专利名称：线锯工件支撑装置、支撑间隔件及其使用方法
技术领域：
本发明的各个方面涉及用于在锯切期间支撑由线锯进行锯切的工件的线锯工件支撑装置。更具体地，工件可以是硬质材料，例如，用于例如硅晶片的硅块或石英块。线锯可以是开方机(square!·)、剪料头机(cropper)等。此外，本发明的各个方面涉及适合于线锯工件支撑装置的线锯工件支撑间隔件，并且涉及使用线锯来锯切工件的方法。
背景技术：
已经有用于从一件硬质材料(例如硅)切割块体或砖形体、薄片(例如半导体晶片)的线锯装置。在这样的装置中，从线轴供应拉紧的线，该拉紧的线受到线引导辊的引导和拉伸。为进行锯切，通过由引导柱所引导的线产生线网。线网包括锯切线部分，锯切线部分是线网的实际执行锯切(即，在工件中产生切口)的部分。用于锯切的线通常具有研磨材料。作为一种选择，磨料可以设置为浆液。这可以在线接触待切割的材料之前不久完成。从而，研磨料被用于切割材料的线携带至切割位置。 作为另一选择，可以用涂层将研磨料设置在线上。例如，可以用涂层将金刚石颗粒设置在金属线上，其中，金刚石颗粒嵌入在线的涂层中。从而，研磨料与线稳固地连接。通常，线锯的生产率受到多个因素的限制，这些因素包括切割速度(这转而取决于参数(例如线被输送的速度、使用的研磨料等))、可以并行进行锯切的工件的数量、造成停机维修时间的故障率、和其他停机时间。对于对用于太阳能板的硅锭或硅块进行切割的线锯，生产率可以规定为每小时锯切的太阳能板的MW。在完成工件(例如，用于例如太阳能板的半导体锭或半导体块)锯切之后，线网的锯切线部分移动到锭块中或穿过锭块，从而在锭块中产生切口。由于锯切线部分的有限张力，锯切线部分在锯切期间并不形成完全的直线，而是锯切线部分形成弓形，越接近工件的边界的部分比在工件内部更深处的部分具有更加穿过工件的切口。根据线锯部分的相对张力，对于每个线锯部分弓形可以具有不同的形状。由于这些弓形，很难限定锯切过程的适当终点。通常，锯切过程在工件中的切口完全完成之后结束。例如，专利申请US 2007/0283944A1示出不切割块体的端部的方法。这些端部在锯切、以及随后的去除和清洗过程中用作用于晶片的稳定化支撑座。在锯切之后，线被切断，以使得可以去除工件。从而，线网被损坏，并且需要在锯切下一个工件之前重新建立。这意味着线被消耗，并且线锯的生产率降低。
发明内容
鉴于以上情况，提供根据权利要求1的线锯工件支撑装置、根据权利要求8的线锯工件支撑间隔件、及其根据权利要求16和17的使用方法、根据权利要求18的方法、以及根据权利要求25的线锯装置。根据从属权利要求、说明书和附图，其他优点、特征、方面和细节将显而易见。根据一个实施例，提供线锯工件支撑装置。线锯工件支撑装置具有支撑表面，支撑表面适合于在锯切期间支撑正在被线锯进行锯切的工件，支撑表面限定支撑平面，支撑平面可以是在锯切期间支撑工件的平面。线锯工件支撑装置包括实体支撑体；以及至少一个线接收体积，线接收体积用于在锯切期间在其中容纳线锯的线，至少一个线接收体积具有由支撑平面限界的工件侧和由实体支撑体的表面部分限界的基底侧。至少一个线接收体积沿着与支撑平面正交的方向在工件侧和基底侧之间具有至少60mm(在其他实施例中超过70mm或甚至超过80mm)的厚度。另一实施例涉及使用上述用于在线锯装置中支撑工件的线锯工件支撑装置。根据另一实施例，提供线锯工件支撑间隔件。线锯工件支撑间隔件适合于线锯工件支撑装置(例如，根据本文描述的任一实施例的一个线锯工件支撑装置)。线锯工件支撑间隔件具有支撑表面，其适合于在锯切期间支撑正在被线锯进行锯切的工件，支撑表面限定支撑平面，在锯切期间可以在支撑平面上支撑工件；和基底表面，其适合于受到线锯工件支撑装置的实体支撑体的支撑；和至少一个线接收部分，其限定分别的线接收体积，线接收体积用于在其中容纳线锯的已经锯穿工件的线。至少一个线接收部分布置在支撑表面和基底表面的一部分之间。至少一个线接收部分包括线锯的线可锯切的固体材料，并且在实施例中，至少一个线接收部分由该固体材料制成。至少一个线接收部分还沿着与支撑平面正交的方向在支撑表面和基底表面部分之间具有至少60mm(并且在实施例中超过70mm、或甚至超过80mm)的厚度。另一实施例涉及使用上述用于在线锯装置中支撑工件的线锯工件支撑间隔件。根据另一实施例，提供使用线锯来锯切工件的方法。线锯具有例如根据本文描述的任意实施例的工件支撑装置和支撑间隔件。该方法包括提供工件支撑装置的实体支撑体，实体支撑体具有间隔件支撑表面；提供支撑间隔件，支撑间隔件具有工件支撑表面、基底表面和限定分别的线接收体积的至少一个线接收部分，线接收体积用于在其中容纳线锯的线，至少一个线接收部分布置在支撑表面和基底表面的一部分之间，其中，至少一个线接收部分包括线锯的线可锯切的固体材料；用支撑间隔件的基底表面将支撑间隔件放置在间隔件支撑表面上，以使得支撑间隔件由实体支撑体支撑；将工件放置在支撑间隔件的工件支撑表面上(有可能在将支撑间隔件放置在间隔件支撑表面上之前)，以使得(由于放置步骤，不考虑放置步骤的顺序)支撑间隔件夹在支撑体和工件之间；以及通过线锯的线的锯切线部分来锯穿工件的至少一部分，从而在工件中产生切口， 以使得锯切线部分的至少一部分从切口离开工件并被容纳在至少一个线接收部分或体积中；通过线部分的被容纳在至少一个线接收部分中的部分，锯切到至少一个线接收部分中包括的固体材料中，从而在固体材料中产生切口 ；以及使至少一个锯切线部分返回穿过固体材料中的切口，并可选地还穿过工件中的切根据另一实施例，线锯装置包括线锯工件支撑装置、线锯工件支撑间隔件、和控制器，控制器具有控制器存储器，控制器存储器上存储有用于执行使用线锯来锯切工件的方法的程序代码。该方法包括提供工件支撑装置的实体支撑体，实体支撑体具有间隔件支撑表面；提供支撑间隔件，支撑间隔件具有工件支撑表面、基底表面和限定分别的线接收体积的至少一个线接收部分，线接收体积用于在其中容纳线锯的线，至少一个线接收部分布置在支撑表面和基底表面的一部分之间，其中，至少一个线接收部分包括线锯的线可锯切的固体材料；用支撑间隔件的基底表面将支撑间隔件放置在间隔件支撑表面上，以使得支撑间隔件由实体支撑体支撑；将工件放置在支撑间隔件的工件支撑表面上(有可能在将支撑间隔件放置在间隔件支撑表面上之前)，以使得(由于放置步骤，不考虑放置步骤的顺序)支撑间隔件夹在支撑体和工件之间；以及通过线锯的线的锯切线部分来锯穿工件的至少一部分，从而在工件中产生切口， 以使得锯切线部分的至少一部分从切口离开工件并被容纳在至少一个线接收部分或体积中；通过线部分的被容纳在至少一个线接收部分中的部分，锯切到至少一个线接收部分中包括的固体材料中，从而在固体材料中产生切口 ；以及使至少一个锯切线部分返回穿过固体材料中的切口，并可选地还穿过工件中的切实施例还涉及用于执行公开的方法并包括用于执行每个所述方法步骤的装置部件的装置。可以通过硬件组件、由适当软件进行编程的计算机、通过两种方式或与任意其他方式的任意组合来执行这些方法步骤。此外，根据本发明的各个方面的实施例还涉及所述装置运行的方法。这包括用于执行装置的每个功能的方法步骤。
