具有滤色器的电子装置的制造方法_6

文档序号:9630790阅读:来源:国知局
8E,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括在绿像素区上形成绿滤色器CFS,并形成平坦化层400。这些组件的形成与参照图15A至图15H描述的示例性实施例类似地进行,因此为了简洁起见,将省略重复的描述。
[0265]形成绿滤色器CFS的步骤可以包括在绿无机滤色器290上形成绿有机滤色器390。这些组件的形成与参照图15A至图15H描述的示例性实施例类似地进行,因此为了简洁起见,将省略重复的描述。
[0266]绿有机滤色器390可以在金属图案600上延伸。绿有机滤色器390的上表面的最大水平宽度可以大于绿无机滤色器290的下表面的最大水平宽度。绿有机滤色器390的上表面的最大水平宽度可以与绿像素区Pe的水平宽度相同。绿有机滤色器390的上表面的最大水平宽度可以与红滤色器CFR的上表面的最大水平宽度相同。绿有机滤色器390的上表面的最大水平宽度可以与蓝滤色器CFB的上表面的最大水平宽度相同。
[0267]绿有机滤色器390的侧表面可以直接接触蓝滤色器0匕的位于金属图案600上的侧表面。绿有机滤色器390的侧表面可以直接接触红滤色器0匕的位于金属图案600上的侧表面。
[0268]参照图10,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括在平坦化层400上形成微透镜500。这些组件的形成与参照图15A至图15H描述的示例性实施例类似地进行,因此为了简洁起见,将省略重复的描述。
[0269]图19A至图19G是顺序地示出根据再一个示例性实施例的形成电子装置的方法的剖视图。
[0270]将参照图12以及图19A至图19G来描述根据示例性实施例的形成电子装置的方法。首先,参照图19A,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括:准备其上形成有层间绝缘层120、隔离结构130、红光电转换器件140R、蓝光电转换器件140B、绿光电转换器件140G和缓冲层150的支撑基底110 ;在支撑基底110的缓冲层上形成初步共用无机滤色器层810a ;以及在初步共用无机滤色器层810a上形成共用掩模图案50。
[0271]初步共用无机滤色器层810a可以包括第一初步共用无机滤色器层811a、第二初步共用无机滤色器层812a、第三初步共用无机滤色器层813a、第四初步共用无机滤色器层814a、第五初步共用无机滤色器层815a以及第六初步共用无机滤色器层816a。这里,描述了六个层;然而,层的数量不被具体限制。
[0272]红像素区PR和绿像素区P 可以被共用掩模图案50完全覆盖。
[0273]参照图19B,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括在缓冲层150上形成共用无机滤色器810,并去除共用掩模图案50。
[0274]形成共用无机滤色器810的步骤可以包括利用共用掩模图案50来蚀刻初步共用无机滤色器层810a。共用无机滤色器810可以包括第一共用无机滤色器层811、第二共用无机滤色器层812、第三共用无机滤色器层813、第四共用无机滤色器层814、第五共用无机滤色器层815以及第六共用无机滤色器层816。这里,描述了六个层;然而,层的数量不被具体限制。
[0275]参照图19C,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括在蓝像素区PJ:形成蓝滤色器CFb。
[0276]参照图19D,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括在绿像素区上形成绿滤色器CFp
[0277]形成绿滤色器CF,的步骤可以包括在位于绿像素区PJ:的共用无机滤色器810上形成绿有机滤色器820。
[0278]参照图19E,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括在红像素区PJ:形成红滤色器CFr。
[0279]形成红滤色器CFR的步骤可以包括在位于红像素区PR上的共用无机滤色器810上形成红有机滤色器830。
[0280]参照图19F,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括在红滤色器CFr、蓝滤色器CFB和绿滤色器CF 上形成透镜材料层510a。
[0281]参照图19G,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括在透镜材料层510a上形成透镜掩模图案60。
