。
[0047] 接着，将示于表3的感光性树脂组合物⑵施涂至厚度100 μ m的PET膜上并在 90°C下烘烤5分钟，从而形成厚度ΙΟμπι的膜。如图5C所示，将感光性树脂组合物（2)的 膜借助层压法在施加50°C热的同时转印并层压在第一感光性树脂组合物层10和流路形成 构件4上，从而形成第二感光性树脂组合物层12。接着，如图f5D所示，使第二感光性树脂组 合物层12以600J/m 2的曝光量借助i线曝光步进器通过具有排出口图案的排出口形成掩膜 13进行图案曝光。通过另外进行在90°C下热处理5分钟来固化曝光部，从而形成排出口形 成构件8。接着，将第一感光性树脂组合物层10和第二感光性树脂组合物层12的未曝光部 用PGMEA溶剂一起除去，从而形成流路5和排出口 6。另外用200°C热进行固化，从而获得 如图5E所示的液体排出头。
[0048] 表 1
[0049]
[0050] 表 2
[0051]
[0054] 实施例22至29:
[0055] 在各实施例中，PEGMA用作溶剂，从而根据表4所示其相应的组成制备感光性树脂 组合物（1)。将适当量的感光度不同的两种光酸产生剂和酸产生剂（TPS-1000)加入感光 性树脂组合物（1)中。另外，硅烷偶联剂（A-187)以相对于三官能以上的环氧树脂（a)和 二官能环氧树脂（b)的总质量为5质量％的量添加。感光性树脂组合物（2)的组成示于表 5。使用这些感光性树脂组合物（1)和感光性树脂组合物（2)，从而根据与实施例1相同的 生产方法获得液体排出头。此时，如表4所示控制对由感光性树脂组合物（1)形成的第一 感光性树脂组合物层10的曝光量，并将对由感光性树脂组合物（2)形成的第二感光性树脂 组合物层12的曝光量控制为1，200J/m 2。
[0056] 表 4
[0057]
[0060] 比较例1至8:
[0061 ] 在各比较例中，PEGMA用作溶剂，从而根据表6所示其相应的组成制备感光性树脂 组合物（1)，并根据与实施例1相同的生产方法获得液体排出头。感光性树脂组合物（2)的 组成与实施例1相同，对各感光性树脂组合物层的曝光量也与后实施例1相同。
[0062] 表 6
[0063]
[0064] 评价:
[0065] 将由乙二醇/尿素/异丙醇/N-甲基吡咯烷酮/黑色染料/水以5/3/2/5/3/82 的质量比组成的墨填充入实施例1至29和比较例1至8中制备的各液体排出头中以进行 打印。另外，在各液体排出头的生产方法中层压由感光性树脂组合物（2)形成的感光性树 脂组合物层12之后，测量为在供给路径3上部的感光性树脂组合物层的落入深度的落入量 (L)。如图6所示，在位于不与供给路径3的位置对应的区域中的平坦平面的第二感光性树 脂组合物层12的上表面在供给路径3的开口的位置处朝向供给路径3侧凹陷的量视为落 入量（L)。激光显微镜（由KEYENCE CORPORATION生产）用于测量从第二感光性树脂组合 物层12的平坦表面至落入的最深部的深度，并将该深度视为落入量（L)。另外，确认了落入 量（L)与打印质量之间的相关性。结果，当落入量为0. 5 μπι以上（可精确测量）时在0. 5 至1. 5 μπι范围内打印质量良好。然而，当落入量超过1. 5 μπι时，墨滴不以其月望的方向排 出，因此打印质量降低。小于0.5 μπι的落入量（L)难以精确测量，但打印质量良好。因此， 关于落入量（L)的评价标准如表7所示确定，从而评价各实施例和各比较例的液体排出头。 其结果不于表1、2、4和6。
[0066] 出于检查感光性树脂组合物层图案化时的图案精度的目的，通过光学显微镜 (Nikon Corporation制）以100倍的倍率观察所制备的各液体排出头的流路5,以便确认 墨是否浸入流路形成构件4。另外，通过扫描电子显微镜（SEM，Hitachi，Ltd.制）以5, 000 倍的倍率观察到流路形成构件4的图案侧壁的不均一。由这些确认和观察结果，根据表8 所示评价基准评价图案形状。图案形状的评价结果示于表1、2、4和6。
[0067] 表 7
[0068]
[0071] 尽管已参考示例性实施方案描述本发明，但应理解本发明不受限于所公开的示例 性实施方案。以下权利要求的范围符合最宽泛的解释，从而包含所有的此类改进和等同结 构及功能。
