专利名称：一种等离子显示屏及其制作方法
技术领域：
本发明涉及气体放电技术领域，具体涉及一种交流等离子显示 屏及其制作方法。
背景技术：
目前通用的交流气体》文电显示屏PDP ( Plasma Display Pad ) 均采用表面》文电型结构。其结构如图1至图3所示，图l示出了观j 有等离子显示屏的立体结构，图2示出了现有等离子显示屏的剖视 结构，图3示出了现有等离子显示屏的前基板的放电电极。结合参 照图1至图3，三电才及表面》文电结构的PDP方文电单元结构如下形 成于前基4反10上的扫描电极11以及维持电极12通常由透明电极 lla、 12a和金属电才及llb、 12b两部分组成。
透明电才及lla、 12a通常采用氧4b铟锡(Indium-Tin-Oxide, ITO ) 作为材质，形成于前基才反10上。金属电才及通常以4各(Cr)、 4艮(Ag) 等为主要材并牛，形成于透明电4及lla、 12a上，以减少工作中的透明 电极的电压降。扫描电极11和维持电极12平行的形成在前基板上， 并在其上面覆盖一层前介质层13。介质层^f呆证扫描电才及11与维持 电极12之间的电阻率。同时，在等离子放电时在前介质上能蓄积一 定的壁电荷。在前介质层13的上表面沉淀一层保护膜14。保护膜 14可以防止等离子方丈电对前介质产生石皮坏。而且，还能才是高二次方文 电系数。保护膜一般使用的材料为氧化镁(MgO )。寻址电极(A) 21行成于后基板20上。在寻址电极21的上面 覆盖一层后介质23，对寻址电极21间形成绝缘，同时对寻址电极 形成保护。在后介质23上制作障壁24。障壁24—^:为条形的或才册 格形状。每条或每个4册4各形成显示单元。然后，在障壁单元格内注 入对应的荧光体浆并牛25。
寻址电极21与前基板IO上扫描电极ll以及维持电极12在空 间上垂直对应。同时，要求各个电极与障壁24的沟槽对应。也就是 与放光单元格对应。将前基板10、后基板20以及障壁24构成密闭 的》文电空间。向密闭的空间内充入定量的有助于气体方文电的惰性混 合气体，工作中，电极间放电产生等离子激活荧光体，从而显示各 种图形。
PDP是靠很多个精细制作的放电单元的发光来显示图像，目前 PDP低光效的主要原因是放电单元中紫外线的低发光效率。放电单 元的结构、特别是形状极大地影响着放电特性的提高和紫外线发光 效率的提高。
对于表面放电型彩色PDP显示屏，目前主要有以下电极结构 一、条形透明电极和汇流电极的电极结构，如图4所示；二、 T型 透明电才及和汇流电才及的电才及结构，如图5所示；三、斥册才各形的电拟^ 结构，如图6所示，其中，llb、 12b为金属的总线电极，llk、 12k 为采用金属电才及时制作的漏光孔。
上述几种结构均存在电极间放电面积小、发光亮度和发光效率 j氐的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种等离子显示屏及其制造方法，通过 改进改进透明电纟及的单元结构来提高亮度和发光效率。为此，本发明所提供的等离子显示屏包括前基板和与之封接在
一起的后基板，前基板配置有维持放电电极X和扫描/维持放电电极 Y,维持》文电电极X的透明电极的》文电部位与扫描/维持放电电极Y 的透明电才及的方文电部位凸凹相对，以形成弧状》丈电空间。
其中，上述卩瓜状》文电空间可以为半圆环形;改电空间。
其中，上述维持放电电极X的透明电极的放电部位可以呈突出 的圆^M犬，扫描/维持》文电电才及Y的透明电才及的方文电部位呈凹入的圓 孑瓜习犬，圓《瓜4犬的内々圣为75 um 100 um 。
本发明的的等离子显示屏的制作方法，包括以下步骤A)利 用光刻法在前基板上制作出透明电极，并且使维持放电电极X的透 明电极的放电部位和扫描/维持放电电极Y的透明电极的放电部位 凸凹相对；B)利用光刻法制做出汇流电极和黑条；C)在前基板的 汇流电极和黑条上涂敷介质，经烧结，烧去介质中的有机材料，获 得介质层；D)在介质层上用电子束蒸发成膜法制做氧化镁保护膜； E )将制备好的前基板、后基板进行封接、排气、老炼以形成等离 子显示屏。
本发明的透明电极釆用弧状结构，凸凹相对的圓弧可有效增大 方文电空间及面积，；改电间隙和面积的增大，佳:得;汶电^各径变长，一 方面电子在到达阳极前与气体原子的膨胀次凄t增多，产生更多的激 发和电离。另一方面，由于PDP》文电单元的空间4艮小，；改电时只出 现阴才及位降区和负辉区，而VUV主要产生于负辉区。在一定的气 压下，阴极位降区的长度d是一定的(pd-常数)，随着电极间隙的 增大，负辉区增长，使得VUV辐射的强度增强。从而，采用弧形 电极结构，放电单元的有效面积增加，使显示屏的发光亮度和发光 效率都增加。
5应该指出，以上i兌明和以下详细i兌明都是示例性的，旨在对所 要求的本发明提供进一 步的说明。
除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本发明还有其它的
目的、特4i和优点。下面将参照图，对本发明的其它的目的、特4正 和效果作进一步详细的说明。
构成本i兌明书的一部分、用于进一步理解本发明的图示出了优
选实施例并与说明一起用来说明本发明的原理。图中
图1示出了现有等离子显示屏的立体结构；
