一种无偏振宽截止带窄带滤光片的制作方法
【技术领域】
[0001] 本实用新型属于光学仪器领域，涉及一种无偏振宽截止带窄带滤光片，可应用于 光学分析仪器、光学探测器技术。
【背景技术】
[0002] 窄带滤光片是指在窄的波长范围内有高的透过率，其它波长范围内具有较高的 截止度，是众多光学系统的关键组成部分，广泛地应用于光学探测和光学测量中。传统的 Fabray-Perot窄带滤光片和金属诱导透射率光片作为典型的窄带滤光片有较为广泛的应 用。
[0003] UF-P窄带滤光片
[0004] 最典型的窄带滤光片为Fabray-Perot(F-P)干涉滤光片，该滤光片为一对称结 构，两端为反射层，中间为间隔层，经过反射层的多次反射，该结构可以得到具有窄透过带 的滤光片。由于受高低折射率材料比值的限制，该类窄带滤光片透射峰值两边不会有很宽 的截止带；同时，光线倾斜入射时P偏振光、S偏振光会分离，从而产生偏振效应，其倾斜入 射时的光谱曲线如图1所不，Ts、Tp分别表不光S偏振、P偏振光的透过率。在光学探测和 测量中，F-P窄带滤光片会引入杂散光，无法降低背景噪声；同时在倾斜入射时引入偏振效 应，光学信号的强度减弱，无法提取被测主体的偏振信息，应用领域受到限制。
[0005] 2、金属诱导滤光片
[0006] 金属诱导滤光片，也具有对称周期结构，主要是为了改善F-P干涉滤光片透射峰 值两边的旁通带而设计的一种窄带滤光片。利用金属材料的吸收，并通过金属层与介质层 的位相匹配达到对透射峰值两边旁通带的抑制，从而得到透射峰值两边具有宽的截止带的 滤光片。但此类规整周期性窄带滤光片在光线大角度入射时也存在P偏振光、S偏振光分 离、产生偏振效应的缺点，其倾斜入射时的光谱曲线如图2所示，Ts、Tp分别表示光S偏振、 P偏振光的透过率；该类滤光片由于金属银较厚、吸收较大，透过率提高受到限制。金属诱 导滤光片与F-P滤光片在倾斜入射时都具有偏振效应，在光学检测和探测中无法精确提取 被测物体的偏振信息。
[0007] 在传统F-P和金属诱导滤光片的结构设计中，很难同时得到倾斜入射时无偏振效 应的宽截止带窄带滤光片，从而限制了窄带滤光片在光电器件中的应用。 【实用新型内容】
[0008] 本实用新型解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供了一种无偏振宽截止 带窄带滤光片；解决了传统窄带滤光片在倾斜入射时由于P偏振和S偏振光分离引入偏振 效应、平均峰值透过率降低的缺点。
[0009] 本实用新型的技术方案是：一种无偏振宽截止带窄带滤光片，包括K9基底和一定 厚度的二氧化硅、二氧化钛、银交替叠加构成的50层薄膜材料，第1层与K9基底相连，第50 层与入射空气接触，其膜层结构如下所示：
[0010]
【主权项】
1. 一种无偏振宽截止带窄带滤光片，其特征在于：包括K9基底和一定厚度的二氧化 硅、二氧化钛、银交替叠加构成的50层薄膜材料，第1层与Κ9基底相连，第50层与入射空 气接触，其膜层结构如下所示：
【专利摘要】本实用新型一种无偏振宽截止带窄带滤光片。本实用新型书提供了一种采用金属、介质组合结构从可见到红外波段具有在倾斜入射时无偏振效应、宽截止带和窄带高透过的滤光片设计，包括K9基底和一定厚度的二氧化硅、二氧化钛、银交替叠加构成的50层薄膜材料，第1层与K9基底相连，第50层与入射空气接触。它不同于传统的窄带滤光片，倾斜入射时，它可以同时得到无偏振效应、高的峰值透过率、峰值两端宽的截止带。该专利介绍了该滤光片的设计思路和具体的结构设计，以及在此设计思想下所计算出的窄带滤光片的光学性能及应用等。
【IPC分类】G02B5-20
【公开号】CN204575884
【申请号】CN201520138375
【发明人】王利, 王鹏, 王刚, 白云立, 王培培
【申请人】北京空间机电研究所
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2015年3月11日