的水平可以与每个红滤色器CF >^的上表面的水平相同。
[0071]绿滤色器CFS可以设置在绿像素区P s上。绿滤色器CF s可以设置在绿光电转换器件140G上。经过绿滤色器CF^的光可以入射在绿光电转换器件140G上。每个绿滤色器CF^可以包括绿无机滤色器210和绿有机滤色器310。
[0072]绿无机滤色器210可以设置在缓冲层150上。绿无机滤色器210可以是无机滤色器(ICF)。绿无机滤色器210可以具有多层结构。例如，绿无机滤色器210可以包括第一绿无机滤色器层211、第二绿无机滤色器层212、第三绿无机滤色器层213、第四绿无机滤色器层214、第五绿无机滤色器层215和第六绿无机滤色器层216。这里，描述了六个层；然而，层的数量不被具体限制，可以多于六个或少于六个。
[0073]第一绿无机滤色器层211可以设置在缓冲层150附近。第二绿无机滤色器层212可以设置在第一绿无机滤色器层211上。第三绿无机滤色器层213可以设置在第二绿无机滤色器层212上。第四绿无机滤色器层214可以设置在第三绿无机滤色器层213上。第五绿无机滤色器层215可以设置在第四绿无机滤色器层214上。第六绿无机滤色器层216可以设置在第五绿无机滤色器层215上。
[0074]第二绿无机滤色器层212的折射率可以与第一绿无机滤色器层211的折射率不同。例如，第二绿无机滤色器层212的折射率可以比第一绿无机滤色器层211的折射率高。第三绿无机滤色器层213的折射率可以与第二绿无机滤色器层212的折射率不同。例如，第三绿无机滤色器层213的折射率可以比第二绿无机滤色器层212的折射率低。第三绿无机滤色器层213的折射率可以与第一绿无机滤色器层211的折射率不同。第四绿无机滤色器层214的折射率可以与第三绿无机滤色器层213的折射率不同。例如，第四绿无机滤色器层214的折射率可以比第三绿无机滤色器层213的折射率高。第四绿无机滤色器层214的折射率可以与第二绿无机滤色器层212的折射率不同。第五绿无机滤色器层215的折射率可以与第四绿无机滤色器层214的折射率不同。例如，第五绿无机滤色器层215的折射率可以比第四绿无机滤色器层214的折射率低。第五绿无机滤色器层215的折射率可以与第三绿无机滤色器层213的折射率不同。第六绿无机滤色器层216的折射率可以与第五绿无机滤色器层215的折射率不同。例如，第六绿无机滤色器层216的折射率可以比第五绿无机滤色器层215的折射率高。第六绿无机滤色器层216的折射率可以与第四绿无机滤色器层214的折射率不同。
[0075]第一绿无机滤色器层211的侧表面可以与第二绿无机滤色器层212的侧表面竖直地对齐。第二绿无机滤色器层212的侧表面可以与第三绿无机滤色器层213的侧表面竖直地对齐。第三绿无机滤色器层213的侧表面可以与第四绿无机滤色器层214的侧表面竖直地对齐。第四绿无机滤色器层214的侧表面可以与第五绿无机滤色器层215的侧表面竖直地对齐。第五绿无机滤色器层215的侧表面可以与第六绿无机滤色器层216的侧表面竖直地对齐。
[0076]绿无机滤色器210可以包括绝缘材料。例如，第一绿无机滤色器层211、第二绿无机滤色器层212、第三绿无机滤色器层213、第四绿无机滤色器层214、第五绿无机滤色器层215和第六绿无机滤色器层216可以包括氧化硅、氮化硅或氮氧化硅。例如，第一绿无机滤色器层211至第六绿无机滤色器层216都可以包括氧化硅、氮化硅或氮氧化硅，或者第一绿无机滤色器层211至第六绿无机滤色器层216可以包括不同的材料，使得例如，第一绿无机滤色器层211可以包括氧化硅，第二绿无机滤色器层212可以包括氮化硅，第三绿无机滤色器层213可以包括氮氧化硅，第四绿无机滤色器层214可以包括氮化硅，等等。
[0077]绿无机滤色器210的面积大小可以与每个绿像素区的面积大小相同。绿无机滤色器210的面积大小可以与每个红滤色器CFR的面积大小相同。绿无机滤色器210的面积大小可以与每个蓝滤色器CFB的面积大小相同。绿无机滤色器210的最大水平宽度可以与每个绿像素区Pe的水平宽度相同。绿无机滤色器210的最大水平宽度可以与每个红滤色器0匕的最大水平宽度相同。绿无机滤色器210的最大水平宽度可以与每个蓝滤色器CFb的最大水平宽度相同。
[0078]绿无机滤色器210的竖直厚度可以小于红滤色器CFR的竖直厚度。绿无机滤色器210的竖直厚度可以小于蓝滤色器CFB的竖直厚度。绿无机滤色器210的下表面的水平可以与红滤色器0匕的下表面的水平相同。绿无机滤色器210的下表面的水平可以与蓝滤色器0匕的下表面的水平相同。绿无机滤色器210的上表面的水平可以低于红滤色器CF 4勺上表面的水平。绿无机滤色器210的上表面的水平可以低于蓝滤色器CFB的上表面的水平。
