扫描电镜多用途样品台的制作方法
扫描电镜多用途样品台的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种扫描电镜多用途样品台，所述扫描电镜多用途样品台包括：夹持样品的样品夹持部；调整所述样品夹持部角度的调整部，所述调整部设置在所述样品夹持部之下，所述调整部包括：球形万向节、支撑所述球形万向节的平台、以及调整所述球形万向节角度的调节件，所述球形万向节上设有与样品夹持部连接的接头。本实用新型能够得到扫描电镜较佳的观察角度。
【专利说明】扫描电镜多用途样品台
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及扫描电镜样品室内使用的样品台，即一种扫描电镜多用途样品台。
【背景技术】
[0002]目前扫描电镜在生产、科研等领域存在广泛应用，通常扫描电镜内部随机配置常规样品台，用于观察研究一些规则形状样品，在金属材料生产实践领域，样品往往体积较大，且形状不规则，样品安装在常规样品台上时，往往样品固定较为困难，且观察角度不佳。
[0003]综上所述，现有技术中至少存在以下问题:难以得到较佳的观察样品的角度。
实用新型内容
[0004]本实用新型提供一种扫描电镜多用途样品台，以解决观察样品的角度不佳的问题。
[0005]为此，本实用新型提出一种扫描电镜多用途样品台，所述扫描电镜多用途样品台包括:
[0006]夹持样品的样品夹持部；
[0007]调整所述样品夹持部角度的调整部，所述调整部设置在所述样品夹持部之下，所述调整部包括:球形万向节、支撑所述球形万向节的平台、以及调整所述球形万向节角度的调节件，所述球形万向节上设有与样品夹持部连接的接头。
[0008]进一步地，所述样品夹持部包括:样品座和连接在所述样品座侧向的滑动支撑板，所述样品座包括:底部支撑座和与所述底部支撑座连接的侧面支撑座，所述滑动支撑板与所述侧面支撑座形成夹持样品的侧向夹持空间。
[0009]进一步地，所述侧面支撑座设有一个或多个紧固样品的螺孔。
[0010]进一步地，所述底部支撑座设有燕尾形卡台，所述滑动支撑板设有与所述燕尾形卡台相吻合的燕尾形卡槽。
[0011]进一步地，所述侧面支撑座为板状，所述滑动支撑板与所述侧面支撑座相互平行。
[0012]进一步地，所述调节件包括侧向夹持所述球形万向节的万向节夹持件、以及设置在所述万向节夹持件中的锁紧螺栓，所述锁紧螺栓紧固所述球形万向节，所述万向节夹持件设置在所述平台之上。
[0013]进一步地，所述球形万向节上的接头为柱状，所述接头上设有螺纹。
[0014]进一步地，所述滑动支撑板通过滑动支撑板紧固螺栓拧紧在所述底部支撑座上。
[0015]进一步地，所述万向节夹持件为两个平行的夹持块，其中一个夹持块中设有与所述锁紧螺栓连接的连接孔。
[0016]进一步地，所述扫描电镜多用途样品台还包括:紧固样品的螺栓，所述紧固样品的螺栓与所述紧固样品的螺孔相配合。
[0017]本实用新型可根据需求，通过调整安装在样品夹持部之下的球形万向节的角度，调整样品夹持部的角度，因而可以获得各种不同的观察角度，从中得到较佳的观察角度，解决了扫描电镜观察样品的角度不佳的问题。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型的扫描电镜多用途样品台的整体结构示意图，其中取出了样品夹持部上的相应的螺栓；图中箭头表示锁紧螺栓拧入方向；
[0019]图2为本实用新型的样品座的立体结构，图中箭头表示紧固样品的螺栓的拧入方向；
[0020]图3为本实用新型的滑动支撑板的立体结构，图中箭头表示滑动支撑板紧固螺栓抒入方向；
[0021]图4为本实用新型的球形万向节的立体结构；
[0022]图5为本实用新型的调整部的主视结构示意图，图中箭头表示锁紧螺栓拧入方向。
[0023]附图标号说明:
[0024]I样品座3滑动支撑板5球形万向节7万向节夹持件9 (支撑所述球形万向节的)平台11紧固样品的螺栓13侧面支撑座15底部支撑座150卡台100夹持样品的空间31滑动支撑板紧固螺栓33卡槽51接头55锁紧螺栓75连接孔
【具体实施方式】
[0025]为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照【专利附图】
【附图说明】本实用新型。
