专利名称：用于等离子显示器的电极制作方法
技术领域：
本发明涉及等离子显示器领域，具体地，涉及用于等离子显示 器的电才及制作方法。
背景技术：
等离子显示器是通过使用放电效应来显示图像的平板显示器 件。现今，等离子显示器由于其非常好的性能和特性(诸如高显示 容量、高亮度、高对比度、大碎见角以及薄而大的屏幕尺寸)而成为 市场上各种显示器件中的主流产品。
图1示出了常M^三电才及交流表面^:电型等离子显示器的结构示 意图，该显示器主要包括上基板1和下基板2。上基板1包括在其 下表面上交替形成的透明电4及3和汇流电纟及4，以及在汇流电极4 的非放电 一侧的间隙内制作的用于提高对比度的黑条电极(未示 出)，在汇流电极4的表面上还制作有透明介质层5，在透明介质层 5的表面上制作有保护层6。下基板2包括在其上表面上制作的与 汇流电4及4的方向垂直的寻址电纟及8，，没置在寻址电才及8表面上的 介质层7,以及在介质层7表面形成的用于形成放电空间并防止》文 电串4尤的障壁10，其中，在障壁10的间隙内及介质层7的表面上 设有三种颜色(红、绿、蓝)的荧光粉9。在上基板1和下基板2 之间的放电空间内充有预定的工作气体， 一般采用惰性气体。在现有技术中，前基板上形成的汇流电极4和黑条电极(B/S )、 以及下基板上表面形成的寻址电极8 —般采用丝网印刷电极线条、 丝网印刷感光材料后光刻、涂覆法制作感光材料后光刻等方法制
条形貌不理想已逐渐被淘汰。丝网印刷感光材料后光刻一^:分为成 膜和光刻两个步骤进行。首先用丝网印刷方法在基板的表面上形成 完全覆盖基板表面的电极材料层，经干燥后采用光刻方法去除多余 部分最终形成电极线条。在这种方法的电极制作过程中，成膜步骤 形成的是完全覆盖基板表面的电极材料膜，制成线条后保留的只是 极小部分材料，大部分电极材料经光刻显影后去除掉，这样就存在 着很严重的材料浪费现象，电极材料的利用率很低。涂覆法制作感 光材料后光刻的方法也存在类似问题。
发明内容
为解决上述问题而提出本发明，且本发明的目的是提供一种用 于等离子显示器的电极制作方法，该方法制作的电极线条精度高、 制作过程中电极材料浪费少，从而提高电极材料利用率且提高产品质量。
根据本发明，提供了 一种用于等离子显示器的电极制作方法， 所述等离子显示器包括基板及设置在所述基板上的电极，其中，所 述电极制作方法包括以下步骤在所述基板上设置电极材料层，所 述电极材料层具有对应于所述电极的预定图案；对形成有所述电极 材料层的基板进行曝光；对曝光后的基板进行显影；以及将显影后 的多余电极材料去除，形成所述电才及。
优选地，通过丝网印刷方法在所述基板上设置电极材料层。
优选地，电极材料层的预定图案的尺寸大于所述电极的尺寸。优选地，所述电才及材料层为感光性材料。
优选地，所述电极制作方法用于制作汇流电才及、寻址电4及和黑 条电极。
根据本发明的用于等离子显示器的电极制作方法节省电极材 料，提高电极材料利用率，并且制成的电极精度高，从而提高产品质量。
图1示意性地示出了常规三电极交流表面放电型等离子显示屏
的结构；
图2示意性地示出了根据本发明实施例的汇流电极的制作方 法，其中，通过丝网印刷方法在基板上设置电极材料层；以及
图3a至图3c示意性地示出了根据本发明实施例的汇流电极的 制作方法，其中，对形成有电4及材:纤层的基才反进4于光刻，以形成电极。
具体实施例方式
下面结合附图，以上基板10上的汇流电极40的制作过程为例， 对根据本发明实施例的用于等离子显示器的电极制作方法做进一
步的说明，然而，本领域:汰术人员可以理解，该方法也可以用于制
作其他电极，诸如黑条电极和寻址电极等。
法。如图所示，上基板10已经设置有透明电极30,这时，优选利 用丝网印刷法在透明电极30上涂敷具有预定图案的电极材料层40，。具体地，用作电极材料的浆料400通过漏印板410涂敷在透明 电极30上，以形成电极材料层。该电极材并+层40，的图案对应于待 形成的汇流电极40，优选地，该图案的尺寸略大于汇流电极40的 尺寸。
