扫描电镜测试样品夹持装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种扫描电镜测试样品夹持装置，它包括底座、支架和弹簧夹片。所述的底座为底端连接有圆柱形凸台的螺杆，凸台可插入到扫描电镜的样品台上。所述的支架中间为螺母，螺母侧面均匀连接有多个连杆，连杆顶端固定连接有弹簧夹片。所述的支架与底座为螺纹连接。本实用新型操作简便，固定试样的稳定性好，特别是对于底部不平的试样无法放置时，可以确保试样在样品台移动过程中保持静止不动，简化试样的准备程序，方便对试样进行扫描电镜分析。
【专利说明】扫描电镜测试样品夹持装置
【技术领域】
[0001]本实用新型提供了一种用于扫描电镜样品台上的试样固定装置，具体涉及一种扫描电镜测试样品夹持装置。
【背景技术】
[0002]扫描电子显微镜利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。样品室是电子束系统的重要组成部分，除了放置样品外，还要在合适位置安放各种信号探测器。而其中的圆形样品台，是一个复杂而精密的组件，靠马达带动可以实现X、Y、Z向的步进式移动以及转动。应能可靠地承载或夹持样品，并使样品能够实现平移、倾斜和旋转等动作，以便对样品上每一特定位置或特定方位进行分析。由于扫描电镜观察的试样种类繁多，形状各异，对于一些底部不平，不能站立摆放试样，无法用双面导电胶带将试样固定在样品台上，从而不能实现样品台的移动或旋转，给扫描电镜分析造成诸多不便。
实用新型内容
[0003]为了解决上述问题，本实用新型采用了一种扫描电镜测试样品夹持装置，底座为底端连接有圆柱形凸台的螺杆，凸台可插入到扫描电镜的样品台上。支架中间为螺母，螺母侧面均匀连接有多个连杆，连杆顶端固定连接有弹簧夹片。支架与底座为螺纹连接。本实用新型结构合理，操作简便，固定试样的稳定性好，对于底部不平试样无法放置时，可以确保试样在样品台移动过程中保持静止不动，简化试样的准备程序，方便对试样进行扫描电镜分析。
[0004]本实用新型是通过如下技术方案实现的:一种扫描电镜测试样品夹持装置，其特征在于:它包括底座、支架和弹簧夹片。所述的底座为底端连接有圆柱形凸台的螺杆；所述的支架中间为螺母，螺母侧面均匀连接有多个连杆；所述的连杆顶端固定连接有弹簧夹片。所述的支架与底座为螺纹连接。
[0005]所述的螺母侧面优选均匀连接有六个连杆。
[0006]所述的弹簧夹片通过紧固螺钉与连杆连接。
[0007]本实用新型的有益效果是:结构合理，操作简便，固定试样的稳定性好，特别是对于底部不平试样无法放置时，可以确保试样在样品台移动过程中保持静止不动，简化试样的准备程序，方便对试样进行扫描电镜分析。此夹持装置，省去了无法站立摆放试样的前期机械加工过程，且一次最多可夹持多个试样，可方便更换大小不同的弹簧夹片，效率高、成本低。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1为本实用新型结构示意图。
[0009]图中:1、底座，2、支架，3、弹簧夹片，4、紧固螺钉。【具体实施方式】
[0010]如图1所示:一种扫描电镜测试样品夹持装置，其特征在于:它包括底座1、支架2和弹簧夹片3。所述的底座I为底端连接有圆柱形凸台的螺杆。所述的凸台可插入到扫描电镜的样品台上。所述的支架2中间为螺母，螺母侧面均匀连接有多个连杆。所述的连杆顶端固定连接有弹簧夹片3。所述的支架2与底座I为螺纹连接，支架2的高度可以根据所需夹持试样的高度进行上下调节。
[0011]所述的螺母侧面优选均匀连接有六个连杆。
[0012]所述的弹簧夹片3通过紧固螺钉4与连杆连接，使用紧固螺钉4将弹簧夹片3固定，可以根据试样的不同更换相应的弹簧夹片3。
[0013]在扫描电镜实验开始前放置试样时，首先将本装置加装在样品台上，然后将弹簧夹片3掰开，放入试样后放手，即实现试样的夹紧。节省了导电胶带等扫描电镜耗材，简化了试样准备流程，提高了试样稳定性，减少了试样掉落的潜在风险，特别适用于固定底部不平的试样，方便对试样进行扫描电镜分析。
【权利要求】
1.一种扫描电镜测试样品夹持装置，其特征在于:它包括底座(I)、支架(2)和弹簧夹片(3);所述的底座(I)为底端连接有圆柱形凸台的螺杆；所述的支架(2)中间为螺母，螺母侧面均匀连接有多个连杆；所述的连杆顶端固定连接有弹簧夹片(3);所述的支架(2)与底座(I)为螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜测试样品夹持装置，其特征在于:所述的螺母侧面均匀连接有六个连杆。
3.根据权利要求1所述的扫描电镜测试样品夹持装置，其特征在于:所述的弹簧夹片(3)通过紧固螺钉(4)与连杆连接。
【文档编号】H01J37/20GK203733757SQ201420104295
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年3月7日 优先权日:2014年3月7日
【发明者】张宁, 张春红, 吴肖, 何敏, 杨峰, 杨建国 申请人:徐州工程学院