[0282]透镜掩模图案60的蚀刻速率可以与透镜材料层510a的蚀刻速率相同。透镜掩模图案60的构造可以对应于由后续工艺形成的微透镜的构造。
[0283]参照图12,根据示例性实施例的形成电子装置的方法可以包括在红滤色器CFR、蓝滤色器CFB和绿滤色器CF 上形成微透镜510。
[0284]形成微透镜510的步骤可以包括将透镜掩模图案60的构造转录到透镜材料层510a。例如,形成微透镜510的步骤可以包括覆盖蚀刻(blanket etch)透镜材料层510a和透镜掩模图案60。
[0285]图20是示出包括根据示例性实施例的电子装置的相机模块的示意图。
[0286]参照图20,相机模块1000可以包括主体1100、外部端子1200和印刷电路板1300。印刷电路板1300可以是柔性印刷电路板。主体1100可以包括图像处理器1110和透镜部1120。图像处理器1110可以包括根据各种上述示例性实施例的电子装置。例如,图像处理器1110可以包括根据上述示例性实施例的图像传感器或显示装置。因此,可以提高相机模块1000中的可靠性。
[0287]图21是示出包括根据示例性实施例的电子装置的移动系统的概念性框图。
[0288]参照图21,移动系统2000可以包括显示器2100、主体2200、外部设备2300和相机模块2400。主体2200可以包括微处理器2210、电源2220、功能性单元2230和显示控制器2240 ο
[0289]显示器2100可以直接连接到显示控制器2240。显示器2100可以显示由显示控制器2240处理的图像。例如,显示器2100可以包括液晶显示装置。
[0290]主体2200可以包括具有印刷电路板(PCB)的母板或系统板。微处理器2210、电源2220、功能性单元2230和显示控制器2240可以安装或设置在主体2200上。
[0291]微处理器2210可从电源2220接收电压以控制功能性单元2230和显示控制器2240。电源2220可以从外部电源接收恒定的电压、将电压分成各种电压电平并将电压供应给微处理器2210、功能性单元2230、显示控制器2240等。
[0292]电源2220可以包括电源管理IC(PMIC)。PMIC可以高效地将电压供应给微处理器2210、功能性单元2230、显示控制器2240等。
[0293]功能性单元2230可以执行移动系统2000的各种功能。例如,功能性单元2230可以包括各种组件以执行诸如拨号的无线通信功能,或者向显示器2100输出视频,或者通过与外部设备2300通信而向扬声器输出声音。例如,功能性单元2230可以用作相机模块2400的图像处理器。
[0294]当移动系统2000连接到存储卡以扩展容量时,功能性单元2230可以用作存储卡控制器。此外,当移动系统2000用作通用串行总线(USB)以扩展移动系统2000的功能时,功能性单元2230可以用作接口控制器。
[0295]显示器2100和相机模块2400可以包括根据各种上述示例性实施例的电子装置。因此,可以提高移动系统2000的可靠性。
[0296]图22是示出包括根据示例性实施例的电子装置的电子系统的概念性框图。
[0297]参照图22,电子系统3000可以包括图像传感器3100、微处理器3200、输入/输出(I/O) 3300、存储器 3400 和总线 3700。
[0298]图像传感器3100可以根据入射光产生信号,并将信号发送给微处理器3200。微处理器3200可以编排并控制电子系统3000。I/O 3300可以使用总线3700来执行数据通信。I/O 3300可以用于向电子系统3000输入数据或者从电子系统3000输出数据。存储器3400可以存储微处理器3200的操作代码、由微处理器3200处理的数据或从外部接收的数据。存储器3400可以包括控制器和存储器。图像传感器3100、微处理器3200、I/O 3300和存储器3400可以通过总线3700通信。
[0299]电子系统3000还可以包括光盘驱动器(ODD) 3500和外部通信器3600。例如,ODD3500可以包括⑶-ROM驱动器、DVD驱动器等。外部通信器3600可以包括调制解调器、LAN卡或USB,并且还可以包括外部存储器、WiBro通信装置、红外通信装置等。
[0300]图像传感器3100可以包括根据各种上述示例性实施例的电子装置。因此,可以提高电子系统3000的可靠性。
[0301 ] 根据依据上述示例性实施例的电子装置和形成电子装置的方法,能够减少由滤色器导致的光的损失。根据依据上述示例性实施例的电子装置和形成电子装置的方法,能够减少相邻像素之间的光串扰。因此,根据依据上述示例性实施例的电子装置和形成电子装置的方法,能够提高可靠性。