图2示出了现有等离子显示屏的剖^L结构；
图3示出了现有等离子显示屏的前基板的i文电电极；
图4示出了现有等离子显示屏的前基板的条形透明电极和汇流 电才及结构；
图5示出了现有等离子显示屏的前基板的T型透明电极和汇流 电才及结构；
图6示出了现有等离子显示屏的前基板的格栅形电极结构；
图7示出了根据本发明的交流气体放电等离子显示屏前基板的 達斤型透明电4及结4勾；以及
图8示出了图7中的透明电极结构。l水实施方式
以下结合附图和优选实施例对本发明进行描述。
图7示出了根据本发明的交流气体放电等离子显示屏前基板的 新型透明电才及结构，图8示出了图7中的透明电才及结构。结合参照 图7和图8，透明电极lla的放电部位111和透明电极12a的方文电 部位121凸凹相对，以形成弧状》文电空间。
其中，上述弧状》丈电空间优选;也为半圓环形;汶电空间。扫描》文 电电极X的透明电才及12a的放电部位121呈突出的圓弧状，维持》文 电电才及Y的透明电4及lla的方史电部^立111呈凹入的圆弧状，圆卩瓜状 的内4圣为75 um ~ 100 um。
在其它实施例中，上述扫描》文电电极X的透明电才及12a的》文电 部位121可以呈凹入的圓卩瓜状，维持》文电电才及Y的透明电才及lla的 放电部位111呈突出的圆弧状。
为了4吏彩色PDP显示屏的单元开口率高，本发明要求汇流电极 的宽度尽可能地细，电极可以采用金属薄膜电极用光刻法制作，或 采用光敏银浆料用光刻法制作，对单元节距大的彩色PDP显示屏， 也可以采用精密丝网印刷法制作。
下面对本发明的交流气体放电显示屏的制作方法进行说明。
该制作方法顺序如下A)利用光刻法在前基板上制作出透明 电极，并且使维持放电电极X的透明电极的放电部位和扫描/维持放 电电才及Y的透明电才及的方文电部4立凸凹相对，以形成一个1/2状的圓 环形i文电空间，圓弧的内径根据PDP屏面尺寸的不同大约为75 um ~100um; B )利用光刻法制做出汇流电极和黑条；C )在前基板的 汇流电极和黑条上涂敷介质，经烧结，烧去介质中的有机材料，获得介质层；D)在介质层上用电子束蒸发成膜法制做氧化镁保护膜； E )将制备好的前基板、后基板进行封接、排气、老炼以形成等离 子显示屏。
本发明的显示屏驱动方式可以采用现有的PDP显示屏的驱动 方式，也可以根据本发明显示屏的特点，设计最佳的驱动波形。
由于本发明的透明电才及采用圓弧状结构，凹凸相对的圓弧可有 效增大放电空间及面积，放电间隙及面积的增大，使得放电路径变 长。
一方面电子在到达阳极前与气体原子的碰撞次数增多，产生更 多的;敫发和电离；另一方面由于PDP^:电单元的空间4艮小，；故电时 只出现阴才及位降区和负辉区，而VUV主要产生于负辉区。在一定 的气压下，阴极位降区的长度d是一定的(pd-常数)，随着电极间隙 的增大，负辉区增长，使得VUV辐射的强度增强。
综合以上两方面，由于采用卩瓜形电才及结构，；改电单元的有岁文面 积增加，使显示屏的发光亮度计发光效率都增加。
以上仅为本发明的实施例而已，并不用于限制本发明，对于本 领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明 的精神和原则之内，所作的任何》务改、等同替换、改进等，均应包 含在本发明的权利要求范围之内。
权利要求
1.一种等离子显示屏，包括前基板和与之封接在一起的后基板，所述前基板配置有维持放电电极X和扫描/维持放电电极Y，其特征在于，所述维持放电电极X的透明电极的放电部位与所述扫描/维持放电电极Y的透明电极的放电部位凸凹相对，以形成弧状放电空间。
2. 根据权利要求1所述的等离子显示屏，其特征在于，所述弧状 ;故电空间为半圓环形;汶电空间。
3. 根据权利要求2所述的等离子显示屏，其特征在于，所述维持 ;故电电4及X的透明电^^的》丈电部位呈突出的圆弧状，所述扫 描/维持放电电极Y的透明电极的放电部位呈凹入的圆弧状， 戶斤述圓子瓜一犬的内4圣为75 um ~ 100 um。
4. 一种如权利要求1所述的等离子显示屏的制作方法，其特征在 于，所述方法包括以下步艰朵A) 利用光刻法在前基板上制作出透明电极，并且使维持 ;汶电电极X的透明电极的》文电部位和扫描/维持方文电电极Y的 透明电4及的方文电部位凸凹相对；B) 利用光刻法制做出汇流电极和黑条；C) 在前基板的汇流电极和黑条上涂敷介质，经烧结，烧 去介质中的有机材料，获得介质层；D) 在介质层上用电子束蒸发成膜法制做氧化镁保护膜；E) 将制备好的前基板、后基板进行封接、排气、老炼以 形成等离子显示屏。
全文摘要
本发明公开了一种等离子显示屏，该等离子显示屏包括前基板和与之封接在一起的后基板，前基板配置有维持放电电极X和扫描/维持放电电极Y，维持放电电极X的透明电极的放电部位与所述扫描/维持放电电极Y的透明电极的放电部位凸凹相对，以形成弧状放电空间。本发明还提供了一种等离子显示屏的制作方法。通过本发明可以改进透明电极的单元结构来提高等离子显示屏亮度和发光效率。
文档编号H01J11/10GK101685746SQ200810223458
公开日2010年3月31日 申请日期2008年9月28日 优先权日2008年9月28日
发明者唐翠珍, 张小芳 申请人:四川世纪双虹显示器件有限公司