显示面板用玻璃板、其制造方法及tft面板的制造方法
【专利摘要】本发明提供B2O3含有率低、收缩低、可用作TFT面板用玻璃板的显示面板用玻璃板。该显示面板用玻璃板以氧化物基准的质量％表示，作为玻璃主要组成，包含：SiO2：50.0～73.0、Al2O3：6.0～20.0、B2O3：0～2.0、MgO：4.2～9.0、CaO：0～6.0、SrO：0～2.0、BaO：0～2.0、MgO+CaO+SrO+BaO：6.5～11.3、Li2O：0～2.0、Na2O：2.0～18.0、K2O：0～13.0、Li2O+Na2O+K2O：8.0～18.0，热收缩率(C)在20ppm以下。
【专利说明】显示面板用玻璃板、其制造方法及TFT面板的制造方法
[0001]本发明专利申请是国际申请号为PCT/JP2009/057675，国际申请日为2009年04月16日，进入中国国家阶段的申请号为200980114731.6，发明名称为“显示面板用玻璃板、其制造方法及TFT面板的制造方法”的发明专利申请的分案申请。
【技术领域】
[0002]本发明涉及用于液晶显示(IXD)面板、等离子显示面板(rop)等各种显示面板的显示面板用玻璃板。本发明的显示面板用玻璃板特别适合作为LCD面板用的玻璃板。
【背景技术】
[0003]—直以来，IXD面板用的玻璃基板米用不含碱金属氧化物的无碱玻璃。其理由是如果玻璃基板中含碱金属氧化物，则在LCD面板的制造エ序中所实施的热处理中，玻璃基板中的碱金属离子可能会扩散至用于驱动LCD面`板的薄膜晶体管(TFT)的半导体膜，导致TFT特性的劣化。
[0004]此外，也因为无碱玻璃的热膨胀系数低，玻璃化温度(Tg)高，因此LCD面板的制造エ序中的尺寸变化小，使用LCD面板时热应カ对显示品质的影响小，所以作为LCD面板用的玻璃基板是优选的。
[0005]然而，无碱玻璃在制造方面存在如下所述的问题。
[0006]无碱玻璃具有粘性非常高而难以熔融的性质，在制造中伴有技术上的困难。
[0007]此外，对于无碱玻璃，澄清剂的效果通常较差。例如，使用SO3作为澄清剂的情况下，SO3(分解)发泡的温度低于玻璃的熔融温度，因此在得到澄清之前，所添加的SO3大部分分解而从熔融玻璃挥散，无法充分发挥澄清效果。
[0008]作为TFT面板用(a-Si TFT面板用)的玻璃基板，还提出了使用含碱金属氧化物的含碱玻璃基板的技术方案(參照专利文献1、2)。这是由于以往在350-450°C进行的TFT面板制造エ序中的热处理逐渐可以在较低的温度(250-300°C左右)下进行。
[0009]含碱金属氧化物的玻璃由于一般热膨胀系数高，因此通常含有具有使热膨胀系数降低的效果的B2O3，从而达到适合作为TFT面板用的玻璃基板的热膨胀系数(专利文献1、2)。
[0010]然而，采用含B2O3的玻璃组成的情况下，将玻璃熔融时，特别是在熔化工序、澄清エ序和浮法成形エ序中，B2O3发生挥散，因此玻璃组成容易变得不均一。如果玻璃组成不均质，则会对成形为板状时的平坦性造成影响。为了确保显示品质，TFT面板用的玻璃基板被要求具有高度的平坦度，从而保持夹着液晶的2块玻璃的间隔、即液晶盒间隙恒定。因此，为了确保规定的平坦度，在通过浮法成形为平板玻璃后，进行平板玻璃的表面研磨，但如果成形后的平板玻璃无法获得规定的平坦性，则研磨エ序所需的时间变长，生产性下降。此外，如果考虑到所述B2O3的挥散产生的环境负担，熔融玻璃中的B2O3的含有率较好是更低。[0011 ] 但是，如果B2O3的含有率低，则难以使热膨胀系数降至作为TFT面板用的玻璃基板的理想的热膨胀系数，并且难以在抑制粘性的上升的同时获得规定的Tg等。[0012]专利文献1:日本专利特开2006-137631号公报
[0013]专利文献2:日本专利特开2006-169028号公报
[0014]发明的掲示
[0015]本发明人认真研究后发现，在所述的低温下的热处理中，低温下的玻璃的收缩(热收缩率)可能会对玻璃基板上的成膜品质(成膜图案精度)造成较大的影响。
[0016]为了解决上述现有技术的问题，本发明的目的在于提供含有碱金属氧化物，B2O3少，TFT面板制造エ序中的低温(150-300°C )下的热处理(具体为形成栅极绝缘膜的エ序中的热处理)时的收缩小，特别适合用作大型(例如ー边在2m以上的尺寸)的TFT面板用的玻璃基板的显示面板用玻璃基板及其制造方法以及使用所述玻璃板的TFT面板的制造方法。
[0017]为达到上述目的，本发明提供一种显示面板用玻璃板，其特征在干，
[0018]以氧化物基准的质量％表示，作为玻璃主要组成，包含:
[0019]
【权利要求】
1.一种显示面板用玻璃板，其特征在干，以氧化物基准的质量％表示，作为玻璃主要组成，包含:
2.—种显示面板用玻璃板的制造方法，该方法是将熔化原料而得的熔融玻璃用浮法成形炉成形为带状的玻璃板后，通过冷却装置进行冷却，得到处于室温状态的权利要求1所述的显示面板用玻璃板的显示面板用玻璃板的制造方法，其特征在干， 将从所述浮法成形炉引出的玻璃板的表面温度设为Th(°C )，将室温设为IY(°C )，将所述玻璃板的表面温度在所述冷却装置的冷却下从Th到达IY所需的时间设为t (分钟)吋，所述冷却装置是使以(Th-1Y)/t表示的平均冷却速度为10-300°C /分钟的冷却装置。
3.—种TFT面板的制造方法，该方法是包括在显示面板用玻璃板的表面形成阵列基板栅极绝缘膜的成膜エ序和将所述阵列基板和彩色滤光片基板粘合的粘合エ序的TFT面板的制造方法，其特征在干， 所述成膜エ序是以下的エ序:将权利要求1所述的显示面板用玻璃板的表面的成膜区域升温至150-300°C的范围内的成膜温度后，在所述成膜温度下保持5-60分钟，在所述成膜区域形成所述栅极绝缘膜。
【文档编号】H01J17/16GK103449719SQ201310360124
【公开日】2013年12月18日 申请日期:2009年4月16日 优先权日:2008年4月21日
【发明者】西泽学, 嶋田勇也, 黑木有一, 前田敬 申请人:旭硝子株式会社