[0026]如图1所示，本实用新型的扫描电镜多用途样品台包括:夹持样品的样品夹持部和调整所述样品夹持部角度的调整部。
[0027]夹持样品的样品夹持部用于夹持样品，调整所述样品夹持部角度的调整部用于调整调整所述样品夹持部角度的调整部的角度，以获得各种不同的观察角度，从中得到较佳的观察角度。
[0028]调整所述样品夹持部角度的调整部，所述调整部设置在所述样品夹持部之下，如图1，所述调整部包括:球形万向节5、支撑所述球形万向节的平台9、以及调整所述球形万向节角度的调节件，如图4，所述球形万向节5上设有与样品夹持部连接的接头51。所述球形万向节上的接头51为柱状，所述接头51上设有螺纹，用于拧入到底部支撑座15的底部，从而方便的实现球形万向节5与样品座的连接。
[0029]进一步地，如图1，所述样品夹持部包括:样品座I和连接在所述样品座侧向的滑动支撑板3，样品座I为固定的，滑动支撑板3可滑动的设置在样品座I上，以便夹持不同形状或尺寸的样品。
[0030]如图2，所述样品座I包括:底部支撑座15和与所述底部支撑座15连接的侧面支撑座13，如图1，所述滑动支撑板3与所述侧面支撑座15形成夹持样品的侧向夹持空间100，样品支撑在底部支撑座15上，两侧受到所述滑动支撑板3与所述侧面支撑座14的夹持，从而固定。这样的夹持方式，简单稳定。
[0031]进一步地，如图2，所述侧面支撑座13设有一个或多个紧固样品的螺孔，所述扫描电镜多用途样品台还包括:紧固样品的螺栓11，所述紧固样品的螺栓与所述紧固样品的螺孔相配合。当样品为不规则形状时，通过在多个螺孔拧入紧固样品的螺栓11，数量例如为四个或其他数目，有利于实现对不规则样品的固定。
[0032]进一步地，如图2和图3，所述底部支撑座15设有燕尾形卡台150，所述滑动支撑板3设有与所述燕尾形卡台相吻合的燕尾形卡槽33，这样能够实现滑动支撑板3稳定的连接在底部支撑座15上，而且，便于滑动支撑板3滑动。进一步地，所述滑动支撑板3通过滑动支撑板紧固螺栓31拧紧在所述底部支撑座15的燕尾形卡台150上，这样能够实现可拆卸连接，而且连接稳固。
[0033]进一步地，所述侧面支撑座13为板状，所述滑动支撑板3与所述侧面支撑座13相互平行，这样形成的夹持空间为直槽形，便于加工安装，便于安放样品。
[0034]进一步地，如图5，所述调节件包括侧向夹持所述球形万向节5的万向节夹持件7、以及设置在所述万向节夹持件中的锁紧螺栓55，所述锁紧螺栓55紧固所述球形万向节5，所述万向节夹持件7设置在所述平台9之上。这样，一方面有利于实现球形万向节5与底部支撑座15的连接，另一方面，通过松开锁紧螺栓55，有利于实现球形万向节5角度的调難
iF.0
[0035]进一步地，所述万向节夹持件7为两个平行的夹持块，球形万向节5位于两个平行的夹持块之间，其中一个夹持块中设有与所述锁紧螺栓连接的连接孔75。这样，一方面便于球形万向节5的夹持，另一方面便于球形万向节5的转动，而且还便于对球形万向节5的固定，防止测试过程中样品脱落。
[0036]本实用新型的球形万向节5采用淬火合金钢球，其余各部件采用304号不锈钢块，精密机加工完成，最后组装完成整个描电镜多用途样品台。
[0037]以上所述仅为本实用新型示意性的【具体实施方式】，并非用以限定本实用新型的范围。为本实用新型的各组成部分在不冲突的条件下可以相互组合，任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本实用新型保护的范围。
【权利要求】
1.一种扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述扫描电镜多用途样品台包括: 夹持样品的样品夹持部; 调整所述样品夹持部角度的调整部，所述调整部设置在所述样品夹持部之下，所述调整部包括:球形万向节、支撑所述球形万向节的平台、以及调整所述球形万向节角度的调节件，所述球形万向节上设有与样品夹持部连接的接头。
2.如权利要求1所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述样品夹持部包括:样品座和连接在所述样品座侧向的滑动支撑板，所述样品座包括:底部支撑座和与所述底部支撑座连接的侧面支撑座，所述滑动支撑板与所述侧面支撑座形成夹持样品的侧向夹持空间。
