一种调节锁紧装置的制作方法

技术总结
本发明公开一种调节锁紧装置，用于调整微动电机的垂向位置及锁紧，包括：一与该微动电机连接的定位簧片；一调节单元，该调节单元通过调节该定位簧片的垂向高度以调整该微动电机的垂向位置；一锁紧单元，该锁紧单元通过锁紧该定位簧片以锁紧该微动电机。

技术研发人员：方洁;李志龙;丛国栋;郭琳
受保护的技术使用者：上海微电子装备有限公司
文档号码：201510134347
技术研发日：2015.03.26
技术公布日：2016.11.23