以可以详细理解本发明的各个方面的上述特征的方式，通过参照实施例对上面简要总结的本发明的各个方面进行更具体的描述。附图涉及本发明的实施例，并且描述如下图Ia至Ic示出在制造硅晶片期间的锯切步骤；图2示出开方机的示意性俯视图；图3示出由支撑体所支撑的工件的透视图；图如示出根据本发明的实施例的支撑装置的透视图；并且图4b示出图如的支撑装置的侧视图；图5示出根据本发明的实施例的支撑间隔件的透视图；图6示出根据本发明的实施例的包括间隔件的支撑装置的侧视图；图7示出由根据本发明的实施例的支撑装置所支撑的锭块的透视图；图8示出根据本发明的另一实施例的包括间隔件的支撑装置的侧视图；图9a至9d示出锯切工件的方法的步骤；和图10示出从与图9b不同的一侧观察的图9b的方法步骤的截面侧视图。
具体实施例方式现在将详细参照本发明的各种实施例，本发明的一个或多个实例在附图中示出。 在对附图的下列描述中，相同的附图标记指示相同的组件。通常，只描述相对于各个组件的差别。每个示例提供用于说明本发明的各个方面，并不表示对本发明的限制。此外，作为一个实施例的一部分所示出或描述的特征可以用在其他实施例或与其他实施例结合，以获得再一实施例。本说明书包括这样的修改和变化。此外，在下列描述中，线管理单元将理解为管理向线锯装置(例如，剪料头机、开方机、或晶片切割线锯)的工作区域提供线的装置。通常，线锯包括线引导件，线引导件用于在线管理单元提供对线拉伸的控制的同时、将线沿着线移动方向进行传送和引导。此外， 由线管理单元提供的线形成上述线网。在下文中，线网将认为是由单一线管理单元所形成的网。应当理解，线网可以包括多于一个工作区域，工作区域限定为执行锯切处理的区域。在生产薄半导体晶片(例如多晶硅晶片)的过程中执行基本锯切步骤。图Ia示出作为待锯切工件的硅锭100。可以通过在熔炉中进行铸造然后缓慢冷却来生产硅锭100， 以确保适当地晶型。现在参照图lb，通过开方机将锭块切割成多个分块102。为此，开方机向锭块施加多个第一切口 IOla和多个第二切口 101b。由线锯的布置在第一方向的线产生第一切口 101a，由线锯的布置在第二方向的线产生第二切口 101b，第一方向垂直于第二方向。这些线在切割过程中都相对于工件在第三方向(图Ib的竖直方向)移动，从而产生切口 IOla和101b。现在参照图lc，然后通过另一线锯将分块102锯切成薄晶片104(图Ic 所示)。生成的晶片可以用于制造用于光伏工业的太阳能电池。图2示出作为开方机的线锯装置1的示意性俯视图。尽管开方机特别适合于实现本发明的各个方面，但是本发明不限于作为开方机的线锯装置，而是还可以代替用于其它线锯装置，例如，剪料头机等。例如，可以提供剪料头机线网，例如，如欧洲专利申请 No. 08154493. 4所公开的，参见该专利申请的例如图1，该专利申请通过引用结合于本说明书中。图1的线锯装置(开方机)1包括线锯管理单元20，线锯管理单元20具有第一线操作部分22和第二线操作部分24。此外，线锯装置1具有工作区域40，在工作区域40中线10形成线网12，在线网12中实际执行锯切处理。线锯管理单元20的第一线操作部分22和第二线操作部分M各种具有线轴和多个滑轮，以使线10朝向工作区域40中的线网12改变方向。此外，在工作区域40中，布置多个滑轮44和线引导件42用于引导线，以生成线网12。在图2中，开方机的矩阵状线网 12显示为具有布置成与第一方向平行的第一锯切线部分(用于产生切口 101a)、并具有布置成与第二方向平行的第二锯切线部分(用于产生切口 101b)，第二方向与第一方向垂直。 例如，线网可以具有六个第一锯切线部分和六个第二锯切线部分。第一锯切线部分相对于第二锯切线部分在锯切方向(与图2的图像平面垂直)上偏置，以使得在图2的示图中相交的不同锯切线部分不会彼此干涉。在工作区域40中，设置工件支撑装置(未示出)，用于承载待锯切的硅锭100。工件支撑装置可以根据本文描述的任意实施例，特别是根据图如和4b所示的实施例。此外，线管理单元具有冷却液系统30。冷却液系统30包括用于存储冷却液(通常是浆液或水基冷却液)的冷却液箱36、用于从冷却液箱向工作区域40提供冷却液的冷却液供应线32、用于使冷却液从工作区域40返回到冷却液箱36的冷却液返回线34。冷却液供应线32具有多个喷嘴，喷嘴用于将冷却液喷射在线网12内的线10上。喷嘴可以沿着线网 12的方形边界布置。虽然只示出一个冷却液供应线32，但是可以有多于一个供应线，例如， 用于线网的方形边界的每一侧的供应线(即，总共四个供应线)，每个供应线向多个喷嘴提供冷却液(例如，线网12的每一侧有用于六个线部分中每一者的六个喷嘴)。对于金刚石线的情况，不需要浆液，但是在切割过程中对金刚石线进行冷却仍然是有利的。在这种情况下，可以由某些其他的冷却液(例如水基冷却液)来取代浆液。在使用线锯装置1的切割过程期间，从第一线操作部分22的线轴提供线10。在锯切期间，使线10从线轴退绕。在第一线操作部分22内，将线10从线轴引导至某些滑轮。 然后，将线10引导至切割区域，在切割区域中通过多个滑轮44和线引导件42形成线网12。 在锯切之后，然后将线10从工作区域40或线网12引导至第二线操作部分24。这里，通过另外的滑轮将线引导至第二线操作部分M的线轴，并使线缠绕在线轴上。在工作区域40中，提供线10的锯切线部分。锯切线部分被理解为在线网(或线锯)的将实现工件100中的切口(例如，切口 IOla或IOlb)的位置处、线网12的部分。通常，将线10输送穿过锯切线部分，以使得在不同的时刻、不同的实际线材料存在于锯切线部分中。