[0302] 前述是示例性实施例的举例说明,不应被解释为示例性实施例的限制。虽然已经描述了一些示例性实施例,但是本领域技术人员将容易领会的是,在实质上不脱离新教导和优点的情况下,可以在示例实施例中做出许多修改。因此,所有这样的修改意图包括在本发明构思的如权利要求所限定的范围内。在权利要求书中,功能性限定意图涵盖在此被描述为执行所述功能的结构,不仅是结构性等同物,而且还涵盖等同的结构。因此,要理解的是,前述是各种示例性实施例的举例说明,而不应被解释为局限于所公开的特定示例性实施例,并且对所公开的示例实施例的修改和其他示例性实施例意图包括在权利要求的范围内。
【主权项】
1.一种电子装置,所述电子装置包括: 第一无机滤色器,包括第一表面和背对第一表面的第二表面,光入射在第一表面上;以及 第一有机滤色器,设置在第一无机滤色器的所述第一表面上, 其中,第一有机滤色器在与所述第一表面正交的方向上的厚度小于第一无机滤色器的厚度。2.根据权利要求1所述的电子装置,所述电子装置还包括: 第二有机滤色器,设置在第一无机滤色器的所述第二表面上。3.根据权利要求2所述的电子装置,其中,第二有机滤色器在与所述第一表面正交的方向上的厚度小于第一有机滤色器的厚度。4.根据权利要求1所述的电子装置,所述电子装置还包括: 第二无机滤色器,设置在第一无机滤色器与第一有机滤色器之间;以及 中间有机滤色器,设置在第一无机滤色器与第二无机滤色器之间。5.根据权利要求4所述的电子装置,其中,中间有机滤色器在与所述第一表面正交的方向上的厚度小于第一有机滤色器的厚度。6.根据权利要求4所述的电子装置,其中,第二无机滤色器在与所述第一表面正交的方向上的厚度大于中间有机滤色器的厚度。7.一种电子装置,所述电子装置包括: 基底,包括第一像素区和第二像素区; 第一有机滤色器,设置在基底的第一像素区上; 第二有机滤色器,设置在基底的第二像素区上;以及 无机滤色器,设置在基底与第二有机滤色器之间, 其中,透过无机滤色器的光的行进方向是与基底正交的方向。8.根据权利要求7所述的电子装置,其中,在与基底正交的方向上,第二有机滤色器的厚度小于第一有机滤色器的厚度。9.根据权利要求7所述的电子装置,其中,第二有机滤色器在远离基底的方向上的表面的水平与第一有机滤色器在远离基底的方向上的表面的水平处于同一水平。10.根据权利要求7所述的电子装置,所述电子装置还包括: 金属图案,设置在无机滤色器与第一有机滤色器之间。11.根据权利要求10所述的电子装置,其中,金属图案在与基底正交的方向上的厚度随着在与基底平行的方向上距无机滤色器的距离的增大而减小。12.根据权利要求10所述的电子装置,其中,第一有机滤色器和第二有机滤色器在金属图案的上面和上方延伸。13.根据权利要求12所述的电子装置,其中,第二有机滤色器的侧表面直接接触第一有机滤色器的在金属图案上面和上方的侧表面。14.一种电子装置,所述电子装置包括: 基底,包括绿像素区、蓝像素区和红像素区; 红有机滤色器,设置在基底上并在红像素区中; 绿有机滤色器,设置在基底上并在绿像素区中; 蓝有机滤色器,设置在基底上并在蓝像素区中;以及 无机滤色器,设置在基底与红有机滤色器、绿有机滤色器和蓝有机滤色器中的至少一个有机滤色器之间。15.根据权利要求14所述的电子装置,其中,无机滤色器设置在基底与红有机滤色器、绿有机滤色器和蓝有机滤色器中的两个有机滤色器之间以被所述两个有机滤色器共用。16.根据权利要求14所述的电子装置,其中,基底包括多个绿像素区、多个蓝像素区和多个红像素区,其中,绿像素区布置在对角线方向上。17.根据权利要求16所述的电子装置,其中,红像素区在水平方向上布置在绿像素区之间。18.根据权利要求17所述的电子装置,其中,蓝像素区在水平方向上布置在绿像素区之间。19.根据权利要求14所述的电子装置,其中,基底包括以阵列布置的多个像素区,并且所述多个像素区包括多个绿像素区、多个蓝像素区和多个红像素区,其中: 绿像素区在所述阵列中布置在对角线方向上, 红像素区在所述阵列的偶数水平行中布置在绿像素区之间,以及 蓝像素区在所述阵列的奇数水平行中布置在绿像素区之间。20.根据权利要求14所述的电子装置,其中,基底包括以阵列布置的多个像素区,并且所述多个像素区包括多个绿像素区、多个蓝像素区和多个红像素区,其中: 红像素区、绿像素区和蓝像素区分别布置在所述阵列的列中。
【专利摘要】提供了一种具有滤色器的电子装置。所述电子装置包括:第一无机滤色器,包括第一表面和背对第一表面的第二表面,光入射在第一表面上;第一有机滤色器,设置在第一无机滤色器的所述第一表面上。
【IPC分类】G02B5/20
【公开号】CN105388547
【申请号】CN201510508676
【发明人】崔夏奎, 文昌碌, 李准泽, 金亨峻
【申请人】三星电子株式会社
【公开日】2016年3月9日
【申请日】2015年8月18日
【公告号】US20160065914
当前第6页1 2 3 4 5 6 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1