3.如权利要求2所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述侧面支撑座设有一个或多个紧固样品的螺孔。
4.如权利要求2所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述底部支撑座设有燕尾形卡台，所述滑动支撑板设有与所述燕尾形卡台相吻合的燕尾形卡槽。
5.如权利要求2所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述侧面支撑座为板状，所述滑动支撑板与所述侧面支撑座相互平行。
6.如权利要求1所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述调节件包括侧向夹持所述球形万向节的万向节夹持件、以及设置在所述万向节夹持件中的锁紧螺栓，所述锁紧螺栓紧固所述球形万向节，所述万向节夹持件设置在所述平台之上。
7.如权利要求1所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述球形万向节上的接头为柱状，所述接头上设有螺纹。
8.如权利要求2所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述滑动支撑板通过滑动支撑板紧固螺栓拧紧在所述底部支撑座上。
9.如权利要求6所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述万向节夹持件为两个平行的夹持块，其中一个夹持块中设有与所述锁紧螺栓连接的连接孔。
10.如权利要求3所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述扫描电镜多用途样品台还包括:紧固样品的螺栓，所述紧固样品的螺栓与所述紧固样品的螺孔相配合。
【文档编号】H01J37/20GK203503600SQ201320678693
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年10月30日 优先权日:2013年10月30日
【发明者】董树青 申请人:国家电网公司, 华北电力科学研究院有限责任公司
【专利摘要】本实用新型提供了一种扫描电镜多用途样品台，所述扫描电镜多用途样品台包括：夹持样品的样品夹持部；调整所述样品夹持部角度的调整部，所述调整部设置在所述样品夹持部之下，所述调整部包括：球形万向节、支撑所述球形万向节的平台、以及调整所述球形万向节角度的调节件，所述球形万向节上设有与样品夹持部连接的接头。本实用新型能够得到扫描电镜较佳的观察角度。
【专利说明】扫描电镜多用途样品台
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及扫描电镜样品室内使用的样品台，即一种扫描电镜多用途样品台。
【背景技术】
[0002]目前扫描电镜在生产、科研等领域存在广泛应用，通常扫描电镜内部随机配置常规样品台，用于观察研究一些规则形状样品，在金属材料生产实践领域，样品往往体积较大，且形状不规则，样品安装在常规样品台上时，往往样品固定较为困难，且观察角度不佳。
[0003]综上所述，现有技术中至少存在以下问题:难以得到较佳的观察样品的角度。
实用新型内容
[0004]本实用新型提供一种扫描电镜多用途样品台，以解决观察样品的角度不佳的问题。
[0005]为此，本实用新型提出一种扫描电镜多用途样品台，所述扫描电镜多用途样品台包括:
[0006]夹持样品的样品夹持部；
[0007]调整所述样品夹持部角度的调整部，所述调整部设置在所述样品夹持部之下，所述调整部包括:球形万向节、支撑所述球形万向节的平台、以及调整所述球形万向节角度的调节件，所述球形万向节上设有与样品夹持部连接的接头。
[0008]进一步地，所述样品夹持部包括:样品座和连接在所述样品座侧向的滑动支撑板，所述样品座包括:底部支撑座和与所述底部支撑座连接的侧面支撑座，所述滑动支撑板与所述侧面支撑座形成夹持样品的侧向夹持空间。
[0009]进一步地，所述侧面支撑座设有一个或多个紧固样品的螺孔。
[0010]进一步地，所述底部支撑座设有燕尾形卡台，所述滑动支撑板设有与所述燕尾形卡台相吻合的燕尾形卡槽。
[0011]进一步地，所述侧面支撑座为板状，所述滑动支撑板与所述侧面支撑座相互平行。