[0079]绿有机滤色器310可以设置在绿无机滤色器210上。绿有机滤色器310可以是0CF。绿有机滤色器310可以是单层结构。例如，绿有机滤色器310可以包括光致抗蚀剂或树脂，在光致抗蚀剂或树脂中散布有颜料，所述颜料吸收呈现除绿色之外的颜色的光。
[0080]绿无机滤色器210的侧表面可以与绿有机滤色器310的侧表面竖直地对齐。例如，第六绿无机滤色器层216的侧表面可以与绿有机滤色器310的侧表面竖直地对齐。
[0081]绿有机滤色器310的面积大小可以与绿像素区的面积大小相同。绿有机滤色器310的面积大小可以与绿无机滤色器210的面积大小相同。绿有机滤色器310的最大水平宽度可以与绿像素区pe的水平宽度相同。绿有机滤色器310的最大水平宽度可以与绿无机滤色器210的最大水平宽度相同。
[0082]绿有机滤色器310的竖直厚度可以小于绿无机滤色器210的竖直厚度。绿有机滤色器310的上表面的水平可以与红滤色器0匕的上表面的水平相同。绿有机滤色器310的上表面的水平可以与蓝滤色器0匕的上表面的水平相同。
[0083]根据依据上述示例性实施例的电子装置，每个绿滤色器CF^可以具有绿无机滤色器210和绿有机滤色器310堆叠的结构。在根据上述示例性实施例的电子装置中，绿有机滤色器310的竖直厚度可以比红滤色器竖直厚度和蓝滤色器CF 竖直厚度小。通常，0CF具有低于ICF的透射率。即，在根据上述示例性实施例的电子装置中，绿滤色器CF^可以具有相对高的透射率。因此，在根据上述示例性实施例的电子装置中，可以减少入射在绿滤色器的光的损失。
[0084]此外，在根据上述示例性实施例的电子装置中，绿有机滤色器310可以设置在绿无机滤色器210的其上入射有光的表面上。即，在根据上述示例性实施例的电子装置中，由绿有机滤色器310过滤的光可以入射在绿无机滤色器210上。因此，在根据上述示例性实施例的电子装置中，可以减少相邻的像素区PR、PjPP之间的光串扰。另外，在根据上述示例性实施例的电子装置中，可以减少由绿无机滤色器210导致的闪烁(flare)的发生。
[0085]根据依据上述示例性实施例的电子装置，绿滤色器CF^具有ICF和0CF堆叠的结构。然而，在根据上述示例性实施例的电子装置中，可选择地，红滤色器CFR或蓝滤色器CF B可以具有ICF和0CF堆叠的结构。即，在一些示例性实施例中，例如，红滤色器0?1?可以具有ICF和0CF堆叠的结构，蓝滤色器CFB和绿滤色器CF 可以具有未堆叠ICF和0CF的结构，在其他示例性实施例中，例如，蓝滤色器CFB可以具有ICF和0CF堆叠的结构，红滤色器CF R和绿滤色器CF^以具有未堆叠ICF和0CF的结构。在根据上述示例性实施例的电子装置中，具有ICF和0CF堆叠的结构的滤色器CFr、CF#P CF 的像素区P R、PjP P 可以以Z字形的形状设置。即，具有ICF和0CF堆叠的结构的滤色器CFr、CFjP CF 的像素区P R、PjP P G可以沿着对角线方向设置。
[0086]平坦化层400可以设置在红滤色器CFR、蓝滤色器CFB和绿滤色器CFe上。红滤色器CFR上的平坦化层400的上表面的水平可以与蓝滤色器CFJ:的平坦化层400的上表面的水平相同。蓝滤色器CFJ:的平坦化层400的上表面的水平可以与绿滤色器CF J:的平坦化层400的上表面的水平相同。平坦化层400可以包括绝缘材料。例如，平坦化层400可以具有尚透射率。
[0087]微透镜500可以设置在平坦化层400上。微透镜500可以设置在红像素区PR、蓝像素区PB和绿像素区Pe上。微透镜500可以设置在红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B和绿光电转换器件140G上。微透镜500可以设置在红滤色器CFR、蓝滤色器CFjP绿滤色器CFe上。
[0088]每个微透镜500的下表面的水平宽度可以与相应的像素区PR、PBS P e的最大水平宽度相同。每个微透镜500的下表面的水平宽度可以与每个滤色器CFr、CFbS CF。的上表面的最大水平宽度相同。
[0089]图3是示出根据另一个示例性实施例的电子装置的剖视图。
[0090]参照图3，根据示例性实施例的电子装置可以包括支撑基底110、层间绝缘层120、隔离结构130、红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B、绿光电转换器件140G、缓冲层150、抗反射层160、红滤色器CFR、蓝滤色器CFB、绿滤色器CF,、平坦化层400以及微透镜500。
[0091]内部互连件125可以设置在层间绝缘层120中。红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B和绿光电转换器件140G中的每个可以包括光电二极管140。光电二极管140可以包括第一杂质区141和第二杂质区142。