由线锯中的位置、而不是由被输送穿过锯切线部分的线的具体材料来限定锯切线部分。现在通过使线10的锯切线部分相对于工件(100)在锯切方向移动(即，使工件朝向锯切线部分移动并移动到锯切线部分中，或者使锯切线部分朝向工件移动并移动到工件中)来锯切线锯装置工件100。该移动通常沿着与图2的绘图平面垂直的方向。从而，如还在图Ib示出的，生成工件中的切口 101a、101b。切口 IOlaUOlb沿着各自锯切线部分的方向、并且还沿着锯切方向延伸。由于线网12中线10的有限线张力，在锯切期间锯切线部分没有形成完全的直线， 而是锯切线部分形成弓形，越接近工件的边界的部分比在工件更内部的部分具有穿过工件更深的切口。图10示出线10的该弓形，其中，工件100的更接近边界的部分IOOb比在工件100的更内部的部分IOOa具有更深的切口。根据线锯部分的相对张力，对于每个线锯部分，弓形可以具有不同的形状。因此，对于锯切线部分的不同部分，在不同的时刻完成切口 首先，锯切线部分的接近边界的部分在切穿工件之后退出工件100，只有在此之后，锯切线部分的在工件更内部的部分在切穿工件之后退出工件100。此外，已经发现，使形成线网12的线10的第一锯切线部分(即，在图2中实现切口 IOla的平行线部分)相对于第二锯切线部分(即，在图2中实现切口 IOla的平行线部分)沿着锯切方向(与图2的图像平面垂直)偏置是有用的。该偏置有助于避免在图2的示图中的交叉点上不同线锯切部分之间的干涉。结果，线的不同部分在不同时刻完成切割的倾向进一步提高。本发明的各个方面允许线10完全切穿工件。完全切穿工件允许还使用工件的先前在后续处理步骤中不会使用的端部，因此增加生产率。为此，参照图3，由根据本发明的实施例的线锯工件支撑装置200来支撑工件100。图如和4b也示出类似的线锯工件支撑装置200，而没有工件。下列描述涉及图3和图^、4b。线锯工件支撑装置200包括实体支撑体210。支撑体210由硬到不适合在正常锯切过程中被线锯进行锯切的材料制成。因此，支撑体210例如由金属制成。支撑体210的上表面是支撑表面214，如图3所示，在锯切过程中可以在支撑表面214上支撑工件100。支撑表面214限定支撑平面，即，在图3中支撑工件100的平面。此外，实体支撑体210具有形成于其中的四个第一沟槽220和四个第二沟槽230。 第一沟槽220沿着与支撑平面平行的第一方向延伸，第二沟槽230沿着支撑平面在第二方向上延伸，第二方向与第一方向正交。第一和第二沟槽各自从支撑表面的一个分别端部延伸到支撑表面的分别相对端部。第一沟槽220彼此平行，此外，第二沟槽230彼此平行。沟槽220、230限定各自的线接收体积(也用附图标记220、230表示)，在锯切过程中可以在线接收体积中接收线锯1的线10。因此，至少一个线接收体积220、230包括分别第一或第二沟槽的内部。由于存在线接收体积，即使由于线的有限张力、线不直而是形成弓形，线也能够完全切穿工件100，这是因为锯切线部分的已完成切口的部分可以被容纳在沟槽220、230的线接收体积中。为此，沟槽230J40与实现切口(例如，切口 IOlaUOlb)的各自锯切线部分对准(图2中也示出)。沟槽220、230的线接收体积是支撑平面(限定分别的线接收体积的工件侧)和沟槽224的底部(限定分别的线接收体积的基底侧)之间的体积。沟槽220、230沿着与支撑平面正交的方向(图3和4的竖直方向)具有至少60mm的深度(即，线接收体积在工件侧和基底侧之间的厚度)。即使在线移动例如30mm、并且由于锯切线部分中的弓形而引起锯切线部分的不同部分之间的差别达到25mm时，这也允许完成锯穿工件。25mm远大于现有线锯中出现的常规差别。但是，期望在新型线锯(特别是使用金刚石涂覆线的线锯)中存在这样像25mm—样大的值，以允许或需要更小的线张力。不同锯切线部分的不同部分之间的总位移可以是上面给出的值的总和(即，上述达到55mm的值)。即使在这种情况下，60mm 的沟槽深度也允许线将工件锯穿。参照图4a，描述线锯工件支撑装置200的更多方面。这些元件中的每一者可以包括在本文描述的任意其他实施例中。作为第一方面，支撑体210在支撑体210的支撑表面的边界上还包括多个固定元件218。固定元件218形成为开口，固定销可以插入在这些开口中(未示出)。固定元件218允许在线锯将工件完全锯穿之后保持工件。因此，由于固定元件，即使在工件被完全切穿时也能实现工件的可靠支撑。有利的是(但非必须)，在支撑表面的每一侧上、在两个相邻线接收体积或沟槽之间设置至少一个固定元件。尽管固定元件显示为(用于销的)开口，但是可以设置其他固定元件(例如，销、壁部分、或阶梯型构造)。作为另一方面，夹具开口 219设置在支撑体210的相对侧表面上。夹具开口 219允许夹具夹持支撑结构，因此能实现更容易地传送由夹具支撑的工件。因此，作为另一方面， 线锯工件支撑装置200可从线锯装置拆下。作为另一方面，底侧216 (支撑体210的与支撑平面相反的一侧，未示出)中的开口允许在线锯装置中容易可靠的对准支撑装置200。作为另一方面，第一沟槽以固定距离(中心到中心)彼此间隔开。这里的距离在 IOOmm和200mm之间，更具体的在140mm和170mm之间，并且特别是约156mm(具有约1至5mm 的公差)。类似的，作为另一方面，第二沟槽以固定距离(中心到中心)彼此间隔开。这里的距离也在IOOmm和200mm之间，更具体的在140mm和170mm之间，并且特别是约156mm(具有约1至5mm的公差)。支撑体210沿着支撑平面的总延伸在第一方向上(沿着第一沟槽 220)可以是900mm，并且在第二方向上(沿着第二沟槽230)是900mm。最外侧沟槽220和 /或230可以布置在与支撑体的边界相距一距离处。这个距离可以在20mm和60mm之间，特别是在40mm和50mm之间，特别是约43mm (具有约1至5mm的公差)。参照图4b，示出支撑体210和沟槽或线锯接收体积220、230的某些其他尺寸。这里，支撑体沿着与工件支撑平面正交的方向的总厚度是100mm。此外，沟槽或线接收体积 220,230(由支撑平面限界的工具侧222和由实体支撑体210的表面部分限界的基底侧