[0012]进一步地，所述调节件包括侧向夹持所述球形万向节的万向节夹持件、以及设置在所述万向节夹持件中的锁紧螺栓，所述锁紧螺栓紧固所述球形万向节，所述万向节夹持件设置在所述平台之上。
[0013]进一步地，所述球形万向节上的接头为柱状，所述接头上设有螺纹。
[0014]进一步地，所述滑动支撑板通过滑动支撑板紧固螺栓拧紧在所述底部支撑座上。
[0015]进一步地，所述万向节夹持件为两个平行的夹持块，其中一个夹持块中设有与所述锁紧螺栓连接的连接孔。
[0016]进一步地，所述扫描电镜多用途样品台还包括:紧固样品的螺栓，所述紧固样品的螺栓与所述紧固样品的螺孔相配合。
[0017]本实用新型可根据需求，通过调整安装在样品夹持部之下的球形万向节的角度，调整样品夹持部的角度，因而可以获得各种不同的观察角度，从中得到较佳的观察角度，解决了扫描电镜观察样品的角度不佳的问题。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]图1为本实用新型的扫描电镜多用途样品台的整体结构示意图，其中取出了样品夹持部上的相应的螺栓；图中箭头表示锁紧螺栓拧入方向；
[0019]图2为本实用新型的样品座的立体结构，图中箭头表示紧固样品的螺栓的拧入方向；
[0020]图3为本实用新型的滑动支撑板的立体结构，图中箭头表示滑动支撑板紧固螺栓抒入方向；
[0021]图4为本实用新型的球形万向节的立体结构；
[0022]图5为本实用新型的调整部的主视结构示意图，图中箭头表示锁紧螺栓拧入方向。
[0023]附图标号说明:
[0024]I样品座3滑动支撑板5球形万向节7万向节夹持件9 (支撑所述球形万向节的)平台11紧固样品的螺栓13侧面支撑座15底部支撑座150卡台100夹持样品的空间31滑动支撑板紧固螺栓33卡槽51接头55锁紧螺栓75连接孔
【具体实施方式】
[0025]为了对本实用新型的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照【专利附图】
【附图说明】本实用新型。
[0026]如图1所示，本实用新型的扫描电镜多用途样品台包括:夹持样品的样品夹持部和调整所述样品夹持部角度的调整部。
[0027]夹持样品的样品夹持部用于夹持样品，调整所述样品夹持部角度的调整部用于调整调整所述样品夹持部角度的调整部的角度，以获得各种不同的观察角度，从中得到较佳的观察角度。
[0028]调整所述样品夹持部角度的调整部，所述调整部设置在所述样品夹持部之下，如图1，所述调整部包括:球形万向节5、支撑所述球形万向节的平台9、以及调整所述球形万向节角度的调节件，如图4，所述球形万向节5上设有与样品夹持部连接的接头51。所述球形万向节上的接头51为柱状，所述接头51上设有螺纹，用于拧入到底部支撑座15的底部，从而方便的实现球形万向节5与样品座的连接。
[0029]进一步地，如图1，所述样品夹持部包括:样品座I和连接在所述样品座侧向的滑动支撑板3，样品座I为固定的，滑动支撑板3可滑动的设置在样品座I上，以便夹持不同形状或尺寸的样品。
[0030]如图2，所述样品座I包括:底部支撑座15和与所述底部支撑座15连接的侧面支撑座13，如图1，所述滑动支撑板3与所述侧面支撑座15形成夹持样品的侧向夹持空间100，样品支撑在底部支撑座15上，两侧受到所述滑动支撑板3与所述侧面支撑座14的夹持，从而固定。这样的夹持方式，简单稳定。
[0031]进一步地，如图2，所述侧面支撑座13设有一个或多个紧固样品的螺孔，所述扫描电镜多用途样品台还包括:紧固样品的螺栓11，所述紧固样品的螺栓与所述紧固样品的螺孔相配合。当样品为不规则形状时，通过在多个螺孔拧入紧固样品的螺栓11，数量例如为四个或其他数目，有利于实现对不规则样品的固定。
[0032]进一步地，如图2和图3，所述底部支撑座15设有燕尾形卡台150，所述滑动支撑板3设有与所述燕尾形卡台相吻合的燕尾形卡槽33，这样能够实现滑动支撑板3稳定的连接在底部支撑座15上，而且，便于滑动支撑板3滑动。进一步地，所述滑动支撑板3通过滑动支撑板紧固螺栓31拧紧在所述底部支撑座15的燕尾形卡台150上，这样能够实现可拆卸连接，而且连接稳固。
[0033]进一步地，所述侧面支撑座13为板状，所述滑动支撑板3与所述侧面支撑座13相互平行，这样形成的夹持空间为直槽形，便于加工安装，便于安放样品。