[0092]支撑基底110可以包括红像素区PR、蓝像素区PB和绿像素区Pe。抗反射层160可以位于红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B和绿光电转换器件140G上。例如，抗反射层160可以包括氮化硅、氧化钽或氧化铪(HfO)。抗反射层160可以具有多层结构。缓冲层150可以位于抗反射层160上。
[0093]每个绿滤色器CFG^以包括绿无机滤色器210和绿有机滤色器320。绿有机滤色器320可以位于绿无机滤色器210上。绿有机滤色器320可以是0CF。
[0094]绿有机滤色器320的竖直厚度可以小于绿无机滤色器210的竖直厚度。绿有机滤色器320的上表面的水平可以高于红滤色器CFR的上表面的水平。绿有机滤色器320的上表面的水平可以高于蓝滤色器CFB的上表面的水平。
[0095]位于绿滤色器CFS上的平坦化层400的竖直厚度可以小于位于红滤色器0?>^上的平坦化层400的竖直厚度。位于绿滤色器CFS上的平坦化层400的竖直厚度可以小于位于蓝滤色器CFJ:的平坦化层400的竖直厚度。绿有机滤色器320的上部的侧表面可以被平坦化层400覆盖。
[0096]图4是示出根据又一个示例性实施例的电子装置的剖视图。
[0097]参照图4，根据示例性实施例的电子装置可以包括支撑基底110、层间绝缘层120、隔离结构130、红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B、绿光电转换器件140G、缓冲层150、像素隔离层170、红滤色器CFR、蓝滤色器CFB、绿滤色器CF,、平坦化层400以及微透镜500。
[0098]内部互连件125可以设置在层间绝缘层120中。红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B和绿光电转换器件140G中的每个可以包括光电二极管140。光电二极管140可以包括第一杂质区141和第二杂质区142。
[0099]支撑基底110可以包括红像素区PR、蓝像素区PB和绿像素区Ρ<；。像素隔离层170可以位于红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B和绿光电转换器件140G之间。像素隔离层170可以位于隔离结构130上。像素隔离层170可以包括绝缘材料。例如，像素隔离层170可以包括氧化硅。像素隔离层170可以延伸到光电二极管140的第二杂质区142中。
[0100]每个绿滤色器CFG^以包括绿无机滤色器210和绿有机滤色器330。绿有机滤色器330可以是0CF。绿有机滤色器330可以位于绿无机滤色器210上。
[0101]绿有机滤色器330的竖直厚度可以小于绿无机滤色器210的竖直厚度。绿有机滤色器330的上表面的水平可以低于红滤色器CFR的上表面的水平。绿有机滤色器330的上表面的水平可以低于蓝滤色器CFB的上表面的水平。
[0102]绿滤色器CFS上的平坦化层400的竖直厚度可以大于红滤色器CF R上的平坦化层400的竖直厚度。绿滤色器CF^上的平坦化层400的竖直厚度可以大于蓝滤色器CFJ:的平坦化层400的竖直厚度。红滤色器CFR的上部的侧表面和蓝滤色器CF 上部的侧表面可以被平坦化层400覆盖。
[0103]图5是示出根据再一个示例性实施例的电子装置的剖视图。
[0104]参照图5，根据示例性实施例的电子装置可以包括:包括红像素区PR、蓝像素区PB和绿像素区P(；的支撑基底110、层间绝缘层120、隔离结构130、红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B、绿光电转换器件140G、缓冲层150、抗反射层160、像素隔离层170、红滤色器CFR、蓝滤色器CFB、绿滤色器CFS、平坦化层400以及微透镜500。
[0105]内部互连件125可以设置在层间绝缘层120中。红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B和绿光电转换器件140G中的每个可以包括光电二极管140。光电二极管140可以包括第一杂质区141和第二杂质区142
[0106]每个绿滤色器CFG^以包括绿无机滤色器220和绿有机滤色器340。
[0107]绿无机滤色器220可以位于缓冲层150附近。绿无机滤色器220可以是ICF。例如，绿无机滤色器220可以包括第一绿无机滤色器层221、第二绿无机滤色器层222、第三绿无机滤色器层223和第四绿无机滤色器层224。这里描述了四个层；然而，层的数量不被具体限制，可以多于四个或少于四个。
[0108]绿有机滤色器340可以位于绿无机滤色器220上。绿有机滤色器340可以是0CF。