【主权项】
1. 一种光成形物的生产方法，该方法包括，将感光性树脂组合物以干膜形式粘帖至形 成有表面开口的孔的基板上以封闭所述孔，并进行图案化，从而形成光成形物，其特征在 于，所述感光性树脂组合物含有包括三官能以上的环氧树脂和二官能环氧树脂的树脂，所 述二官能环氧树脂具有5, 500至60, 000的重均分子量Mw，所述树脂具有4, 500至11，000 的范围内的重均分子量Mw，所述三官能以上的环氧树脂和所述二官能环氧树脂之间的质量 混合比满足b/a< 1. 5,其中a为所述三官能以上的环氧树脂的质量，b为所述二官能环氧 树脂的质量。2. 根据权利要求1所述的生产方法，其中所述二官能环氧树脂为具有双酚骨架的环氧 树脂。3. 根据权利要求1所述的生产方法，其中所述二官能环氧树脂具有90°C以上的软化 点。4. 根据权利要求1所述的生产方法，其中所述感光性树脂组合物含有光酸产生剂。5. 根据权利要求1所述的生产方法，其中所述感光性树脂组合物作为感光性树脂组合 物1，并且在所述感光性树脂组合物1上以干膜形式层压感光性树脂组合物2。6. 根据权利要求5所述的生产方法，其中所述感光性树脂组合物2至少含有三官能以 上的环氧树脂和光酸产生剂。7. -种液体排出头的生产方法，该方法包括，将感光性树脂组合物以干膜形式粘帖至 形成有排出能量产生元件和液体的供给路径的基板上，其特征在于，所述感光性树脂组合 物含有包括三官能以上的环氧树脂和二官能环氧树脂的树脂，所述二官能环氧树脂具有 5, 500至60, 000的重均分子量Mw，所述树脂具有4, 500至11，000的范围内的重均分子量 Mw，所述三官能以上的环氧树脂和所述二官能环氧树脂之间的质量混合比满足b/a彡1. 5， 其中a为所述三官能以上的环氧树脂的质量，b为所述二官能环氧树脂的质量。8. 根据权利要求7所述的生产方法，其中所述二官能环氧树脂为具有双酚骨架的环氧 树脂。9. 根据权利要求7所述的生产方法，其中所述二官能环氧树脂具有90°C以上的软化 点。10. 根据权利要求7所述的生产方法，其中所述感光性树脂组合物含有光酸产生剂。11. 根据权利要求7所述的生产方法，其中所述感光性树脂组合物作为感光性树脂组 合物1，并且在所述感光性树脂组合物1上以干膜形式层压感光性树脂组合物2。12. 根据权利要求11所述的生产方法，其中通过将所述感光性树脂组合物1图案化来 形成液体流路。13. 根据权利要求11所述的生产方法，其中所述感光性树脂组合物2至少含有三官能 以上的环氧树脂和光酸产生剂。14. 根据权利要求11所述的生产方法，其中通过将所述感光性树脂组合物2图案化来 形成所述液体的排出口。15. 根据权利要求11所述的生产方法，其进一步包括一起除去所述感光性树脂组合物 1的未固化部和所述感光性树脂组合物2的未固化部的步骤。16. 根据权利要求11所述的生产方法，其中固化所述感光性树脂组合物2所需要的曝 光量小于固化所述感光性树脂组合物1所需要的曝光量。
【专利摘要】本发明涉及光成形物的生产方法及液体排出头的生产方法。一种光成形物的生产方法，其包括将感光性树脂组合物以干膜形式粘帖至形成有基板表面开口的孔的基板上以封闭所述孔，并进行图案化，从而形成光成形物，其中所述感光性树脂组合物含有包括三官能以上的环氧树脂和二官能环氧树脂的树脂，所述二官能环氧树脂具有5,500至60,000的重均分子量(Mw)，所述树脂具有4,500至11,000的范围内的重均分子量(Mw)，所述三官能以上的环氧树脂和所述二官能环氧树脂之间的质量混合比满足(b)/(a)≤1.5，其中(a)为三官能以上的环氧树脂的质量，(b)为二官能环氧树脂的质量。
【IPC分类】G03F7/16, G03F7/004
【公开号】CN105467757
【申请号】CN201510623132
【发明人】堀内勇
【申请人】佳能株式会社
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年9月25日
【公告号】EP3001248A1, US20160091789