微通道板石英夹具的制作方法

文档序号:2876460阅读:267来源:国知局
微通道板石英夹具的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种微通道板石英夹具,包括若干相互叠加的微通道板载体,每个微通道板载体均包括支撑脚架、长方形石英固定棍和U型石英棍,所述长方形石英固定棍的下方设置四个支撑脚架,该四个支撑脚架分别位于长方形石英固定棍的四个顶角,长方形石英固定棍的下方还设置U型石英棍,该U型石英棍的两端分别与长方形石英固定棍短边的中心相连,所述长方形石英固定棍的长边与U型石英棍的底边平行,顶层微通道板载体的上方设置两个耳朵挂扣,该两个耳朵挂扣分别位于顶层微通道板载体长方形石英固定棍短边的中部。本实用新型的微通道板石英夹具结构合理,有利于降低微通道板变形疵病。
【专利说明】微通道板石英夹具

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种夹具,特别是一种微通道板石英夹具。

【背景技术】
[0002]微通道板(Micro Channel Plates,简记为MCP)是一种先进的电子倍增器件,具有体积小、重量轻、增益和分辨率高、噪声低、使用电压低等优点。微通道板的外形如一片聚集了上百万个细微的平行空心玻璃管的薄圆片,每一空心管通道的作用犹如一个连续的打拿极倍增器,薄片两端面镀有镍铬金属薄膜(电极)。
[0003]微通道板制造的基本工艺流程包括:化料一制棒管一棒管配套一拉单丝——排复丝棒——拉复丝——排屏——热压——切割、抛光——腐蚀和清洗——氢还原——蒸电极——测试。其中在抛光工序后,微通道板就已经基本成型,在这之后的制造过程中,对微通道板表面的光洁度有非常高的要求,常见的疵病有划痕、点子、破边等。现有技术在腐蚀和氢还原工序中使用的是不同的夹具,抛光后需要将微通道板装到聚四氟乙烯材质的夹具中进行强酸强碱腐蚀,然后需要再换到不锈钢夹具进行高温氢还原处理(氢还原时温度区间在400-500°C ),氢还原结束后还需要再转到聚四氟乙烯材料的夹具中进行酸清洗。现有技术虽然可以保证微通道板的生产,但是由于在腐蚀、氢还原、清洗工序中要转换两次夹具,效率比较低,且过程中容易对微通道板表面造成伤害,产生擦伤、点子、破边等疵病。


【发明内容】

[0004]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种提高周转效率,提高产品的表面质量的微通道板石英夹具。
[0005]实现本实用新型目的的技术解决方案为:一种微通道板石英夹具,包括若干相互叠加的微通道板载体,每个微通道板载体均包括支撑脚架、长方形石英固定棍和U型石英棍,所述长方形石英固定棍的下方设置四个支撑脚架,该四个支撑脚架分别位于长方形石英固定棍的四个顶角,长方形石英固定棍的下方还设置U型石英棍,该U型石英棍的两端分别与长方形石英固定棍短边的中心相连,所述长方形石英固定棍的长边与U型石英棍的底边平行,顶层微通道板载体的上方设置两个耳朵挂扣,该两个耳朵挂扣分别位于顶层微通道板载体长方形石英固定棍短边的中部。
[0006]所述支撑脚架为石英支撑脚架。所述耳朵挂扣为石英耳朵挂扣。微通道板载体的数量大于等于I。长方形石英固定棍的长边和U型石英棍的底边均开有凹槽,微通道板石英夹具同一位置对应三个凹槽,该三个凹槽所在平面与U型石英棍的底边垂直。微通道板载体的数量优选I或者2。
[0007]本实用新型与现有技术相比,具有如下显著优点为:1)本实用新型的微通道板石英夹具结构合理;2)将微通道板垂直放入夹具,微通道板只有三点与夹具接触,其有效区部位不会因与夹具产生直接接触而造成表面擦伤;3)使用三点定位的方式,能够使微通道板固定在夹具上,避免了微通道板在加工和周转过程中出现晃动,造成碎裂、破边等疵病;4)在腐蚀、氢还原、清洗工序之间不需要转换夹具,节省了工作时间,能够大大提高工作效率,有利于微通道板的批量生产;5)与不锈钢材质的夹具相比,石英材质的夹具热膨胀系数更小,有利于降低微通道板变形疵病。