S卩，沟槽的底部)之间)的深度是80mm。因此，支撑体的基底侧2 和底侧216之间的距离是20mm。作为一般方面，支撑体的基底侧2M和底侧216之间的距离小于线接收体积的工具侧和基底侧之间的厚度。如还在图如中示出的，沟槽的长度通常从支撑表面214 的一端到支撑表面214的相对端。宽度可以在15mm和30mm之间(例如，21mm)。在下文中，描述图3、如和4b的支撑体210的某些可能变化。线接收体积被描述为沟槽，但是线接收体积可以实际上具有任意形状，只要线接收体积适合于容纳线锯装置的锯切线部分(例如，图8所示的凹槽220的形状)。通常，线接收体积220、230可以形成为支撑体210中的凹槽。此外，可以只提供一个线接收体积。但是，与多个锯切线部分相对应，通常将提供多个线接收体积，特别是多个第一和第二沟槽。特别的，对于图2所示的开方机，可以提供六个第一线接收体积和六个第二线接收体积。此外，通常第一和/或第二沟槽沿着与支撑平面正交的方向的深度可以为至少 60mm,至少70mm，甚至至少80mm。图5示出根据本发明的实施例的支撑间隔件300的透视图。支撑间隔件具有间隔件主体310，间隔件主体310具有基底表面316，如图如和4b所示，基底表面316适合于受到线锯工件支撑装置200的支撑体210的支撑。更准确地，基底表面316具有与支撑体210 的支撑表面214的形状符合(即，匹配)的外形。因此，间隔件主体310可以放置在图如和4b的支撑体210上，以形成图6所示的增强复合支撑装置。因此，支撑间隔件300和支撑装置是互相关联的产品。参照图5和6，描述线锯工件支撑间隔件的其他元件。线锯工件支撑间隔件具有用于在通过线锯装置进行锯切期间支撑工件100的支撑表面314。支撑表面314限定支撑平面，即，在锯切期间支撑工件的平面。此外，间隔件主体310的基底表面316具有第一突起320和第二突起330，第一突起320沿着基底表面316在第一方向上长度延伸并且彼此平行，第二突起330沿着基底表面在第二方向长度延伸并且彼此平行，第二方向与第一方向正交。第二突起330与第一突起320相交以形成突起的网络。突起320和330与支撑体210的相应沟槽220和230匹配。突起320、330包括线10可锯切的固体材料，或者甚至由该固体材料制成。因此， 如图6可以看出，突起320和330是线接收部分。线接收部分320、330布置在支撑表面314 和基底表面316的部分3M之间，并且限定用于在线已经锯穿工件100之后、在其中容纳线锯1的线10的分别线接收体积(即，支撑表面314和基底表面316的部分3M之间的体积)。根据实施例，突起从表面316到表面部分324的高度是60mm(因此，沟槽220从表面214到表面部分224的深度也是60mm)，间隔件主体310从表面314至表面部分324的总高度是60mm。因此，突起320、330沿着与支撑平面正交的方向在支撑表面314和基底表面部分3 之间具有70mm的厚度。根据其他实施例，支撑表面314和基底表面部分3 之间的厚度可以为至少60mm(例如，突起的50mm加上IOmm)，至少70mm，或者甚至至少80mm。如还在图如中示出的，突起的长度通常从间隔件主体310的一端到间隔件主体310的相对端。宽度可以在15mm和30mm之间(例如，21mm)(与支撑体210中的凹槽(例如沟槽)的宽度尺寸相对应)。此外，可以看出，间隔件主体310还包括将突起320、330彼此连接的连接部分(包括支撑表面214的平坦部分)。由于连接部分，支撑表面314是限定工件支撑平面的平坦相接表面。突起320、330的可锯切材料可以是例如树脂(例如，聚氨酯)(还可能包括添加物和/或填充材料或填充空间)。作为一般方面，包括突起320、330的支撑间隔件制成单件单元(即，由单一件整体制成)。图7在分解透视图中示出由包括支撑间隔件300的支撑装置200支撑工件(锭块)100的布置。支撑装置200与图如和4b所示的支撑装置200相同或类似。如图6所示，支撑间隔件300放置在支撑装置200上。此外，工件100放置在支撑间隔件300的支撑表面314(参见图6)上。因此，在工件100的锯切期间，工件支撑间隔件300夹在工件支撑件200和工件100之间。此外，预期的第一切口 IOla和第二切口 IOlb显示为在锭块或工件100的上表面上。这些第一切口 IOla和第二切口 IOlb与由支撑装置200和支撑间隔件 300限定的线接收体积对准。此外，保护盖400环绕工件100的侧表面。保护盖400进一步增强工件100即使在锯切之后的稳定性，并降低工件损坏的风险。此外，即使工件应当是不规则成形或略微未对准，也降低线10离开待锯切材料的风险。此外，保护盖400可以与固定元件218 (参见图 4a)配合，以用于在锯切之后固定工件，而不会损坏工件100本身。如图6和7可以看出，支撑间隔件300使得工件可以被支撑在与基底表面部分 324(即，与沟槽220的底部)相距足够距离处以使得有足够的线接收体积，以使得线锯装置 1的线10能够完全切穿工件，即使沟槽220、230单独并没有提供足够的深度。作为另一优点，突起的可锯切材料可以减少线10的振动，否则如果线处于自由空间中则产生振动。由于减少振动，更平稳的执行锯切操作。特别地，通过减小振动，改进了由支撑表面314支撑的工件的端部处的切口。另一优点是由于支撑间隔件，如参照图9更详细描述的，可以实现使线10的锯切线部分返回的锯切方法。图8中示出图6的实施例的可能的变化。这里，一般地采样对图6的描述。但是， 图6的支撑体210具有矩形截面的深沟槽220，而图7的支撑体210具有替代的三角形截面的更浅沟槽。间隔件主体310的突起320被相应的修改，并且现在也具有三角形截面。尽管如此，图8的实施例的尺寸选择为使得由分别的线接收部分(布置在支撑表面314和沟槽的底部324之间的、沟槽220上方的部分)来限定分别的线接收体积，以使得线接收部分 320在支撑表面314和沟槽324的底部之间具有至少60mm的厚度。其他实施例还具有不同外形的基底表面316。通常，基底表面的外形316允许实现支撑体210和间隔件主体310 的容易对准，并且允许减少在每次切割之后需要替换的支撑间隔件材料。作为另一改变，可以提供任意数量的线接收部分(例如，只有一个线接收部分)。 通常，根据实施例，提供多个线接收部分(例如，图5所示的二乘以六个线接收部分)图9a至9d示出根据另一实施例的锯切工件的方法的步骤。通过上述工件支撑装置和支撑间隔件可以实现该方法。