图3a至图3c示意性地示出了根据本发明实施例的汇流电极的 制作方法，其中，对具有通过丝网印刷方法形成的电才及材冲牛层40， 的上基板10进行光刻，以形成汇流电才及40。具体地，如图3a所示， 先对包括如上所述形成的电极材料层40，的上基板10进行曝光。接 着，如图3b所示，对曝光后的基^反10进^f亍显影处理。然后，如图 3c所示，去除掉相对于汇流电极40而言多余的电极材料，从而形 成汇流电极40。由于电极材料层40，的预定图案，在欲制作有汇流 电极的位置均覆盖有电极材料层，因此可以制作出完整的汇流电 才及。图3c示出了最乡冬形成的汇;危电才及40。
根据本发明的电极制作方法，在丝网印刷电极材料层的过程 中，优选地，电才及材并牛层相对于目标电才及线条预留出一部分，即印 刷图案的边缘并不是目标电极线条的边缘，这样就4艮好地克服了丝 网印刷的线条边缘不整齐的缺点，丝网印刷的电极材料层线条比较 宽，因此对丝网印刷精度要求并不高。而最终制成的电才及线条边缘 是经过显影获得，因此很好地保持了光刻工艺精度高、线条表面形 貌好的优点。同时，由于丝网印刷的电极材料层区别与传统工艺， 没有覆盖整个基板表面，因此可以显著节省材料，同时提高材料利 用效率。
以分辨率为1280x768的50寸等离子显示屏为例，i殳上基才反尺 寸为1168x662mm,汇流电极的目标线条宽度为80|um。经丝网印 刷的电极材料层的预定图案选定为宽度为120|um,即在汇流电极线 条的两侧边缘各多出20|um。对于此参数的电极线条，采用传统的 丝网印刷感光性材料光刻的方法，电极材料的利用率约为18.6%，
6有大约81.4%的电极材料经显影后被去除。釆用本发明的电极制作 方法制作该汇流电纟及的话，材料的利用率可以:提高至约为70%。相 对与现有的电极制作方法，本发明的方法约可节省72.2%的电极材料。
尽管参照附图描述了本发明的实施例，但是应该理解，在不脱 离本发明的范围和精神的情况下，相关领域的技术人员可作各种变 化和^多改，所有变化和l奮改均旨在^皮所附纟又利要求所包含。
权利要求
1.一种用于等离子显示器的电极制作方法，所述等离子显示器包括基板(10)及设置在所述基板(10)上的电极(40)，其特征在于，所述电极制作方法包括以下步骤在所述基板(10)上设置电极材料层(40’)，所述电极材料层(40’)具有对应于所述电极的预定图案；对形成有所述电极材料层(40’)的基板(10)进行曝光；对曝光后的基板(10)进行显影；以及将显影后的多余电极材料去除，形成所述电极(40)。
2. 根据权利要求1所述的电极制作方法，其特征在于，通过丝网 印刷方法在所述基板(10)上设置电极材料层(40，)。
3. 根据权利要求1所述的电极制作方法，其特征在于，所述电极 材料层(40，)的预定图案的尺寸大于所述电极(40)的尺寸。
4. 根据权利要求1所述的电极制作方法，其特征在于，所述电极 材料层(40，)为感光性材料。
5. 根据权利要求1所述的电极制作方法，其特征在于，所述电极 制作方法用于制作汇流电极、寻址电才及和黑条电极。
全文摘要
本发明提供了一种用于等离子显示器的电极制作方法，所述等离子显示器包括基板及设置在所述基板上的电极，其中，所述电极制作方法包括以下步骤在所述基板上设置电极材料层，所述电极材料层具有对应于所述电极的预定图案；对形成有所述电极材料层的基板进行曝光；对曝光后的基板进行显影；以及将显影后的多余电极材料去除，形成所述电极。根据本发明的用于等离子显示器的电极制作方法节省电极材料，提高电极材料利用率，并且制成的电极精度高，从而提高产品质量。
文档编号H01J9/02GK101685737SQ200810223459
公开日2010年3月31日 申请日期2008年9月28日 优先权日2008年9月28日
发明者超 陈 申请人:四川虹欧显示器件有限公司