【专利附图】

【附图说明】
[0008]图1为微通道板石英夹具整体结构示意图。
[0009]图2为支撑脚架示意图。
[0010]图3为长方形石英固定棍示意图。
[0011]图4为U型石英棍示意图。
[0012]图5为耳朵挂扣示意图。
[0013]图6为凹槽俯视图示意图。
[0014]图7为具有两层微通道板载体的微通道板石英夹具结构示意图。

【具体实施方式】
[0015]本实用新型克服现有技术中存在的缺点,提供一种在抛光之后便于周转,不需要在腐蚀、氢还原及清洗过程中进行夹具转换,利于批量生产的夹具,提高周转效率,提高产品的表面质量。本实用新型的微通道板周转夹具,利用石英玻璃耐腐蚀耐高温的特性,采用石英玻璃材质,能使其浸在酸碱等腐蚀性溶液中长时间的反应,又可以直接送入几百度高温的氢还原炉中进行高温反应。石英夹具见图1,此示意图只显示放置单层形式,可根据实际情况进行调整,根据需要放置两层甚至多层。该夹具由支撑脚架、方形石英固定棍、U型支撑棍、同一平面的三点凹槽、可悬挂抓取的耳朵挂扣组成。
[0016]本实用新型的一种微通道板石英夹具,包括若干相互叠加的微通道板载体,每个微通道板载体均包括支撑脚架1、长方形石英固定棍2和U型石英棍3,所述长方形石英固定棍2的下方设置四个支撑脚架1,该四个支撑脚架I分别位于长方形石英固定棍2的四个顶角,长方形石英固定棍2的下方还设置U型石英棍3,该U型石英棍3的两端分别与长方形石英固定棍2短边的中心相连,所述长方形石英固定棍2的长边与U型石英棍3的底边平行,顶层微通道板载体的上方设置两个耳朵挂扣4,该两个耳朵挂扣4分别位于顶层微通道板载体长方形石英固定棍2短边的中部。
[0017]所述支撑脚架I为石英支撑脚架。所述耳朵挂扣4为石英耳朵挂扣。微通道板载体的数量大于等于I。长方形石英固定棍2的长边和U型石英棍3的底边均开有凹槽,微通道板石英夹具同一位置对应三个凹槽,该三个凹槽所在平面与U型石英棍3的底边垂直。
[0018]微通道板载体的数量为I或2。
[0019]本实用新型的夹具有四根固定的支撑脚架,如图1所示,图2为支撑脚架的示意图,其能平稳的放在一平面上而不至于歪倒或者摇晃,利用石英玻璃高温融合的特性将一方形的石英玻璃固定棍(见图3)放置在支撑脚架上,然后在方形固定棍的短边中点位置粘上U型的石英玻璃支撑棍(图4),U型棍的底棍与方形棍的长边平行,根据不同微通道板的厚度尺寸采用不同的锲子模具刻出相应尺寸的凹槽,凹槽在三根平行的石英玻璃棒上形成,三个凹槽点在同一平面上,见图6,然后在方形固定棍的短边中间设置两个耳朵挂扣(见图5)。耳朵挂扣方便悬挂,同时也方便抓取。石英与石英粘连的方式可以是氢气、乙炔火焰燃烧或者其它使其变软易粘的处理方式。
[0020]本实用新型通过实际应用证明:完全达到设计目的,腐蚀、氢还原、清洗工序之间无需再更换夹具进行周转,大大提高了工作效率,同时,产品的表面质量大幅提高。
[0021]下面结合实施例对本实用新型做进一步详细的说明。
[0022]实施例1
[0023]结合图1,一种微通道板石英夹具,包括一层微通道板载体,每个微通道板载体均包括支撑脚架1、长方形石英固定棍2和U型石英棍3,所述长方形石英固定棍2的下方设置四个支撑脚架1,该四个支撑脚架I分别位于长方形石英固定棍2的四个顶角,长方形石英固定棍2的下方还设置U型石英棍3,该U型石英棍3的两端分别与长方形石英固定棍2短边的中心相连,所述长方形石英固定棍2的长边与U型石英棍3的底边平行,顶层微通道板载体的上方设置两个耳朵挂扣4,该两个耳朵挂扣4分别位于顶层微通道板载体长方形石英固定棍2短边的中部。