如图9a所示，设置工件100、支撑装置200和支撑间隔件300。支撑装置200具有实体支撑体210，如图6所示，支撑体210具有间隔件支撑表面 214。此外，如图6所示，支撑间隔件300具有支撑表面314、基底表面316和突起320(即， 限定分别的线接收体积的线接收部分)。此外，如图5所示，可以设置沿着与突起320的方向垂直的方向延伸的附加突起330。突起320、330包括线锯的线10可锯切的固体材料(例如，聚氨酯)。如上参照图 5至8所述的，突起320、330布置在支撑表面314和基底表面316的部分3M之间，并且限定用于在其中接收线锯的线的分别的线接收体积。如图9a所示，支撑间隔件300夹在支撑体210和待锯切的工件100之间。如下获得这种布置用支撑间隔件300的基底表面(即，图9a中支撑间隔件300的异形下表面) 将支撑间隔件300放置在支撑装置200的间隔件支撑表面(即，异形上表面)上，以使得支撑间隔件300由支撑装置210支撑；以及将工件100放置在支撑间隔件300的工件支撑表面314上。这些步骤的顺序可以任意地选择，以使得在将支撑间隔件300放置在间隔件支撑表面上之前、工件100可以放置在支撑间隔件300的工件支撑表面314上。然后，如图9b所示，线锯的线10的锯切线部分被从上方引入到工件100中，并相对于工件100沿着向下方向(锯切方向)移动。从而，通过线10的锯切线部分在工件100 中生成切口 101a。这里，线10的线部分向与图9b的绘图平面垂直的方向移动并且向下切害I]，如切口 IOla的虚线所示，以使得切口 IOla在竖直平面(即，在锯切方向)上延伸并垂直于图9b的绘图平面。如上所述，由于线10的有限张力，锯切线部分不是直线，而是形成弓形。图10示出该弓形。图10在与图9b的侧视图的一侧成直角处、在从不同侧的截面侧视图中示出图 9b的状态。因此，图10中观察的沟槽是与图9b中观察的沟槽不同的沟槽。例如，如果图 9b示出图如的沟槽220，则图10示出图如的沟槽230。可替换地，如果支撑体210只沿着一个方向具有沟槽，则在图10的截面图中看不到沟槽。在图10中，可以看出，线10以不同的深度切割工件100的不同部分。具体地，由于弓形，线10在工件100的中间部分IOOa中比在工件100的边界部分IOOb中切割得更浅。 有利的是，特别是对金刚石线可以在比通常更低的线张力下进行切割。在这种情况下，在工件的不同部分IOOaUOOb处(并且，相应的在锯切线部分的不同部分处)的切口深度可以等于20mm或甚至25mm或30mm。通过表示线10的粗线的范围，在图9b中形象地表示深度的这种变化。在图9b中，线10的锯切线部分还没有锯穿工件100。当线10继续相对于工件向下移动时，最终线10的锯切线部分的至少一部分(表示线10的粗线的下部)从切口 IOla 离开工件100并被容纳在支撑间隔件300中(更准确地，在支撑间隔件300的线接收部分或体积中)。因为支撑间隔件300的线接收部分或体积与工件100直接相邻，所以线10的锯切线部分的部分在离开工件100之后直接切割到线接收部分或体积中。容纳在线接收部分中的线10的线部分的一部分然后锯切到支撑间隔件300的固体材料(更准确地，线接收部分320的材料)中，从而在固体材料中产生切口。图9c示出这样的状态，其中，线10向下移动远到使得线10完全切穿工件100，以使得线10的整个锯切线部分在已经执行切穿工件之后沿着锯切方向从切口 IOla离开工件 100。因此，线10的整个锯切线部分已经被容纳在支撑间隔件300中、沟槽220中。线10的整个锯切线部分从而沿着锯切方向切割到支撑间隔件300的线接收部分中。因为支撑间隔件300的线接收部分或体积与工件100直接相邻，所以线10的锯切线部分的部分在离开工件100之后直接切割到支撑间隔件300的线接收部分中。因此，完全完成切口 101a。然后，如图9d所示，通过使线10相对于工件100沿着与锯切方向相反的线释放方向移动，线10的锯切线部分沿着其先前路径返回穿过在支撑间隔件300的固体材料中的切口。然后，线10的锯切线部分还移动穿过工件100中的切口 101a。线10的锯切线部分然后穿过切口 IOla从上侧(即，切口 IOla的锯切线部分开始切割工件的一侧)离开工件 100。这种方法允许在实现切口之后(特别是在完全切穿工件100之后)从线锯移除工件100，而不用损坏线网。以前，移除工件100通常需要损坏线网。因为当线离开工件中的切口之后、很难沿切口返回，所以如本文所述使线返回是困难的。根据本文描述的方法，因为切口延伸到支撑间隔件的材料中，所以可以实现返回。由于返回，可以避免损坏线网。在图9a至9d中，示出了通过平行的六个切割线部分执行切割的状态。通常，如图 2所示，这些锯切线部分在线锯装置中形成线网(线网12)。图9a至9d的六个锯切线部分沿着与绘图平面正交(实质上与锯切方向垂直)的方向彼此平行地延伸(即，忽略例如通常小于5°的线的弯曲和其他公差)。这六个锯切线部分在下文中也称作第一锯切线部分。除了第一锯切线部分之外，提供第二锯切线部分(图9a至9d未示出，但是例如参照图2在上文描述)。第二锯切线部分沿着与图9a至9d的绘图平面平行的方向(S卩，沿着与第一方向和锯切方向实质上垂直的方向)彼此平行地延伸。在图9a至9d中，第二锯切线部分的布置与图10中的线10的锯切部分的布置类似。如上所述，第一锯切线部分相对于第二锯切线部分竖直偏置(即，在锯切方向上偏置)。偏置有助于避免第一和第二锯切线部分之间的干涉。在其他方面，对第一线部分的上述描述同样适用于第二线部分。在上面的描述中，支撑装置200和支撑间隔件根据图6的实施例。所以，具体地， 线接收体积具有至少60mm的厚度，甚至可以具有至少70mm或甚至至少80mm的厚度。此外，支撑间隔件300的线接收部分包括树脂，即，线接收部分的固体材料包括树脂或者就是树脂。可替换地或附加地，可以使用上述实施例的其他变化。例如，可以使用本文描述的任意支撑装置和任意支撑间隔件来执行参照图9a至9d描述的方法。所以，例如，可以只使用第一锯切部分而不用第二锯切部分来执行该方法。可以使用任意数量的锯切部分，甚至在只存在一个锯切部分时也可以应用该方法。作为该方法的另一变化，线可以只返回穿过支撑间隔件300的固体材料，而不需要穿过工件100中的切口 101a。