[0034]进一步地，如图5，所述调节件包括侧向夹持所述球形万向节5的万向节夹持件7、以及设置在所述万向节夹持件中的锁紧螺栓55，所述锁紧螺栓55紧固所述球形万向节5，所述万向节夹持件7设置在所述平台9之上。这样，一方面有利于实现球形万向节5与底部支撑座15的连接，另一方面，通过松开锁紧螺栓55，有利于实现球形万向节5角度的调難
iF.0
[0035]进一步地，所述万向节夹持件7为两个平行的夹持块，球形万向节5位于两个平行的夹持块之间，其中一个夹持块中设有与所述锁紧螺栓连接的连接孔75。这样，一方面便于球形万向节5的夹持，另一方面便于球形万向节5的转动，而且还便于对球形万向节5的固定，防止测试过程中样品脱落。
[0036]本实用新型的球形万向节5采用淬火合金钢球，其余各部件采用304号不锈钢块，精密机加工完成，最后组装完成整个描电镜多用途样品台。
[0037]以上所述仅为本实用新型示意性的【具体实施方式】，并非用以限定本实用新型的范围。为本实用新型的各组成部分在不冲突的条件下可以相互组合，任何本领域的技术人员，在不脱离本实用新型的构思和原则的前提下所作出的等同变化与修改，均应属于本实用新型保护的范围。
【权利要求】
1.一种扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述扫描电镜多用途样品台包括: 夹持样品的样品夹持部; 调整所述样品夹持部角度的调整部，所述调整部设置在所述样品夹持部之下，所述调整部包括:球形万向节、支撑所述球形万向节的平台、以及调整所述球形万向节角度的调节件，所述球形万向节上设有与样品夹持部连接的接头。
2.如权利要求1所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述样品夹持部包括:样品座和连接在所述样品座侧向的滑动支撑板，所述样品座包括:底部支撑座和与所述底部支撑座连接的侧面支撑座，所述滑动支撑板与所述侧面支撑座形成夹持样品的侧向夹持空间。
3.如权利要求2所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述侧面支撑座设有一个或多个紧固样品的螺孔。
4.如权利要求2所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述底部支撑座设有燕尾形卡台，所述滑动支撑板设有与所述燕尾形卡台相吻合的燕尾形卡槽。
5.如权利要求2所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述侧面支撑座为板状，所述滑动支撑板与所述侧面支撑座相互平行。
6.如权利要求1所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述调节件包括侧向夹持所述球形万向节的万向节夹持件、以及设置在所述万向节夹持件中的锁紧螺栓，所述锁紧螺栓紧固所述球形万向节，所述万向节夹持件设置在所述平台之上。
7.如权利要求1所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述球形万向节上的接头为柱状，所述接头上设有螺纹。
8.如权利要求2所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述滑动支撑板通过滑动支撑板紧固螺栓拧紧在所述底部支撑座上。
9.如权利要求6所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述万向节夹持件为两个平行的夹持块，其中一个夹持块中设有与所述锁紧螺栓连接的连接孔。
10.如权利要求3所述的扫描电镜多用途样品台，其特征在于，所述扫描电镜多用途样品台还包括:紧固样品的螺栓，所述紧固样品的螺栓与所述紧固样品的螺孔相配合。
【文档编号】H01J37/20GK203503600SQ201320678693
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年10月30日 优先权日:2013年10月30日
【发明者】董树青 申请人:国家电网公司, 华北电力科学研究院有限责任公司
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