专利名称：扫描电镜样品台操纵杆辅助定位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于扫描电镜样品台操纵杆结构的改进，特别是扫描电镜样品台操纵杆辅助定位装置。
背景技术：
在分析测试领域，扫描电镜的作用具有不可替代性，它具有操作方便、分析速度快的特性。但在某品牌扫描电镜的使用过程中，样品台操纵杆经常发生故障，故障描述如下 在对样品台进行平面内(X向、Y向)移动时，操纵杆不能自动回归零位(零位即样品台静止不动时操纵杆所处的位置)，如果不注意，经常发生样品台继续向同一个方向以很低的速度移动，导致二次电子像不能聚焦，影响图像的清晰度和分析效果。另外，在放气(vent)时，样品台自动下降(自工作距离下降至Z向最低，便于在更换样品时保护下极靴和样品台)。如果样品台操纵杆未能归零，就会导致样品台移至X向或 Y向的极限位置，在更换样品打开样品室的瞬间经常导致样品台撞击样品室，容易损坏样品台的位置精度和自动控制功能。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种扫描电镜样品台操纵杆辅助定位装置，其结构合理，操作简便，在对扫描电镜样品进行平面内χ向、Y向移动操作时，可以方便地实现操纵杆的归零，可以避免扫描电镜样品台移动至极限位置，保护样品台的位置精度和自动控制功能。本实用新型的目的是这样实现的一种扫描电镜样品台操纵杆辅助定位装置，包括具有旋转手柄的操纵杆，和与操纵杆相配合的样品台弧面座，在操纵杆的下端部固接着定位球，在旋转手柄的侧上部通过固接的支座铰接着曲臂定位杆，曲臂定位杆的形状为与具有旋转手柄操纵杆侧部轮廓形状相适应的曲拐形，曲拐上部折弯处设置的连接装置与支座上的支撑轴铰接，曲拐上部水平杆的端部为操作端，曲拐下部直立杆的下端固接着定位半球，在样品台弧面座的一侧弧面上设置着定位孔，曲臂定位杆曲拐下部直立杆端部的定位半球与定位孔相配合。曲臂定位杆的形状与具有旋转手柄操纵杆侧部的轮廓贴合，在对扫描电镜样品台进行平面内(X向、Y向)移动操作时，每一个操作动作终止，食指按下曲臂定位杆的操作端， 使曲拐下部直立杆定位半球形向外移动，卡入样品台弧面座一侧弧面的定位孔内，很方便地实现操纵杆的归零，从而避免了扫描电镜样品台移动至极限位置。本实用新型设计的扫描电镜样品台平面内移动操纵杆辅助定位装置操作简便，不影响样品台的X向、Y向移动和平面内的旋转，更达到了避免原有操纵杆的故障，方便了扫描电镜的操作。本实用新型结构合理，操作简便，在对扫描电镜样品进行平面内X向、Y向移动操作时，很方便地实现了操纵杆的归零，避免了扫描电镜样品台移动至极限位置，有效地保护了样品台的位置精度和自动控制功能。
下面将结合附图对本实用新型作进一步的描述，图1为本实用新型的立体结构示意图；图2为本实用新型的主视结构示意图；图3为图2的左视结构示意图；图4为转轮与支撑轴的装配结构示意图。
具体实施方式
一种扫描电镜样品台操纵杆辅助定位装置，如图1、图2、图3所示，包括具有旋转手柄1的操纵杆2，和与操纵杆2相配合的样品台弧面座3，在操纵杆2的下端部固接着定位球8，在旋转手柄1的侧上部通过固接的支座6铰接着曲臂定位杆5，曲臂定位杆5的形状为与具有旋转手柄操纵杆侧部轮廓形状相适应的曲拐形，曲拐上部折弯处设置的连接装置与支座6上的支撑轴7铰接，曲拐上部水平杆的端部为操作端，曲拐下部直立杆的下端固接着定位半球9，在样品台弧面座3的一侧弧面上设置着定位孔4，曲臂定位杆5曲拐下部直立杆端部的定位半球9与定位孔4相配合。曲臂定位杆5曲拐上端水平杆的端部设置着向上折弯的挡边。如图4所示，连接装置的结构为曲臂定位杆5的曲拐上部折弯处固接着转轮10，转轮10通过滚动轴承安装在支座的支撑轴7上。
权利要求1.一种扫描电镜样品台操纵杆辅助定位装置，包括具有旋转手柄(1)的操纵杆(2)，和与操纵杆(2)相配合的样品台弧面座(3)，在操纵杆(2)的下端部固接着定位球(8)，其特征是在旋转手柄(1)的侧上部通过固接的支座(6)铰接着曲臂定位杆(5)，曲臂定位杆(5)的形状为与具有旋转手柄操纵杆侧部轮廓形状相适应的曲拐形，曲拐上部折弯处设置的连接装置与支座(6)上的支撑轴(7)铰接，曲拐上部水平杆的端部为操作端，曲拐下部直立杆的下端固接着定位半球(9)，在样品台弧面座(3)的一侧弧面上设置着定位孔(4)，曲臂定位杆(5)曲拐下部直立杆端部的定位半球(9)与定位孔(4)相配合。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台操纵杆辅助定位装置，其特征是连接装置的结构为曲臂定位杆(5)的曲拐上部折弯处固接着转轮(10)，转轮(10)通过滚动轴承安装在支座的支撑轴(7)上。
3.根据权利要求1所述的扫描电镜样品台操纵杆辅助定位装置，其特征是曲臂定位杆(5)曲拐上端水平杆的端部设置着向上折弯的挡边。
专利摘要本实用新型公开了一种扫描电镜样品台操纵杆辅助定位装置，包括具有旋转手柄的操纵杆，和与操纵杆相配合的样品台弧面座，在操纵杆的下端部固接着定位球，在旋转手柄的侧上部通过固接的支座铰接着曲臂定位杆，曲臂定位杆的形状为与具有旋转手柄操纵杆侧部轮廓形状相适应的曲拐形，曲拐上部折弯处设置的连接装置与支座上的支撑轴铰接，曲拐上部水平杆的端部为操作端，曲拐下部直立杆的下端固接着定位半球，在样品台弧面座的一侧弧面上设置着定位孔，曲臂定位杆曲拐下部直立杆端部的定位半球与定位孔相配合。本实用新型结构合理，操作简便，在对扫描电镜样品进行平面内X向、Y向移动操作时，可以方便地实现操纵杆的归零，可以避免扫描电镜样品台移动至极限位置，保护样品台的位置精度和自动控制功能。
文档编号H01J37/20GK202150441SQ201120296518
公开日2012年2月22日 申请日期2011年8月16日 优先权日2011年8月16日
发明者薛宪营 申请人:宝钢集团新疆八一钢铁有限公司