例如，可以在使线返回之前从线锯移除工件100。在下文中，将总结本文描述的实施例的某些总体方面。在本文描述的任意实施例内，这些总体方面中的每一者可以与任意其他总体方面组合以产生另一实施例。根据一个方面，线锯装置和/或其各部分(例如线锯管理部分或工作区域)可以适合于金刚石线，可以用金刚石线执行操作方法。例如，这可以通过改变滑轮和引导元件的沟槽结构以具有适当节距的沟槽、具有与常规的这些元件不同深度的沟槽和/或不同形状的沟槽而实现。从而，通常可以使切割速度增加至例如2倍，可以减少线锯装置的能耗，并且此外，作为另一示例，可以显著地减少对硅锭进行开方或将硅切片的成本。根据一个方面，线锯工件支撑装置具有支撑表面，支撑表面适合于在锯切期间支撑正在被线锯进行锯切的工件，支撑表面限定在锯切期间支撑工件的支撑平面。线锯工件支撑装置包括实体支撑体；以及至少一个线接收体积，线接收体积在锯切期间在其中容纳线锯的线，至少一个线接收体积具有由支撑平面限界的工件侧和由实体支撑体的表面部分限界的基底侧，其中，至少一个线接收体积沿着与支撑平面正交的方向在工件侧和基底侧之间具有至少60mm(根据其他方面，至少70mm或至少80mm)的厚度。根据其他方面，支撑体不适合在常规锯切期间被线锯所锯切。因此，支撑体支撑体可以具有比常规线锯所支持的抗性更高的抗锯切性。例如，金属通常具有这样大的抗性。因此，根据另一方面，支撑体包括金属或者甚至由金属制成。根据另一方面，至少一个线接收体积与支撑平面平行地从支撑体或支撑表面的第一端延伸到支撑体或支撑表面的相对第二端。根据另一方面，实体支撑体中形成有至少一个第一沟槽，至少一个第一沟槽沿着与支撑平面平行的第一方向延伸，以使得至少一个线接收体积的分别的基底侧位于至少一个第一沟槽中分别一个的底部。因此，至少一个线接收体积包括第一沟槽的内部。根据另一方面，至少一个线接收体积还包括形成在实体支撑体中的至少一个第二沟槽，其中，至少一个第二沟槽沿着支撑平面在第二方向上延伸，第二方向与第一方向正交。因此，至少一个线接收体积包括第二沟槽的内部。第一沟槽和/或第二沟槽可以沿着与支撑平面正交的方向具有至少60mm、至少70mm或至少80mm的深度。第一沟槽和/或第二沟槽可以从支撑表面的分别的端部延伸到支撑表面的分别的相对端部。根据另一方面，至少一个线接收体积是多个线接收体积，并且根据另一方面，至少一个线接收体积包括多个第一和/或第二沟槽(例如，六个第一沟槽和/或六个第二沟槽)。第一沟槽可以彼此平行；此外，第二沟槽可以彼此平行。第二沟槽可以与第一沟槽垂直。根据另一方面，线锯工件支撑装置还包括线锯工件支撑间隔件，线锯工件支撑间隔件包括线锯的线可锯切的固体材料、或者由该固体材料制成，线锯工件支撑间隔件具有至少一个线接收部分，至少一个线接收部分至少部分地填充至少一个线接收体积。因此，至少一个线接收部分可以限定至少一个线接收体积，并且根据另一方面，至少一个线接收部分完全填充至少一个线接收体积。根据另一方面，该固体材料比工件支撑体更易于锯切，并且根据另一方面，该固体材料比工件更容易锯切。这里，更容易锯切表示材料具有较小的抗锯切性，以致于在相同的条件下，在该材料中可以提供更快的切割。通常，这表示材料更软。根据另一方面，支撑间隔件包括树脂或者甚至由树脂制成。树脂可以包括聚氨酯或者就是聚氨酯，树脂还可能包括添加物和其他填充材料和/或空的空间。添加物可以是减小聚氨酯的弹性的硬化添加物。根据另一方面，线锯工件支撑间隔件具有作为支撑表面的第一间隔件表面、以及与第一间隔件表面相反的第二间隔件表面，第二间隔件表面的形状匹配实体支撑件的表面外形，可选的，第二间隔件表面甚至接触表面部分。根据这个方面，在工件锯切期间，工件支撑间隔件夹在工件支撑体和工件之间。根据另一方面，第一间隔件表面可以是平坦并相接的(即，连接的表面)，或者第一间隔件表面甚至是简单连接的表面(即，没有孔)。根据另一方面，支撑表面形成为支撑体的表面，至少一个线接收体积形成为支撑体中的凹槽。
根据另一方面，工件是半导体工件。例如，在特别有用的方面，线锯装置是开方机， 线锯工件是将由开方机进行锯切的锭块。根据另一方面，线锯装置是金刚石线锯装置，线是金刚石线(即，涂覆有金刚石颗粒的线)。根据另一方面，提供适合于线锯工件支撑装置的线锯工件支撑间隔件。线锯工件支撑间隔件可以根据各个权利要求中的任意一个、或者本文中的任意其他描述。线锯工件支撑间隔件具有支撑表面，其适合于在锯切期间支撑正在被线锯进行锯切的工件，支撑表面限定在锯切期间支撑工件的支撑平面；和基底表面，其适合于受到线锯工件支撑装置的实体支撑体的支撑；和至少一个线接收部分，其限定分别的线接收体积，线接收体积用于在其中容纳线锯的已经锯穿工件的线，至少一个线接收部分布置在支撑表面和基底表面的一部分之间。至少一个线接收部分包括线锯的线可锯切的固体材料，并且根据另一方面，至少一个线接收部分由该固体材料制成。至少一个线接收部分沿着与支撑平面正交的方向在支撑表面和基底表面部分之间具有至少60mm、至少70mm、或至少80mm的厚度。因此，在工件锯切期间，工件支撑间隔件夹在工件支撑体和工件之间。根据另一方面，基底表面是异形的。根据另一方面，外形匹配根据本文描述的任意实施例的实体支撑体的表面，特别是匹配具有至少一个沟槽的实体支撑体的表面。根据另一方面，至少一个线接收部分是多个线接收部分。根据另一方面，线接收部分包括第一突起，第一突起沿着基底表面在第一方向上长度延伸并且彼此平行。根据另一方面，突起的长度是从支持表面或支撑体的第一端到支撑表面或支撑体的第二端，第二端与第一端相反。根据另一方面，突起的宽度在15mm和25mm之间(例如，21mm)。根据另一方面，突起的高度是至少50mm、至少60或70或80mm、和/或不超过100mm。根据另一方面，线接收部分还包括第二突起，第二突起沿着基底表面在第二方向上长度延伸并且彼此平行，第二突起与第一突起交叉以形成突起的网络，第二方向与第一方向正交。根据另一方面，支撑间隔件还包括将线接收部分彼此连接的连接部分。根据另一方面，支撑间隔件或连接部分具有限定工件支撑平面的平坦相接表面。根据另一方面，线锯工件支撑间隔件是单件单元。根据另一方面，其中，下表面的形状与根据本文中描述或要求保护的任意实施例的、线锯工件支撑装置的支撑体的相应表面的形状匹配。另一方面涉及使用在线锯装置中支撑工件的、根据本文描述或要求保护的任意实施例的线锯工件支撑装置的方法。