触控显示面板的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及触控显示技术领域，特别涉及一种触控显示面板的制造方法。
【背景技术】
[0002]随着信息时代的发展及生活节奏的加快，触控技术由于其人性化设计及简单快捷的输入等特点，已经逐渐取代传统的鼠标和键盘，广泛的应用到各式各样的电子产品中，其中，电容式触摸屏由于其具有反应速度快，灵敏度高，可靠度佳以及耐用度高等优点而被广为使用。电容式触摸屏主要包括防护玻璃(Cover Lens)和触控感测层(Touch Sensor)，其感应原理是以电压作用在屏幕感应区的四个角落并且形成一固定电场，当手指触碰时，人体和透明电极之间产生电容变化，可令电场引发电流，通过控制器测定，根据电流距四个角落比例的不同，即可计算出接触位置。
[0003]根据触控感测层在显示面板中的设置方式不同，触控显示面板分为外挂式、单玻璃触控式(One Glass Solut1n，0GS)、内嵌式(In cell)和外嵌式(On cell)等结构。夕卜挂式触控显示面板由于触摸屏与显示面板是相互独立设置，产品厚度较大，不能满足一些掌上设备和便携式设备的超薄要求。0GS触控显示面板是将触控感测层与保护玻璃整合在一起再通过光学胶贴合在显示面板上，具有触控灵敏度高等优点，是目前的主流触控结构之一，主要的缺点是强度不好易碎。In Cell触控显示面板是将触控感测层集成到显示面板的彩色滤光片基板内侧，但In Cell触控显示面板因结构、制程均比较复杂而导致其生产良率较低。On Cell触控显示面板是将触控感测层设置在显示面板的彩色滤光片基板外侧，也是目前的主流触控结构之一，通常，On Cell的触控感测层是嵌入设置在彩色滤光片基板和上偏光片之间。
[0004]目前，OnCell触控显示面板的触控感测层的制作方法是在彩色滤光片(ColorFilter，CF)基板的一侧先制作触控感测层图案，即在CF基板上沉积一层ΙΤ0膜，再图案化(蚀刻)ΙΤ0，此过程限制很少，可以选择强酸(如王水)蚀刻ΙΤ0以避免ΙΤ0蚀刻残留，然后再在此基板的另一侧制作CF，制作成CF基板，最后将CF基板和TFT基板组立，完成on — cel 1液晶显示面板的制作。
[0005]由于触控感测层一ΙΤ0层是预先制作于CF基板的一侧，而后在于CF基板的另一侧制作CF，当进行CF制作时，必须将CF基板翻面而使得ΙΤ0层所在一侧朝下并通过机台传送，ΙΤ0层与机台直接接触，极易刮伤ΙΤ0层，进而导致面板返工或报废。
【发明内容】
[0006]鉴于上述状况，有必要提供一种触控显示面板的制造方法，其可以解决机台刮伤ΙΤ0层的问题，同时ΙΤ0图案化简单。
[0007]—种触控显示面板的制造方法，所述触控显示面板的制造方法包括:提供显示面板半成品，所述显示面板半成品包括阵列基板、彩色滤光片基板与液晶层，所述液晶层位于所述阵列基板与所述彩色滤光片基板之间，所述显示面板半成品已完成所述阵列基板、所述彩色滤光片基板与所述液晶层之间的组装;在所述彩色滤光片基板远离所述液晶层的一侧表面形成与触控感测层图案互补的光阻图案;在所述光阻图案和无所述光阻图案覆盖的所述彩色滤光片基板上形成ITO膜;选择性蚀刻ITO膜，所述光阻图案上方的所述ITO膜被蚀刻去除，并露出所述光阻图案，无所述光阻图案覆盖的所述彩色滤光片基板上方的所述ITO膜被保留；以及剥落所述光阻图案，形成所述触控感测层图案。
[0008]进一步地，所述ΙΤ0膜采用溅射镀膜的方式形成。
[0009]进一步地，所述ΙΤ0膜的厚度大于800埃。
[0010]进一步地，所述ΙΤ0膜包括沉积在所述彩色滤光片基板表面的第一ΙΤ0膜和沉积在光阻上的第二 ΙΤ0膜，所述第一 ΙΤ0膜在成膜过程中高度结晶化，所述第二 ΙΤ0膜因光阻抑制作用仍保持非晶状态。
[0011]进一步地，蚀刻材料为草酸。
[0012]进一步地，在所述彩色滤光片基板远离所述液晶层的一侧表面形成与所述触控感测层图案互补的所述光阻图案的步骤包括:在所述彩色滤光片基板远离所述液晶层的一侧表面涂覆适当厚度的光阻;将预先制作好的所述触控感测层图案的掩模版对位放置于所述光阻上方，经曝光、显影将所述掩模版上的图案转移到所述光阻上，形成与所述触控感测层图案互补的所述光阻图案。
[0013]进一步地，所述剥落光阻图案是采用光阻剥离液。
[0014]本发明的技术方案带来的有益效果是:上述触控显示面板的制造方法，是先将液晶盒组立制成显示面板半成品，而后再在彩色滤光片基板上制作触控感测层图案一ΙΤ0层，使得ΙΤ0层不需倒置而与机台相接处，故机台不会再刮伤ΙΤ0层。同时，使用草酸蚀刻厚膜ΙΤ0，具有制程兼容性、生产成本、生产安全性等多方面优点。
【附图说明】
[0015]图1为本发明一个实施例中触控显示面板的制造方法的流程图。
[0016]图2A至图2E为本发明一个实施例中触控显示面板在各步骤中的剖面结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施例作进一步地详细描述。
[0018]图1为本发明一个实施例中触控显示面板的制造方法的流程图，图2A至图2E为本发明一个实施例中触控显示面板在各步骤中的剖面结构示意图。如图1所示，本发明实施例中的一种触控显示面板的制造方法包括如下步骤:
[0019]S201:提供显不面板半成品；
[0020]S202:在彩色滤光片基板远离液晶层的一侧表面形成与触控感测层图案互补的光阻(Photoresist)图案;
[0021]S203:在光阻图案和无光阻图案覆盖的彩色滤光片基板上形成ΙΤ0膜；
[0022]S204:选择性蚀刻ΙΤ0膜；
[0023]S205:剥落(stripper)光阻图案，形成触控感测层图案。
[0024]请参考图2A，在步骤S201中，显示面板半成品20包括阵列基板21、彩色滤光片基板22及夹置于阵列基板21和彩色滤光片基板22之间的液晶层23，该显示面板半成品20已完成阵列基板21、彩色滤光片基板22与液晶层23之间的组装，液晶层23位于阵列基板21与彩色滤光片基板22之间。
[0025]请参考图2B，在步骤S202中，在彩色滤光片基板22远离液晶层23的一侧表面(即彩色滤光片基板22的外侧表面)涂覆适当厚度的光阻24，在本实施例中，光阻24为正性光阻(Positive Photoresist)，将预先制作好的触控感测层图案的掩模版(Mask，或称