝向该支承基板射出多个发出光的姿势固定在所述支承基板上。6.一种照明单元，其利用微透镜阵列使形成有曝光图案的掩模上的该曝光图案成像在基板上，在使该微透镜阵列相对于该掩模和该基板向规定的移动方向相对移动时，该照明单元射出曝光光并与该微透镜阵列一同向该移动方向相对移动，并且对该掩模进行照明，该照明单元的特征在于， 所述微透镜阵列具有以二维方式配置的多个微透镜，该多个微透镜包含朝向与所述移动方向交叉的交叉方向的排列， 该照明单元具有: 发光元件阵列，其排列有多个发光元件；以及 照明光学系统，其将从构成所述发光元件阵列的多个发光元件射出的多个发出光转换成曝光光束，并将该曝光光束引导到在该交叉方向上排列的多个微透镜上，关于所述交叉方向，所述曝光光束跨越在该交叉方向上排列的多个微透镜而扩展，并且关于所述移动方向，所述曝光光束被限制为不会波及排列于在该移动方向上相邻的列上的微透镜的宽度。
【专利摘要】本发明涉及通过利用微透镜阵列将掩模上的图案成像在基板上而曝光基板的曝光装置等，并使射出曝光光的照明单元小型化。微透镜阵列(30)具有包含朝向与移动方向(A)相交的方向的排列且以二维方式配置的多个微透镜(31)，照明单元具有：排列有多个激光二极管的LD阵列条；以及照明光学系统，其将从构成该LD阵列条的多个激光二极管射出的多个发出光转换成缝形状的曝光光束，并利用该曝光光束的曝光光(170)对排成一列的多个微透镜上进行照明，关于与移动方向相交的方向，该曝光光束以跨越在该方向上排列的多个微透镜的方式扩展，并且关于移动方向，该曝光光束被限制为不会波及排列于在该移动方向上相邻的列上的微透镜的宽度。
【IPC分类】G03F7/20, H01L21/027
【公开号】CN105209976
【申请号】CN201480027536
【发明人】梶山康一, 水村通伸, 畑中诚
【申请人】株式会社V技术
【公开日】2015年12月30日
【申请日】2014年6月16日
【公告号】WO2015001736A1