另一方面涉及使用在线锯装置中支撑工件的、根据本文描述或要求保护的任意实施例的线锯工件支撑间隔件的方法。根据另一方面，线锯装置是金刚石线锯装置，线是金刚石线。根据另一方面，提供使用具有工件支撑装置和支撑间隔件的线锯来锯切工件的方法。工件支撑装置和/或支撑间隔件可以根据本文描述或要求保护的任意实施例。该方法包括提供工件支撑装置的实体支撑体，实体支撑体具有间隔件支撑表面；提供支撑间隔件，支撑间隔件具有工件支撑表面、基底表面和限定分别的线接收体积的至少一个线接收部分，线接收体积用于在其中容纳线锯的线，至少一个线接收部分布置在支撑表面和基底表面的一部分之间，其中至少一个线接收部分包括线锯的线可锯切的固体材料；用支撑间隔件的基底表面将支撑间隔件放置在间隔件支撑表面上，以使得支撑间隔件由实体支撑体支撑；将工件放置在支撑间隔件的工件支撑表面上[有可能在将支撑间隔件放置在间隔件支撑表面上之前]，以使得[由于放置步骤，不考虑放置步骤的顺序]支撑间隔件夹在支撑体和工件之间；以及通过线锯的线的锯切线部分来锯穿工件的至少一部分，从而在工件中产生切口，以使得锯切线部分的至少一部分从切口离开工件并被容纳在至少一个线接收部分中；通过线部分的被容纳在至少一个线接收部分中的部分，锯切到至少一个线接收部分中包括的固体材料中，从而在固体材料中产生切口 ；以及使至少一个锯切线部分返回穿过固体材料中的切口，并可选地还穿过工件中的切口。根据另一方面，至少一个线接收体积具有至少60mm、或至少70mm、或至少80mm的
厚度。根据另一方面，方法还包括使锯切线部分穿过工件中的切口而离开工件(特别是从在工件中开始切割时锯切线部分切割的一侧)。根据另一方面，在锯切期间，线的至少一个锯切线部分相对于工件沿着锯切方向移动，以使得切口在锯切方向上延伸。然后，在返回期间，线沿着与锯切方向相反的线释放方向移动。根据另一方面，在至少一个线接收部分 (320,330)中的锯切是沿着锯切方向，并且根据另一方面，锯切线部分的部分在离开工件之后直接切割到至少一个线接收部分中。根据另一方面，锯切还包括通过线的锯切线部分切穿工件，以使得锯切线部分在实现穿过工件的切口之后沿着锯切方向完全离开工件，并且通过整个锯切线部分切割到支撑间隔件的至少一个线接收部分中，其中在实施例中，切割是沿着锯切方向，并且其中在实施例中，锯切线部分的部分在离开工件之后直接切割到至少一个线接收部分中。根据另一方面，线接收部分包括树脂，并且根据另一方面，固体材料包括树脂或者就是树脂。根据另一方面，至少一个锯切线部分是形成线网的多个锯切线部分，并且其中，锯切线部分包括彼此平行地沿着第一方向延伸的第一锯切线部分，第一方向实质上垂直于锯切方向。根据另一方面，锯切线部分还包括彼此平行地沿着第二方向延伸的第二锯切线部分，第二方向实质上垂直于第一方向并垂直于锯切方向。根据另一方面，支撑装置和/或支撑间隔件具有本文描述或要求保护的任意其他特征。特别的，工件支撑装置可以根据权利要求1至7中任一权利要求；和/或工件支撑间隔件可以根据权利要求8至15中任一权利要求。根据另一方面，在使用金刚石线的金刚石线锯装置中执行该方法。根据另一方面，提供线锯装置，线锯装置包括线锯工件支撑装置(例如，本文描述或要求保护的任意支撑装置)；线锯工件支撑间隔件(例如，本文描述或要求保护的任意支撑间隔件)；和具有控制器存储器的控制器，控制器存储器上存储有用于执行本文描述或要求保护的任意方法(例如，根据权利要求18至M中任一权利要求的方法)的程序代码。 根据另一方面，线锯装置是金刚石线锯装置，线是金刚石线。尽管上文针对本发明的实施例，在不脱离本发明的基本范围的情况下，可以想到本发明的其他和进一步的实施例，本发明的范围由权利要求书限定。
权利要求
1.一种线锯工件支撑装置000)，其具有支撑表面014、314)，所述支撑表面适合于在锯切期间支撑正在被线锯(1)进行锯切的工件(100)，所述支撑表面(214、314)限定支撑平面，所述线锯工件支撑装置包括实体支撑体O10)；以及至少一个线接收体积O20、230)，其用于在锯切期间容纳所述线锯(1)的线(10)，所述至少一个线接收体积(220、230)具有由所述支撑平面限界的工件侧和由所述实体支撑体 (210)的表面部分OM)限界的基底侧，其中，所述至少一个线接收体积(220、230)沿着与所述支撑平面正交的方向在所述工件侧和所述基底侧之间具有至少60mm的厚度。
2.根据权利要求1所述的线锯工件支撑装置000)，其中，所述实体支撑体(210)中形成有至少一个第一沟槽020)，所述至少一个第一沟槽(220)沿着与所述支撑平面平行的第一方向延伸，以使得所述至少一个线接收体积O20、230)的分别的基底侧位于所述至少一个第一沟槽Ο20)中分别一个的底部。
3.根据权利要求2所述的线锯工件支撑装置，其中，所述至少一个线接收体积020、 230)还包括形成在所述实体支撑体中的至少一个第二沟槽030)，其中，所述至少一个第二沟槽 (230)沿着所述支撑平面在第二方向上延伸，所述第二方向与所述第一方向正交。
4.根据前述任一权利要求所述的线锯工件支撑装置，还包括线锯工件支撑间隔件(300)，其包括线锯的线(10)可锯切的固体材料，所述线锯工件支撑间隔件(300)具有至少一个线接收部分(320、330)，所述至少一个线接收部分至少部分地填充所述至少一个线接收体积Ο20、230)。
5.根据权利要求4所述的线锯工件支撑装置，其中，所述线锯工件支撑间隔件(300)具有第一间隔件表面(314)和第二间隔件表面，所述第一间隔件表面是支撑表面，所述第二间隔件表面与所述第一间隔件表面(314)相反，所述第二间隔件表面的形状匹配所述实体支撑体Ο10)的表面外形。
6.根据前述任一权利要求所述的线锯工件支撑装置，其中，所述支撑表面形成为所述支撑体Ο10)的表面，并且其中，所述至少一个线接收体积 (220,230)形成为所述支撑体Ο10)中的凹槽。
7.根据前述任一权利要求所述的线锯工件支撑装置，其中，所述线锯装置(1)是开方机，并且其中，线锯工件(100)是将由所述开方机进行锯切的锭块。