[0024]所述支撑脚架I为石英支撑脚架。所述耳朵挂扣4为石英耳朵挂扣。长方形石英固定棍2的长边和U型石英棍3的底边均开有凹槽,微通道板石英夹具同一位置对应三个凹槽,该三个凹槽所在平面与U型石英棍3的底边垂直。
[0025]实施例2
[0026]结合图7,一种微通道板石英夹具,包括两层相互叠加的微通道板载体,每个微通道板载体均包括支撑脚架1、长方形石英固定棍2和U型石英棍3,所述长方形石英固定棍2的下方设置四个支撑脚架1,该四个支撑脚架I分别位于长方形石英固定棍2的四个顶角,长方形石英固定棍2的下方还设置U型石英棍3,该U型石英棍3的两端分别与长方形石英固定棍2短边的中心相连,所述长方形石英固定棍2的长边与U型石英棍3的底边平行,顶层微通道板载体的上方设置两个耳朵挂扣4,该两个耳朵挂扣4分别位于顶层微通道板载体长方形石英固定棍2短边的中部。
[0027]所述支撑脚架I为石英支撑脚架。所述耳朵挂扣4为石英耳朵挂扣。长方形石英固定棍2的长边和U型石英棍3的底边均开有凹槽,微通道板石英夹具同一位置对应三个凹槽,该三个凹槽所在平面与U型石英棍3的底边垂直。
[0028]由上述例子可知,使用本实用新型的微通道板石英夹具,在腐蚀、氢还原、清洗工序之间无需再更换夹具进行周转,大大提高了工作效率,同时,产品的表面质量大幅提高。
【权利要求】
1.一种微通道板石英夹具,其特征在于,包括若干相互叠加的微通道板载体,每个微通道板载体均包括支撑脚架[I]、长方形石英固定棍[2]和U型石英棍[3],所述长方形石英固定棍[2]的下方设置四个支撑脚架[I],该四个支撑脚架[I]分别位于长方形石英固定棍[2]的四个顶角,长方形石英固定棍[2]的下方还设置U型石英棍[3],该U型石英棍[3]的两端分别与长方形石英固定棍[2]短边的中心相连,所述长方形石英固定棍[2]的长边与U型石英棍[3]的底边平行,顶层微通道板载体的上方设置两个耳朵挂扣[4],该两个耳朵挂扣[4]分别位于顶层微通道板载体长方形石英固定棍[2]短边的中部。
2.根据权利要求1所述的微通道板石英夹具,其特征在于,所述支撑脚架[I]为石英支撑脚架。
3.根据权利要求1或2所述的微通道板石英夹具,其特征在于,所述耳朵挂扣[4]为石英耳朵挂扣。
4.根据权利要求1或2所述的微通道板石英夹具,其特征在于,微通道板载体的数量大于等于I。
5.根据权利要求1或2所述的微通道板石英夹具,其特征在于,长方形石英固定棍[2]的长边和U型石英棍[3]的底边均开有凹槽,微通道板石英夹具同一位置对应三个凹槽,该三个凹槽所在平面与U型石英棍[3]的底边垂直。
6.根据权利要求4所述的微通道板石英夹具,其特征在于,微通道板载体的数量为I。
7.根据权利要求4所述的微通道板石英夹具,其特征在于,微通道板载体的数量为2。
【文档编号】H01J9/12GK203839332SQ201420257329
【公开日】2014年9月17日 申请日期:2014年5月19日 优先权日:2014年5月19日
【发明者】孙建宁, 张正君, 苏德坦, 孙赛林, 王健, 李冬, 邵爱飞, 胡松, 李静雯, 缪慧敏 申请人:北方夜视技术股份有限公司
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