8.一种适合于线锯工件支撑装置Ο00)的线锯工件支撑间隔件(300)，所述线锯工件支撑间隔件具有支撑表面(314)，其适合于在锯切期间支撑正在被线锯(1)进行锯切的工件(100)，所述支撑表面(314)限定支撑平面；和基底表面，其适合于受到所述线锯工件支撑装置(200)的实体支撑体(210)的支撑；和至少一个线接收部分(320、330)，其限定分别的线接收体积，所述线接收体积用于在其中容纳所述线锯(1)的已经锯穿所述工件(100)的线(10)，所述至少一个线接收部分 (320,330)布置在所述支撑表面(314)和所述基底表面(316)的一部分(324)之间，其中所述至少一个线接收部分(320、330)包括线锯的线(10)可锯切的固体材料，并且其中，所述至少一个线接收部分(320、330)沿着与所述支撑平面正交的方向在所述支撑表面(314)和所述基底表面的所述部分(324)之间具有至少60mm的厚度。
9.根据权利要求8所述的线锯工件支撑装置，其中，所述基底表面(316)是异形的。
10.根据权利要求8或9所述的线锯工件支撑间隔件(300)，其中，所述至少一个线接收部分(320、330)是多个线接收部分。
11.根据权利要求10所述的线锯工件支撑间隔件(300)，其中，所述线接收部分(320、 330)包括第一突起(320)，所述第一突起沿着所述基底表面在第一方向上长度延伸并且彼此平行。
12.根据权利要求11所述的线锯工件支撑间隔件(300)，其中，所述线接收部分(320、 330)还包括第二突起(330)，所述第二突起沿着所述基底表面在第二方向上长度延伸并且彼此平行，所述第二突起与所述第一突起相交以形成突起网络，所述第二方向与所述第一方向正交。
13.根据权利要求10至12中任一权利要求所述的线锯工件支撑间隔件(300)，还包括连接部分，所述连接部分使所述线接收部分(320、330)彼此连接。
14.根据权利要求8至13中任一权利要求所述的线锯工件支撑间隔件(300)是单件单元。
15.根据权利要求8至14中任一权利要求所述的线锯工件支撑间隔件(300)，其中，下表面的形状与根据权利要求1至7中任一权利要求所述的、线锯工件支撑装置O00)的支撑体O10)的相应表面的形状匹配。
16.一种使用在线锯装置(1)中支撑工件的、根据权利要求1至7中任一权利要求所述的线锯工件支撑装置O00)的方法，所述线锯装置例如是适合于金刚石线的线锯装置(1)。
17.一种使用在线锯装置(1)中支撑工件的、根据权利要求8至15中任一权利要求所述的线锯工件支撑间隔件(300)的方法，所述线锯装置例如是适合于金刚石线的线锯装置 ⑴。
18.一种使用具有工件支撑装置(200)和支撑间隔件(300)的线锯(1)来锯切工件 (100)的方法，所述方法包括如下步骤提供所述工件支撑装置(200)的实体支撑体O10)，所述实体支撑体(210)具有间隔件支撑表面014)；提供所述支撑间隔件(300)，所述支撑间隔件(300)具有工件支撑表面(314)、基底表面(316)和限定分别的线接收体积的至少一个线接收部分(320、330)，所述线接收体积用于在其中容纳所述线锯(1)的线(10)，所述至少一个线接收部分(320、330)布置在所述支撑表面(314)和所述基底表面的一部分(324)之间，其中，所述至少一个线接收部分(320、 330)包括线锯的线(10)可锯切的固体材料；用所述支撑间隔件的所述基底表面(316)将所述支撑间隔件(300)放置在所述间隔件支撑表面(214)上，以使得所述支撑间隔件(300)由所述实体支撑体O10)支撑；将所述工件(100)放置在所述支撑间隔件(300)的所述工件支撑表面(314)上，以使得所述支撑间隔件(300)夹在所述支撑体(210)和所述工件(100)之间；以及通过所述线锯(1)的所述线(10)的锯切线部分来锯穿所述工件(100)的至少一部分， 从而在所述工件中产生切口，以使得所述锯切线部分的至少一部分从切口离开所述工件(100)并被容纳在所述至少一个线接收部分(320、330)中；通过线部分的被容纳在所述至少一个线接收部分(320、330)中的部分，锯切到所述至少一个线接收部分(320、330)中包括的所述固体材料中，从而在所述固体材料中产生切口 ；以及使所述至少一个锯切线部分返回穿过所述固体材料中的切口。
19.根据权利要求18所述的方法，其中，所述至少一个线接收体积具有至少60mm的厚度。
20.根据权利要求18或19所述的方法，还包括使所述锯切线部分穿过所述工件中的切口而离开所述工件。
21.根据权利要求18至20中任一权利要求所述的方法，其中，所述线接收部分(320、 330)包括树脂。
22.根据权利要求18至21中任一权利要求所述的方法，其中，所述至少一个锯切线部分是形成线网的多个锯切线部分，并且其中，所述锯切线部分包括第一锯切线部分，所述第一锯切线部分彼此平行地沿着第一方向延伸，所述第一方向实质上垂直于锯切方向。
23.根据权利要求18至22中任一权利要求所述的方法，其中，所述工件支撑装置 (200)根据权利要求1至7中任一权利要求。
24.根据权利要求18至22中任一权利要去所述的方法，其中，工件支撑间隔件(300) 根据权利要求8至15中任一权利要求。
25.—种线锯装置，其包括例如根据权利要求1至7中任一权利要求的线锯工件支撑装置(200)， 例如根据权利要求8至15中任一权利要求的线锯工件支撑间隔件(300)，和控制器，其具有控制器存储器，所述控制器存储器上存储有用于执行根据权利要求18 至M中任一权利要求所述的方法的程序代码。
全文摘要
线锯工件支撑装置(200)具有支撑表面(214、314)，支撑表面适合于在锯切期间支撑正在被线锯(1)进行锯切的工件(100)，支撑表面(214、314)限定支撑平面。线锯工件支撑装置包括实体支撑体(210)；以及至少一个线接收体积(220、230)，其用于在锯切期间容纳线锯(1)的线(10)，至少一个线接收体积(220、230)具有由支撑平面限界的工件侧和由实体支撑体(210)的表面部分(224)限界的基底侧，其中，至少一个线接收体积(220、230)沿着与支撑平面正交的方向在工件侧和基底侧之间具有至少60mm的厚度。
文档编号B23D57/00GK102574226SQ200980161518
公开日2012年7月11日 申请日期2009年9月18日 优先权日2009年9月18日
发明者弗雷德里克·伦巴第·德·巴菲尔斯, 法布里斯·库斯蒂尔, 纪尧姆·麦卡 申请人:应用材料公司